KR101077383B1 - 관성력 센서 - Google Patents
관성력 센서 Download PDFInfo
- Publication number
- KR101077383B1 KR101077383B1 KR1020107023742A KR20107023742A KR101077383B1 KR 101077383 B1 KR101077383 B1 KR 101077383B1 KR 1020107023742 A KR1020107023742 A KR 1020107023742A KR 20107023742 A KR20107023742 A KR 20107023742A KR 101077383 B1 KR101077383 B1 KR 101077383B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- pass filter
- low pass
- circuit
- high pass
- capacitor
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5776—Signal processing not specific to any of the devices covered by groups G01C19/5607 - G01C19/5719
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
로우패스 필터(36)와 하이패스 필터(38)의 양쪽의 저항(48, 54)에 대해서 각 스위치(64, 66)가 병렬 접속됨과 더불어, 이들 스위치(64, 66)를 도통시켜 저항(48, 54)을 통하지 않고 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)를 급속 충전할 수 있는 관성력 센서를 제공한다.
Description
본 발명은, 각종 전자기기에 이용하는 관성력 센서에 관한 것이다.
이하, 종래의 관성력 센서에 대해 설명한다. 관성력 센서로서는 각속도 센서를 들 수 있다.
도 6은 종래의 관성력 센서의 감지 회로의 회로도이다. 도 6에 있어서, 이 각속도 센서는, 음차 형상, H 형상, T 형상, 음편 형상 등, 각종의 형상을 한 진동자(도시 생략)와, 이 진동자를 진동시키기 위한 구동 회로(도시 생략)와, 코리올리력(관성력)에 기인하여 진동자에 생기는 왜곡을 감지하기 위한 감지 회로(2)와, 구동 회로 및 감지 회로(2)에 전력을 공급하기 위한 전력 공급 회로(도시 생략)를 구비하고 있다.
감지 회로(2)에는, 저항(4)과 콘덴서(6)를 접속해 형성한 로우패스 필터(8)와 하이패스 필터(10)를 설치하고 있다. 이 로우패스 필터(8)와 하이패스 필터(10)를 통해, 왜곡에 기인해 진동자로부터 출력되는 전기적 감지 신호를 평활 처리하고, 각속도 신호가 출력된다.
이러한 각속도 센서는, 예를 들면, 디지털 카메라 등의 흔들림 방지 기능을 구성하는 부품으로서 탑재되어 있다.
또한, 이 출원의 발명에 관한 선행 기술 문헌 정보로서는, 예를 들면, 특허 문헌 1이나 특허 문헌 2가 알려져 있다.
상기 구성에 있어서, 감지 회로(2)의 로우패스 필터(8)나 하이패스 필터(10)에 이용하는 콘덴서(6)의 충전이 완료되지 않으면 정상적인 각속도의 검출을 행할 수 없다. 특히, 디지털 카메라에 각속도 센서를 이용하고 있는 경우는, 디지털 카메라의 전원을 투입한 기동 직후, 정상적인 흔들림 보정을 할 수 없다. 이 점에 대해서, 특허 문헌 1과 같이, 하이패스 필터의 저항을 통하지 않고 충전하는 방법도 있지만, 이것만으로는 충분한 충전은 불가능하다.
[특허 문헌 1:일본국 특허공개 평5-207356호 공보]
[특허 문헌 2:일본국 특허공개 2002-243451호 공보]
본 발명은 충분한 충전이 가능하고, 디지털 카메라 등에 이용한 경우는 기동 직후부터 흔들림 보정을 가능하게 하는 관성력 센서를 제공한다.
