JP2007155489A - 慣性センサ - Google Patents
慣性センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007155489A JP2007155489A JP2005350832A JP2005350832A JP2007155489A JP 2007155489 A JP2007155489 A JP 2007155489A JP 2005350832 A JP2005350832 A JP 2005350832A JP 2005350832 A JP2005350832 A JP 2005350832A JP 2007155489 A JP2007155489 A JP 2007155489A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- excitation
- substrate
- sensor units
- detection
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
- G01C19/5747—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion each sensing mass being connected to a driving mass, e.g. driving frames
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Pressure Sensors (AREA)
Abstract
【解決手段】4つのセンサユニットSUA1〜SUA4を支持部15eの1点を中心として上下左右に点対称に配置した。また、4つのセンサユニットSUA1〜SUA4を全ての構成要素が完全な音叉になるよう設計した。第1方向Yに隣接配置されたセンサユニットSUA1,SUA2の励振素子5,5は互いに逆位相で振動し、第2方向Xに隣接配置された他のセンサユニットSUA3,SUA4の励振素子5,5も互いに逆位相で振動する。その上、センサユニットSUA1,SUA2の励振素子5,5と、他のセンサユニットSUA3,SUA4の励振素子5,5とが、位相を90度ずらした状態で同期して動作する。これにより、励振方向と検出方向との振動結合と、励振エネルギー、コリオリ力の漏れ(損失)を低減または防止することができる。
【選択図】図14
Description
図1は本実施の形態1の慣性センサの一例の平面図、図2は図1のX1−X1線の断面図、図3は図1のY1−Y1線の断面図、図4は図1の慣性センサを模式的に簡略化して示した構成図、図5は図1の慣性センサの駆動回路の回路図、図6は図1の慣性センサの検出回路の回路図を示している。なお、図1では図面を見易くするため封止キャップを取り外して示している。また、図1の符号Yは第1方向を示し、符号Xは上記第1方向Yに直交する第2方向Xを示している。
但し、Fc:コリオリ力、m:質量部の質量、Ω:角速度、v:質量部の励振方向への速度である。
但し、x:コリオリ力による質量部の検出方向への変位量、Qs:検出軸への品質係数、ksense:検出方向量定数である。
但し、x:印加された加速度による質量部の検出方向への変位量、a:加速度、A:空気などの減衰による影響を含む定数である。
本実施の形態2においては、前記慣性センサのコリオリ素子と検出素子とを一体化した例を説明する。図7は本実施の形態2の慣性センサ1Bの一例の平面図を示している。なお、図7では図面を見易くするため封止キャップを省略している。
本実施の形態3においては、慣性センサの構成は前記実施の形態1,2と同じである。異なるのは、前記実施の形態1の慣性センサ1Aの構成では、図1の励振素子5と検出素子10との役割が逆になることである。また、前記実施の形態2の慣性センサ1Bでは、図7の素子20が前記実施の形態1で説明した励振素子およびコリオリ素子の役割をし、図7の励振素子5が前記実施の形態1で説明した検出素子の役割をすることである。
本実施の形態4では、同一基板の第1主面上に2つのセンサユニットを対称に配置した構成について説明する。
本実施の形態5では、同一基板の第1主面上に2組のセンサユニットを互いに直交するように配置した構成について説明する。
図14は本実施の形態6の慣性センサ1Gの一例の平面図、図15は図14の慣性センサの動作の説明図を示している。なお、図14では図面を見易くするため上記外周壁Wおよび封止キャップMCPを省略している。また、図15において、慣性センサ1Gの励振素子5およびコリオリ素子9の動作については図12で説明したものと同じなので説明を省略する。
本実施の形態7においては、前記実施の形態1〜6の慣性センサ1(1A〜1H,1J)の適用例について説明する。
明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることは言うまでもない。
2 基板
2a 支持基板
2b 絶縁層
2c 活性層
5 励振素子
6 励振手段
7 モニタ手段
8 チューニング手段
9 コリオリ素子
10 検出素子
11 検出手段
12 サーボ手段
13a〜13f,13f1〜13f4 梁
15a〜15h 支持部
18 電極
20 素子
25,25a〜25d メカニカルリンク(連結手段)
26,26a〜26d 節
27 応力吸収用バネ
30 車両
31 制御装置
32 ステアリング
33 蛇角センサ
34 タイヤ
35 回転センサ
36 ブレーキ
37 回転センサ
W 外周壁
SUA センサユニット
SUA1,SUA2 センサユニット(第1センサユニット)
SUA3,SUA4 センサユニット(第2センサユニット)
MCP 封止キャップ
Claims (20)
- 厚さ方向に互いに反対側に位置する第1主面および第2主面を有する基板と、
前記基板の第1主面内に配置されたセンサユニットとを備え、
前記センサユニットは、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された励振素子と、
前記励振素子を励振方向に振動させる励振手段と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記励振素子に連結され、前記励振素子の振動と同振幅および同位相で励振方向に振動し、かつ、コリオリ力によって前記励振方向に対して交差する検出方向に振動するコリオリ素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記コリオリ素子に連結され、前記コリオリ素子の検出方向の振動と同振幅および同位相で検出方向に振動する検出素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置され、前記コリオリ素子の励振方向の振動には影響を受けず、前記コリオリ素子の検出方向の振動には追従するように、前記検出素子を前記基板に固定する梁と、
前記検出素子の検出方向への振動を印加された角速度として検出する検出手段とを備え、
前記検出素子は、前記梁を介して前記センサユニットの外部に配置された支持部に接続され、前記基板に固定されていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1記載の慣性センサにおいて、前記励振手段は、静電式の櫛歯形駆動装置により形成されていることを特徴とする慣性センサ。
- 請求項1記載の慣性センサにおいて、前記検出手段は、櫛歯形検知装置により形成されていることを特徴とする慣性センサ。
- 請求項1記載の慣性センサにおいて、
前記支持部は、前記基板の第1主面の第1方向に延びる第1軸上に配置されており、
前記センサユニットは、2つのセンサユニットを有しており、
前記2つのセンサユニットは、前記基板の第1主面の前記第1軸上において前記支持部に対して点対称になるように配置されており、
前記2つのセンサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項1記載の慣性センサにおいて、
前記支持部は、前記基板の第1主面の第1方向に延びる第1軸と、前記第1軸に対して交差する第2方向に延びる第2軸との交点に配置されており、
