JP2002310660A - 外力検知センサの検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 多数の外力検知センサ１８を効率良く検査す
る。 【解決手段】 回転テーブル２の回転中心軸上にはスリ
ップリング３を設ける。回転テーブル２にはセンサ出力
切り換え装置１１を設ける。回転テーブル２上に配置さ
れた外力検知センサ１８のセンサ出力部はセンサ出力切
り換え装置１１とスリップリング３を介して回転テーブ
ル２の外部の測定部に接続する。複数の外力検知センサ
１８のセンサ出力はセンサ出力切り換え装置１１の切り
換え動作によって１つずつ順次スリップリング３を介し
て測定部に加わる。センサ出力切り換え装置１１とスリ
ップリング３を接続する配線材の本数を、回転テーブル
２上に配設される外力検知センサ１８の数よりも少なく
することができる。スリップリング３の配線材の接続上
限本数に制約されずに、多数の外力検知センサ１８を回
転テーブル２上に配置して一度に検査することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ジャイロ等の外力
検知センサを検査するための装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６には外力検知センサである角速度セ
ンサ（ジャイロ）の一例が模式的な平面図により示され
ている。この角速度センサ４０は、基部４１と、この基
部４１に対して浮いた状態の振動体４２と、この振動体
４２を固定部４３に支持する４本の梁４４と、静電力を
利用して振動体４２をＸ方向に振動させる駆動手段４５
と、コリオリ力に起因した振動体４２のＹ方向の振動の
大きさを静電容量変化を利用して検出する検出手段４６
とを有して構成されている。

【０００３】この角速度センサ４０では、駆動手段４５
によって振動体４２がＸ方向に駆動振動しているとき
に、Ｚ軸方向を中心軸として回転すると、Ｙ方向のコリ
オリ力が発生し、このコリオリ力によって振動体４２が
Ｙ方向に検出振動する。この検出振動の大きさが検出手
段４６により例えば電圧として検出出力される。この検
出値（センサ出力）に基づきＺ軸回りの回転の角速度の
大きさを検出することができる。

【０００４】このような角速度センサ（ジャイロ）４０
の特性を検査する際には、例えば、図７に示すような検
査装置１を用いる。この検査装置１は回転テーブル２
と、この回転テーブル２の回転中心軸上に配設されるス
リップリング３と、回転テーブル２の外部に設けられる
測定器４と、電源５と、回転テーブル２の回転手段６と
を有して構成されている。

【０００５】上記回転テーブル２上には検査対象の複数
の角速度センサ４０が配設され、これら各角速度センサ
４０の検出手段４６はそれぞれ当該センサ４０のセンサ
出力部（図示せず）から配線材７ａとスリップリング３
と配線材７ｂを介して測定器４に接続される。また、各
角速度センサ４０の駆動手段４５はそれぞれ当該センサ
４０の電力入力部（図示せず）と配線材８ａとスリップ
リング３と配線材８ｂを介して電源５に接続される。さ
らに、各角速度センサ４０のグランドはそれぞれ配線材
（図示せず）とスリップリング３と配線材（図示せず）
を介して電源５あるいは測定器４のグランドに接地され
る。なお、スリップリング３と測定器４を接続する配線
材７ｂや、スリップリング３と電源５を接続する配線材
８ｂは各角速度センサ４０にそれぞれ対応させて設けら
れるが、図７では、一部の配線材７ｂや配線材８ｂの図
示が省略されている。

【０００６】回転手段６は回転テーブル２をＺ軸を中心
軸として回転させるものである。スリップリング３は、
その回転手段６によって回転テーブル２が回転する際
に、配線材７ａ，８ａ等が絡まるのを防止し、かつ、角
速度センサ４０側の配線材７ａ，８ａと測定部側の配線
材７ｂ，８ｂの配線導通を中継する機能を備えたもので
ある。

【０００７】電源５は各角速度センサ４０の駆動手段４
５に駆動電圧Ｖccを供給するものであり、測定器４は、
各角速度センサ４０の検出手段４６の出力（センサ出
力）を測定する構成を有している。

【０００８】このような検査装置１では、例えば、回転
テーブル２上に複数の角速度センサ４０を配設し、それ
ら各角速度センサ４０の所定の配線作業が終了した後
に、各角速度センサ４０の駆動手段４５に電源５から駆
動電圧Ｖccを供給して振動体４２をＸ方向を駆動振動さ
せ、また、回転手段６によって回転テーブル２をＺ軸を
中心にして回転させる。すると、そのＺ軸を中心とした
回転によるコリオリ力が各角速度センサ４０の振動体４
２に加えられて振動体４２が検出振動する。

【０００９】この振動体４２の検出振動の状態が検出手
段４６により電圧により検出出力され、この検出電圧
（センサ出力）が配線材７ａとスリップリング３と配線
材７ｂを介して測定器４に加えられる。この測定器４の
測定結果に基づいて、各角速度センサ４０の特性が検査
される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、各角速度セ
ンサ４０には、それぞれ、例えばセンサ出力伝達用の配
線材７ａと電力供給用の配線材８ａと接地用の配線材と
いうような複数の配線材の各一端側が接続され、これら
配線材の各他端側が直接的にスリップリング３に接続さ
れている。しかしながら、スリップリング３に接続でき
る配線材の本数は、例えば、２０〜３０本程度というよ
うに限りがある。このため、そのスリップリング３の接
続上限本数に制限されて、回転テーブル２上に配設して
一度に検査できる角速度センサ４０の数が例えば１０個
以下というような少数に限られてしまう。このために、
効率良く角速度センサ４０の検査を行うことができず、
多数の角速度センサ４０を検査するのに多くの時間を要
し、角速度センサ４０のコスト上昇の原因となってい
た。

【００１１】本発明は上記課題を解決するために成され
たものであり、その目的は、角速度センサ等の外力検知
センサを効率良く検査できる外力検知センサの検査装置
を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明は次に示す構成をもって前記課題を解決す
る手段としている。すなわち、この発明は、複数の外力
検知センサを配置する回転テーブルと、この回転テーブ
ルの外部に設けられ上記回転テーブルの回転に起因した
上記各外力検知センサのセンサ出力を測定する測定部
と、上記回転テーブルの回転中心軸上に配設され上記外
力検知センサ側と測定部側との配線導通を中継するスリ
ップリングとを有した外力検知センサの検査装置であっ
て、上記回転テーブル上には、複数のセンサ接続用入力
端子及びこれらセンサ接続用入力端子よりも少ない数の
出力端子を備えたセンサ出力切り換え装置が設けられて
おり、このセンサ出力切り換え装置のセンサ接続用入力
端子は、対応する外力検知センサに配線接続され、上記
出力端子は上記スリップリングに配線接続されており、
上記センサ出力切り換え装置は上記複数のセンサ接続用
入力端子の中から順次選択されたセンサ接続用入力端子
に配線接続されている外力検知センサのセンサ出力を上
記出力端子から出力する構成をもって前記課題を解決す
る手段としている。

【００１３】この発明では、回転テーブル上に配置され
る複数の外力検知センサはそれぞれスリップリングに直
接的に配線接続されず、センサ出力切り換え装置を介し
てスリップリングに配線接続される。そのセンサ出力切
り換え装置は、例えば、切り換え動作により、複数のセ
ンサ接続用入力端子の中から順次択一的に選択されたセ
ンサ接続用入力端子と、出力端子とを導通接続状態とし
て、その選択されたセンサ接続用入力端子に接続されて
いる外力検知センサのセンサ出力を出力端子からスリッ
プリングに向けて出力する構成と成している。

【００１４】このようなセンサ出力切り換え装置を設け
ることにより、スリップリングに接続されるセンサ出力
伝達用の配線材の本数を、回転テーブル上に配設される
外力検知センサの数よりも少なくすることが可能であ
る。