본 발명에 관한 관성력 센서는, 관성력에 기인하여 왜곡을 일으키는 진동자와, 왜곡에 기인해 진동자로부터 출력되는 감지 신호를 평활 처리해 각속도 신호를 출력하는 감지 회로를 구비한다. 감지 회로는, 저항과 콘덴서를 접속해 형성된 로우패스 필터와 하이패스 필터를 가지며, 로우패스 필터의 저항과 콘덴서의 사이에 하이패스 필터의 콘덴서의 일단이 접속되고, 로우패스 필터와 하이패스 필터를 통해 감지 신호를 평활 처리해 각속도 신호가 출력된다. 그리고, 로우패스 필터와 하이패스 필터 중 어느 한쪽의 저항에 스위치가 병렬 접속됨과 더불어, 스위치를 도통시켜 저항을 통하지 않고 콘덴서를 충전하는 것을 특징으로 한다.
이러한 구성에 의해, 콘덴서의 양단으로부터 충전이 가능해지고, 필요에 따라서 로우패스 필터측으로부터 충전할지 하이패스 필터측으로부터 충전할지를 선택하여, 충전할 수 있다. 특히, 콘덴서의 양단 중, 일단으로부터 충전하는 경우는 타단에 접속된 부하의 영향을 받아서 안정되게 충전을 할 수 없는 경우가 있지만, 콘덴서의 양단으로부터 충전할 수 있으므로, 안정되게 충전이 가능하다. 따라서, 디지털 카메라 등에 이용한 경우에서도, 기동 직후부터 흔들림 보정을 가능하게 한다.
도 1은 본 발명의 실시의 형태에 있어서의 각속도 센서의 블록도이다.
도 2는 본 발명의 실시의 형태에 있어서의 각속도 센서의 감지 회로의 회로도이다.
도 3은 흔들림 주파수에 대한 게인을 나타내는 특성 파형도이다.
도 4는 도 2의 (A점)~(E점)에 있어서의 특성 파형을 나타내는 특성 파형도이다.
도 5는 각속도 신호의 안정 범위에 이를 때까지의 시간을 나타내는 특성 파형도이다.
도 6은 종래의 관성력 센서의 감지 회로의 회로도이다.
도 2는 본 발명의 실시의 형태에 있어서의 각속도 센서의 감지 회로의 회로도이다.
도 3은 흔들림 주파수에 대한 게인을 나타내는 특성 파형도이다.
도 4는 도 2의 (A점)~(E점)에 있어서의 특성 파형을 나타내는 특성 파형도이다.
도 5는 각속도 신호의 안정 범위에 이를 때까지의 시간을 나타내는 특성 파형도이다.
도 6은 종래의 관성력 센서의 감지 회로의 회로도이다.
이하, 본 발명의 실시의 형태의 관성력 센서에 있어서의 각속도 센서에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.
(실시의 형태)
도 1은 본 발명의 실시의 형태에 있어서의 각속도 센서의 블록도이다. 도 1에 있어서, 각속도 센서는, 진동자(12)와, 이 진동자(12)를 진동시키는 구동 회로(14)와, 이 진동자(12)의 진동 상태를 모니터하는 모니터 회로(16)와, 관성력(코리올리력)에 기인한 진동자(12)의 왜곡을 감지하는 감지 회로(18)와, 구동 회로(14) 및 감지 회로(18)에 전력을 공급하기 위한 전력 공급 회로(도시 생략)를 구비하고 있다.
진동자(12)는, Ag나 Au 등의 금속 도체로 이루어지는 전극으로 PZT로 이루어지는 압전 박막을 사이에 끼고 형성한 다층 구조의 구동 전극(20), 감지 전극(22), 모니터 전극(24)을, 음차 형상의 실리콘 기판상에 배치해 형성한 것이다. 또한, 실리콘 기판의 형상은 H 형상이나 T 형상이나 음편 형상 등이어도 된다.
구동 회로(14)는, 전압을 제어하는 AGC 회로(26)나 BPF 회로(28)나 구동 전극(20)에 통전하기 위한 전압을 증폭하는 증폭 회로(30)에 의해 구성되어 있다. 그리고, 모니터 회로(16)가 진동자(12)의 진동 상태에 따라서, 진동자(12)의 진동값이 작다고 검지하면, 구동 회로(14)는 AGC 회로(26)를 통해 진동자(12)에 통전하기 위한 전압을 증폭한다. 반대로, 모니터 회로(16)가 진동자(12)의 증폭값이 크다고 검지하면, 구동 회로(14)는 AGC 회로(26)를 통해 진동자(12)에 통전하기 위한 전압을 감소시킨다. 이러한 동작에 의해, 진동자(12)의 진동이 일정한 주기 및 진폭으로 진동하도록, 진동자(12)에 통전하기 위한 전압이 제어되어 있다.
감지 회로(18)는, 관성력에 기인한 진동자(12)의 왜곡을 감지하여 감지 전극(22)으로부터 전기적으로 출력된 감지 신호를 처리한다. 감지 전극(22)으로부터 전기적으로 출력된 2개의 감지 신호는, 차동 증폭 회로(32)와 동기 검파 회로(34)를 통해 출력된다. 또한, 이들 감지 신호는, 로우패스 필터(36)와 하이패스 필터(38)와 노이즈 필터(40)를 통해 평활 처리되고, 각속도 신호로서 출력된다.
도 2는 본 발명의 실시의 형태에 있어서의 각속도 센서의 감지 회로의 회로도이다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 로우패스 필터(36)는, 제1 로우패스 필터(42)와 제2 로우패스 필터(44)가 접속되어 형성되어 있다.
제1 로우패스 필터(42)는, 필터링한 감지 신호를 출력 단자로부터 출력하는 증폭기(46)를 갖는다. 증폭기(46)의 비반전 입력 단자에는, 입력 저항을 풀어 감지 신호가 입력된다. 또, 증폭기(46)의 반전 입력 단자에는 제1 전압(45)이 인가되어 있다.
제2 로우패스 필터(44)는, 서로 직렬 접속한 저항(48)과 콘덴서(50)를 구비한다. 저항(48)의 일단이 증폭기(46)의 출력 단자에 접속되고, 콘덴서(50)의 일단에는 제2 전압(52)이 인가되어 있다.
로우패스 필터(36)의 후단에는 하이패스 필터(38)가 설치되어 있다. 이 하이패스 필터(38)는, 서로 직렬 접속한 저항(54)과 콘덴서(56)를 구비하고 있다. 제2 로우패스 필터(44)의 저항(48)과 콘덴서(50)의 사이에 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)의 일단이 접속되어 있다. 또, 하이패스 필터(38)의 저항(54)의 일단에는 제3 전압(58)이 인가되어 있다.
하이패스 필터(38)의 후단에는 노이즈 필터(40)가 설치되어 있다. 이 노이즈 필터(40)는, 필터링한 감지 신호를 출력 단자로부터 출력하는 증폭기(62)를 갖는다. 증폭기(62)의 비반전 입력 단자에는, 하이패스 필터(38)의 저항(54)과 콘덴서(56)의 사이로부터 출력되는 감지 신호가 입력된다. 또, 증폭기(62)의 반전 입력 단자에는, 입력 저항을 통해 제4 전압(60)이 인가되어 있다.
여기서, 제2 로우패스 필터(44)의 콘덴서(50)와 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)를 비교하면, 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)의 용량이 10배 정도 크고, 충전에 시간이 걸린다. 이 때문에, 본 발명에 관한 관성력 센서에서는, 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)를 신속하게 충전하는 충전 수단이 설치되어 있다.
즉, 로우패스 필터(36)와 하이패스 필터(38)의 양쪽의 저항(48, 54)에 대해서, 각 스위치(64, 66)를 병렬 접속시킴과 더불어, 이들 스위치(64, 66)를 도통시켜 저항(48, 54)을 통하지 않고 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)를 충전한다. 또한, 노이즈 필터(40)의 증폭기(62)의 반전 입력 단자에 인가하는 제4 전압(60)의 전압값과 하이패스 필터(38)의 저항(54)의 일단에 인가하는 제3 전압(58)의 전압값을 같게 한다. 이러한 구성에 의해, 콘덴서(56)로의 급속 충전이 가능해진다.
