JP5245245B2 - 慣性力センサ - Google Patents
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Description
2 ドライブ回路
4 センス回路
6 駆動電極
7 センス電極
8 モニタ電極
12 シグマ・デルタ変調器
14 信号処理回路
Claims (1)
- 駆動電極と、センス電極と、モニタ電極を有するセンス素子と、このセンス素子を所定の駆動周波数で駆動させるドライブ回路と、前記センス電極から出力される出力信号を電気的に処理するセンス回路とを備え、前記センス回路は前記出力信号を1ビットデジタル信号に変換するシグマ・デルタ変調器と、前記モニタ電極から出力されたモニタ信号を予め決められた基準振幅情報と比較して補正情報を生成する補正情報生成回路と、前記補正情報生成回路から出力される補正情報から得られた倍率に従って、前記1ビットデジタル信号をマルチビット信号に変換して前記出力信号の出力レベルの調整を行う信号処理回路とを有することを特徴とする慣性力センサ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006315221A JP5245245B2 (ja) | 2006-11-22 | 2006-11-22 | 慣性力センサ |
US11/942,828 US7891245B2 (en) | 2006-11-22 | 2007-11-20 | Inertial force sensor including a sense element, a drive circuit, a sigma-delta modulator and a signal processing circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006315221A JP5245245B2 (ja) | 2006-11-22 | 2006-11-22 | 慣性力センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008128859A JP2008128859A (ja) | 2008-06-05 |
JP5245245B2 true JP5245245B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=39554828
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006315221A Active JP5245245B2 (ja) | 2006-11-22 | 2006-11-22 | 慣性力センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5245245B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5245246B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2013-07-24 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
JP5245247B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2013-07-24 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
JP5251667B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2013-07-31 | パナソニック株式会社 | 電子部品 |
US8925383B2 (en) | 2009-07-22 | 2015-01-06 | Panasonic Corporation | Angular speed sensor |
JP5515482B2 (ja) * | 2009-07-22 | 2014-06-11 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
JP5370064B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2013-12-18 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3334413B2 (ja) * | 1995-03-31 | 2002-10-15 | ソニー株式会社 | ディジタル信号処理方法及び装置 |
US5731769A (en) * | 1995-12-04 | 1998-03-24 | Motorola, Inc. | Multi-rate digital filter apparatus and method for sigma-delta conversion processes |
DE19653021A1 (de) * | 1996-12-19 | 1998-06-25 | Bosch Gmbh Robert | Vorrichtung zur Ermittlung einer Drehrate |
JP4032758B2 (ja) * | 2002-01-24 | 2008-01-16 | トヨタ自動車株式会社 | センサ装置 |
JP4406863B2 (ja) * | 2003-08-18 | 2010-02-03 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ装置 |
US6934665B2 (en) * | 2003-10-22 | 2005-08-23 | Motorola, Inc. | Electronic sensor with signal conditioning |
JP4345562B2 (ja) * | 2004-04-23 | 2009-10-14 | パナソニック電工株式会社 | 角速度センサ |
JP5245246B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2013-07-24 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
JP5245247B2 (ja) * | 2006-11-22 | 2013-07-24 | パナソニック株式会社 | 慣性力センサ |
-
2006
- 2006-11-22 JP JP2006315221A patent/JP5245245B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2008128859A (ja) | 2008-06-05 |
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A621 | Written request for application examination |
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