【００１５】これにより、スリップリングに接続可能な
配線材の上限本数に制約されることなく、多数の外力検
知センサを回転テーブル上に配置して一度に検査するこ
とができることとなる。つまり、外力検知センサの検査
を効率良く行うことができることとなり、多数の外力検
知センサを短時間で検査することが可能となる。これに
より、外力検知センサのコスト低下を図ることができ
る。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下に、この発明に係る実施形態
例を図面に基づいて説明する。

【００１７】図１には第１実施形態例の外力検知センサ
の検査装置が模式的に示されている。この第１実施形態
例において最も特徴的なことは、配線中継部１０が回転
テーブル２上に設けられていることである。その配線中
継部１０に関わる構成以外の構成は前記従来例とほぼ同
様であり、この第１実施形態例の説明では、従来例と同
一構成部分には同一符号を付し、その共通部分の重複説
明は省略する。

【００１８】配線中継部１０は、図２に示されるよう
に、センサ出力切り換え装置１１と、電力分配部１２
と、接地集合部１３とを有して構成されている。

【００１９】センサ出力切り換え装置１１は、複数のセ
ンサ接続用入力端子１４（１４_１，１４_２，１４_３，・
・・１４_ｎ（ｎは２以上の整数））と、出力端子１５
と、制御信号入力用端子１６と、切り換え部１７とを有
して構成されている。

【００２０】各センサ接続用入力端子１４には、それぞ
れ、互いに異なる配線材２０（２０ _１，２０_２，・・・
２０_ｎ（ｎは２以上の整数））の一端側が接続され、こ
れら各配線材２０の他端側が外力検知センサ１８（例え
ば角速度センサ）のセンサ出力部に接続される。なお、
回転テーブル２上に配設された各外力検知センサ１８の
センサ出力部はそれぞれ互いに異なる配線材２０により
配線中継部１０のセンサ接続用入力端子１４に導通接続
されるが、図１では、図の煩雑化を避けるために、一部
の配線材２０の図示を省略している。

【００２１】出力端子１５は配線材２１ａを介してスリ
ップリング３に接続され、さらに、このスリップリング
３を通して配線材２１ｂにより測定器４に接続される。

【００２２】切り換え部１７は、複数のセンサ接続用入
力端子１４の中から択一的に選択されたセンサ接続用入
力端子１４と、出力端子１５とを切り換え接続させる構
成を備えている。この第１実施形態例では、制御信号発
信器２５が回転テーブル２の外部に設けられており、切
り換え部１７は、制御信号入力用端子１６と配線材２２
ａとスリップリング３と配線材２２ｂを介して制御信号
発信器２５に導通接続されている。この制御信号発信器
２５は、制御装置（例えばパソコン）２６に接続されて
いる。その制御装置２６には切り換え部１７の切り換え
動作を制御するためのプログラムが与えられており、制
御装置２６はそのプログラムに従って制御信号発信器２
５を制御して、切り換え部１７の切り換え動作を制御す
るための制御信号を作り出させる。その制御信号は制御
信号発信器２５から切り換え部１７に加えられ、この制
御信号に基づいて切り換え部１７は切り換え動作を行
う。

【００２３】この切り換え部１７の切り換え動作によっ
て、複数のセンサ接続用入力端子１４にそれぞれ接続さ
れている外力検知センサ１８のセンサ出力が１つずつ順
次出力端子１５から測定器４に向けて出力される。

【００２４】電力分配部１２は複数の電力供給用の出力
端子２８（２８_１，２８_２，・・・２８_ｎ（ｎは２以上
の整数））と、電力供給用の入力端子２９と、電力分配
回路３０とを有して構成されている。各電力供給用の出
力端子２８にはそれぞれ互いに異なる配線材２３の一端
側が接続され、これら各配線材２３の他端側はそれぞれ
異なる外力検知センサ１８の電力入力部に接続される。
なお、図１では、外力検知センサと出力端子２８を接続
する配線材２３の図示が省略されている。

