JP2020109803A - 静電チャック - Google Patents
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Abstract
Description
A−1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図であり、図3は、本実施形態における静電チャック100のXY断面構成を概略的に示す説明図である。図2には、図3のII−IIの位置における静電チャック100のXZ断面構成が示されている。図3には、図2のIII−IIIの位置における静電チャック100のXY断面構成が示されている。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、図2を用いて、チャック電極40およびヒータ電極50への給電のための構成について説明する。静電チャック100は、ヒータ電極50への給電のための構成を備えている。すなわち、図2に示すように、静電チャック100には、ベース部材20の下面S4から板状部材10の内部に至るヒータ電極用端子用孔150が形成されている。ヒータ電極用端子用孔150は、ベース部材20を上下方向に貫通する貫通孔25と、接合部30を上下方向に貫通する貫通孔35と、板状部材10の下面S2側に形成された凹部15とが、互いに連通することにより構成された一体の孔である。本実施形態では、ヒータ電極用端子用孔150を構成する貫通孔25,35は、断面(面方向に平行な断面)が円形状の孔である。
次に、接合部30の周辺の詳細構成について説明する。図4は、本実施形態の静電チャック100の接合部30の周辺部(図2および図3におけるX1部)のXZ断面構成を拡大して示す説明図である。
次に、本実施形態における静電チャック100の分離方法を説明する。静電チャック100の分離方法は、静電チャック100において接着されている板状部材10とベース部材20とを分離する方法である。まず、静電チャック100を固定する。次いで、ワイヤ部60の2つの外側部603をそれぞれ把持し、当該把持した2つの外側部603を図3に示す矢印方向へ向かって引っ張る。すなわち、2つの外側部603を同じ方向へ引っ張ることによって、内側部601が給電端子44,54に干渉することなく、静電チャック100の外部へ取り出すことが可能な方向へ外側部603を引っ張る。これにより、接合部30の内部の内の内側部601が通過した部分(すなわち、内側領域R2)において、接合部30を破壊することができる。その後、静電チャック100の板状部材10とベース部材20とをそれぞれ固定し、例えば、両者に振動を加えたり、両者を反対の方向へ回転させたりすることにより、板状部材10とベース部材20とを分離する。
本実施形態の静電チャック100の製造方法は、例えば以下の通りである。まず、公知の方法により、板状部材10を作製する。例えば、セラミックスグリーンシートを複数枚作製し、所定のセラミックスグリーンシートに所定の加工を行う。所定の加工としては、例えば、チャック電極40やヒータ電極50等の形成のためのメタライズペーストの印刷、各種ビアの形成のための孔空けおよびメタライズペーストの充填、端子用孔140,150を構成する凹部14,15等の孔空け等が挙げられる。これらのセラミックスグリーンシートを積層して熱圧着し、切断等の加工を行うことにより、セラミックスグリーンシートの積層体を作製する。作製されたセラミックスグリーンシートの積層体を焼成することにより、セラミックス焼成体である板状部材10を作製する。また、公知の方法により、ベース部材20を作製する。
本実施形態において、上述の引張強度の値は以下の手法により算出した。公知の引張試験機(例えば、島津製作所製オートグラフ(AG−IS))を使用し、引張試験(50mm/分で実施)での、接合部30およびワイヤ部60の引張強度を測定した。接合部30およびワイヤ部60について、測定のための各試験片は、次のように作製した。接合部30の試験片は、上述のように作製した接着シートを100℃で10時間硬化させた後、さらに、150℃で50時間硬化させ、幅10mm×長さ70mm×厚さ0.35mmの短冊状に切り出すことにより試験片を作製した。また、ワイヤ部60の試験片は、ワイヤ部60を100mmの長さに切り取ることにより作製した。引張強度は、当該試験片(接合部30およびワイヤ部60)が破断するまで引っ張り、そのときの最大点試験力を試験片の断面積(幅10mm×厚さ0.35mm)で除すことで算出した。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100は、Z軸方向に略直交する吸着面S1と、吸着面S1とは反対側の下面S2とを有する板状部材10と、上面S3を有し、上面S3が板状部材10の下面S2側に位置するように配置されたベース部材20と、板状部材10とベース部材20との間に配置され、かつ、樹脂材料により形成された接合部30と、を備え、板状部材10の吸着面S1上に対象物(ウェハW)を保持する静電チャック100である。また、本実施形態の静電チャック100は、内側部601と外側部603とを有するワイヤ部60を備えている。内側部601は、ワイヤ部60の内の、板状部材10とベース部材20との間に配置され、かつ、Z軸方向視において、接合部30に重なるように配置された部分である。外側部603は、ワイヤ部60の内の、内側部601に連続し、かつ、Z軸方向視において、板状部材10の外側に位置する部分である。
B−1.静電チャック100aの構成:
図5は、第2実施形態の静電チャック100aにおけるXY断面構成を概略的に示す説明図である。図5には、上述した図3の断面に相当する第2実施形態の静電チャック100aのXY断面構成が示されている。以下では、第2実施形態の静電チャック100aの構成の内、上述した第1実施形態の静電チャック100の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。
次に、本実施形態における静電チャック100aの分離方法を説明する。静電チャック100aの分離方法は、第1実施形態の静電チャック100の分離方法と同様に、静電チャック100aにおいて接着されている板状部材10とベース部材20とを分離する方法である。まず、静電チャック100を固定する。次いで、ワイヤ部60aの2つの外側部603aをそれぞれ把持し、当該把持した2つの外側部603aを図5に示す矢印X方向へ向かって引っ張る。これにより、接合部30aの内部の内の内側部601aが通過した部分(すなわち、内側領域R4)において、接合部30aを破壊することができる。次いで、ワイヤ部60aと同様に、ワイヤ部60bの2つの外側部603bをそれぞれ把持し、当該把持した2つの外側部603bを図5に示す矢印Y方向へ向かって引っ張る。これにより、接合部30aの内部の内の内側部601bが通過した部分(すなわち、内側領域)において、接合部30aを破壊することができる。その後、静電チャック100aの板状部材10とベース部材20とをそれぞれ固定し、例えば、両者に振動を加えたり、両者を反対の方向へ回転させたりすることにより、板状部材10とベース部材20とを分離する。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100aは、2つのワイヤ部60a,60bを備えている。このため、本実施形態の静電チャック100aでは、板状部材10とベース部材20との間の内部(本実施形態において、接合部30aの内部)において、内側部601a,601bのそれぞれを移動させることができる。これにより、本実施形態の静電チャック100aによれば、第1実施形態の静電チャック100が奏する効果に加えて、板状部材10とベース部材20との間の内部(本実施形態において、接合部30aの内部)における、所望の2つの部分において両部材を分離することができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (9)
- 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する板状部材と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面側に位置するように配置されたベース部材と、
前記板状部材と前記ベース部材との間に配置され、かつ、樹脂材料により形成された接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する静電チャックにおいて、
前記板状部材と前記ベース部材との間に配置され、かつ、前記第1の方向視において、前記接合部に重なるように配置された内側部と、前記内側部に連続し、かつ、前記第1の方向視において、前記板状部材の外側に位置する外側部と、を有するワイヤ部、を備える、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項1に記載の静電チャックにおいて、
前記板状部材に配置された電極と、
前記電極に電気的に接続される少なくとも1つの給電端子と、を備え、
前記第1の方向視において、前記少なくとも1つの給電端子は、前記ワイヤ部の前記内側部と、前記接合部の外縁とにより画定される2つの領域の内の一方にのみ配置されている、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項2に記載の静電チャックにおいて、
前記第1の方向視において、前記板状部材の中心は、前記2つの領域の内の他方に位置している、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項2または請求項3に記載の静電チャックにおいて、
第1の方向視において、前記接合部の外縁によって囲まれた領域における面積に対する、前記2つの領域の内の他方における面積の比は、7割以上である、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の静電チャックにおいて、
複数の前記ワイヤ部、を備える、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の静電チャックにおいて、
前記内側部の長さと前記外側部の長さとの合計は、前記接合部の外縁の長さ以上である、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項1から請求項6までのいずれか一項に記載の静電チャックにおいて、
前記ワイヤ部の引張強度は、前記接合部の引張強度より大きい、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項1から請求項7までのいずれか一項に記載の静電チャックにおいて、
前記ワイヤ部は、樹脂材料により形成されている、
ことを特徴とする静電チャック。 - 請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載の静電チャックにおいて、
前記外側部を覆う保護部材、を備える、
ことを特徴とする静電チャック。
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