JP2013181957A - ジャイロセンサーおよび電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】駆動配線と他の配線との間で発生する寄生容量を介して、他の配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサーを提供する。
【解決手段】本発明に係るジャイロセンサー１００は、基板１０と、振動体１１２と、基板１０上に固定され、振動体１１２を振動させる固定駆動電極１３０，１３２と、基板１０上に固定され、振動体１１２の振動に応じて変化する信号を検出する固定振動検出電極１６０，１６２と、基板１０上に設けられ、固定駆動電極１３０，１３２に接続された駆動配線２０，２１と、基板１０上に設けられ、固定振動検出電極１６０，１６２に接続された振動検出配線５０，５１と、基板１０上に設けられ、所定の電位を有する固定電位配線４０と、を含み、平面視で、駆動配線２０，２１と振動検出配線５０，５１との間に、固定電位配線４０が設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ジャイロセンサーおよび電子機器に関する。

近年、例えばシリコンＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用いて角速度を検出する角速度センサー（ジャイロセンサー）が開発されている。

例えば特許文献１には、振動体と、振動体を振動させる駆動電極と、振動体の振動に応じて変化する信号を検出する検出電極と、を備えたジャイロセンサーが開示されている。駆動電極および検出電極は、それぞれ駆動配線および検出配線と接続されている。

特開平７−２１８２６８号公報

しかしながら、上記のようなジャイロセンサーでは、駆動配線を介して駆動電極に交流電圧が印加されるため、駆動配線と、駆動配線と隣り合う他の配線と、の間で発生する寄生容量を介して、他の配線に電流が流れることがあった。その結果、所望の特性を得られないことがあった。

本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、駆動配線と他の配線との間で発生する寄生容量を介して、他の配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサーを提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の１つは、上記のジャイロセンサーを有する電子機器を提供することにある。

本発明は前述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の態様または適用例として実現することができる。

［適用例１］
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
振動体と、
前記基板上に固定され、前記振動体を振動させる固定駆動電極と、
前記基板上に固定され、前記振動体の振動に応じて変化する信号を検出する固定振動検出電極と、
前記基板上に設けられ、前記固定駆動電極に接続された駆動配線と、
前記基板上に設けられ、前記固定振動検出電極に接続された振動検出配線と、
前記基板上に設けられ、所定の電位を有する固定電位配線と、
を含み、
平面視で、前記駆動配線と前記振動検出配線との間に、前記固定電位配線が設けられている。

このようなジャイロセンサーによれば、駆動配線と振動検出配線との間に寄生容量が発生することを抑制できる。これにより、駆動配線と振動検出配線との間で発生する寄生容量を介して、振動検出配線に電流が流れることを抑制できる。

［適用例２］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動検出電極は、
前記振動体の振動状態を検出する電極であってもよい。

このようなジャイロセンサーによれば、駆動配線と振動検出配線との間で発生する寄生容量を介して、振動検出配線に電流が流れることを抑制できる。

［適用例３］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記固定電位配線の厚みは、前記駆動配線の厚み以上であり、かつ前記振動検出配線の厚み以上であってもよい。

このようなジャイロセンサーによれば、より確実に、駆動配線と振動検出配線との間に寄生容量が発生することを抑制できる。

［適用例４］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記固定電位配線は、前記振動体と電気的に接続されていてもよい。

このようなジャイロセンサーによれば、固定電位配線によって、振動体に電位を与えつつ、駆動配線と振動検出配線との間に寄生容量が発生することを抑制できる。

なお、本発明に係る記載では、「電気的に接続」という文言を、例えば、「特定の部材（以下「Ａ部材」という）に「電気的に接続」された他の特定の部材（以下「Ｂ部材」という）」などと用いている。本発明に係る記載では、この例のような場合に、Ａ部材とＢ部材とが、直接接して電気的に接続されているような場合と、Ａ部材とＢ部材とが、他の部材を介して電気的に接続されているような場合とが含まれるものとして、「電気的に接続」という文言を用いている。

［適用例５］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記固定電位配線は、平面視で、前記振動体を囲んで設けられていてもよい。

このようなジャイロセンサーによれば、例えば、振動体が他の機能素子と隣り合う場合に、振動体と他の機能素子との間に寄生容量が発生することを抑制できる。

［適用例６］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記振動体から延出し、前記振動体を振動させる可動駆動電極と、
前記振動体から延出し、前記振動体の振動状態を検出する可動モニター電極と、
をさらに含み、
前記固定駆動電極は、前記可動駆動電極と対向して設けられ、
前記固定振動検出電極は、前記可動モニター電極と対向して設けられていてもよい。

このようなジャイロセンサーによれば、駆動配線と振動検出配線との間で発生する寄生容量を介して、振動検出配線に電流が流れることを抑制できる。

［適用例７］
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記固定駆動電極は、
前記可動駆動電極の一方側、および前記可動駆動電極の他方側に設けられ、
前記固定振動検出電極は、
前記可動モニター電極の一方側、および前記可動モニター電極の他方側に設けられ、
前記駆動配線は、前記可動駆動電極の一方側に設けられている前記固定駆動電極に接続され、
他の前記駆動配線は、前記可動駆動電極の他方側に設けられている前記固定駆動電極に接続され、
前記振動検出配線は、前記可動モニター電極の一方側に設けられている前記固定振動検出電極に接続され、
他の前記振動検出配線は、前記可動モニター電極の他方側に設けられている前記固定振動検出電極に接続され、
前記駆動配線と前記振動検出配線との交差する面積と、前記駆動配線と他の前記振動検出配線との交差する面積とは、同じであり、
他の前記駆動配線と前記振動検出配線との交差する面積と、他の前記駆動配線と他の前記振動検出配線との交差する面積とは、同じであってもよい。

このようなジャイロセンサーによれば、寄生容量を介して振動検出配線に流れる電流の影響を、キャンセルすることができる。

［適用例８］
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係るジャイロセンサーを含む。

このような電子機器によれば、駆動配線と振動検出配線との間で発生する寄生容量を介して、振動検出配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサーを有することができる。

本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す平面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの機能素子を模式的に示す平面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの動作を説明するための図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。 本実施形態に係るジャイロセンサーの製造工程を模式的に示す断面図。 本実施形態の変形例に係るジャイロセンサーを模式的に示す断面図。 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。 本実施形態に係る電子機器を模式的に示す斜視図。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。

１． ジャイロセンサー
まず、本実施形態に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す平面図である。図２は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＩ−ＩＩ線断面図である。図３は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線断面図である。図４は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００を模式的に示す図１のＩＶ−ＩＶ線断面図である。なお、図１〜図４では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。

ジャイロセンサー１００は、図１〜図４に示すように、基板１０と、機能素子１０２と、駆動配線２０，２１と、振動検出配線３０，３１，５０，５１と、固定電位配線４０と、蓋体６０と、を含むことができる。振動検出配線３０，３１，５０，５１は、検出配線３０，３１と、モニター配線５０，５１と、に分類される。なお、便宜上、図１、図３、および図４では、蓋体６０を省略して図示している。

基板１０の材質は、例えば、ガラス、シリコンである。基板１０は、図２に示すように、第１面１１と、第１面１１と反対側の第２面１２と、を有している。図示の例では、第１面１１および第２面１２は、ＸＹ平面と平行な面である。

基板１０の第１面１１には、凹部１４が設けられている。凹部１４の上方には、間隙を介して、機能素子１０２の振動体１１２が設けられている。凹部１４によって、振動体１１２は、基板１０に妨害されることなく、所望の方向に可動することができる。凹部１４の平面形状は、特に限定されないが、例えば、矩形である。基板１０の第１面１１には、図２〜図４に示すように、さらに溝部１６，１７，１８，１９が設けられていてもよい。なお、便宜上、図１では、凹部１４および溝部１６，１７，１８，１９の図示を省略している。

機能素子１０２は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）設けられている。以下では、機能素子１０２が、Ｚ軸回りの角速度を検出するジャイロセンサー素子（静電容量型ＭＥＭＳジャイロセンサー素子）である例について説明する。図５は、機能素子１０２を模式的に示す平面図である。なお、図５では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。

機能素子１０２は、図２および図５に示すように、第１構造体１０６および第２構造体１０８を有している。第１構造体１０６および第２構造体１０８は、Ｘ軸に沿って互いに連結されている。第１構造体１０６は、第２構造体１０８よりも−Ｘ方向側に位置している。構造体１０６，１０８は、図５に示すように、例えば、両者の境界線Ｂ（Ｙ軸に沿った直線）に対して、対称となる形状を有している。なお、図示はしないが、機能素子１０２は、第２構造体１０８を有しておらず、第１構造体１０６によって構成されていてもよい。

構造体１０６，１０８は、図５に示すように、振動体１１２と、第１バネ部１１４と、可動駆動電極１１６と、変位部１２２と、第２バネ部１２４と、固定駆動電極１３０，１３２と、可動振動検出電極１１８，１２６と、固定振動検出電極１４０，１４２，１６０，１６２と、固定部１５０と、を有することができる。可動振動検出電極１１８，１２６は、可動モニター電極１１８と、可動検出電極１２６と、に分類される。固定振動検出電極１４０，１４２，１６０，１６２は、固定検出電極１４０，１４２と、固定モニター電極１６０，１６２と、に分類される。

振動体１１２，バネ部１１４，１２４，可動駆動電極１１６、可動モニター電極１１８、変位部１２２、可動検出電極１２６、および固定部１５０は、例えば、基板１０に接合されたシリコン基板（図示せず）を加工することにより、一体に形成されている。これにより、シリコン半導体デバイスの製造に用いられる微細な加工技術の適用が可能となり、機能素子１０２の小型化を図ることができる。機能素子１０２の材質は、例えば、リン、ボロン等の不純物がドープされることにより導電性が付与されたシリコンである。

振動体１１２は、例えば、枠状（フレーム状）の形状を有している。振動体１１２の内側には、変位部１２２、可動検出電極１２６、および固定検出電極１４０，１４２が設けられている。

第１バネ部１１４は、一端が振動体１１２に接続され、他端が固定部１５０に接続されている。固定部１５０は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定されている。すなわち、固定部１５０の下方には、凹部１４が設けられていない。振動体１１２は、第１バネ部１１４を介して、固定部１５０により支持されている。図示の例では、第１バネ部１１４は、第１構造体１０６および第２構造体１０８において、４つずつ設けられている。なお、第１構造体１０６と第２構造体１０８との境界線Ｂ上の固定部１５０は、設けられていなくてもよい。

第１バネ部１１４は、Ｘ軸方向に振動体１１２を変位し得るように構成されている。より具体的には、第１バネ部１１４は、Ｙ軸方向に（Ｙ軸に沿って）往復しながらＸ軸方向に（Ｘ軸に沿って）延出する形状を有している。なお、第１バネ部１１４は、振動体１１２をＸ軸に沿って振動させることができれば、その数は特に限定されない。

可動駆動電極１１６は、振動体１１２に接続されている。可動駆動電極１１６は、振動体１１２から＋Ｙ方向および−Ｙ方向に延出している。図５に示す例では、可動駆動電極１１６は、複数設けられ、複数の可動駆動電極１１６は、Ｘ軸方向に配列されている。可動駆動電極１１６は、振動体１１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って振動することができる。

可動モニター電極１１８は、振動体１１２に接続されている。可動モニター電極１１８は、振動体１１２から＋Ｙ方向および−Ｙ方向に延出している。図５に示す例では、可動モニター電極１１８は、第１構造体１０６の振動体１１２の＋Ｙ方向側、および第２構造体１０８の振動体１１２の＋Ｙ方向側に、１つずつ設けられ、可動モニター電極１１８の間に、複数の可動駆動電極１１６が配列されている。さらに、可動モニター電極１１８は、第１構造体１０６の振動体１１２の−Ｙ方向側、および第２構造体１０８の振動体１１２の−Ｙ方向側に、１つずつ設けられ、可動モニター電極１１８の間に、複数の可動駆動電極１１６が配列されている。可動モニター電極１１８の平面形状は、例えば、可動駆動電極１１６の平面形状と同じである。可動モニター電極１１８は、振動体１１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って振動することができる。

固定駆動電極１３０，１３２は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定され、振動体１１２の＋Ｙ方向側、および振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられている。

固定駆動電極１３０，１３２は、可動駆動電極１１６と対向し、可動駆動電極１１６を挟んで設けられている。より具体的には、可動駆動電極１１６を挟む固定駆動電極１３０，１３２において、第１構造体１０６では、可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に固定駆動電極１３０が設けられ、可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に固定駆動電極１３２が設けられている。第２構造体１０８では、可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に固定駆動電極１３０が設けられ、可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に固定駆動電極１３２が設けられている。図１に示すように、固定駆動電極１３０は、駆動配線２０と接続され、固定駆動電極１３２は、駆動配線２１と接続されている。

固定駆動電極１３０，１３２は、可動駆動電極１１６の数に応じて、複数設けられ、Ｘ軸方向に配列されている。図５に示す例では、固定駆動電極１３０，１３２は、櫛歯状の形状を有しており、可動駆動電極１１６は、固定駆動電極１３０，１３２の櫛歯の間に挿入可能な形状を有している。固定駆動電極１３０，１３２および可動駆動電極１１６は、振動体１１２を振動させるための電極である。

固定モニター電極１６０，１６２は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定され、振動体１１２の＋Ｙ方向側、および振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられている。

固定モニター電極１６０，１６２は、可動モニター電極１１８と対向し、可動モニター電極１１８を挟んで設けられている。より具体的には、可動モニター電極１１８を挟む固定モニター電極１６０，１６２において、第１構造体１０６では、可動モニター電極１１８の−Ｘ方向側に固定駆動電極１６０が設けられ、可動モニター電極１１８の＋Ｘ方向側に固定モニター電極１６２が設けられている。第２構造体１０８では、可動モニター電極１１８の＋Ｘ方向側に固定モニター電極１６０が設けられ、可動モニター電極１１８の−Ｘ方向側に固定モニター電極１６２が設けられている。図１に示すように、固定モニター電極１６０は、モニター配線５０と接続され、固定モニター電極１６２は、モニター配線５１と接続されている。固定モニター電極１６０，１６２の平面形状は、例えば、固定駆動電極１３０，１３２の平面形状と同じである。

固定モニター電極１６０，１６２および可動モニター電極１１８は、振動体１１２の振動に応じて変化する信号を検出するため電極であり、振動体１１２の振動状態を検出するための電極である。より具体的には、可動モニター電極１１８がＸ軸に沿って変位することにより、可動モニター電極１１８と固定モニター電極１６０との間の静電容量、および可動モニター電極１１８と固定モニター電極１６２との間の静電容量、が変化する。これにより、固定モニター電極１６０，１６２の電流が変化する。この電流の変化を検出することにより、振動体１１２の振動状態を検出することができる。

変位部１２２は、第２バネ部１２４を介して、振動体１１２に接続されている。図示の例では、変位部１２２の平面形状は、Ｙ軸に沿った長辺を有する長方形である。なお、図示はしないが、変位部１２２は、振動体１１２の外側に設けられていてもよい。

第２バネ部１２４は、Ｙ軸方向に変位部１２２を変位し得るように構成されている。より具体的には、第２バネ部１２４は、Ｘ軸方向に往復しながらＹ軸方向に延出する形状を有している。なお、第２バネ部１２４は、変位部１２２をＹ軸に沿って変位させることができれば、その数は特に限定されない。

可動検出電極１２６は、変位部１２２に接続されている。可動検出電極１２６は、例えば、複数設けられている。可動検出電極１２６は、変位部１２２から＋Ｘ方向および−Ｘ方向に延出している。

固定検出電極１４０，１４２は、基板１０上に（基板１０の第１面１１に）固定されている。より具体的には、固定検出電極１４０，１４２は、一端が基板１０上に固定され、他端が自由端として変位部１２２側に延出している。

固定検出電極１４０，１４２は、可動検出電極１２６と対向し、可動検出電極１２６を挟んで設けられている。より具体的には、可動検出電極１２６を挟む固定検出電極１４０，１４２において、第１構造体１０６では、可動検出電極１２６の−Ｙ方向側に固定検出電極１４０が設けられ、可動検出電極１２６の＋Ｙ方向側に固定検出電極１４２が設けられている。第２構造体１０８では、可動検出電極１２６の＋Ｙ方向側に固定検出電極１４０が設けられ、可動検出電極１２６の−Ｙ方向側に固定検出電極１４２が設けられている。図１に示すように、固定検出電極１４０は、検出配線３０と接続され、固定検出電極１４２は、検出配線３１と接続されている。

図５に示す例では、固定検出電極１４０，１４２は、複数設けられ、Ｙ軸に沿って交互に配列されている。固定検出電極１４０，１４２および可動検出電極１２６は、振動体１１２の振動に応じて変化する信号（静電容量）を検出するための電極である。

駆動配線２０，２１は、図１〜図４に示すように、基板１０上に設けられている。駆動配線２０は、図１に示すように平面視において、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられている固定駆動電極１３０と、振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられている固定駆動電極１３０と、を接続している。駆動配線２１は、平面視において、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられている固定駆動電極１３２と、振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられている固定駆動電極１３２と、を接続している。

駆動配線２０，２１は、平面視において、振動体１１２の−Ｘ方向側を囲んで設けられている。すなわち、駆動配線２０，２１は、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられＸ軸方向に延出する部分と、振動体１１２の−Ｘ方向側に設けられＹ軸方向に延出する部分と、振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられＸ軸方向に延出する部分と、を有している。図示の例では、駆動配線２０，２１は、振動体１１２の＋Ｘ方向側には設けられていない。

駆動配線２０は、図３に示すように、溝部１６内に設けられている第１部分２０ａと、第１面１１に設けられている第２部分２０ｂと、を有することができる。第２部分２０ｂは、駆動配線２１が設けられている溝部１７を跨いでいる。第１部分２０ａの材質は、例えば、金属であり、第２部分２０ｂの材質は、例えば、導電性が付与されたシリコンである。第１部分２０ａおよび第２部分２０ｂは、互いに接続されている。このような構成により、平面視で駆動配線２０，２１が交差する部分において、駆動配線２０と駆動配線２１とが接触することを防止できる。さらに、駆動配線２０が第１部分２０ａを有することにより、駆動配線２０と、モニター配線５０，５１および固定電位配線４０と、が接触することを防止できる。

同様に、駆動配線２１は、溝部１７内に設けられている第１部分２１ａと、第１面１１に設けられている第２部分（図示せず）と、を有していてもよい。これにより、駆動配線２１と、モニター配線５０，５１および固定電位配線４０と、が接触することを防止できる。

駆動配線２０，２１は、それぞれ、基板１０上に設けられているパッド（図示せず）と接続されていてもよい。駆動配線２０，２１は、固定駆動電極１３０，１３２に交流電圧を印加するための配線である。

検出配線３０は、基板１０上に設けられている。検出配線３０は、固定検出電極１４０に接続され、固定検出電極１４０から、振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。より具体的には、検出配線３０は、第１構造体１０６の固定検出電極１４０から、第１構造体１０６の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出し、さらに、第２構造体１０８の固定検出電極１４０に接続されて、第２構造体１０８の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。これにより、平面視において、検出配線３０と駆動配線２０，２１とを、交差させないように設けることができる。

検出配線３１は、基板１０上に設けられている。検出配線３１は、固定検出電極１４２に接続され、固定検出電極１４２から、振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。より具体的には、検出配線３１は、第１構造体１０６の固定検出電極１４２から、第１構造体１０６の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出し、さらに、第２構造体１０８の固定検出電極１４２に接続されて、第２構造体１０８の振動体１１２の＋Ｘ方向側に延出している。これにより、平面視において、検出配線３１と駆動配線２０，２１とを、交差させないように設けることができる。

検出配線３０，３１は、図２に示すように、凹部１４内に設けられている部分を有していてもよい。これにより、検出配線３０，３１と振動体１１２とが接触することを防止できる。さらに、検出配線３０，３１は、駆動配線２０の第１部分２０ａように、基板１０の第１面１１に形成された溝部（図示せず）内に設けられている部分を有していてもよい。さらに、検出配線３０，３１は、駆動配線２０の第２部分２０ｂように、基板１０の第１面１１に設けられている部分（図示せず）を有していてもよい。これにより、検出配線３０，３１と、モニター配線５０，５１および固定電位配線４０と、が接触することを防止できる。

検出配線３０，３１は、それぞれ、基板１０上に設けられているパッド（図示せず）と接続されていてもよい。検出配線３０，３１は、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０，１４２との間の静電容量の変化を検出するための配線である。

モニター配線５０，５１は、基板１０上に設けられている。モニター配線５０は、図１に示すように平面視において、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられている固定モニター電極１６０と、振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられている固定モニター電極１６０と、を接続している。モニター配線５１は、平面視において、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられている固定モニター電極１６２と、振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられている固定モニター電極１６２と、を接続している。

モニター配線５０，５１は、平面視において、振動体１１２の＋Ｘ方向側を囲んで設けられている。すなわち、モニター配線５０，５１は、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられＸ軸方向に延出する部分と、振動体１１２の＋Ｘ方向側に設けられＹ軸方向に延出する部分と、振動体１１２の−Ｙ方向側に設けられＸ軸方向に延出する部分と、を有している。図示の例では、モニター配線５０，５１は、振動体１１２の−Ｘ方向側には設けられていない。

図１に示すように平面視において、例えば、駆動配線２０とモニター配線５０との交差する面積（総面積）Ｓ１と、駆動配線２０とモニター配線５１との交差する面積（総面積）Ｓ２とは、同じである。同様に、駆動配線２１とモニター配線５０との交差する面積（総面積）Ｓ３と、駆動配線２１とモニター配線５１との交差する面積（総面積）Ｓ４とは、同じである。例えば、面積Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４の大きさは、互いに同じであってもよい。

モニター配線５０，５１は、図２および図３に示すように、基板１０の第１面１１に形成された溝部１８，１９内に設けられている第１部分５０ａ，５０ｂを有していてもよい。さらに、検出配線５０，５１は、駆動配線２０の第２部分２０ｂように、基板１０の第１面１１に設けられている第２部分（図示せず）を有していてもよい。これにより、モニター配線５０，５１と、駆動配線２０，２１、検出配線３０，３１および固定電位配線４０と、が接触することを防止できる。

モニター配線５０，５１は、基板１０上に設けられているパッド（図示せず）と接続されていてもよい。モニター配線５０，５１は、固定モニター電極１６０，１６２の電流の変化を検出するための配線である。

配線２０，２１，３０，３１，５０，５１の材質は、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ Ｔｉｎ Ｏｘｉｄｅ）、アルミニウム、金、白金、チタン、タングステン、クロム、導電性が付与されたシリコンである。配線２０，２１，３０，３１，５０，５１の材質は、例えば、上記に示した金属からなる部分と、導電性が付与されたシリコンからなる部分と、を有していてもよい。

固定電位配線４０は、基板１０上に設けられている。固定電位配線４０は、例えば、基準電位などの所定の電位を有している。図１に示す例では、固定電位配線４０は、固定部１５０を介して、振動体１１２、可動駆動電極１１６、可動モニター電極１１８、変位部１２２、および可動検出電極１２６と電気的に接続されている。固定電位配線４０は、振動体１１２等と同じ電位を有していてもよい。

固定電位配線４０は、平面視において、振動体１１２を（機能素子１０２を）囲んで設けられている。固定電位配線４０は、平面視で振動体１１２の＋Ｙ方向側（一方側）において、駆動配線２０，２１と検出配線３０，３１との間に設けられている。同様に、固定電位配線４０は、振動体１１２の−Ｙ方向側（他方側）において、駆動配線２０，２１と検出配線３０，３１との間に設けられている。より具体的には、駆動配線２０，２１および検出配線３０，３１は、振動体１１２の＋Ｙ方向側および−Ｙ方向側において、Ｘ軸方向に延出し、固定電位配線４０は、駆動配線２０，２１と検出配線３０，３１との間を、Ｘ軸方向に延出している。

固定電位配線４０の材質は、例えば、導電性が付与されたシリコンであり、図２に示す例では、固定電位配線４０は、固定部１５０と一体に形成されている。なお、固定電位配線４０の材質は、導電性が付与されたシリコンに限定されず、例えば、ＩＴＯ、アルミニウム、金、白金、チタン、タングステン、クロムであってもよい。

固定電位配線４０の厚み（Ｚ軸方向の大きさ）は、駆動配線２０，２１の厚み以上であり、かつモニター配線５０，５１の厚み以上である。さらに、固定電位配線４０の厚みは、検出配線３０，３１の厚み以上である。図４に示す例では、固定電位配線４０の厚みは、駆動配線２０，２１の厚みより大きく、かつモニター配線５０，５１の厚みより大きい。固定電位配線４０は、基板１０上に設けられているパッド（図示せず）と接続されていてもよい。

蓋体６０は、図２に示すように、基板１０上に設けられている。基板１０および蓋体６０は、パッケージを構成することができる。基板１０および蓋体６０は、キャビティー６２を形成することができ、キャビティー６２に機能素子１０２を収容することができる。キャビティー６２は、例えば、真空で密閉されている。蓋体６０の材質は、例えば、シリコン、ガラスである。

次に、ジャイロセンサー１００の動作について説明する。図６〜図９は、ジャイロセンサー１００の動作を説明するための図である。なお、図６〜図９では、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を図示している。また、便宜上、図６〜図９では、機能素子１０２以外の部材の図示を省略し、さらに、可動駆動電極１１６、可動モニター電極１１８、可動検出電極１２６、固定駆動電極１３０，１３２、固定検出電極１４０，１４２、および固定モニター電極１６０，１６２の図示を省略し、機能素子１０２を簡略化して図示している。

可動駆動電極１１６と固定駆動電極１３０，１３２との間に、図示しない電源によって、電圧を印加すると、可動駆動電極１１６と固定駆動電極１３０，１３２との間に、静電力を発生させることができる（図１および図５参照）。これにより、図６および図７に示すように、第１バネ部１１４をＸ軸に沿って伸縮させることができ、振動体１１２をＸ軸に沿って振動させることができる。

より具体的には、固定電位配線４０を介して可動駆動電極１１６に、一定の電位Ｖｒを与える。さらに、駆動配線２０を介して固定駆動電極１３０に、Ｖｒを基準として第１交流電圧を印加する。また、駆動配線２１を介して固定駆動電極１３２に、電位Ｖｒを基準として、第１交流電圧と位相が１８０度ずれた第２交流電圧を印加する。

ここで、可動駆動電極１１６を挟む固定駆動電極１３０，１３２において、第１構造体１０６では、可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に固定駆動電極１３０が設けられ、可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に固定駆動電極１３２が設けられている（図１および図５参照）。第２構造体１０８では、可動駆動電極１１６の＋Ｘ方向側に固定駆動電極１３０が設けられ、可動駆動電極１１６の−Ｘ方向側に固定駆動電極１３２が設けられている（図１および図５参照）。そのため、第１交流電圧および第２交流電圧によって、第１構造体１０６の振動体１１２ａ、および第２構造体１０８の振動体１１２ｂを、互いに逆位相でかつ所定の周波数で、Ｘ軸に沿って振動させることができる。図６に示す例では、振動体１１２ａは、α１方向に変位し、振動体１１２ｂは、α１方向と反対のα２方向に変位している。図７に示す例では、振動体１１２ａは、α２方向に変位し、振動体１１２ｂは、α１方向に変位している。

なお、変位部１２２は、振動体１１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。同様に、可動検出電極１２６（図１および図５参照）は、振動体１１２の振動に伴い、Ｘ軸に沿って変位する。

図８および図９に示すように、振動体１１２ａ，１１２ｂがＸ軸に沿って振動を行っている状態で、機能素子１０２にＺ軸回りの角速度ωが加わると、コリオリの力が働き、変位部１２２は、Ｙ軸に沿って変位する。すなわち、振動体１１２ａに接続された変位部１２２ａ、および振動体１１２ｂに接続された変位部１２２ｂは、Ｙ軸に沿って、互いに反対方向に変位する。図８に示す例では、変位部１２２ａは、β１方向に変位し、変位部１２２ｂは、β１方向と反対のβ２方向に変位している。図９に示す例では、変位部１２２ａは、β２方向に変位し、第２変位部１２２ｂは、β１方向に変位している。

変位部１２２ａ，１２２ｂがＹ軸に沿って変位することにより、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４０との間の距離は、変化する（図１および図５参照）。同様に、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４２との間の距離は、変化する（図１および図５参照）。そのため、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４０との間の静電容量は、変化する。同様に、可動検出電極１２６と固定駆動電極１４２との間の静電容量は、変化する。

ジャイロセンサー１００では、検出配線３０および固定電位配線４０を介して、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０との間に電圧を印加することにより、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０との間の静電容量の変化量を検出することができる（図１参照）。さらに、検出配線３１および固定電位配線４０を介して、可動検出電極１２６と固定検出電極１４２との間に電圧を印加することにより、可動検出電極１２６と固定検出電極１４２との間の静電容量の変化量を検出することができる（図１参照）。このようにして、ジャイロセンサー１００は、可動検出電極１２６と固定検出電極１４０，１４２との間の静電容量の変化量により、Ｚ軸回りの角速度ωを求めることができる。

さらに、ジャイロセンサー１００では、振動体１１２ａ，１１２ｂがＸ軸に沿って振動することにより、可動モニター電極１１８と固定モニター電極１６０との間の距離は、変化する（図１および図５参照）。同様に、可動モニター電極１１８と固定モニター電極１６２との間の距離は、変化する（図１および図５参照）。そのため、可動モニター電極１１８と固定モニター電極１６０との間の静電容量は、変化する。同様に、可動モニター電極１１８と固定モニター電極１６２との間の静電容量は、変化する。これに伴い、固定モニター電極１６０，１６２に（モニター配線５０，５１に）流れる電流は変化する。この電流の変化によって、振動体１１２ａ，１１２ｂの振動状態を検出する（モニターする）ことができる。なお、モニター配線５０，５１の電流の変化に基づいて、駆動信号にフィードバック制御をかけることができる。

本実施形態に係るジャイロセンサー１００は、例えば、以下の特徴を有する。

ジャイロセンサー１００によれば、平面視で振動体１１２の一方側（例えば＋Ｙ方向側）において、駆動配線２０，２１とモニター配線５０，５１との間に、固定電位配線４０が設けられている。固定電位配線４０は、例えば、基準電位などの所定の電位を有している。そのため、駆動配線２０とモニター配線５０，５１との間に寄生容量が発生することを抑制できる。同様に、駆動配線２１とモニター配線５０，５１との間に寄生容量が発生することを抑制できる。これにより、駆動配線２０とモニター配線５０，５１との間で発生する寄生容量を介して、モニター配線５０，５１に電流が流れることを抑制できる。同様に、駆動配線２１とモニター配線５０，５１との間で発生する寄生容量を介して、モニター配線５０，５１に電流が流れることを抑制できる。例えば、寄生容量を介して、モニター配線に電流が流れると、ジャイロセンサーを駆動させるための駆動回路において問題が生じることがある。そのため、可動駆動電極および固定駆動電極や、可動モニター電極および固定モニター電極の数を増やす必要があり、その分、可動検出電極および可動固定電極の面積が小さくなることがある。これにより、角速度の検出精度が低下することがある。ジャイロセンサー１００によれば、寄生容量を介して、モニター配線５０，５１に電流が流れることを抑制できるので、上記のような問題を回避することができ、所望の特性を得ることができる。

ジャイロセンサー１００によれば、固定電位配線４０の厚みは、駆動配線２０，２１の厚み以上であり、かつモニター配線５０，５１の厚み以上である。そのため、より確実に、駆動配線２０，２１とモニター配線５０，５１との間に寄生容量が発生することを抑制できる。

ジャイロセンサー１００によれば、固定電位配線４０は、振動体１１２と電気的に接続されている。これにより、振動体１１２に電位を与えつつ、駆動配線２０，２１とモニター配線５０，５１との間に寄生容量が発生することを抑制できる。

ジャイロセンサー１００によれば、固定電位配線４０は、平面視において、振動体１１２を囲んで設けられている。そのため、例えば、キャビティー６２に他の機能素子（機能素子１０２と隣り合う機能素子）が収容されている場合に、機能素子１０２と他の機能素子との間に寄生容量が発生することを抑制できる。

ジャイロセンサー１００によれば、駆動配線２０とモニター配線５０との交差する面積（総面積）Ｓ１と、駆動配線２０とモニター配線５１との交差する面積（総面積）Ｓ２とは、同じである。同様に、駆動配線２１とモニター配線５０との交差する面積（総面積）Ｓ３と、駆動配線２１とモニター配線５１との交差する面積（総面積）Ｓ４とは、同じである。そのため、駆動配線２０とモニター配線５０との間の寄生容量を介して、モニター配線５０に流れる電流の大きさと、駆動配線２０とモニター配線５１との間の寄生容量を介して、モニター配線５１に流れる電流の大きさと、を近づける（もしくは同じにする）ことができる。同様に、駆動配線２１とモニター配線５０との間の寄生容量を介して、モニター配線５０に流れる電流の大きさと、駆動配線２１とモニター配線５１との間の寄生容量を介して、モニター配線５１に流れる電流の大きさと、を近づける（もしくは同じにする）ことができる。これにより、寄生容量を介してモニター配線５０，５１に流れる電流の影響を、キャンセルすることができる。

なお、上記では、振動体１１２の一方側において、駆動配線２０，２１とモニター配線５０，５１との間に、固定電位配線４０が設けられている例について説明したが、ジャイロセンサー１００は、振動体１１２の一方側において、駆動配線２０，２１と検出配線３０，３１との間に、固定電位配線４０が設けられている形態でもよい。このような形態によれば、駆動配線２０，２１と検出配線３０，３１との間で発生する寄生容量を介して、検出配線３０，３１に電流が流れることを抑制できる。

２． ジャイロセンサーの製造方法
次に、本実施形態に係るジャイロセンサーの製造方法について、図面を参照しながら説明する。図１０〜図１２は、本実施形態に係るジャイロセンサー１００の製造工程を模式的に示す断面図であって、図２に対応している。

図１０に示すように、基板１０の第１面１１に、凹部１４および溝部１６，１７，１８，１９を形成する。凹部１４および溝部１６，１７，１８，１９は、例えば、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術により形成される。これにより、第１面１１に凹部１４および溝部１６，１７，１８，１９が設けられている基板１０を用意することができる。

図１１に示すように、凹部１４内を含む基板１０上に検出配線３０，３１を形成し、溝部１６，１７，１８，１９内に、それぞれ配線２０，２１，５０，５１の第１部分２０ａ，２１ａ，５０ａ，５１ａを形成する。第１部分２０ａ，２１ａ，５０ａ，５１ａおよび検出配線３０，３１は、例えば、スパッタ法やＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などによって成膜された後、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によってパターニングされることによって形成される。

図１２に示すように、基板１０上に機能素子１０２を形成する。より具体的には、機能素子１０２は、シリコン基板（図示せず）を基板１０の第１面１１に載置（接合）し、該シリコン基板を薄膜化させた後にパターニングすることにより形成される。パターニングは、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によって行われる。シリコン基板と基板１０の接合は、例えば、陽極接合によって行われる。

機能素子１０２を形成する工程において、配線２０，２１，５０，５１の第１面１１上に設けられる部分（第２部分）を形成して配線２０，２１，５０，５１を形成し、さらに固定電位配線４０を形成することができる。

図２に示すように、基板１０および蓋体６０を接合して、基板１０および蓋体６０によって囲まれるキャビティー６２に機能素子１０２を収容する。基板１０と蓋体６０との接合は、例えば、陽極接合によって行われる。

以上の工程により、ジャイロセンサー１００を製造することができる。

ジャイロセンサー１００の製造方法によれば、上述のとおり、駆動配線２０，２１とモニター配線５０，５１との間で発生する寄生容量を介して、モニター配線５０，５１に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサー１００を形成することができる。

３． ジャイロセンサーの変形例
次に、本実施形態の変形例に係るジャイロセンサーについて、図面を参照しながら説明する。図１３は、本実施形態の変形例に係るジャイロセンサー２００を模式的に示す断面図であって、図４に対応している。なお、便宜上、図１３では、蓋体６０の図示を省略している。以下、ジャイロセンサー２００において、上述したジャイロセンサー１００の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。

ジャイロセンサー１００では、配線２０，２１，４０，５０，５１の、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられＸ軸方向に延出する部分（図１参照）において、固定電位配線４０の厚みは、図４に示すように、駆動配線２０，２１の厚みより大きく、かつモニター配線５０，５１の厚みより大きかった。図４に示す駆動配線２０，２１およびモニター配線５０，５１は、それぞれ、溝部１６，１７，１８，１９に設けられている第１部分２０ａ，２１ａ，５０ａ，５１ａであった。

これに対し、ジャイロセンサー２００では、配線２０，２１，４０，５０，５１の、振動体１１２の＋Ｙ方向側に設けられＸ軸方向に延出する部分（図１参照）において、固定電位配線４０の厚みは、図１３に示すように、駆動配線２０，２１の厚み、およびモニター配線５０，５１の厚みと同じである。図１３に示す駆動配線２０，２１およびモニター配線５０，５１は、それぞれ、基板１０の第１面１１に設けられている第２部分２０ｂ，２１ｂ，５０ｂ，５１ｂである。第２部分２０ｂ，２１ｂ，５０ｂ，５１ｂは、例えば、固定電位配線４０と同じ材質（導電性が付与されたシリコン）から構成されている。

ジャイロセンサー２００によれば、駆動配線２０，２１とモニター配線５０，５１との間で発生する寄生容量を介して、モニター配線５０，５１に電流が流れることを抑制できる。

４． 電子機器
次に、本実施形態に係る電子機器について、図面を参照しながら説明する。本実施形態に係る電子機器は、本発明に係るジャイロセンサーを含む。以下では、本発明に係るジャイロセンサーとして、ジャイロセンサー１００を含む電子機器について、説明する。

図１４は、本実施形態に係る電子機器として、モバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューター１１００を模式的に示す斜視図である。

図１４に示すように、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を有する表示ユニット１１０６と、により構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。

このようなパーソナルコンピューター１１００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。

図１５は、本実施形態に係る電子機器として、携帯電話機（ＰＨＳも含む）１２００を模式的に示す斜視図である。

図１５に示すように、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。

このような携帯電話機１２００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。

図１６は、本実施形態に係る電子機器として、デジタルスチルカメラ１３００を模式的に示す斜視図である。なお、図１６には、外部機器との接続についても簡易的に示している。

ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。

また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。

また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、ビデオ信号出力端子１３１２には、テレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４には、パーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。

このようなデジタルスチルカメラ１３００には、ジャイロセンサー１００が内蔵されている。

以上のような電子機器１１００，１２００，１３００は、駆動配線とモニター配線との間で発生する寄生容量を介して、検出配線に電流が流れることを抑制できるジャイロセンサー１００を有することができる。

なお、上記ジャイロセンサー１００を備えた電子機器は、図１４に示すパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１５に示す携帯電話機、図１６に示すデジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、ヘッドマウントディスプレイ、各種ナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、ロケット、船舶の計器類）、ロボットや人体などの姿勢制御、フライトシミュレーターなどに適用することができる。

上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。

本発明は、実施の形態で説明した構成と実質的に同一の構成（例えば、機能、方法および結果が同一の構成、あるいは目的および効果が同一の構成）を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成または同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施の形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。

１０…基体、１１…第１面、１２…第２面、１４…凹部、１６，１７，１８，１９…溝部、２０…駆動配線、２０ａ…第１部分、２０ｂ…第２部分、２１…駆動配線、２１ａ…第１部分、２１ｂ…第２部分、３０，３１…検出配線、４０…固定電位配線、５０…モニター配線、５０ａ…第１部分、５０ｂ…第２部分、５１…モニター配線、５１ａ…第１部分、５１ｂ…第２部分、６０…蓋体、６２…キャビティー、１００…ジャイロセンサー、１０２…機能素子、１０６…第１構造体、１０８…第２構造体、１１２…振動体、１１２ａ…振動体、１１２ｂ…振動体、１１４…第１バネ部、１１６…可動駆動電極、１１８…可動モニター電極、１２２…変位部、１２２ａ…変位部、１２２ｂ…変位部、１２４…第２バネ部、１２６…可動検出電極、１３０，１３２…固定駆動電極、１４０，１４２…固定検出電極、１５０…固定部、１６０，１６２…固定モニター電極、２００…ジャイロセンサー、１１００…パーソナルコンピューター、１１０２…キーボード、１１０４…本体部、１１０６…表示ユニット、１１０８…表示部、１２００…携帯電話機、１２０２…操作ボタン、１２０４…受話口、１２０６…送話口、１２０８…表示部、１３００…デジタルスチルカメラ、１３０２…ケース、１３０４…ユニット、１３０６…シャッターボタン、１３０８…メモリー、１３１０…表示部、１３１２…ビデオ信号出力端子、１３１４…入出力端子、１４３０…テレビモニター、１４４０…パーソナルコンピューター

Claims (8)

1. 基板と、
   振動体と、
   前記基板上に固定され、前記振動体を振動させる固定駆動電極と、
   前記基板上に固定され、前記振動体の振動に応じて変化する信号を検出する固定振動検出電極と、
   前記基板上に設けられ、前記固定駆動電極に接続された駆動配線と、
   前記基板上に設けられ、前記固定振動検出電極に接続された振動検出配線と、
   前記基板上に設けられ、所定の電位を有する固定電位配線と、
   を含み、
   平面視で、前記駆動配線と前記振動検出配線との間に、前記固定電位配線が設けられている、ジャイロセンサー。
2. 請求項１において、
   前記振動検出電極は、
   前記振動体の振動状態を検出する電極である、ジャイロセンサー。
3. 請求項１または２において、
   前記固定電位配線の厚みは、前記駆動配線の厚み以上であり、かつ前記振動検出配線の厚み以上である、ジャイロセンサー。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
   前記固定電位配線は、前記振動体と電気的に接続されている、ジャイロセンサー。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項において、
   前記固定電位配線は、平面視で、前記振動体を囲んで設けられている、ジャイロセンサー。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
   前記振動体から延出し、前記振動体を振動させる可動駆動電極と、
   前記振動体から延出し、前記振動体の振動状態を検出する可動モニター電極と、
   をさらに含み、
   前記固定駆動電極は、前記可動駆動電極と対向して設けられ、
   前記固定振動検出電極は、前記可動モニター電極と対向して設けられている、ジャイロセンサー。
7. 請求項６において、
   前記固定駆動電極は、
   前記可動駆動電極の一方側、および前記可動駆動電極の他方側に設けられ、
   前記固定振動検出電極は、
   前記可動モニター電極の一方側、および前記可動モニター電極の他方側に設けられ、
   前記駆動配線は、前記可動駆動電極の一方側に設けられている前記固定駆動電極に接続され、
   他の前記駆動配線は、前記可動駆動電極の他方側に設けられている前記固定駆動電極に接続され、
   前記振動検出配線は、前記可動モニター電極の一方側に設けられている前記固定振動検出電極に接続され、
   他の前記振動検出配線は、前記可動モニター電極の他方側に設けられている前記固定振動検出電極に接続され、
   前記駆動配線と前記振動検出配線との交差する面積と、前記駆動配線と他の前記振動検出配線との交差する面積とは、同じであり、
   他の前記駆動配線と前記振動検出配線との交差する面積と、他の前記駆動配線と他の前記振動検出配線との交差する面積とは、同じである、ジャイロセンサー。
8. 請求項１ないし７のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。