JP2012519267A - マイクロマシンセンサ(mems) - Google Patents
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Abstract
【解決手段】x−y平面に沿って直線的に動く駆動要素(2,3,4)を有し、基板上に配置され、前記基板のヨーレートベクトルの少なくとも2つ、好ましくは3つの成分を測定するマイクロマシンセンサ(MEMS)(1)であって、本質的に相互に垂直な方向に駆動される前記駆動要素の2つのグループが存在し(2,3;4)、相互に垂直な方向に動く前記駆動要素(2,4;3,4)は、動きを同期させるために回転可能に前記基板上に配置された複数の結合デバイス(6,7)により相互に接続されていることを特徴とするマイクロマシンセンサ。
【選択図】 図1
Description
Claims (18)
- x−y平面に沿って直線的に動く駆動要素(2,3,4)を有し、基板上に配置され、前記基板のヨーレートベクトルの少なくとも2つ、好ましくは3つの成分を測定するマイクロマシンセンサ(MEMS)(1)であって、
本質的に相互に垂直な方向に駆動される前記駆動要素の2つのグループが存在し(2,3;4)、
相互に垂直な方向に動く前記駆動要素(2,4;3,4)は、動きを同期させるために回転可能に前記基板上に配置された複数の結合デバイス(6,7)により相互に接続されていることを特徴とするマイクロマシンセンサ。 - 1つのグループの前記駆動要素(2,3)は相互に平行に動くことが可能であり、相互に平行に動く少なくとも2つの前記駆動要素(2,3)は、駆動方向に剛性を有する複数の結合デバイス(5)により接続されており、これにより前記2つの駆動要素(2,3)の駆動された動きを同期させることを特徴とする請求項1に記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記平行な動きを同期するための前記複数の結合デバイス(5)は等しいことを特徴とする請求項1又は2に記載のマイクロマシンセンサ。
- 相互に垂直に発生する動きを同期するための前記複数の結合デバイス(6,7)は等しいことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 相互に垂直に発生する動きを同期するための前記結合デバイス(6,7)は、アンカー(6.1,7.1)の周りを回転されることが可能なストラット(6.2,7.2)であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記ストラット(6.2,7.2)はアーチ形であることを特徴とする請求項5に記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記ストラット(6.2,7.2)は、x方向に駆動される前記駆動要素(2,3)と第1の端部領域で接続されており、y方向に駆動される前記駆動要素(4)と第2端部領域で接続されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記ストラット(6.2’,7.2’)は、環状であることを特徴とする請求項5に記載のマイクロマシンセンサ。
- スプリングデバイス(6.4、7.4)が、前記ストラット(6.2’,7.2’)と前記駆動要素(2,3,4)との間に設置されていることを特徴とする請求項8に記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記スプリングデバイス(6.4、7.4)は、駆動方向においては剛性を有し、駆動方向に対して垂直な方向には剛性を有さないように作用することを特徴とする請求項9に記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記駆動要素(2,3,4)は、各駆動方向ごとに部分要素(2.1,2.2;3.1,3.2;4.1,4.2)の組として構成されていることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記駆動要素(2)はx方向に駆動され、前記基板のz軸周りの回転移動の結果として生じるコリオリの力を記録するために全体があるいは部分的にy方向に変位され得るように、アンカー(2.5)により基板上に配置されていることを特徴とする請求項1〜11のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記駆動要素(3)はx方向に駆動され、前記基板のy軸周りの回転移動の結果として生じるコリオリの力を記録するために全体があるいは部分的にy軸周りに回転され得るように、アンカー(3.7)により基板上に配置されていることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記駆動要素(4)はy方向に駆動され、前記基板のx軸周りの回転移動の結果として生じるコリオリの力を記録するために全体があるいは部分的にx軸周りに回転され得るように、アンカー(4.7)により基板上に配置されていることを特徴とする請求項1〜13のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 駆動電極が前記駆動要素(2,3,4)に対して設置されていることを特徴とする請求項1〜14のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記駆動要素(2,3,4)は、大部分が矩形のレイアウトを有することを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記駆動要素(2,3,4)は、反対に駆動される部分要素(2.1,2.2;3.1,3.2;4.1,4.2)を有することを特徴とする請求項1〜16のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
- 前記駆動要素(2,3,4)の少なくとも1つの前記部分要素(2.1,2.2;3.1,3.2;4.1,4.2)は、傾斜可能な形態で基板上に設置されたビーム(3.4,4.4)上に配置されていることを特徴とする請求項1〜17のいずれかに記載のマイクロマシンセンサ。
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