前記センサユニットは、2つの第1センサユニットと、2つの第2センサユニットとを有しており、
前記2つの第1センサユニットは、前記基板の第1主面の前記第1軸上において前記支持部に対して点対称になるように配置され、
前記2つの第1センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第2センサユニットは、前記基板の第1主面の前記第2軸上において前記支持部に対して点対称になるように配置され、
前記2つの第2センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第1センサユニットの前記励振素子と、前記2つの第2センサユニットの前記励振素子とは、位相を90度ずらした状態で同期して動作するように配置されていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項5記載の慣性センサにおいて、前記センサユニットのうち、互いに隣接する第1センサユニットの励振素子と第2センサユニットの励振素子とを連結手段により接続したことを特徴とする慣性センサ。
- 請求項6記載の慣性センサにおいて、前記連結手段上に不動点である節が配置されていることを特徴とする慣性センサ。
- 請求項7記載の慣性センサにおいて、前記センサユニットは、前記節と前記支持部とで前記基板に固定されていることを特徴とする慣性センサ。
- 請求項7記載の慣性センサにおいて、前記支持部に対して向かい合う前記節同士を梁により接続したことを特徴とする慣性センサ。
- 請求項9記載の慣性センサにおいて、前記連結手段よりも外側に配置された支持部と、前記節とを、その間にバネを介して接続したことを特徴とする慣性センサ。
- 請求項1記載の慣性センサにおいて、前記センサユニットは、導電性シリコン、導電性ポリシリコンまたはめっき金属からなるグループから選択された材料からなることを特徴とする慣性センサ。
- 厚さ方向に互いに反対側に位置する第1主面および第2主面を有する基板と、
前記基板の第1主面内において、第1方向に延びる第1軸と、前記第1方向に交差する第2方向に延びる第2軸との交点を中心として、前記第1軸上に点対称に配置された2つの第1センサユニットと、前記第2軸上に点対称に配置された2つの第2センサユニットと、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの外部に配置され、前記第1軸と前記第2軸との前記交点に配置された支持部とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々は、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された励振素子と、
前記励振素子を励振方向に振動させる励振手段と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記励振素子に連結され、前記励振素子の振動と同振幅および同位相で励振方向に振動し、かつ、コリオリ力によって前記励振方向に対して交差する検出方向に振動するコリオリ素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記コリオリ素子に連結され、前記コリオリ素子の検出方向の振動と同振幅および同位相で検出方向に振動する検出素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置され、前記コリオリ素子の励振方向の振動には影響を受けず、前記コリオリ素子の検出方向の振動には追従するように、前記検出素子を支持する梁と、
前記検出素子の検出方向への振動を印加された角速度として検出する検出手段とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々の前記検出素子は、前記梁を介して前記支持部に接続されており、
前記2つの第1センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第2センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第1センサユニットの前記励振素子と、前記2つの第2センサユニットの前記励振素子とは、位相を90度ずらした状態で同期して動作するように配置されていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項12記載の慣性センサにおいて、前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットのうち、互いに隣接する第1センサユニットの励振素子と第2センサユニットの励振素子とを連結手段により接続したことを特徴とする慣性センサ。
- 請求項13記載の慣性センサにおいて、前記連結手段は、前記2つの第1センサユニットの各々の前記励振素子が遠ざかる方向に移動すると、前記2つの第2センサユニットの各々の前記励振素子を近づける方向に移動させ、前記2つの第1センサユニットの各々の前記励振素子が近づく方向に移動すると、前記2つの第2センサユニットの各々の前記励振素子を遠ざける方向に移動させる機能を有することを特徴とする慣性センサ。
- 請求項12記載の慣性センサにおいて、前記支持部は前記基板に固定されていることを特徴とする慣性センサ。
- 請求項12記載の慣性センサにおいて、前記支持部は前記基板に固定されていないことを特徴とする慣性センサ。
- 厚さ方向に互いに反対側に位置する第1主面および第2主面を有する基板と、
前記基板の第1主面内において、第1方向に延びる第1軸と、前記第1方向に交差する第2方向に延びる第2軸との交点を中心として、前記第1軸上に点対称に配置された2つの第1センサユニットと、前記第2軸上に点対称に配置された2つの第2センサユニットと、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの外部に配置され、前記第1軸と前記第2軸との前記交点に配置された支持部とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々は、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された励振素子と、
前記励振素子を励振方向に振動させる励振手段と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記励振素子に連結され、前記励振素子の振動と同振幅および同位相で励振方向に振動し、かつ、コリオリ力によって前記励振方向に対して交差する検出方向に振動するコリオリ素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記コリオリ素子に連結され、前記コリオリ素子の検出方向の振動と同振幅および同位相で検出方向に振動する検出素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置され、前記コリオリ素子の励振方向の振動には影響を受けず、前記コリオリ素子の検出方向の振動には追従するように、前記検出素子を支持する梁と、
前記検出素子の検出方向への振動を印加された角速度として検出する検出手段とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々の前記検出素子は、前記梁を介して前記支持部に接続されており、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットのうち、互いに隣接する第1センサユニットの励振素子と第2センサユニットの励振素子とが連結手段により接続されており、
前記2つの第1センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第2センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第1センサユニットの前記励振素子と、前記2つの第2センサユニットの前記励振素子とは、位相を90度ずらした状態で同期して動作するように配置されていることを特徴とする慣性センサ。 - 厚さ方向に互いに反対側に位置する第1主面および第2主面を有する基板と、
