JP2007129142A - 基板載置部材の分離方法及び再利用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】静電チャック5及びベース部材3を有機接着剤層7を介して接合した基板載置部材1から、前記静電チャック5とベース部材3とを分離する基板載置部材の分離方法において、前記基板載置部材1を、熱分解開始温度から熱分解終了温度までの範囲の熱分解温度に加熱して前記有機接着剤層7を軟化及び分解させながら、前記静電チャック5を支持体35に懸架して、ベース部材3の自重による分離荷重を加えることによって分離させる。
【選択図】図2
Description
まず、本発明に係る第1の実施形態について説明する。
まず、有機接着剤層7を形成する樹脂系の接合シート等の接合材について、熱分解を起こす熱分解温度を測定する。具体的には、前記接合材を加熱して接合材の温度を上昇させていったときに、接合材全体の重量に対して、熱分解によってガス放出して消失した重量の比率を測定する。例えば、加熱前の接合材全体の重量を500mgとし、5℃/分の加熱速度で加熱した場合、熱分解した分の重量が10%(50mg)となる温度を熱分解開始温度と設定する。また、熱分解した分の重量が加熱前の重量に対して50%(250mg)となる温度を熱分解終了温度と設定し、これらの熱分解開始温度と熱分解終了温度との間の温度を加熱温度とすることができる。なお、これらの熱分解した重量の割合は、有機接着剤層7の種類に応じて適宜設定することができる。また、実際に熱分解重量を測定することなく、接合材の製品カタログ等に記載されたデータから熱分解開始温度と熱分解終了温度とを推定して求めても良い。
次いで、静電チャック5とベース部材3とを加熱しながら分離させる。この分離方法には、ベース部材3の自重を用いる場合、ベース部材3に錘を取り付けてこれらのベース部材3と錘との合計荷重を用いる場合、マイナスドライバ等の工具を用いる場合を採用することができる。
前記第1の実施形態においては、基板載置部材1からベース部材3を分離させる分離方法について説明したが、第2の実施形態においては、この分離させた静電チャック5とベース部材3を再利用する方法について説明する。
実施例1に用いた基板載置部材1は、図1に示すように、アルミニウム製のベース部材3と、窒化アルミニウム製の静電チャック5とを有機接着剤層7を介して接合したものである。静電チャック5には、周方向に沿って3つのリフトピン孔19が穿設され、該リフトピン孔19の下部には座繰り部21を形成してあり、ベース部材3の重量は3400gであった。また、有機接着剤層7の種類は、表1に示すように、熱硬化性アクリル樹脂、熱硬化性シリコーン樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、熱硬化性エポキシ樹脂、熱硬化性アクリル樹脂、及び熱可塑性アクリル樹脂を用いた。これらの有機接着剤層7の熱分解開始温度と熱分解終了温度を測定した結果、表1のようになった。
次に、錘43を用いて基板載置部材1からベース部材3を分離する実施例2について説明する。
次に、実施例3において、加熱炉27内の雰囲気を排気しながら、ベース部材3の分離を行った。
次いで、工具を用いて静電チャック5とベース部材3とを分離させる実施例について説明する。ここで接着剤層7は熱硬化性アクリル樹脂であり、熱分解開始温度は190℃、熱分解終了温度は320℃であった。
3…ベース部材
5…静電チャック
7…有機接着剤層
43…錘
Claims (7)
- 静電チャック及びベース部材を有機接着剤層を介して接合した基板載置部材から、前記静電チャックとベース部材とを分離する基板載置部材の分離方法において、
前記基板載置部材を、前記有機接着剤層の熱分解開始温度から熱分解終了温度までの範囲の熱分解温度に加熱して前記有機接着剤層を軟化及び分解させながら、前記静電チャックとベース部材とを互いに離反させる方向に分離荷重を加えることによって分離させることを特徴とする基板載置部材の分離方法。 - 前記有機接着剤層の熱分解開始温度及び熱分解終了温度を測定し、この測定値に基づいて、前記熱分解温度を設定することを特徴とする請求項1に記載の基板載置部材の分離方法。
- 前記分離荷重は、前記静電チャックを懸架したときに生じる、ベース部材の自重であることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板載置部材の分離方法。
- 前記分離荷重は、前記静電チャックに錘を取り付けて前記静電チャックを懸架したときに生じる、ベース部材及び錘の合計荷重であることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板載置部材の分離方法。
- 前記分離荷重は、静電チャックとベース部材との境界部分に切込みを入れつつ、静電チャックとベース部材とを引き剥がす荷重であることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板載置部材の分離方法。
- 前記静電チャックとベース部材との分離を、不活性ガス雰囲気中で行うことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の基板載置部材の分離方法。
- 前記請求項1〜6に記載された分離方法を用いて静電チャックとベース部材とを分離させたのち、この分離させた静電チャックとベース部材との少なくともいずれかを再利用することを特徴とする基板載置部材の再利用方法。
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