【００２５】電力供給用の入力端子２９は、配線材２４
ａとスリップリング３と配線材２４ｂを介して電源５に
導通接続される。電力分配回路３０は、電源５から電力
供給用の入力端子２９を通して加えられた例えば駆動電
圧Ｖccを分配して複数の出力端子２８からそれぞれ配線
材２３を通して各外力検知センサ１８に駆動電圧Ｖccを
加える回路構成を備えている。

【００２６】接地集合部１３は複数のセンサ側接地端子
３１（３１_１，３１_２，・・・３１ _ｎ（ｎは２以上の整
数））と、メイン接地端子３２とを有している。各セン
サ側接地端子３１にはそれぞれ互いに異なる配線材３３
の一端側が接続されており、これら各配線材３３の他端
側はそれぞれ対応する外力検知センサ１８のグランドに
接続される。メイン接地端子３２は配線材３４ａとスリ
ップリング３と配線材３４ｂを介して例えば測定器４と
電源５の各グランドに接続される。なお、図１では、外
力検知センサ１８とセンサ側接地端子３１を接続する配
線材３３の図示が省略されている。また、この第１実施
形態例では、測定器４と電源５と制御信号発信器２５と
制御装置２６によって、測定部が構成されている。

【００２７】この第１実施形態例の検査装置１では、例
えば、回転テーブル２上に複数の外力検知センサ１８を
配置し、これら各外力検知センサ１８の所定の配線作業
が終了した後に、制御装置２６の制御により回転手段６
を駆動させて回転テーブル２をＺ軸を中心にして回転さ
せ、また、電源５の駆動電圧Ｖccの供給によって各外力
検知センサ１８を駆動させる。この状態で、センサ出力
切り換え装置１１の切り換え部１７の切り換え動作によ
って、予め定めたタイミング毎に、出力端子１５に接続
しているセンサ接続用入力端子１４が順次切り換わる。
これにより、回転テーブル２上の複数の外力検知センサ
１８のセンサ出力が１つずつ順次測定器４に加えられ
る。その測定器４により測定された各外力検知センサ１
８のセンサ出力が、例えば、制御装置２６に取り込ま
れ、この制御装置２６によって各外力検知センサ１８の
特性が評価される。

【００２８】この第１実施形態例の構成では、配線中継
部１０を設けたことにより、回転テーブル２上に配設す
る外力検知センサ１８の数に関係なく、配線中継部１０
とスリップリング３を接続する配線材の本数は４本で済
むこととなる。これにより、多数の外力検知センサ１８
を回転テーブル２上に配置して一度に検査することがで
きることとなる。このことから、外力検知センサ１８の
検査の効率を飛躍的に向上させることが可能となり、検
査工程に起因した外力検知センサ１８のコスト増加を抑
制することが可能となる。

【００２９】以下に、第２実施形態例を説明する。な
お、この第２実施形態例の説明において、第１実施形態
例と同一名称部分には同一符号を付し、その共通部分の
重複説明は省略する。

【００３０】この第２実施形態例では、８チャンネル切
り換えタイプのマルチプレクサを利用してセンサ出力切
り換え装置１１を構築した場合の一例を示す。なお、マ
ルチプレクサは、第１実施形態例に示した電力分配部１
２及び接地集合部１３の機能と同様の機能を持つもので
あるので、この第２実施形態例に示すセンサ出力切り換
え装置１１が配線中継部１０となる。

【００３１】この第２実施形態例では、センサ出力切り
換え装置１１は、１段目の２個のマルチプレクサ３５
（３５_１，３５_２）と、２段目の１６個のマルチプレク
サ３６（３６_１，３６_２，・・・３６_１６）と、電力供
給用の入力端子４８と、接地端子４９と、端子α，β
と、制御信号入力用端子ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅ，ｆとを有
して構成されている。

【００３２】２段目の各マルチプレクサ３６は、それぞ
れ、８個の入力端子CH１〜CH８と、出力端子５０と、３
個の制御信号入力用端子ｄ’，ｅ’，ｆ’と、電力供給
用の入力端子５１と、メイン接地端子５２と、電力供給
用の出力端子（図示せず）と、センサ側接地端子（図示
せず）とを有している。これら各マルチプレクサ３６の
入力端子CH１〜CH８はそれぞれセンサ接続用入力端子と
して機能するものであり、配線材２０を介して外力検知
センサ１８のセンサ出力部に接続される。つまり、この
第２実施形態例では、最大１２８個の外力検知センサ１
８をセンサ出力切り換え装置１１に接続することができ
る。