前記基板の第1主面内において、第1方向に延びる第1軸と、前記第1方向に交差する第2方向に延びる第2軸との交点を中心として、前記第1軸上に点対称に配置された2つの第1センサユニットと、前記第2軸上に点対称に配置された2つの第2センサユニットと、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの外部に配置され、前記第1軸と前記第2軸との前記交点に配置された支持部とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々は、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された励振素子と、
前記励振素子を励振方向に振動させる励振手段と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記励振素子に連結され、前記励振素子の振動と同振幅および同位相で励振方向に振動し、かつ、コリオリ力によって前記励振方向に対して交差する検出方向に振動するコリオリ素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記コリオリ素子に連結され、前記コリオリ素子の検出方向の振動と同振幅および同位相で検出方向に振動する検出素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置され、前記コリオリ素子の励振方向の振動には影響を受けず、前記コリオリ素子の検出方向の振動には追従するように、前記検出素子を支持する梁と、
前記検出素子の検出方向への振動を印加された角速度として検出する検出手段とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々の前記検出素子は、前記梁を介して前記支持部に接続されており、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットのうち、互いに隣接する第1センサユニットの励振素子と第2センサユニットの励振素子とが連結手段により接続されており、
前記連結手段上に不動点である節が配置されており、
前記支持部に対して向かい合う前記節同士が梁により接続されており、
前記2つの第1センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第2センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第1センサユニットの前記励振素子と、前記2つの第2センサユニットの前記励振素子とは、位相を90度ずらした状態で同期して動作するように配置されていることを特徴とする慣性センサ。 - 請求項18記載の慣性センサにおいて、前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットは、前記節と前記支持部とで前記基板に固定されていることを特徴とする慣性センサ。
- 厚さ方向に互いに反対側に位置する第1主面および第2主面を有する基板と、
前記基板の第1主面内において、第1方向に延びる第1軸と、前記第1方向に交差する第2方向に延びる第2軸との交点を中心として、前記第1軸上に点対称に配置された2つの第1センサユニットと、前記第2軸上に点対称に配置された2つの第2センサユニットと、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの外部に配置され、前記第1軸と前記第2軸との前記交点に配置された支持部とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々は、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された励振素子と、
前記励振素子を励振方向に振動させる励振手段と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記励振素子に連結され、前記励振素子の振動と同振幅および同位相で励振方向に振動し、かつ、コリオリ力によって前記励振方向に対して交差する検出方向に振動するコリオリ素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置された状態で前記コリオリ素子に連結され、前記コリオリ素子の検出方向の振動と同振幅および同位相で検出方向に振動する検出素子と、
前記基板の第1主面上に、前記基板から離れて配置され、前記コリオリ素子の励振方向の振動には影響を受けず、前記コリオリ素子の検出方向の振動には追従するように、前記検出素子を支持する梁と、
前記検出素子の検出方向への振動を印加された角速度として検出する検出手段とを備え、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットの各々の前記検出素子は、前記梁を介して前記支持部に接続されており、
前記2つの第1センサユニットおよび前記2つの第2センサユニットのうち、互いに隣接する第1センサユニットの励振素子と第2センサユニットの励振素子とが連結手段により接続されており、
前記連結手段上に不動点である節が配置されており、
前記支持部に対して向かい合う前記節同士が梁により接続されており、
前記連結手段よりも外側に配置された支持部と、前記節とが、その間にバネを介して接続されており、
前記2つの第1センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第2センサユニットの各々の前記励振素子は互いに逆位相で振動するように配置されており、
前記2つの第1センサユニットの前記励振素子と、前記2つの第2センサユニットの前記励振素子とは、位相を90度ずらした状態で同期して動作するように配置されていることを特徴とする慣性センサ。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005350832A JP4887034B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 慣性センサ |
US11/566,399 US7513155B2 (en) | 2005-12-05 | 2006-12-04 | Inertial sensor |
EP06025053.7A EP1793202B1 (en) | 2005-12-05 | 2006-12-04 | Inertial sensor |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005350832A JP4887034B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 慣性センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007155489A true JP2007155489A (ja) | 2007-06-21 |
JP4887034B2 JP4887034B2 (ja) | 2012-02-29 |
Family
ID=37949067
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005350832A Expired - Fee Related JP4887034B2 (ja) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | 慣性センサ |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7513155B2 (ja) |
EP (1) | EP1793202B1 (ja) |
JP (1) | JP4887034B2 (ja) |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009002834A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Hitachi Ltd | 角速度検出装置 |
WO2009060531A1 (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-14 | Fujitsu Limited | 角速度センサー、およびそれを備えた電子機器 |
JP2010531446A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-09-24 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー | コリオリジャイロ |
JP2010531447A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-09-24 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー | 回転速度センサー |
JP2011504585A (ja) * | 2007-11-15 | 2011-02-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサ |
JP2011053185A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Denso Corp | 振動型角速度センサ |
JP2011517781A (ja) * | 2008-04-16 | 2011-06-16 | ヴィーティーアイ テクノロジーズ オーワイ | 振動型マイクロメカニカル角速度センサ |
JP2011237264A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Denso Corp | 角速度センサ |
JP2012519267A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | センサーダイナミックス ゲーエムベーハー | マイクロマシンセンサ(mems) |
JP2012519295A (ja) * | 2009-03-02 | 2012-08-23 | ヴィーティーアイ テクノロジーズ オーワイ | 角速度の振動微小機械センサ |
JP2012522228A (ja) * | 2009-03-31 | 2012-09-20 | センサーダイナミクス アクチエンゲゼルシャフト | 加速度と回転速度の検出方法およびmemsセンサー |
JP2013525777A (ja) * | 2010-04-20 | 2013-06-20 | マキシム インテグレイテッド ゲーエムベーハー | 運動を検出するためのマイクロジャイロスコープ |
JP2013533461A (ja) * | 2010-04-30 | 2013-08-22 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 微細加工された圧電性z軸ジャイロスコープ |
JP2013181957A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | ジャイロセンサーおよび電子機器 |
JP2014500502A (ja) * | 2010-12-07 | 2014-01-09 | ジョージア テック リサーチ コーポレーション | モード整合単一プルーフ・マス2軸ジャイロスコープおよび製作方法 |
JP2014194423A (ja) * | 2014-05-16 | 2014-10-09 | Seiko Epson Corp | 物理量センサーおよび電子機器 |
US9097524B2 (en) | 2009-09-11 | 2015-08-04 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
JP2016029383A (ja) * | 2015-10-08 | 2016-03-03 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
US9683844B2 (en) | 2009-09-11 | 2017-06-20 | Invensense, Inc. | Extension-mode angular velocity sensor |
JP2017151122A (ja) * | 2017-05-24 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2018508017A (ja) * | 2015-02-11 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | マイクロメカニカル角速度センサ |
JP2018512568A (ja) * | 2015-02-11 | 2018-05-17 | 株式会社村田製作所 | マイクロメカニカル角速度センサ |
JP2019007940A (ja) * | 2017-04-04 | 2019-01-17 | 株式会社村田製作所 | 角速度の微小機械センサ素子 |
JP2019020420A (ja) * | 2018-08-29 | 2019-02-07 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2020012834A (ja) * | 2019-08-28 | 2020-01-23 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
CN113137959A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 北京大学 | 一种微机械音叉陀螺 |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101443629B (zh) | 2006-03-10 | 2015-12-02 | 大陆-特韦斯贸易合伙股份公司及两合公司 | 具有联接梁的转速传感器 |
TW200813431A (en) * | 2006-08-09 | 2008-03-16 | Hitachi Metals Ltd | Multi-range three-axis acceleration sensor device |
US8042396B2 (en) | 2007-09-11 | 2011-10-25 | Stmicroelectronics S.R.L. | Microelectromechanical sensor with improved mechanical decoupling of sensing and driving modes |
US8250916B2 (en) | 2008-08-12 | 2012-08-28 | Hitachi, Ltd. | Inertial sensor |
JP4609558B2 (ja) * | 2008-09-02 | 2011-01-12 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
IT1391973B1 (it) | 2008-11-26 | 2012-02-02 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico mono o biassiale con aumentata sensibilita' al rilevamento di velocita' angolari |
IT1391972B1 (it) | 2008-11-26 | 2012-02-02 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con movimento di azionamento rotatorio e migliorate caratteristiche elettriche |
ITTO20090489A1 (it) * | 2008-11-26 | 2010-12-27 | St Microelectronics Srl | Circuito di lettura per un giroscopio mems multi-asse avente direzioni di rilevamento inclinate rispetto agli assi di riferimento, e corrispondente giroscopio mems multi-asse |
IT1392741B1 (it) | 2008-12-23 | 2012-03-16 | St Microelectronics Rousset | Giroscopio microelettromeccanico con migliorata reiezione di disturbi di accelerazione |
DE102009001248B4 (de) * | 2009-02-27 | 2020-12-17 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
JP4784671B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2011-10-05 | 株式会社デンソー | 振動型角速度センサ |
IT1394007B1 (it) | 2009-05-11 | 2012-05-17 | St Microelectronics Rousset | Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione |
DE102009026511A1 (de) * | 2009-05-27 | 2010-12-02 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um mindestens eine von drei senkrecht aufeinanderstehenden Raumachsen |
JP2011058860A (ja) * | 2009-09-08 | 2011-03-24 | Hitachi Automotive Systems Ltd | 角速度検出装置 |
US8549915B2 (en) * | 2009-10-23 | 2013-10-08 | The Regents Of The University Of California | Micromachined gyroscopes with 2-DOF sense modes allowing interchangeable robust and precision operation |
ITTO20091042A1 (it) | 2009-12-24 | 2011-06-25 | St Microelectronics Srl | Giroscopio integrato microelettromeccanico con migliorata struttura di azionamento |
JP5287790B2 (ja) | 2010-05-10 | 2013-09-11 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
DE102010061755A1 (de) * | 2010-11-23 | 2012-05-24 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor und Verfahren zum Betrieb eines Drehratensensors |
FR2974896B1 (fr) * | 2011-05-02 | 2013-11-22 | Commissariat Energie Atomique | Centrale inertielle a plusieurs axes de detection |
ITTO20110806A1 (it) * | 2011-09-12 | 2013-03-13 | St Microelectronics Srl | Dispositivo microelettromeccanico integrante un giroscopio e un accelerometro |
US8427249B1 (en) * | 2011-10-19 | 2013-04-23 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Resonator with reduced acceleration sensitivity and phase noise using time domain switch |
DE102011057081A1 (de) | 2011-12-28 | 2013-07-04 | Maxim Integrated Products, Inc. | Mikro-Drehratensensor und Verfahren zum Betreiben eines Mikro-Drehratensensors |
JP6338813B2 (ja) * | 2012-04-03 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | ジャイロセンサー及びそれを用いた電子機器 |
JP6191151B2 (ja) * | 2012-05-29 | 2017-09-06 | 株式会社デンソー | 物理量センサ |
CN104684841A (zh) * | 2012-06-13 | 2015-06-03 | 普渡研究基金会 | 微电子机械系统和使用方法 |
JP5978140B2 (ja) * | 2013-01-24 | 2016-08-24 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
US9404747B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-08-02 | Stmicroelectroncs S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift |
FI126557B (en) | 2014-05-07 | 2017-02-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope structure and gyroscope |
JP6448448B2 (ja) | 2015-04-10 | 2019-01-09 | 株式会社東芝 | ジャイロセンサの角速度の取得方法及び取得装置 |
CN106066175B (zh) * | 2015-04-24 | 2019-09-24 | 意法半导体股份有限公司 | 用于感测角速率的微机电陀螺仪及感测角速率的方法 |
US20160370403A1 (en) * | 2015-06-22 | 2016-12-22 | Adel Merdassi | Capacitive accelerometer devices and wafer level vacuum encapsulation methods |
ITUB20159197A1 (it) * | 2015-12-29 | 2017-06-29 | St Microelectronics Srl | Giroscopio microelettromeccanico con reiezione di disturbi e metodo di rilevamento di una velocita' angolare |
WO2017130312A1 (ja) * | 2016-01-27 | 2017-08-03 | 株式会社日立製作所 | ジャイロスコープ |
ITUA20162172A1 (it) | 2016-03-31 | 2017-10-01 | St Microelectronics Srl | Sensore accelerometrico realizzato in tecnologia mems avente elevata accuratezza e ridotta sensibilita' nei confronti della temperatura e dell'invecchiamento |
