JP2005274456A - センサシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】センサシステム1は、振動型の角速度センサ部2と、角速度センサ部2とは別に設けられた加速度センサ部3とを備える。第二種加速度信号生成部5は、角速度センサ部2からの被検出振動成分に含まれる加速度信号成分を抽出し、その抽出した加速度信号を第二種加速度信号Vg2として出力する。異常検知部5aは、加速度センサ部3にて検出・出力される加速度信号を第一種加速度信号Vg1として、該第一種加速度信号Vg1と第二種加速度信号Vg2とに基づき、角速度センサ部2と加速度センサ部3との少なくともいずれかの異常検知を行なう。
【選択図】 図1
Description
角速度センサ部からの被検出振動成分に含まれる加速度信号成分を抽出し、その抽出した加速度信号を第二種加速度信号として出力する第二種加速度信号生成部と、
加速度センサ部にて検出・出力される加速度信号を第一種加速度信号として、該第一種加速度信号と第二種加速度信号とに基づき、角速度センサ部と加速度センサ部との少なくともいずれかの異常検知を行なう異常検知部と、を有してなることを特徴とする。
(1)角速度センサ部と加速度センサ部とが近接して配置されるので、第一種加速度信号及び第二種加速度信号の生成や、それら信号を用いた異常検知のための信号処理の配線長を縮小し、ひいては信号のノイズマージンを高めることができる。この場合、角速度センサ部と加速度センサ部とを同一基板上に実装するとより望ましい。
(2)角速度センサ部と加速度センサ部との検出位置が接近するので、搭載位置の相違によるセンサ環境(ノイズ振動発生状況や機械的共振モードなど)の影響の相違を縮小でき、ひいては異常検知の精度を高めることができる。
図1は、本発明のセンサシステムの一実施形態であるイナーシャセンサシステム1の回路図である。イナーシャセンサシステム1の要部は角速度センサ部2と加速度センサ部3とからなり、これらがひとつの筐体50内(ひいては同一基板上)に組み付けられている。角速度センサ部2からは角速度信号Vyが、加速度センサ部3からは加速度信号Vg1(第一種加速度信号)がそれぞれ出力される。
2 角速度センサ部
41a,41b 振動子
3 加速度センサ
7 角速度検出部
21 差動増幅器(差分波形演算手段)
5 第二種加速度信号生成部
30 加算器(加算波形演算手段)
5a 異常検知部
50 筐体
5a,5b 振動検出用コンデンサ
31 フィルタリング部(ローパスフィルタ)
100 第一のセンサユニット
200 第二のセンサユニット
Claims (7)
- 予め定められた基準方向に振動する振動子と、前記振動子に角速度が加わるに伴い、前記基準方向と交差するように定められた角速度検出方向への被検出振動成分を検出し、該被検出振動成分に基づいて角速度検出波形を生成する検出波形生成部とを有する振動型の角速度センサ部と、前記角速度センサ部とは別に設けられた加速度センサ部とを備え、
前記角速度センサ部からの前記被検出振動成分に含まれる加速度信号成分を抽出し、その抽出した加速度信号を第二種加速度信号として出力する第二種加速度信号生成部と、
前記加速度センサ部にて検出・出力される加速度信号を第一種加速度信号として、該第一種加速度信号と前記第二種加速度信号とに基づき、前記角速度センサ部と前記加速度センサ部との少なくともいずれかの異常検知を行なう異常検知部と、
を有してなることを特徴とするセンサシステム。 - 前記第二種加速度信号生成部には、入力加速度に対する前記第二種加速度信号の周波数応答特性を、前記第一種加速度信号の周波数特性に近づけるための周波数特性変換手段を有する請求項1記載のセンサシステム。
- 前記加速度センサ部は、加速度検知信号発生部と、該加速度検知信号発生部からの加速度検知信号の原波形から不要波形成分を除去して前記第一種加速度信号として出力する加速度センサ側出力フィルタ部を備えるものであり、
前記第二種加速度信号生成部の前記周波数特性変換手段は、前記加速度センサ側出力フィルタ部とフィルタの型、次数及びカットオフ周波数が同一の第二種加速度信号出力側フィルタ部として構成されている請求項2に記載のセンサシステム。 - 前記角速度センサ部と前記加速度センサ部とが1つの筐体に一体に組み込まれてなる請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のセンサシステム。
- 前記角速度センサ部は、前記基準方向において互いに逆位相にて振動させる一対の前記振動子と、それら振動子の、前記角速度検出方向へ互いに逆位相で振動する逆相波形成分に基づいて角速度を演算し、これを角速度検出信号として出力する角速度演算手段と、前記角速度検出方向へ互いに同位相で振動する同相振動成分に基づいて加速度を演算し、前記第二種加速度信号として出力する加速度検出手段とを有する請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のセンサシステム。
- 前記角速度演算部は、前記1対の演算子の前記角速度検出方向への振動波形のうち、前記同位相で振動する成分を相殺することにより角速度を演算するものであり、前記加速度演算部は、前記1対の演算子の前記角速度検出方向への振動波形のうち、前記逆位相で振動する成分を相殺することにより加速度を演算するものである請求項5記載のセンサシステム。
- 前記異常検知部は、前記第一種加速度信号と前記第二種加速度信号との差分信号を演算し、その差分信号のレベルに基づいて異常検知信号を生成・出力するものである請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載のセンサシステム。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007139505A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
JP2007285958A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Denso Corp | ジャイロセンサのセンサ回路 |
JP2010038643A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Denso Corp | 車載装置 |
JP2010533598A (ja) * | 2007-07-16 | 2010-10-28 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロマシニング型の構成エレメントおよびマイクロマシニング型の構成エレメントを作動させるための方法 |
WO2012005062A1 (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 日立オートモーティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4449074B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2010-04-14 | 株式会社デンソー | センサシステム |
JP2005283481A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Denso Corp | センサシステム |
DE102004021635B4 (de) * | 2004-05-03 | 2012-02-23 | Siemens Ag | Einrichtung und Verfahren zum fehlersicheren Erfassen von Messwerten in einer Steuereinheit |
DE102005018107B3 (de) * | 2005-04-19 | 2006-10-12 | Siemens Ag | Verfahren zur Bestimmung der Drehrichtung von rotierenden Körpern |
US7832271B2 (en) * | 2005-05-24 | 2010-11-16 | Japan Aerospace Exploration Agency | Gyroscope |
KR100875457B1 (ko) * | 2006-08-31 | 2008-12-22 | (주)에스엠엘전자 | 각속도 센서 구조물 |
US20080098814A1 (en) * | 2006-10-31 | 2008-05-01 | Honeywell International Inc. | Dual mode mems sensor |
US8322214B2 (en) | 2008-04-04 | 2012-12-04 | Panasonic Corporation | Sensor device |
KR20100137501A (ko) * | 2008-04-10 | 2010-12-30 | 파나소닉 주식회사 | 관성력 센서 |
DE102008044664B4 (de) | 2008-08-28 | 2023-12-21 | Continental Automotive Technologies GmbH | Verfahren zur Frequenzregelung einer Oszillatoranordnung |
JP4245081B1 (ja) * | 2008-10-16 | 2009-03-25 | パナソニック株式会社 | センサ装置 |
JP4645725B2 (ja) * | 2008-11-05 | 2011-03-09 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサの角速度検出方法 |
US8131508B2 (en) * | 2009-02-05 | 2012-03-06 | Panasonic Corporation | Sensor apparatus |
JP2011203028A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 角速度および加速度の検出装置 |
JP5512507B2 (ja) | 2010-12-27 | 2014-06-04 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | センサモジュール、およびセンサシステム |
KR20140086541A (ko) * | 2012-12-28 | 2014-07-08 | 삼성전기주식회사 | 자이로센서의 구동 장치 |
US10101358B2 (en) * | 2013-07-03 | 2018-10-16 | Nxp Usa, Inc. | Trimming circuit for a sensor and trimming method |
CN203786283U (zh) * | 2013-10-14 | 2014-08-20 | 英飞凌科技股份有限公司 | 用于磁自测试的系统 |
US9885577B2 (en) * | 2015-07-30 | 2018-02-06 | Invensense, Inc. | Reducing resonance peaks and drive tones from a micro-electro-mechanical system gyroscope response |
JP6918738B2 (ja) * | 2018-04-09 | 2021-08-11 | 株式会社日立製作所 | センサシステム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2504233B2 (ja) | 1989-11-16 | 1996-06-05 | 日本電装株式会社 | 角速度センサ―の異常検出装置及びそれを用いた車両用舵角制御装置 |
JP3284086B2 (ja) * | 1997-09-02 | 2002-05-20 | 本田技研工業株式会社 | ヨーレートセンサおよび横方向加速度センサの異常検出装置 |
JP3537705B2 (ja) * | 1999-05-31 | 2004-06-14 | 本田技研工業株式会社 | 自動追従走行システム |
JP4194724B2 (ja) * | 1999-10-07 | 2008-12-10 | 株式会社豊田中央研究所 | 車両走行状態検出装置 |
JP2001153659A (ja) | 1999-11-29 | 2001-06-08 | Murata Mfg Co Ltd | 角速度センサ |
JP3618274B2 (ja) * | 2000-03-21 | 2005-02-09 | トヨタ自動車株式会社 | 車両用センサ異常検出装置 |
JP3937334B2 (ja) * | 2003-03-27 | 2007-06-27 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサの異常検出装置、異常検出方法、異常検出用プログラム並びに車両制御システム |
JP3991978B2 (ja) * | 2003-12-12 | 2007-10-17 | 株式会社デンソー | 車両用角速度センサの補正診断装置 |
JP2005283481A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Denso Corp | センサシステム |
-
2004
- 2004-03-25 JP JP2004090408A patent/JP4392599B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-03-22 US US11/085,124 patent/US7284408B2/en active Active
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007139505A (ja) * | 2005-11-16 | 2007-06-07 | Denso Corp | 容量式力学量センサ |
JP2007285958A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Denso Corp | ジャイロセンサのセンサ回路 |
JP2010533598A (ja) * | 2007-07-16 | 2010-10-28 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | マイクロマシニング型の構成エレメントおよびマイクロマシニング型の構成エレメントを作動させるための方法 |
JP2010038643A (ja) * | 2008-08-01 | 2010-02-18 | Denso Corp | 車載装置 |
WO2012005062A1 (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-12 | 日立オートモーティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
JP5442866B2 (ja) * | 2010-07-06 | 2014-03-12 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
US9182421B2 (en) | 2010-07-06 | 2015-11-10 | Hitachi Automotive Systems, Ltd. | Inertia sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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