【００３３】各マルチプレクサ３６の制御信号入力用端
子ｄ’，ｅ’，ｆ’はそれぞれセンサ出力切り換え装置
１１の制御信号入力用端子ｄ，ｅ，ｆに導通接続されて
いる。これら各制御信号入力用端子ｄ，ｅ，ｆは、それ
ぞれ、図４のモデル図に示されるように、配線材２２ａ
とスリップリング３と配線材２２ｂを介して制御信号発
信器２５に接続されている。制御装置２６の制御に基づ
いて制御信号発信器２５から制御信号が各マルチプレク
サ３６に向けて出力され、各マルチプレクサ３６では、
その制御信号が制御信号入力用端子ｄ’，ｅ’，ｆ’を
通して入力し、この制御信号に基づいて、切り換え動作
が行われる。この切り換え動作により、各マルチプレク
サ３６では、各入力端子CH１〜CH８にそれぞれ接続され
ている外力検知センサ１８のセンサ出力が１つずつ順次
出力端子５０から出力可能な状態となる。

【００３４】なお、制御信号発信器２５や制御装置２６
の各構成には様々な構成があり、ここでは、それら何れ
の構成を採用してもよく、その説明は省略する。

【００３５】１段目の各マルチプレクサ３５は、それぞ
れ、２段目のマルチプレクサ３６とほぼ同様に、８個の
入力端子CH１〜CH８と、出力端子５４と、３個の制御信
号入力用端子ａ’，ｂ’，ｃ’と、電力供給用の入力端
子５５と、メイン接地端子５６と、電力供給用の出力端
子（図示せず）と、センサ側接地端子（図示せず）とを
有している。

【００３６】各入力端子CH１〜CH８はそれぞれ対応する
２段目のマルチプレクサ３６の出力端子５０に導通接続
されている。また、マルチプレクサ３５_１の出力端子５
４はセンサ出力切り換え装置１１の端子αに、マルチプ
レクサ３５_２の出力端子５４はセンサ出力切り換え装置
１１の端子βにそれぞれ導通接続されている。端子αは
配線材２１ａとスリップリング３と配線材２１ｂを介し
て測定器４αに接続されている。また、端子βは配線材
２１ａとスリップリング３と配線材２１ｂを介して測定
器４βに接続されている。

【００３７】さらに、制御信号入力用端子ａ’，ｂ’，
ｃ’はそれぞれセンサ出力切り換え装置１１の制御信号
入力用端子ａ，ｂ，ｃに導通接続されている。これら各
制御信号入力用端子ａ，ｂ，ｃはそれぞれ配線材２２ａ
とスリップリング３と配線材２２ｂを介して制御信号発
信器２５に接続されている。１段目の各マルチプレクサ
３５も、２段目の各マルチプレクサ３６と同様に、制御
信号発信器２５から制御信号入力用端子ａ’，ｂ’，
ｃ’を通して加えられる制御信号に基づいて切り換え動
作が行われる。

【００３８】この１段目のマルチプレクサ３５_１と２段
目のマルチプレクサ３６_１〜３６_８の各切り換え動作に
よって、２段目のマルチプレクサ３６_１〜３６_８の入力
端子CH１〜CH８に接続されている複数の外力検知センサ
１８のセンサ出力が１つずつ順次、１段目のマルチプレ
クサ３５_１の出力端子５４からセンサ出力切り換え装置
１１の端子αを介して測定器４αに加えられる。

【００３９】また、同様に、１段目のマルチプレクサ３
５_２と２段目のマルチプレクサ３６ _９〜３６_１６の各切
り換え動作によって、２段目のマルチプレクサ３６_９〜
３６ _１６の入力端子CH１〜CH８に接続されている複数の
外力検知センサ１８のセンサ出力が１つずつ順次１段目
のマルチプレクサ３５_２の出力端子５４からセンサ出力
切り換え装置１１の端子βを介して測定器４βに加えら
れることとなる。

【００４０】前記したように、各マルチプレクサ３５，
３６は第１実施形態例に示した電力分配部１２と接地集
合部１３の各機能と同様の機能を備えている。このこと
から、電源５から配線材２４ｂとスリップリング３と配
線材２４ａを介してセンサ出力切り換え装置１１の電力
供給用の入力端子４８に加えられた電力（駆動電圧Ｖc
c）は各マルチプレクサ３５とマルチプレクサ３６を介
して各外力検知センサ１８に加えられる。また、各外力
検知センサ１８のグランドは、マルチプレクサ３５，３
６とセンサ出力切り換え装置１１の接地端子４９と配線
材３４ａとスリップリング３と配線材３４ｂを介して、
測定器４と電源５の各グランドに接地される。

【００４１】この第２実施形態例においても、第１実施
形態例と同様に、各外力検知センサ１８のセンサ出力が
測定器４α，４βにより測定され、これら各測定器４
α，４βの測定値に基づいて各外力検知センサ１８の特
性が評価される。

【００４２】この第２実施形態例によれば、マルチプレ
クサ３５，３６を利用してセンサ出力切り換え装置１１
を構成しており、そのマルチプレクサ３５，３６は小型
なものであるので、回転テーブル２の大型化を防止しつ
つ、多数の外力検知センサ１８を回転テーブル２上に配
置して一度に検査することができる。

【００４３】以下に、第３実施形態例を説明する。この
第３実施形態例では、回転テーブル２上の各外力検知セ
ンサ１８にそれぞれ補償用信号（例えば温度補償をする
ための信号）を供給して各外力検知センサ１８の検査を
行う装置の一例を説明する。なお、この第３実施形態例
の説明において、前記各実施形態例と同一構成部分には
同一符号を付し、その共通部分の重複説明は省略する。

【００４４】この第３実施形態例では、図５に示すよう
に、センサ出力切り換え装置１１は第２実施形態例とほ
ぼ同様の構成を備えているが、このセンサ出力切り換え
装置１１と外力検知センサ１８の配線構造が第２実施形
態例と異なる。つまり、この第３実施形態例では、外力
検知センサ１８には補償用信号を入力させるための入力
部が形成されており、２段目のマルチプレクサ３６_９〜
３６_１６の端子CH１〜CH８にはそれぞれ対応する外力検
知センサ１８の補償用信号の入力部が配線材３７を介し
て接続される。

【００４５】なお、２段目のマルチプレクサ３６_１〜３
６_８の端子CH１〜CH８にはそれぞれ、第２実施形態例と
同様に、対応する外力検知センサ１８のセンサ出力部が
配線材２０を介して接続される。

【００４６】この第３実施形態例では、センサ出力切り
換え装置１１の端子βは補償用信号発信器（図示せず）
に接続されており、この補償用信号発信器から出力され
た補償用信号は、センサ出力切り換え装置１１のマルチ
プレクサ３５_２とマルチプレクサ３６_９〜３６_１６の各
切り換え動作によって、マルチプレクサ３６_９〜３６
_１６の端子CH１〜CH８に接続されている外力検知センサ
１８の補償用信号入力部に順次加えられる。

【００４７】このように、各外力検知センサ１８に補償
用信号を供給しながら検査を行う場合にも、この第３実
施形態例に示した構成を備えることによって、スリップ
リング３の配線材接続上限本数に制約されることなく、
回転テーブル２に多数の外力検知センサ１８を設置して
一度に検査することができる。

【００４８】なお、この発明は上記各実施形態例に限定
されるものではなく、様々な実施の形態を採り得る。例
えば、上記各実施形態例では、センサ出力切り換え装置
１１を１個設ける構成であったが、複数のセンサ出力切
り換え装置１１を回転テーブル２上に点在させる構成と
してもよい。

【００４９】さらに、第２実施形態例では、センサ出力
切り換え装置１１の端子α，βからそれぞれ外力検知セ
ンサ１８のセンサ出力が出力され、それら各センサ出力
をそれぞれ別々の測定器４α，４βに入力する構成であ
ったが、測定器４を唯１つ設ける構成としてもよい。こ
の場合には、例えば、スリップリング３と測定器４の間
に、スキャン装置とマルチメータを介設させ、これらス
キャン装置とマルチメータによって、センサ出力切り換
え装置１１から出力される複数のセンサ出力を１つずつ
順次測定器４に入力させる構成としてもよい。

【００５０】さらに、上記各実施形態例では、外力検知
センサとして角速度センサを例にして説明したが、検査
対象の外力検知センサは角速度センサに限定されるもの
ではなく、例えば加速度センサを検査対象のセンサとし
てもよい。また、上記各実施形態例では、電源５が設け
られていたが、検査対象の外力検知センサに電源を供給
する必要が無い場合には、電源５を省略してもよい。

【００５１】

【発明の効果】この発明によれば、回転テーブル上に配
置される複数の外力検知センサと、スリップリングとを
直接的に配線接続するのではなく、各外力検知センサと
スリップリングをセンサ出力切り換え装置を介して接続
する構成とし、そのセンサ出力切り換え装置は複数のセ
ンサ接続用入力端子の中から順次選択されたセンサ接続
用入力端子に接続されている外力検知センサのセンサ出
力を出力端子を介して出力する構成を備えている。これ
により、センサ出力切り換え装置とスリップリング間を
配線接続する配線材の本数を、回転テーブル上に配設す
る外力検知センサの数よりも少なくすることが可能であ
る。これにより、スリップリングの配線材接続上限本数
に制限されることなく、多くの外力検知センサを回転テ
ーブル上に配設して一度に検査することができる。この
ことから、外力検知センサの検査の効率を格段に向上さ
せることができて、外力検知センサのコスト低下を図る
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】外力検知センサの検査装置の第１実施形態例を
示すモデル図である。

【図２】第１実施形態例において特徴的なセンサ出力切
り換え装置を備えた配線中継部の構成を説明するための
図である。

【図３】第２実施形態例において特徴的なセンサ出力切
り換え装置の構成を説明するための図である。

【図４】第２実施形態例におけるセンサ出力切り換え装
置をスリップリングを介して測定部に接続する配線状態
を模式的に示した説明図である。

【図５】第３実施形態例において特徴的なセンサ出力切
り換え装置の構成を説明するための図である。

【図６】外力検知センサである角速度センサの一構成例
を示したモデル図である。

【図７】外力検知センサの検査装置の一従来例を示すモ
デル図である。

【符号の説明】

１ 外力検知センサの検査装置 ２ 回転テーブル ３ スリップリング １１ センサ出力切り換え装置 １８ 外力検知センサ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F105 BB20 CC04 CD03 CD05

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の外力検知センサを配置する回転テ
   ーブルと、この回転テーブルの外部に設けられ上記回転
   テーブルの回転に起因した上記各外力検知センサのセン
   サ出力を測定する測定部と、上記回転テーブルの回転中
   心軸上に配設され上記外力検知センサ側と測定部側との
   配線導通を中継するスリップリングとを有した外力検知
   センサの検査装置であって、上記回転テーブル上には、
   複数のセンサ接続用入力端子及びこれらセンサ接続用入
   力端子よりも少ない数の出力端子を備えたセンサ出力切
   り換え装置が設けられており、このセンサ出力切り換え
   装置のセンサ接続用入力端子は、対応する外力検知セン
   サに配線接続され、上記出力端子は上記スリップリング
   に配線接続されており、上記センサ出力切り換え装置は
   上記複数のセンサ接続用入力端子の中から順次選択され
   たセンサ接続用入力端子に配線接続されている外力検知
   センサのセンサ出力を上記出力端子から出力する構成と
   成していることを特徴とした外力検知センサの検査装
   置。