RU2630542C1 (ru) * | 2016-06-20 | 2017-09-11 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский политехнический университет" | Интегральный микромеханический гироскоп |
JP6562878B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2019-08-21 | 株式会社東芝 | 角速度取得装置 |
US10525945B2 (en) * | 2017-04-18 | 2020-01-07 | Goodrich Corporation | Antiskid brake control system with axle-mounted inertial sensor |
CN107192384B (zh) * | 2017-07-24 | 2022-04-05 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | 一种mems三轴陀螺仪 |
US11891297B2 (en) * | 2019-07-05 | 2024-02-06 | Aac Acoustic Technologies (Shenzhen) Co., Ltd. | Motion control structure and actuator |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07218268A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Charles Stark Draper Lab Inc:The | 慣性レートセンサー |
JPH1144541A (ja) * | 1997-07-29 | 1999-02-16 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000009474A (ja) * | 1998-06-24 | 2000-01-14 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000046560A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000131071A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 回転角速度センサ |
JP2004518971A (ja) * | 2001-02-21 | 2004-06-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 回転レートセンサー |
JP2004518970A (ja) * | 2001-02-21 | 2004-06-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 回転レートセンサー |
JP2004518969A (ja) * | 2001-02-21 | 2004-06-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサ |
JP2004205492A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 水平型及び音叉型振動式マイクロジャイロスコープ |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04216409A (ja) * | 1990-12-18 | 1992-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 角速度センサ |
US6311555B1 (en) * | 1999-11-17 | 2001-11-06 | American Gnc Corporation | Angular rate producer with microelectromechanical system technology |
JP3589182B2 (ja) | 2000-07-07 | 2004-11-17 | 株式会社村田製作所 | 外力計測装置 |
IL139695A0 (en) * | 2000-11-15 | 2002-02-10 | Technion R & D Foundation Ltd | Method and apparatus for micro-machined sensors using enhanced modulated integrative differential optical sensing |
JP2002296038A (ja) * | 2001-03-30 | 2002-10-09 | Mitsubishi Electric Corp | 角速度センサ |
JP4645013B2 (ja) * | 2003-10-03 | 2011-03-09 | パナソニック株式会社 | 加速度センサ及びそれを用いた複合センサ |
-
2005
- 2005-12-05 JP JP2005350832A patent/JP4887034B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-12-04 EP EP06025053.7A patent/EP1793202B1/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-12-04 US US11/566,399 patent/US7513155B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07218268A (ja) * | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Charles Stark Draper Lab Inc:The | 慣性レートセンサー |
JPH1144541A (ja) * | 1997-07-29 | 1999-02-16 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000009474A (ja) * | 1998-06-24 | 2000-01-14 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000046560A (ja) * | 1998-07-31 | 2000-02-18 | Aisin Seiki Co Ltd | 角速度センサ |
JP2000131071A (ja) * | 1998-10-22 | 2000-05-12 | Hitachi Ltd | 回転角速度センサ |
JP2004518971A (ja) * | 2001-02-21 | 2004-06-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 回転レートセンサー |
JP2004518970A (ja) * | 2001-02-21 | 2004-06-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 回転レートセンサー |
JP2004518969A (ja) * | 2001-02-21 | 2004-06-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサ |
JP2004205492A (ja) * | 2002-12-24 | 2004-07-22 | Samsung Electro Mech Co Ltd | 水平型及び音叉型振動式マイクロジャイロスコープ |
Cited By (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8327706B2 (en) | 2007-06-22 | 2012-12-11 | Hitachi, Ltd. | Angular velocity detecting device |
US8616058B2 (en) | 2007-06-22 | 2013-12-31 | Hitachi, Ltd. | Angular velocity detecting device |
JP2009002834A (ja) * | 2007-06-22 | 2009-01-08 | Hitachi Ltd | 角速度検出装置 |
US9366687B2 (en) | 2007-06-22 | 2016-06-14 | Hitachi, Ltd. | Angular velocity detecting device |
JP2010531446A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-09-24 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー | コリオリジャイロ |
JP2010531447A (ja) * | 2007-06-29 | 2010-09-24 | ノースロップ グルマン リテフ ゲーエムベーハー | 回転速度センサー |
US8342023B2 (en) | 2007-06-29 | 2013-01-01 | Northrop Grumman Litef Gmbh | Coriolis gyro |
WO2009060531A1 (ja) * | 2007-11-09 | 2009-05-14 | Fujitsu Limited | 角速度センサー、およびそれを備えた電子機器 |
JP2011504585A (ja) * | 2007-11-15 | 2011-02-10 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ヨーレートセンサ |
US9593948B2 (en) | 2007-11-15 | 2017-03-14 | Robert Bosch Gmbh | Yaw-rate sensor |
US9593949B2 (en) | 2007-11-15 | 2017-03-14 | Robert Bosch Gmbh | Yaw-rate sensor |
US9689676B2 (en) | 2007-11-15 | 2017-06-27 | Robert Bosch Gmbh | Yaw-rate sensor |
US9081027B2 (en) | 2007-11-15 | 2015-07-14 | Robert Bosch Gmbh | Yaw-rate sensor |
JP2011517781A (ja) * | 2008-04-16 | 2011-06-16 | ヴィーティーアイ テクノロジーズ オーワイ | 振動型マイクロメカニカル角速度センサ |
JP2012519267A (ja) * | 2009-02-27 | 2012-08-23 | センサーダイナミックス ゲーエムベーハー | マイクロマシンセンサ(mems) |
US8850886B2 (en) | 2009-02-27 | 2014-10-07 | Maxim Integrated Products, Inc. | Electromechanic microsensor |
JP2012519295A (ja) * | 2009-03-02 | 2012-08-23 | ヴィーティーアイ テクノロジーズ オーワイ | 角速度の振動微小機械センサ |
US9134128B2 (en) | 2009-03-31 | 2015-09-15 | Maxim Integrated Products, Inc. | Method for detecting accelerations and rotation rates, and MEMS sensor |
JP2012522228A (ja) * | 2009-03-31 | 2012-09-20 | センサーダイナミクス アクチエンゲゼルシャフト | 加速度と回転速度の検出方法およびmemsセンサー |
US9664515B2 (en) | 2009-03-31 | 2017-05-30 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS sensors and methods for detecting rotation rates |
JP2011053185A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-03-17 | Denso Corp | 振動型角速度センサ |
US10551193B2 (en) | 2009-09-11 | 2020-02-04 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
US9891053B2 (en) | 2009-09-11 | 2018-02-13 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
US9097524B2 (en) | 2009-09-11 | 2015-08-04 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
US9683844B2 (en) | 2009-09-11 | 2017-06-20 | Invensense, Inc. | Extension-mode angular velocity sensor |
US9857175B2 (en) | 2010-04-20 | 2018-01-02 | Hanking Electronics, Ltd. | Micro-gyroscope for detecting motions |
US9157740B2 (en) | 2010-04-20 | 2015-10-13 | Maxim Integrated Products, Inc. | Micro-gyroscope for detecting motions |
JP2013525777A (ja) * | 2010-04-20 | 2013-06-20 | マキシム インテグレイテッド ゲーエムベーハー | 運動を検出するためのマイクロジャイロスコープ |
US9605965B2 (en) | 2010-04-30 | 2017-03-28 | Snaptrack, Inc. | Micromachined piezoelectric x-axis gyroscope |
US10209072B2 (en) | 2010-04-30 | 2019-02-19 | Snaptrack Inc. | Stacked lateral overlap transducer (SLOT) based three-axis accelerometer |
US9410805B2 (en) | 2010-04-30 | 2016-08-09 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric z-axis gyroscope |
US9459099B2 (en) | 2010-04-30 | 2016-10-04 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric x-axis gyroscope |
JP2013533461A (ja) * | 2010-04-30 | 2013-08-22 | クォルコム・メムズ・テクノロジーズ・インコーポレーテッド | 微細加工された圧電性z軸ジャイロスコープ |
US9032796B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-05-19 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Stacked lateral overlap transducer (SLOT) based three-axis accelerometer |
US9021880B2 (en) | 2010-04-30 | 2015-05-05 | Qualcomm Mems Technologies, Inc. | Micromachined piezoelectric three-axis gyroscope and stacked lateral overlap transducer (slot) based three-axis accelerometer |
JP2011237264A (ja) * | 2010-05-10 | 2011-11-24 | Denso Corp | 角速度センサ |
JP2014500502A (ja) * | 2010-12-07 | 2014-01-09 | ジョージア テック リサーチ コーポレーション | モード整合単一プルーフ・マス2軸ジャイロスコープおよび製作方法 |
JP2013181957A (ja) * | 2012-03-05 | 2013-09-12 | Seiko Epson Corp | ジャイロセンサーおよび電子機器 |
JP2014194423A (ja) * | 2014-05-16 | 2014-10-09 | Seiko Epson Corp | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2018508017A (ja) * | 2015-02-11 | 2018-03-22 | 株式会社村田製作所 | マイクロメカニカル角速度センサ |
JP2018512568A (ja) * | 2015-02-11 | 2018-05-17 | 株式会社村田製作所 | マイクロメカニカル角速度センサ |
JP2016029383A (ja) * | 2015-10-08 | 2016-03-03 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2019007940A (ja) * | 2017-04-04 | 2019-01-17 | 株式会社村田製作所 | 角速度の微小機械センサ素子 |
JP2017151122A (ja) * | 2017-05-24 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2019020420A (ja) * | 2018-08-29 | 2019-02-07 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
JP2020012834A (ja) * | 2019-08-28 | 2020-01-23 | セイコーエプソン株式会社 | 物理量センサーおよび電子機器 |
CN113137959A (zh) * | 2020-01-17 | 2021-07-20 | 北京大学 | 一种微机械音叉陀螺 |
CN113137959B (zh) * | 2020-01-17 | 2022-06-17 | 北京大学 | 一种微机械音叉陀螺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4887034B2 (ja) | 2012-02-29 |
EP1793202B1 (en) | 2013-05-22 |
US20070131030A1 (en) | 2007-06-14 |
EP1793202A2 (en) | 2007-06-06 |
US7513155B2 (en) | 2009-04-07 |
EP1793202A3 (en) | 2011-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4887034B2 (ja) | 慣性センサ | |
JP5301767B2 (ja) | 慣性センサ | |
JP5705953B2 (ja) | 慣性センサ | |
US8943890B2 (en) | Inertial sensor | |
US6230563B1 (en) | Dual-mass vibratory rate gyroscope with suppressed translational acceleration response and quadrature-error correction capability | |
KR101100021B1 (ko) | Z-축 각속도 센서 | |
JP4290986B2 (ja) | 回転レートセンサー | |
US8739626B2 (en) | Micromachined inertial sensor devices | |
JP4571943B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5205725B2 (ja) | 角速度センサ | |
US9273962B2 (en) | Physical quantity sensor and electronic device | |
WO2002088631A2 (en) | Non-resonant four degrees-of-freedom micromachined gyroscope | |
WO2013179647A2 (ja) | 物理量センサ | |
CN108020686B (zh) | 具有改进配置的mems三轴加速度计 | |
KR102633689B1 (ko) | 선형 및 회전 구동형 센서 장치들을 구비한 3축 마이크로기계식 요레이트 센서 어셈블리 | |
JP6527235B2 (ja) | ジャイロスコープ | |
JP4126826B2 (ja) | 角速度センサ | |
Selvakumar et al. | Constructing and characterizing a novel MEMS-based Tuning Fork Gyroscope using PolyMUMPs | |
JP4710926B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP4983107B2 (ja) | 慣性センサおよび慣性センサの製造方法 | |
JP4466283B2 (ja) | ジャイロセンサ | |
Jena et al. | Sensitivity analysis of MEMS gyroscope for radar-based true north finding application | |
WO2012118101A1 (ja) | 角速度センサ | |
Park et al. | Laterally self-oscillated and force-balanced microvibratory gyroscope packaged in a vacuum package with a conditioning ASIC | |
JP2012042250A (ja) | 振動型角速度センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080624 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100120 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110223 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110531 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110729 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110816 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111014 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20111115 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20111212 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141216 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4887034 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |