JP2007165657A - 半導体装置の製造方法および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】炭化珪素結晶からなるn+炭化珪素基板1の表面にn+炭化珪素基板1よりも高抵抗のn-ドリフト領域2を形成する第1の形成工程と、第1の形成工程によって形成されたn-ドリフト領域2に達するトレンチ8を形成する第2の形成工程と、トレンチ8の内側壁を構成する酸化速度が異なる複数の側壁に、各側壁の酸化速度に応じた量のイオンを注入する注入工程と、注入工程によってイオンが注入されたトレンチ8の内側壁に略均一の厚さのゲート絶縁膜10を形成する第3の形成工程と、を含む。
【選択図】図1
Description
まず、この発明の実施の形態1にかかる半導体装置の製造方法について図1〜図9を参照して説明する。図1、図2、および図7〜図9は、この発明の実施の形態1にかかる半導体装置の製造途中の構成について示す断面図である。以下では、半導体装置の一例として、nチャネル型のMOSFETを一例として説明するが、n型とp型を入れ換えてpチャネル型MOSFETとして実施することも可能である。また、以下では、特に断りがない限り、炭化珪素の四層周期六方晶(4H)とする。
つぎに、この発明の実施の形態1にかかる半導体装置の製造方法について説明する。まず、実施の形態1と同様の工程により、図1に示したAlマスク7までを形成する。つづいて、フォトプロセスにより、Alマスク7をパターニングする。
つぎに、この発明に実施の形態3にかかる半導体装置の製造方法について説明する。実施の形態1では、トレンチを形成する側壁に対して、直接Siイオン注入をおこなっていたが、実施の形態3では、Siイオンを注入する前に酸化膜を形成し、当該酸化膜を介してイオン注入をおこなう点である。図15は、この発明の実施の形態3にかかる半導体装置の製造方法について示す説明図である。
つぎに、この発明の実施の形態4にかかる半導体装置の製造方法について説明する。実施の形態1〜3では、トレンチの平面パターンがセル状であったが、実施の形態4では、トレンチの平面パターンがストライプ状の場合である。つぎに、トレンチの平面パターンがストライプ状のトレンチを示す。
2 n-ドリフト領域
3 n電流拡散領域
4 pウェル領域
5 n+ソース領域
6 保護酸化膜
7 アルミニウムマスク
8 トレンチ
9 シリコンイオンビーム
10 ゲート酸化膜
Claims (7)
- 炭化珪素結晶からなる半導体基板の表面に当該半導体基板よりも高抵抗の半導体領域を形成する第1の形成工程と、
前記第1の形成工程によって形成された半導体領域に達するトレンチを形成する第2の形成工程と、
前記トレンチの内側壁を構成する酸化速度が異なる複数の側壁に、当該各側壁の酸化速度に応じた量のイオンを注入する注入工程と、
前記注入工程によって前記イオンが注入された前記トレンチの内側壁に略均一の厚さの絶縁膜を形成する第3の形成工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記注入工程は、
前記各側壁の酸化速度が同一速度となるように前記イオンを注入することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 炭化珪素からなる半導体基板の表面に当該半導体基板よりも高抵抗の半導体領域を形成する第1の形成工程と、
前記第1の形成工程によって形成された半導体領域に達するトレンチを形成する第2の形成工程と、
前記第2の形成工程によって形成されたトレンチの内側壁に絶縁膜を形成する第3の形成工程と、
前記第3の形成工程によって形成された絶縁膜の厚さに応じた量のイオンを前記トレンチの内側壁に注入する注入工程と、
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記絶縁膜を前記トレンチの内側壁から除去する除去工程と、
前記注入工程によって前記イオンが注入された前記トレンチの内側壁にあらたな絶縁膜を形成する第4の形成工程と、
を含むことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記炭化珪素は、四層周期六方晶であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 前記半導体基板の主面の面方位が(11−20)面または当該(11−20)面と等価な面であり、前記トレンチを構成する結晶面のうち少なくとも一つの面が(03−38)面または当該(03−38)面と等価な面であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法。
- 炭化珪素からなる半導体基板と、
前記半導体基板の上に形成された半導体領域と、
前記半導体領域に達し、酸化速度が異なる複数の側壁を有するトレンチと、
前記トレンチの内側壁に形成された絶縁膜と、を備え、
前記絶縁膜の厚さは、前記トレンチの内側壁から略均一に形成されていることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005360918A JP5017855B2 (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005360918A JP5017855B2 (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007165657A true JP2007165657A (ja) | 2007-06-28 |
JP5017855B2 JP5017855B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=38248206
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005360918A Expired - Fee Related JP5017855B2 (ja) | 2005-12-14 | 2005-12-14 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5017855B2 (ja) |
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A711 | Notification of change in applicant |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120423 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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