또한, 도 2에 있어서, 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)의 양단 각각에 직렬로 스위치(도시 생략)를 삽입해도 된다. 이러한 구성의 경우, 양단의 스위치를 비도통으로 하면 콘덴서(56)로의 충전 및 방전이 정지한다. 따라서, 미리 콘덴서(56)를 충전 상태로 해 두면, 그 충전 상태를 일정 시간 유지할 수 있다.
그리고, 콘덴서(56)의 충전 상태를 일정 시간 유지함으로써, E점에서의 출력전압값을 조기에 안정시킬 수 있다. 예를 들면, 콘덴서(56)의 양단에 설치된 2개의 스위치에 있어서, 한쪽의 스위치는 전단 회로에 접속되고, 다른 쪽의 스위치는 후단 회로에 접속되어 있다고 한다. 또한, 전단 회로는 하이패스 필터(38)이며, 후단 회로는 노이즈 필터(40)이다. 이 때, 이들 2개의 스위치를 비도통으로 함으로써, 전단 회로 또는 후단 회로로의 전력 공급을 정지시킨다. 2개의 스위치를 비도통으로 한 시점에서의 콘덴서(56)는 충전 상태를 유지하고 있다. 그 후, 2개의 스위치를 도통시키면, 콘덴서(56)가 전단 회로 또는 후단 회로에 방전하므로, C점, D점에서의 전압값이 신속하게 안정된다.
또, 증폭기(46, 62) 및 제2 전압(52), 제3 전압(58), 제4 전압(60)으로의 전원 공급을 정지시키는 스위치를 설치하면, E점에서의 출력 전압값의 조기 안정화를 더 도모할 수 있다.
도 3은 흔들림 주파수에 대한 게인을 나타내는 특성 파형도이다. 도 3에 있어서, 디지털 카메라의 흔들림 방지 기구에 상기의 각속도 센서를 이용한 경우는, 흔들림이 5~20㎐정도에 있어서 발생한다. 그래서, 상기의 로우패스 필터(36)와 하이패스 필터(38)에 의해, 5~20㎐에 있어서의 게인을 감쇠시키지 않도록 하고 있다. 또한, 노이즈 등의 영향을 고려하면, 0.1~200㎐에 있어서의 게인을 감쇠시키지 않도록 하면 된다.
도 4는 도 2에 나타내어지는 각 점 (A점)~(E점)에 있어서의 특성 파형을 나타내는 특성 파형도이다. 감지 신호를 평활 처리해 각속도 신호를 출력할 때까지의 각 점에 있어서의 특성 파형을 나타내고 있다.
A점에 입력되는 감지 신호는, 진동자(12)에서 생기는 정현파 신호를 검파해 얻어진 주기 신호이다. 이 감지 신호는 증폭기(46)에 의해 반전하여 도 4의 B점에 나타내어지는 신호가 된다. 그 후, 평활 처리가 이루어지고, C점, D점을 거쳐 각속도를 나타내는 신호가 E점에 있어서 출력된다.
상기 구성에 의해, 로우패스 필터(36)와 하이패스 필터(38) 중 적어도 어느 한쪽의 저항(48, 54)에 스위치(64, 66)를 병렬 접속시킴과 더불어, 스위치(64, 66)를 도통시켜 저항(48, 54)을 통하지 않고 콘덴서(56)를 충전한다. 이 동작에 의해, 콘덴서(56)의 양단으로부터 충전이 가능해지므로, 필요에 따라서 로우패스 필터(36)측으로부터 충전할지 하이패스 필터(38)측으로부터 충전할지를 선택하여, 충전할 수 있다. 특히, 콘덴서(56)의 양단 중, 일단으로부터 충전하는 경우는 타단에 접속된 부하의 영향을 받아서 안정되게 충전을 할 수 없는 경우가 있다. 그러나, 본 발명에 관한 관성력 센서에서는, 콘덴서(56)의 양단으로부터 충전할 수 있으므로, 안정되게 충전할 수 있다.
이와 같이, 로우패스 필터(36)와 하이패스 필터(38)의 양쪽의 저항(48, 54)에 대해서, 각 스위치(64, 66)가 병렬 접속됨과 더불어, 스위치(64, 66)를 도통시켜 저항(48, 54)을 통하지 않고 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)를 충전하면, 안정되게 급속 충전이 가능해진다.
도 5는 정상적인 각속도의 검출을 행할 수 있는 각속도 신호의 안정 범위에 이를 때까지의 시간을 나타내는 특성 파형도이다. 횡축의 시간에 대해서, 종축은 도 4의 E점에 있어서의 각속도 신호를 출력 전압으로서 표시하고 있다. 또, 기준 전압은 증폭기(62)의 다이나믹 레인지의 중점으로 하고 있다. 또한, 안정 범위는 기준 전압으로부터 일정 범위 내에 가까워진 영역이다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 본원에 있어서의 각속도 신호의 안정 범위에 이를 때까지의 시간(T1)은, 종래에 있어서의 각속도 신호의 안정 범위에 이를 때까지의 시간(T2)보다 빠르다. 각속도 신호의 안정 범위에 이를 때까지의 시간은, 종래는 몇 초~수십 초 걸리고 있었지만, 본원에서는 1초 이하로 안정 범위에 이를 수 있다.
또, 노이즈 필터(40)의 증폭기(62)의 반전 입력 단자에 인가하는 제4 전압(60)과 하이패스 필터(38)의 콘덴서(56)의 일단에 인가하는 제3 전압(58)을 동등한 전압으로 하고 있으므로, 증폭기(62)에 있어서 각속도 신호에 노이즈 신호가 중첩하는 것을 특히 억제할 수 있다. 따라서, 디지털 카메라 등에 이용한 경우에서도, 기동 직후부터 흔들림 보정을 가능하게 한다.
이상과 같이 본 발명에 관한 관성력 센서는, 감지 회로에 이용하는 하이패스 필터의 콘덴서의 급속 충전이 가능하므로, 각종 전자기기에 유용하다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
12:진동자 14:구동 회로
16:모니터 회로 18:감지 회로
20:구동 전극 22:감지 전극
24:모니터 전극 26:AGC 회로
28:BPF 회로 30:증폭 회로
32:차동 증폭 회로 34:동기 검파 회로
36:로우패스 필터 38:하이패스 필터
40:노이즈 필터 42:제1 로우패스 필터
44:제2 로우패스 필터 46, 62:증폭기
48, 54:저항 50, 56:콘덴서
52:제2 전압 58:제3 전압
60:제4 전압 64, 66:스위치
12:진동자 14:구동 회로
16:모니터 회로 18:감지 회로
20:구동 전극 22:감지 전극
24:모니터 전극 26:AGC 회로
28:BPF 회로 30:증폭 회로
32:차동 증폭 회로 34:동기 검파 회로
36:로우패스 필터 38:하이패스 필터
40:노이즈 필터 42:제1 로우패스 필터
44:제2 로우패스 필터 46, 62:증폭기
48, 54:저항 50, 56:콘덴서
52:제2 전압 58:제3 전압
60:제4 전압 64, 66:스위치
Claims (1)
- 진동자와,
상기 진동자로부터 출력되는 감지 신호를 평활 처리하여 각속도 신호를 출력하는 감지 회로를 구비하고,
상기 감지 회로는,
저항과 콘덴서를 접속하여 형성된 로우패스 필터와 하이패스 필터를 가지며,
상기 로우패스 필터는, 제1 로우패스 필터와 제2 로우패스 필터가 접속되어 구성되고,
상기 제2 로우패스 필터는, 상기 하이패스 필터와 접속하며,
상기 제1 로우패스 필터는 증폭기를 포함하여 구성되고,
상기 제2 로우패스 필터는 저항과 콘덴서가 직렬로 접속되어 구성되며,
상기 제2 로우패스 필터의 저항과 콘덴서의 사이에 상기 하이패스 필터의 콘덴서의 일단(一端)이 접속되고,
상기 로우패스 필터와 상기 하이패스 필터를 통해 상기 감지 신호를 평활 처리하여 각속도 신호가 출력되고,
상기 제2 로우패스 필터와 상기 하이패스 필터의 양쪽의 상기 저항에 스위치가 병렬 접속됨과 더불어, 상기 스위치를 도통시켜 상기 콘덴서를 충전하는 것을 특징으로 하는 관성력 센서.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006084577A JP4696996B2 (ja) | 2006-03-27 | 2006-03-27 | 慣性力センサ |
JPJP-P-2006-084577 | 2006-03-27 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020087019414A Division KR101023867B1 (ko) | 2006-03-27 | 2007-03-26 | 관성력 센서 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20100121706A KR20100121706A (ko) | 2010-11-18 |
KR101077383B1 true KR101077383B1 (ko) | 2011-10-26 |
Family
ID=38563361
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020107023742A KR101077383B1 (ko) | 2006-03-27 | 2007-03-26 | 관성력 센서 |
KR1020087019414A KR101023867B1 (ko) | 2006-03-27 | 2007-03-26 | 관성력 센서 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020087019414A KR101023867B1 (ko) | 2006-03-27 | 2007-03-26 | 관성력 센서 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8015874B2 (ko) |
EP (1) | EP1992913B1 (ko) |
JP (1) | JP4696996B2 (ko) |
KR (2) | KR101077383B1 (ko) |
CN (2) | CN101410694B (ko) |
WO (1) | WO2007114092A1 (ko) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8322214B2 (en) | 2008-04-04 | 2012-12-04 | Panasonic Corporation | Sensor device |
JP4245081B1 (ja) * | 2008-10-16 | 2009-03-25 | パナソニック株式会社 | センサ装置 |
US8131508B2 (en) * | 2009-02-05 | 2012-03-06 | Panasonic Corporation | Sensor apparatus |
JP5625916B2 (ja) * | 2009-02-13 | 2014-11-19 | パナソニック株式会社 | 発振回路、発振回路の製造方法、この発振回路を用いた慣性センサ及び電子機器 |
CN102753937B (zh) * | 2010-02-17 | 2016-03-02 | 株式会社村田制作所 | 振动型惯性力传感器 |
GB201005875D0 (en) * | 2010-04-08 | 2010-05-26 | Silicon Sensing Systems Ltd | Sensors |
ES2422905T3 (es) * | 2011-03-25 | 2013-09-16 | Thales Deutschland Gmbh | Detector para la detección de un movimiento en frio de un vehículo de ferrocarril y método para su operación |
WO2014122903A1 (ja) * | 2013-02-08 | 2014-08-14 | パナソニック株式会社 | 電子機器 |
JP6636294B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2020-01-29 | 川崎重工業株式会社 | 車両の対地速度検出装置 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4752053A (en) * | 1984-06-25 | 1988-06-21 | Dsl Dynamic Sciences Limited | Railway vehicle motion detector |
JPH0599938A (ja) * | 1991-10-04 | 1993-04-23 | Mitsubishi Electric Corp | 電磁ピツクアツプ用フイルタ回路 |
JP3416953B2 (ja) * | 1992-01-27 | 2003-06-16 | ソニー株式会社 | 画面振れ検出回路および画面振れ検出方法 |
JP3186219B2 (ja) * | 1992-05-22 | 2001-07-11 | キヤノン株式会社 | 像振れ防止装置 |
US5717611A (en) * | 1993-10-08 | 1998-02-10 | Nikon Corporation | Slight motion detecting device |
JP3569948B2 (ja) * | 1994-04-28 | 2004-09-29 | 株式会社ニコン | 振れ検出装置 |
JP3765113B2 (ja) | 1995-09-14 | 2006-04-12 | 株式会社ニコン | 像振れ補正装置 |
JPH09297028A (ja) * | 1996-04-30 | 1997-11-18 | Nikon Corp | ジャイロセンサの出力処理回路及びこれを用いたスティルカメラ |
JP3932661B2 (ja) * | 1998-03-31 | 2007-06-20 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ駆動回路 |
JP4075152B2 (ja) * | 1998-09-16 | 2008-04-16 | 松下電器産業株式会社 | 角速度センサ |
JP2002243451A (ja) | 2001-02-19 | 2002-08-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサおよびその特性調整方法 |
JP2004215189A (ja) * | 2003-01-08 | 2004-07-29 | Sony Corp | 手振れ補正装置及びこの手振れ補正装置を備えた撮像装置 |
JP3964875B2 (ja) * | 2004-02-16 | 2007-08-22 | 株式会社ジャイトロニクス | 角速度センサ |
-
2006
- 2006-03-27 JP JP2006084577A patent/JP4696996B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2007
- 2007-03-26 CN CN2007800113173A patent/CN101410694B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-26 WO PCT/JP2007/056153 patent/WO2007114092A1/ja active Application Filing
- 2007-03-26 KR KR1020107023742A patent/KR101077383B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-03-26 CN CN2010105219229A patent/CN102042831A/zh active Pending
- 2007-03-26 US US12/281,205 patent/US8015874B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-26 KR KR1020087019414A patent/KR101023867B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-03-26 EP EP07739592.9A patent/EP1992913B1/en not_active Not-in-force
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN102042831A (zh) | 2011-05-04 |
EP1992913A4 (en) | 2012-11-14 |
EP1992913A1 (en) | 2008-11-19 |
US20090007663A1 (en) | 2009-01-08 |
JP4696996B2 (ja) | 2011-06-08 |
KR101023867B1 (ko) | 2011-03-22 |
US8015874B2 (en) | 2011-09-13 |
JP2007256233A (ja) | 2007-10-04 |
CN101410694A (zh) | 2009-04-15 |
EP1992913B1 (en) | 2013-11-20 |
KR20100121706A (ko) | 2010-11-18 |
CN101410694B (zh) | 2011-10-12 |
WO2007114092A1 (ja) | 2007-10-11 |
KR20080084861A (ko) | 2008-09-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101077383B1 (ko) | 관성력 센서 | |
JP2007256233A5 (ko) | ||
US8342026B2 (en) | Vibrating gyroscope | |
EP1467178A2 (en) | Capacitance-sensing vibratory gyro and method for detecting change in capacitance | |
JP4784607B2 (ja) | 角速度センサインタフェース回路および角速度検出装置 | |
JP3430711B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2000088578A (ja) | 角速度センサ | |
JP4066916B2 (ja) | 力学量センサ | |
US20040177690A1 (en) | Vibration type angular velocity sensor | |
JP5286725B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP4075152B2 (ja) | 角速度センサ | |
CN102753937B (zh) | 振动型惯性力传感器 | |
EP1150125A1 (en) | Charge-type sensor amplifying circuit | |
US20070277614A1 (en) | Vibration sensor | |
JP2014149229A (ja) | 角速度センサ | |
JP2006105900A (ja) | センサ回路 | |
JP4406863B2 (ja) | 振動型角速度センサ装置 | |
KR100401978B1 (ko) | 마이크로 자이로 센서의 자기발진회로 | |
JPH08178668A (ja) | 角速度センサの振動オフセット低減装置 | |
JP5034624B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP2006064613A (ja) | ジャイロセンサおよび電子機器 | |
JP2010210640A (ja) | 振動ジャイロ及びそれを用いた電子装置 | |
JP2009250816A (ja) | 加速度検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141002 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150917 Year of fee payment: 5 |
|
LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |