JP5639087B2 - x,yおよび/またはz軸周りの回転運動を検出するためのMEMSジャイロスコープ - Google Patents
x,yおよび/またはz軸周りの回転運動を検出するためのMEMSジャイロスコープ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5639087B2 JP5639087B2 JP2011551455A JP2011551455A JP5639087B2 JP 5639087 B2 JP5639087 B2 JP 5639087B2 JP 2011551455 A JP2011551455 A JP 2011551455A JP 2011551455 A JP2011551455 A JP 2011551455A JP 5639087 B2 JP5639087 B2 JP 5639087B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mass
- drive
- sensor
- mems gyroscope
- axis
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5705—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis
- G01C19/5712—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using masses driven in reciprocating rotary motion about an axis the devices involving a micromechanical structure
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5719—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using planar vibrating masses driven in a translation vibration along an axis
- G01C19/5733—Structural details or topology
- G01C19/574—Structural details or topology the devices having two sensing masses in anti-phase motion
Description
図1は、3次元MEMSジャイロスコープ1の平面図を示す。図1は、特に、ジャイロスコープ1の可動部、すなわち、4つのドライブマス2およびセンサマス3を示す。センサマス3は、フレーム構造により、4つのドライブマス2を包囲する。ドライブマス2は、センサマス3の内側に位置する。
Claims (16)
- x,yおよび/またはz軸まわりの回転運動を検出するためのMEMSジャイロスコープであって、
基板と、
中心に対して径方向に移動可能な複数のドライブマス(2)と、
x,yおよび/またはz軸に前記基板の回転が発生したときに、前記ドライブマス(2)にコリオリの力を発生させるために、駆動方向に前記ドライブマス(2)を振動させる駆動要素(7)とを有し、
前記振動しているドライブマス(2)は、少なくとも1つの追加のセンサマス(3)に接続され、前記センサマス(3)は、前記振動しているドライブマス(2)とともにx,yおよび/またはz軸の周りで基板上を回転可能であり、
前記発生したコリオリの力による、前記基板における前記センサマス(3)および/または前記ドライブマス(2)の移動を検出するためのセンサ要素(9,10)と、
前記基板へのセンサマス(3)の回動可能な取り付けを実現する少なくとも2つのアンカーデバイス(5)とを有し、
前記センサマス(3)が、第1の曲げスプリング(4)によって前記基板に取り付けられ、
前記第1の曲げスプリング(4)は、x,yおよびz軸の前記センサマス(3)の回転を可能にすることを特徴とするMEMSジャイロスコープ。 - 前記センサマス(3)が、フレームとして前記ドライブマス(2)を包囲することを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記ドライブマス(2)は、ドライブ振動が平衡になるように、一組で配置され且つセンサ(1)の中心に対して点対称に配置されることを特徴とする請求項1または2に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記マス(2,3)のxおよび/またはy軸まわりの移動を検出するためのセンサ要素(9,10)が、水平板状キャパシタ(9)として、前記センサマス(3)および/または前記ドライブマス(2)の下方に配置され、または垂直コンデンサ(10)として、前記センサマス(3)の内側に配置されることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記マス (2,3)のz軸まわりの移動を検出するためのセンサ要素(10)が、垂直コンデンサまたはくし型電極として、前記センサマス(3)の内側および/または外側に配置されることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記第1の曲げスプリング(4)は、x,yまたはz軸方向に前記センサマス(3)の移動を防止するように設計してあることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記アンカーデバイス(5)が、前記中心を含む前記ドライブマス(2)の間の領域に配置してあることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記アンカーデバイス(5)が前記ドライブマス(2)の間に配置してあることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記ドライブマス(2)は、駆動方向に弾性を有する第2の曲げスプリング(6)により、前記センサマス(3)に取り付けられることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記ドライブマス(2)が、同期スプリング(8)により、互いに接続されていることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記駆動方向が互いに傾斜していることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記駆動方向がx/y軸に対して45°の角度で提供されることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記ドライブマス(2)の前記駆動要素(7)が電極であることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記ドライブマス(2)の数が少なくとも2であることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記ドライブマス(2)の数が4であることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
- 前記アンカーデバイス(5)の数が4であることを特徴とする請求項1に記載のMEMSジャイロスコープ。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102009001248.6 | 2009-02-27 | ||
DE102009001248.6A DE102009001248B4 (de) | 2009-02-27 | 2009-02-27 | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
PCT/EP2010/051714 WO2010097297A1 (de) | 2009-02-27 | 2010-02-11 | Mems-gyroskop zur ermittlung von rotationsbewegungen um eine x-, y- und/oder z-achse |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012519269A JP2012519269A (ja) | 2012-08-23 |
JP5639087B2 true JP5639087B2 (ja) | 2014-12-10 |
Family
ID=42077998
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011551455A Expired - Fee Related JP5639087B2 (ja) | 2009-02-27 | 2010-02-11 | x,yおよび/またはz軸周りの回転運動を検出するためのMEMSジャイロスコープ |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8789416B2 (ja) |
EP (1) | EP2401580B1 (ja) |
JP (1) | JP5639087B2 (ja) |
KR (2) | KR101736293B1 (ja) |
CN (1) | CN102334010B (ja) |
CA (2) | CA2753455C (ja) |
DE (1) | DE102009001248B4 (ja) |
WO (1) | WO2010097297A1 (ja) |
Families Citing this family (55)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102009001248B4 (de) * | 2009-02-27 | 2020-12-17 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
DE102009002066A1 (de) | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Sensordynamics Ag | Verfahren zum Erfassen von Beschleunigungen und Drehraten sowie MEMS-Sensor |
IT1394007B1 (it) | 2009-05-11 | 2012-05-17 | St Microelectronics Rousset | Struttura microelettromeccanica con reiezione migliorata di disturbi di accelerazione |
US9097524B2 (en) | 2009-09-11 | 2015-08-04 | Invensense, Inc. | MEMS device with improved spring system |
US8534127B2 (en) | 2009-09-11 | 2013-09-17 | Invensense, Inc. | Extension-mode angular velocity sensor |
WO2012131682A1 (en) * | 2011-03-31 | 2012-10-04 | Ramot At Tel-Aviv University Ltd. | Compliant structures with time-varying moment of inertia |
ITTO20110806A1 (it) * | 2011-09-12 | 2013-03-13 | St Microelectronics Srl | Dispositivo microelettromeccanico integrante un giroscopio e un accelerometro |
DE102011057081A1 (de) | 2011-12-28 | 2013-07-04 | Maxim Integrated Products, Inc. | Mikro-Drehratensensor und Verfahren zum Betreiben eines Mikro-Drehratensensors |
US8978475B2 (en) * | 2012-02-01 | 2015-03-17 | Fairchild Semiconductor Corporation | MEMS proof mass with split z-axis portions |
JP5935901B2 (ja) * | 2012-12-11 | 2016-06-15 | 株式会社村田製作所 | 角速度検出素子 |
US9506756B2 (en) * | 2013-03-15 | 2016-11-29 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multiple axis rate sensor |
DE102013206414A1 (de) | 2013-04-11 | 2014-10-16 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
US9360319B2 (en) | 2013-09-05 | 2016-06-07 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multiple sense axis MEMS gyroscope having a single drive mode |
WO2015045621A1 (ja) | 2013-09-26 | 2015-04-02 | 株式会社村田製作所 | 角速度検出素子 |
US9404747B2 (en) | 2013-10-30 | 2016-08-02 | Stmicroelectroncs S.R.L. | Microelectromechanical gyroscope with compensation of quadrature error drift |
DE102013223227A1 (de) * | 2013-11-14 | 2015-05-21 | Robert Bosch Gmbh | Vibrationsrobuster Drehratensensor |
FI126070B (en) * | 2014-01-28 | 2016-06-15 | Murata Manufacturing Co | Improved ring gyroscope structure and gyroscope |
FI126071B (en) | 2014-01-28 | 2016-06-15 | Murata Manufacturing Co | Improved gyroscope structure and gyroscope |
KR101645940B1 (ko) * | 2014-04-28 | 2016-08-05 | 주식회사 티엘아이 | 링 스프링을 가지는 3축 마이크로 자이로스코프 |
CN105043370B (zh) | 2014-04-29 | 2019-01-22 | 财团法人工业技术研究院 | 具有支点元件的微型电机装置 |
US9726493B2 (en) * | 2014-05-16 | 2017-08-08 | Hanking Electronics, Ltd. | Shock-robust integrated multi-axis MEMS gyroscope |
DE102014211646A1 (de) * | 2014-06-18 | 2015-12-24 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Sensorbauteil für einen Drehratensensor |
US9581447B2 (en) * | 2014-07-08 | 2017-02-28 | Honeywell International Inc. | MEMS gyro motor loop filter |
US10247554B2 (en) * | 2014-09-24 | 2019-04-02 | The Regents Of The University Of California | Fully balanced micro-machined inertial sensor |
US9874459B2 (en) * | 2015-02-24 | 2018-01-23 | The Regents Of The University Of Michigan | Actuation and sensing platform for sensor calibration and vibration isolation |
CN105984828B (zh) * | 2015-03-06 | 2018-04-03 | 立锜科技股份有限公司 | 微机电元件 |
CN205593534U (zh) | 2015-04-24 | 2016-09-21 | 意法半导体股份有限公司 | 微机电陀螺仪和电子系统 |
US20160370180A1 (en) * | 2015-06-17 | 2016-12-22 | Freescale Semiconductor, Inc. | Inertial sensor with couple spring for common mode rejection |
US10359284B2 (en) * | 2015-12-10 | 2019-07-23 | Invensense, Inc. | Yaw rate gyroscope robust to linear and angular acceleration |
CN106871886B (zh) * | 2015-12-10 | 2020-02-18 | 上海矽睿科技有限公司 | 振动模块以及陀螺仪 |
KR101717877B1 (ko) * | 2016-01-22 | 2017-03-17 | 한국기술교육대학교 산학협력단 | Z형 커플링 구조를 갖는 일체형 3축 mems 자이로 센서 |
US20190033075A1 (en) * | 2016-02-01 | 2019-01-31 | Agency For Science, Technology And Research | Gyroscope devices and methods for fabricating gyroscope devices |
CN105606083B (zh) * | 2016-03-08 | 2018-04-10 | 清华大学 | 一种外支撑四质量块mems谐振式陀螺仪 |
US10371521B2 (en) * | 2016-05-26 | 2019-08-06 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a four-mass vibrating MEMS structure |
US20180231090A1 (en) * | 2016-05-26 | 2018-08-16 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a tuned mass damper in mems resonators |
US10696541B2 (en) | 2016-05-26 | 2020-06-30 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for bias suppression in a non-degenerate MEMS sensor |
US10209070B2 (en) | 2016-06-03 | 2019-02-19 | Nxp Usa, Inc. | MEMS gyroscope device |
CA3030308C (en) | 2016-07-29 | 2022-04-05 | The Board Of Trustees Of Western Michigan University | Magnetic nanoparticle-based gyroscopic sensor |
CN106525017B (zh) * | 2016-11-09 | 2020-07-03 | 沈丹 | 抗环境振动影响的微机械陀螺仪 |
JP6639377B2 (ja) | 2016-12-08 | 2020-02-05 | 株式会社東芝 | 振動装置 |
WO2018183400A1 (en) * | 2017-03-27 | 2018-10-04 | Hutchinson Aerospace & Industry, Inc. | A continuous framework for shock, vibration and thermal isolation and motion accommodation |
CN107167123B (zh) * | 2017-06-09 | 2022-04-05 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | 一种微机电两轴陀螺仪 |
CN107328402B (zh) * | 2017-07-12 | 2022-06-24 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | 一种三轴mems陀螺仪 |
CN107192384B (zh) * | 2017-07-24 | 2022-04-05 | 深迪半导体(绍兴)有限公司 | 一种mems三轴陀螺仪 |
KR101984078B1 (ko) * | 2018-08-27 | 2019-05-31 | 주식회사 신성씨앤티 | 3축 멤스 자이로스코프 |
US11333499B2 (en) | 2018-09-14 | 2022-05-17 | Honeywell International Inc. | Vibratory error compensation in a tuning fork gyroscope such as a Coriolis Vibratory Gyroscope (CVG) |
US20200141732A1 (en) * | 2018-11-02 | 2020-05-07 | Semiconductor Components Industries, Llc | Multi-axis gyroscope with reduced bias drift |
EP3696503B1 (en) * | 2019-02-15 | 2022-10-26 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vibration-robust multiaxis gyroscope |
US11060866B2 (en) * | 2019-02-15 | 2021-07-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Balanced multiaxis gyroscope |
JP6879391B2 (ja) * | 2019-02-15 | 2021-06-02 | 株式会社村田製作所 | 同期フレームを有する多軸ジャイロスコープ |
CN110615046B (zh) * | 2019-08-19 | 2021-09-28 | 东北大学 | 一种基于陀螺进动效应的自平衡装置 |
CN110779510B (zh) * | 2019-11-14 | 2021-07-13 | 无锡莱斯能特科技有限公司 | 一种三轴mems陀螺仪 |
US11193771B1 (en) * | 2020-06-05 | 2021-12-07 | Analog Devices, Inc. | 3-axis gyroscope with rotational vibration rejection |
US11668585B2 (en) | 2021-08-27 | 2023-06-06 | Stmicroelectronics S.R.L. | Method for correcting gyroscope demodulation phase drift |
CN115355898A (zh) * | 2022-07-15 | 2022-11-18 | 瑞声开泰科技(武汉)有限公司 | 一种全解耦三轴mems陀螺 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4646315A (en) | 1984-10-04 | 1987-02-24 | Pennsylvania Engineering Corporation | Arc furnace burner control method and apparatus |
GB9111316D0 (en) * | 1991-05-24 | 1991-07-17 | Burdess James S | Improvements in or relating to gyroscopic devices |
JP3753209B2 (ja) | 1997-08-27 | 2006-03-08 | アイシン精機株式会社 | 角速度センサ |
JP3882973B2 (ja) * | 1998-06-22 | 2007-02-21 | アイシン精機株式会社 | 角速度センサ |
JP4075022B2 (ja) * | 1998-06-24 | 2008-04-16 | アイシン精機株式会社 | 角速度センサ |
JP3796991B2 (ja) * | 1998-12-10 | 2006-07-12 | 株式会社デンソー | 角速度センサ |
JP3870895B2 (ja) * | 2002-01-10 | 2007-01-24 | 株式会社村田製作所 | 角速度センサ |
US6823733B2 (en) * | 2002-11-04 | 2004-11-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Z-axis vibration gyroscope |
US6848304B2 (en) | 2003-04-28 | 2005-02-01 | Analog Devices, Inc. | Six degree-of-freedom micro-machined multi-sensor |
DE102004017480B4 (de) * | 2004-04-08 | 2009-04-16 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Rotations-Drehratensensor mit mechanisch entkoppelten Schwingungsmoden |
US7100446B1 (en) * | 2004-07-20 | 2006-09-05 | The Regents Of The University Of California | Distributed-mass micromachined gyroscopes operated with drive-mode bandwidth enhancement |
JP4466283B2 (ja) * | 2004-08-26 | 2010-05-26 | パナソニック電工株式会社 | ジャイロセンサ |
JP2008514968A (ja) * | 2004-09-27 | 2008-05-08 | コンティ テミック マイクロエレクトロニック ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 回転速度センサ |
JP4353087B2 (ja) * | 2004-12-01 | 2009-10-28 | 株式会社デンソー | 回転振動型角速度センサ |
FI116543B (fi) * | 2004-12-31 | 2005-12-15 | Vti Technologies Oy | Värähtelevä mikromekaaninen kulmanopeusanturi |
CN101180516B (zh) * | 2005-05-24 | 2011-09-14 | 独立行政法人宇宙航空研究开发机构 | 陀螺仪 |
JP4887034B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2012-02-29 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 慣性センサ |
EP1832841B1 (en) * | 2006-03-10 | 2015-12-30 | STMicroelectronics Srl | Microelectromechanical integrated sensor structure with rotary driving motion |
TWI286201B (en) | 2006-08-18 | 2007-09-01 | Nan-Chyuan Tsai | Three-axis sensing micro gyroscope |
US7461552B2 (en) * | 2006-10-23 | 2008-12-09 | Custom Sensors & Technologies, Inc. | Dual axis rate sensor |
DE102007030119A1 (de) * | 2007-06-29 | 2009-01-02 | Litef Gmbh | Corioliskreisel |
DE102007054505B4 (de) * | 2007-11-15 | 2016-12-22 | Robert Bosch Gmbh | Drehratensensor |
CN101910789B (zh) * | 2008-01-07 | 2012-02-29 | 株式会社村田制作所 | 角速度传感器 |
DE102008002748A1 (de) * | 2008-06-27 | 2009-12-31 | Sensordynamics Ag | Mikro-Gyroskop |
DE102009001248B4 (de) * | 2009-02-27 | 2020-12-17 | Hanking Electronics, Ltd. | MEMS-Gyroskop zur Ermittlung von Rotationsbewegungen um eine x-, y- oder z-Achse |
US8256290B2 (en) * | 2009-03-17 | 2012-09-04 | Minyao Mao | Tri-axis angular rate sensor |
US8534127B2 (en) * | 2009-09-11 | 2013-09-17 | Invensense, Inc. | Extension-mode angular velocity sensor |
-
2009
- 2009-02-27 DE DE102009001248.6A patent/DE102009001248B4/de active Active
-
2010
- 2010-02-11 EP EP10703284.9A patent/EP2401580B1/de active Active
- 2010-02-11 JP JP2011551455A patent/JP5639087B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-02-11 KR KR1020117022588A patent/KR101736293B1/ko active IP Right Grant
- 2010-02-11 WO PCT/EP2010/051714 patent/WO2010097297A1/de active Application Filing
- 2010-02-11 CA CA2753455A patent/CA2753455C/en active Active
- 2010-02-11 US US13/203,545 patent/US8789416B2/en active Active
- 2010-02-11 KR KR1020177012180A patent/KR101885909B1/ko active IP Right Grant
- 2010-02-11 CA CA2967995A patent/CA2967995C/en active Active
- 2010-02-11 CN CN201080009207.5A patent/CN102334010B/zh active Active
-
2014
- 2014-07-28 US US14/444,800 patent/US9909873B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20170054559A (ko) | 2017-05-17 |
CA2967995C (en) | 2020-07-07 |
CA2753455C (en) | 2017-07-18 |
CN102334010A (zh) | 2012-01-25 |
EP2401580A1 (de) | 2012-01-04 |
JP2012519269A (ja) | 2012-08-23 |
WO2010097297A1 (de) | 2010-09-02 |
US9909873B2 (en) | 2018-03-06 |
US8789416B2 (en) | 2014-07-29 |
CA2753455A1 (en) | 2010-09-02 |
KR20110125659A (ko) | 2011-11-21 |
US20110303007A1 (en) | 2011-12-15 |
DE102009001248B4 (de) | 2020-12-17 |
KR101736293B1 (ko) | 2017-05-16 |
KR101885909B1 (ko) | 2018-08-06 |
EP2401580B1 (de) | 2017-04-05 |
CN102334010B (zh) | 2015-03-11 |
US20160025492A1 (en) | 2016-01-28 |
DE102009001248A1 (de) | 2010-09-02 |
CA2967995A1 (en) | 2010-09-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5639087B2 (ja) | x,yおよび/またはz軸周りの回転運動を検出するためのMEMSジャイロスコープ | |
CN102365523B (zh) | 用于测定绕三个相垂直空间轴x、y和z的旋转运动的微陀螺 | |
JP6190586B2 (ja) | マイクロ回転速度センサおよびその操作方法 | |
JP5690919B2 (ja) | 運動を検出するためのマイクロジャイロスコープ | |
JP5532455B2 (ja) | 加速度と回転速度の検出方法およびmemsセンサー | |
JP5639088B2 (ja) | X軸又は/及びy軸及びz軸の回転運動を測定するマイクロジャイロスコープ | |
JP5649972B2 (ja) | ヨーレートセンサ | |
KR101677955B1 (ko) | 전자기계 마이크로 센서 | |
KR102032732B1 (ko) | 마이크로 기계식 코리올리 회전율 센서 | |
CN101443629A (zh) | 具有联接梁的转速传感器 | |
KR20110036741A (ko) | 마이크로자이로스코프 | |
JP2020091280A (ja) | 回転運動検出用微小電気機械デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130212 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131108 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140924 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141023 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5639087 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |