JP2021044303A

JP2021044303A - 保持装置

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Publication number: JP2021044303A
Application number: JP2019163502A
Authority: JP
Inventors: 要三輪; Kaname Miwa
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2019-09-09
Filing date: 2019-09-09
Publication date: 2021-03-18
Anticipated expiration: 2039-09-09
Also published as: JP7349855B2

Abstract

【課題】保持装置においてプラズマやプロセスガス等の侵入に起因して接合部が劣化することを抑制する。【解決手段】保持装置は、セラミックスを含む材料により形成された板状部材と、ベース部材と、板状部材とベース部材とを接合する接合部とを備える。保持装置は、また、ベース部材の貫通孔内に配置され、貫通孔が形成された筒状のスリーブを備える。保持装置は、さらに、エラストマーにより形成された保護部材を備える。保護部材は、接合部の貫通孔内に配置され、板状部材の内部孔とスリーブの貫通孔とに連通する貫通孔が形成された筒状である。保護部材は、板状部材に対向する表面の少なくとも一部分の面が板状部材に当接すると共に、スリーブに対向する表面の少なくとも一部分の面がスリーブに当接する。【選択図】図３

Description

本明細書に開示される技術は、対象物を保持する保持装置に関する。

例えば半導体製造装置の真空チャンバー内でウェハを保持する保持装置として、静電チャックが用いられる。静電チャックは、例えばセラミックスを含む材料により形成された板状部材と、例えば金属により形成されたベース部材と、例えば樹脂を含む材料により形成され、板状部材とベース部材とを接合する接合部と、板状部材の内部に設けられたチャック電極とを備えている。静電チャックは、チャック電極に電圧が印加されることにより発生する静電引力を利用して、板状部材の表面（以下、「吸着面」という。）にウェハを吸着して保持する。

静電チャックには、板状部材の吸着面上に保持されたウェハを押し上げて吸着面から離間させるリフトピンを挿通するためのピン挿通孔が形成されている。ピン挿通孔は、板状部材を貫通する貫通孔と、ベース部材を貫通する貫通孔と、接合部を貫通する貫通孔と、が互いに連通した一体の孔である。

従来、静電チャックにおいて、接合部に形成された貫通孔（ピン挿通孔の一部）の内周面がピン挿通孔内に入り込んだプラズマやプロセスガスに晒されて、接合部が劣化することを抑制するために、接合部の貫通孔の内周面を保護するＯリングが配置された構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。Ｏリングは、板状部材とベース部材との間に挟持され、板状部材およびベース部材と当接した箇所においてプラズマやプロセスガスの侵入を抑制する。

実用新案登録第３２２２１６３号公報

上記従来の構成で使用されるＯリングは、板状部材およびベース部材と線接触するため、プラズマやプロセスガスの侵入を確実に抑制することができず、該侵入に起因する接合部の劣化を抑制することができない、という課題がある。

なお、このような課題は、ピン挿通孔以外の用途のために接合部に形成された貫通孔の内周面を保護する場合にも共通の課題である。また、このような課題は、静電引力を利用してウェハを保持する静電チャックに限らず、板状部材と、ベース部材と、両者を接合する接合部とを備え、板状部材の表面上に対象物を保持する保持装置一般に共通の課題である。

本明細書では、上述した課題を解決することが可能な技術を開示する。

本明細書に開示される技術は、例えば、以下の形態として実現することが可能である。

（１）本明細書に開示される保持装置は、第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有し、前記第２の表面と前記第１の表面とに開口する内部孔が形成され、セラミックスを含む材料により形成された板状部材と、第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、貫通孔が形成され、導電性材料により形成されたベース部材と、前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接合し、貫通孔が形成された接合部と、を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する装置である。保持装置は、さらに、前記ベース部材の前記貫通孔内に配置され、前記第１の方向に延びる貫通孔が形成された筒状であり、絶縁性材料により形成されたスリーブと、エラストマーにより形成された保護部材であって、少なくとも一部分が前記接合部の前記貫通孔内に配置され、前記板状部材の前記内部孔と前記スリーブの前記貫通孔とに連通する貫通孔が形成された筒状であり、前記第１の方向において前記板状部材に対向する表面の少なくとも一部分の面が前記板状部材に当接すると共に、前記第１の方向において前記スリーブに対向する表面の少なくとも一部分の面が前記スリーブに当接する、保護部材と、を備える。本保持装置では、第１の方向において板状部材に対向する保護部材の表面の少なくとも一部分の面が、板状部材に当接し、かつ、第１の方向においてスリーブに対向する保護部材の表面の少なくとも一部分の面が、スリーブに当接している。そのため、本保持装置では、保護部材と板状部材およびスリーブとを面接触させて封止面積を大きくすることができる。従って、本保持装置によれば、保護部材により、プラズマやプロセスガスが接合部の貫通孔の内周面付近に侵入することを確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部が劣化することを抑制することができる。

（２）上記保持装置において、前記スリーブは、第１の部分と、前記第１の方向において、前記第１の部分より前記板状部材に近い側に位置し、前記第１の方向に直交する方向の外径が前記第１の部分より小さい第２の部分と、を備え、前記保護部材は、前記第１の方向視で、前記スリーブの前記第２の部分の外周を取り囲む部分を有する構成としてもよい。本保持装置では、スリーブは、第１の部分と、第１の方向において第１の部分より板状部材に近い側に位置する第２の部分とを備える。第２の部分における第１の方向に直交する方向の外径は、第１の部分の外径より小さい。また、保護部材は、第１の方向視で、スリーブの第２の部分の外周を取り囲む部分を有する。そのため、本保持装置によれば、スリーブに対する保護部材の位置ずれを抑制することができ、該位置ずれに起因して保護部材による封止性能が低下することを抑制することができる。また、本保持装置によれば、保護部材をスリーブに固定することができ、保護部材の組み付けや取り外しの際の取扱いを容易化することができる。

（３）上記保持装置において、前記スリーブの前記第２の部分における前記板状部材側の端部には、前記板状部材に近いほど縮径する段差が形成されており、前記保護部材は、前記スリーブの前記第２の部分における前記段差を構成する表面の内、前記第１の方向視で前記スリーブの前記貫通孔に隣接する第１の領域と、前記第１の方向視で前記第１の領域の外周側に位置し、かつ、前記第１の方向において前記第１の領域より前記板状部材から離れた側に位置する第２の領域と、に当接する構成としてもよい。本保持装置によれば、スリーブの端部における厚さが薄い部分の長さを短くしつつ、かつ、保護部材における厚さが薄い部分の幅を小さくしつつ、保護部材においてプラズマやプロセスガスが存在する空間に露出する部分を小さくすることができ、保護部材の劣化を抑制することができる。

（４）上記保持装置において、前記保護部材は、前記第１の方向において前記スリーブの前記第１の部分に対向する表面の少なくとも一部分の面が前記スリーブの前記第１の部分に当接し、前記第１の方向において、前記スリーブの前記第２の部分における前記板状部材側の端面と、前記保護部材における前記板状部材との当接部分との間には、隙間が存在する構成としてもよい。本保持装置では、該隙間の存在により、保護部材における板状部材との当接部分を弾性変形容易に構成できる。これにより、保護部材やスリーブに寸法バラツキがあっても、保護部材の該当接部分が該寸法バラツキに追従して弾性変形することによって、保護部材を板状部材に確実に当接させることができる。従って、本保持装置によれば、保護部材により、プラズマやプロセスガスが接合部の貫通孔の内周面付近に侵入することをより確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部が劣化することをより効果的に抑制することができる。

（５）上記保持装置において、前記保護部材において、前記板状部材との当接部分より前記板状部材から離れた側の位置の内周面に、前記第１の方向視における前記スリーブの前記第２の部分の最外周線の位置より凹んだ溝が形成されている構成としてもよい。本保持装置では、該溝の存在により、保護部材における板状部材との当接部分を確実に内周面側に弾性変形させられるため、保護部材やスリーブに寸法バラツキがあっても、保護部材の該当接部分が該寸法バラツキに追従して確実に内周面側に弾性変形することによって、保護部材を板状部材に一層確実に当接させることができる。従って、本保持装置によれば、保護部材により、プラズマやプロセスガスが接合部の貫通孔の内周面付近に侵入することを一層確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部が劣化することを極めて効果的に抑制することができる。

（６）上記保持装置において、前記スリーブは、前記第１の方向において前記第１の部分と前記第２の部分との間に位置し、前記第１の方向に直交する方向の外径が前記第２の部分の最大外径より小さい第３の部分を備え、前記保護部材は、前記第１の方向に直交する方向視で前記スリーブの前記第３の部分に重なり、かつ、前記第１の方向視で前記スリーブの前記第２の部分に重なる部分を有する構成としてもよい。本保持装置では、保護部材の一部（第１の方向に直交する方向視でスリーブの第３の部分に重なり、かつ、第１の方向視でスリーブの第２の部分に重なる部分）がスリーブの外周面に形成された溝（第３の部分の外周面を底面とする溝）に入り込み、保護部材とスリーブとの係合によってスリーブに対する保護部材の第１の方向への移動が規制された状態となる。従って、本保持装置によれば、保護部材をスリーブに確実に固定することができ、保護部材の組み付けや取り外しの際の取扱いをさらに容易化することができる。

（７）上記保持装置において、前記第１の方向における前記保護部材の厚さは、前記接合部の厚さより厚い構成としてもよい。本保持装置によれば、プラズマやプロセスガスが保護部材の周囲を通って接合部の貫通孔の内周面に至る侵入経路を長くすることができ、保護部材によりプラズマやプロセスガスの侵入を一層確実に抑制することができる。

なお、本明細書に開示される技術は、種々の形態で実現することが可能であり、例えば、保持装置、静電チャック、それらの製造方法等の形態で実現することが可能である。

第１実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図第１実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図第１実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図第２実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図第３実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図第４実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図

Ａ．第１実施形態：
Ａ−１．静電チャック１００の構成：
図１は、第１実施形態における静電チャック１００の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図２は、第１実施形態における静電チャック１００のＸＺ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するＸＹＺ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Ｚ軸正方向を上方向といい、Ｚ軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック１００は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。

静電チャック１００は、対象物（例えばウェハＷ）を静電引力により吸着して保持する装置であり、例えば半導体製造装置の真空チャンバー内でウェハＷを固定するために使用される半導体製造装置用部品である。静電チャック１００は、所定の配列方向（本実施形態では上下方向（Ｚ軸方向））に並べて配置された板状部材１０およびベース部材２０を備える。板状部材１０とベース部材２０とは、板状部材１０の下面Ｓ２（図２参照）とベース部材２０の上面Ｓ３とが、後述する接合部３０を挟んで上記配列方向に対向するように配置されている。すなわち、ベース部材２０は、ベース部材２０の上面Ｓ３が板状部材１０の下面Ｓ２側に位置するように配置されている。板状部材１０の下面Ｓ２は、特許請求の範囲における第２の表面に相当し、ベース部材２０の上面Ｓ３は、特許請求の範囲における第３の表面に相当する。

板状部材１０は、Ｚ軸方向視で略円形の板状の部材であり、セラミックス（例えば、アルミナや窒化アルミニウム等）を含む材料により形成されている。なお、本実施形態では、板状部材１０は、セラミックスを主成分として含む材料により形成されている。本明細書において、主成分とは、体積含有率が最も高い成分を意味する。板状部材１０は、外周に沿って上側に切り欠きが形成された部分である外周部ＯＰと、外周部ＯＰの内側に位置する内側部ＩＰとから構成されている。板状部材１０における内側部ＩＰの厚さ（Ｚ軸方向における厚さであり、以下同様。）は、外周部ＯＰに形成された切り欠きの分だけ、外周部ＯＰの厚さより厚くなっている。すなわち、板状部材１０の外周部ＯＰと内側部ＩＰとの境界の位置で、板状部材１０の厚さが変化している。

板状部材１０の内側部ＩＰの直径は例えば５０ｍｍ〜５００ｍｍ程度（通常は２００ｍｍ〜３５０ｍｍ程度）であり、板状部材１０の外周部ＯＰの直径は例えば６０ｍｍ〜５１０ｍｍ程度（通常は２１０ｍｍ〜３６０ｍｍ程度）である（ただし、外周部ＯＰの直径は内側部ＩＰの直径より大きい）。また、板状部材１０の内側部ＩＰの厚さは例えば１ｍｍ〜１０ｍｍ程度であり、板状部材１０の外周部ＯＰの厚さは例えば０．５ｍｍ〜９．５ｍｍ程度である（ただし、外周部ＯＰの厚さは内側部ＩＰの厚さより薄い）。

板状部材１０の上面Ｓ１のうち、内側部ＩＰにおける上面（以下、「吸着面」ともいう。）Ｓ１１は、Ｚ軸方向に略直交する略円形の表面である。吸着面Ｓ１１は、特許請求の範囲における第１の表面に相当し、Ｚ軸方向は、特許請求の範囲における第１の方向に相当する。なお、本明細書では、Ｚ軸方向に直交する方向を「面方向」という。

板状部材１０の上面Ｓ１のうち、外周部ＯＰにおける上面（以下、「外周上面」ともいう。）Ｓ１２は、Ｚ軸方向に略直交する略円環状の表面である。板状部材１０の外周上面Ｓ１２には、例えば、静電チャック１００を固定するための治具（不図示）が係合する。

図２に示すように、板状部材１０の内部には、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）により形成されたチャック電極４０が配置されている。Ｚ軸方向視でのチャック電極４０の形状は、例えば略円形である。チャック電極４０にチャック用電源（不図示）から電圧が印加されると、静電引力が発生し、この静電引力によってウェハＷが板状部材１０の吸着面Ｓ１１に吸着固定される。

板状部材１０の内部には、また、導電性材料（例えば、タングステン、モリブデン、白金等）を含む抵抗発熱体により構成されたヒータ電極５０が配置されている。ヒータ電極５０にヒータ用電源（不図示）から電圧が印加されると、ヒータ電極５０が発熱することによって板状部材１０が温められ、板状部材１０の吸着面Ｓ１１に保持されたウェハＷが温められる。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。

ベース部材２０は、例えば板状部材１０の外周部ＯＰと同径の、または、板状部材１０の外周部ＯＰより径が大きい円形平面の板状部材であり、例えば金属（アルミニウムやアルミニウム合金等）等の導電性材料により形成されている。ベース部材２０の直径は例えば２２０ｍｍ〜５５０ｍｍ程度（通常は２２０ｍｍ〜３５０ｍｍ）であり、ベース部材２０の厚さは例えば２０ｍｍ〜４０ｍｍ程度である。

ベース部材２０は、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置された接合部３０によって、板状部材１０に接合されている。接合部３０の厚さは、例えば０．１ｍｍ〜１ｍｍ程度である。本実施形態では、接合部３０は、樹脂材料（接着材料）を主成分として含んでいる。接合部３０に含まれる樹脂材料としては、シリコーン樹脂やフッ素樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の種々の樹脂材料を用いることができるが、耐熱性が高く、かつ、柔軟な樹脂材料であるシリコーン樹脂やフッ素樹脂を用いることが好ましい。また、接合部３０は、樹脂材料に加えて、例えばセラミックスの充填材（フィラー）を含んでいてもよい。

ベース部材２０の内部には冷媒流路２１が形成されている。冷媒流路２１に冷媒（例えば、フッ素系不活性液体や水等）が流されると、ベース部材２０が冷却され、接合部３０を介したベース部材２０と板状部材１０との間の伝熱（熱引き）により板状部材１０が冷却され、板状部材１０の吸着面Ｓ１１に保持されたウェハＷが冷却される。これにより、ウェハＷの温度分布の制御が実現される。

また、図２に示すように、静電チャック１００には、ベース部材２０の下面Ｓ４から板状部材１０の吸着面Ｓ１１にわたって上下方向に延びるピン挿通孔１４０が形成されている。ピン挿通孔１４０は、ベース部材２０をＺ軸方向に貫通する貫通孔２６と、接合部３０をＺ軸方向に貫通する貫通孔３６と、板状部材１０をＺ軸方向に貫通する貫通孔１６とが互いに連通した一体の孔である。ピン挿通孔１４０は、板状部材１０の吸着面Ｓ１１上に保持されたウェハＷを押し上げて吸着面Ｓ１１から離間させるリフトピン（不図示）を挿通するための孔である。なお、ピン挿通孔１４０を構成するベース部材２０の貫通孔２６には、リフトピン（不図示）とベース部材２０との短絡を防止するために、絶縁性材料（例えば、セラミックス）により形成されたスリーブ９０が配置されている。

また、静電チャック１００は、静電チャック１００の周囲に存在するプラズマやプロセスガスから接合部３０の外周面を保護するためのＯリング１１０を備える。Ｏリング１１０は、例えばエラストマー（例えば、合成ゴム）により形成されている。Ｏリング１１０は、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３とに当接しており、該当接箇所において封止機能を発揮することにより、接合部３０の外周面がプラズマやプロセスガスに晒されて劣化することを抑制する。

さらに、静電チャック１００は、接合部３０に形成された貫通孔３６（ピン挿通孔１４０の一部）の内周面３１を保護するための保護部材１２０を備える。保護部材１２０の構成については、次の「Ａ−２．接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成」において説明する。

Ａ−２．接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成：
図３は、第１実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図である。図３には、図２のＸ１部のＸＺ断面構成が拡大して示されている。本実施形態の静電チャック１００は、Ｚ軸方向視での接合部３０の貫通孔３６の中心を通り、Ｚ軸方向に平行な任意の断面において、図３に示す構成と同様の構成となっている。

上述したように、ベース部材２０の貫通孔２６には、スリーブ９０が配置されている。スリーブ９０は、Ｚ軸方向に延びる貫通孔９８が形成された略円筒状部材であり、図示しない接着剤やボルト等によってベース部材２０に固定されている。スリーブ９０に形成された貫通孔９８の内径は、Ｚ軸方向の全体にわたって略一定である。本実施形態では、スリーブ９０に形成された貫通孔９８の内径は、板状部材１０に形成された貫通孔１６の内径と略同一であり、かつ、貫通孔９８と貫通孔１６とは、互いに略同心である。

本実施形態では、スリーブ９０は、下側部分９１と、上側部分９２と、中間部分９３とを備える。上側部分９２は、Ｚ軸方向において下側部分９１より板状部材１０に近い側（上側）に位置しており、中間部分９３は、Ｚ軸方向において下側部分９１と上側部分９２との間に位置している。上側部分９２の外径Ｄ２（位置によって外径が異なる場合には最大外径。以下、同様。）は、下側部分９１の外径Ｄ１より小さい。また、中間部分９３の外径Ｄ３は、上側部分９２の外径Ｄ２より小さい。そのため、スリーブ９０を上側から見ると、下側部分９１の上面Ｓ５（の内の外周側の一部）と、上側部分９２の上面Ｓ６とが視認される。また、中間部分９３の存在により、スリーブ９０の外周面は、溝（中間部分９３の外周面を底面とする溝）が形成された形状となっている。スリーブ９０の下側部分９１は、特許請求の範囲における第１の部分に相当し、スリーブ９０の上側部分９２は、特許請求の範囲における第２の部分に相当し、スリーブ９０の中間部分９３は、特許請求の範囲における第３の部分に相当する。

また、上述したように、静電チャック１００は、プラズマやプロセスガスから接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１を保護するための保護部材１２０を備える。保護部材１２０は、エラストマー（例えば、合成ゴム）により形成されている。なお、保護部材１２０の形成材料は、弾性を有し、かつ、耐プラズマ性、耐熱性、耐薬品性に優れた材料であることが好ましい。

保護部材１２０は、貫通孔１２８が形成された略円筒状の部材である。本実施形態では、保護部材１２０の外径は、Ｚ軸方向の全体にわたって略一定であり、スリーブ９０の下側部分９１の外径Ｄ１と略同一であり、ベース部材２０に形成された貫通孔２６の内径以下である。また、保護部材１２０に形成された貫通孔１２８は、板状部材１０に形成された貫通孔１６とスリーブ９０に形成された貫通孔９８とに連通している。なお、先に、ピン挿通孔１４０は、ベース部材２０の貫通孔２６と、接合部３０の貫通孔３６と、板状部材１０の貫通孔１６とが互いに連通した一体の孔であると説明したが、より詳細には、ピン挿通孔１４０は、スリーブ９０の貫通孔９８と、保護部材１２０の貫通孔１２８と、板状部材１０の貫通孔１６とが互いに連通した一体の孔である。

本実施形態では、保護部材１２０は、下側部分１２１と、上側部分１２２と、中間部分１２３とを備える。上側部分１２２は、Ｚ軸方向において下側部分１２１より板状部材１０に近い側（上側）に位置しており、中間部分１２３は、Ｚ軸方向において下側部分１２１と上側部分１２２との間に位置している。なお、本実施形態では、Ｚ軸方向における保護部材１２０の厚さは、接合部３０の厚さより厚い。そのため、保護部材１２０の一部分（本実施形態では、上側部分１２２および中間部分１２３の一部）のみが、接合部３０の貫通孔３６内に配置され、保護部材１２０の残りの一部分（本実施形態では、中間部分１２３の残りの一部および下側部分１２１）はベース部材２０の貫通孔２６内に配置されている。

保護部材１２０に形成された貫通孔１２８の内径は、各部分において異なっている。具体的には、貫通孔１２８の内径は、上側部分１２２において最小値（板状部材１０に形成された貫通孔１６の内径と略同一）となっており、中間部分１２３において最大値（スリーブ９０の上側部分９２の外径Ｄ２と略同一）となっており、下側部分１２１において両者の間の値（スリーブ９０の中間部分９３の外径Ｄ３と略同一）となっている。そのため、保護部材１２０を上側から見ると、保護部材１２０の上側部分１２２の一部（内周側の部分）は、スリーブ９０の上側部分９２と重なっており、保護部材１２０の中間部分１２３は、スリーブ９０の上側部分９２の外周を取り囲んでおり、保護部材１２０の下側部分１２１の一部（内周側の部分）は、スリーブ９０の上側部分９２と重なっている。すなわち、Ｚ軸方向において、保護部材１２０の上側部分１２２の下面は、スリーブ９０の上側部分９２の上面に対向した状態となっている。また、保護部材１２０の下側部分１２１の一部（内周側の部分）がスリーブ９０の外周面に形成された溝（中間部分９３の外周面を底面とする溝）に入り込み、保護部材１２０の下側部分１２１とスリーブ９０の上側部分９２との係合によって、スリーブ９０に対する保護部材１２０のＺ軸方向への移動が規制された状態となっている。なお、保護部材１２０の中間部分１２３がスリーブ９０の上側部分９２の外周を取り囲んでいるとは、保護部材１２０の中間部分１２３の内周面の形状が、スリーブ９０の上側部分９２の外周面の形状と同一であると換言することができる。なお、ここで言う同一とは、完全同一に限定されず、概ね同一である形態を含む。

保護部材１２０の上側部分１２２の上面は、Ｚ軸方向において板状部材１０の下面Ｓ２に対向しており、上側部分１２２の上面の少なくとも一部分の面（例えば、図３において「当接箇所ＴＰ」と示す部分。以下、同様。）は、板状部材１０の下面Ｓ２に当接している。また、保護部材１２０の上側部分１２２の下面は、Ｚ軸方向においてスリーブ９０の上側部分９２の上面に対向しており、上側部分１２２の下面の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）は、スリーブ９０の上側部分９２の上面に当接している。なお、本実施形態では、保護部材１２０の下側部分１２１の上面とスリーブ９０の上側部分９２の下面との間、および、保護部材１２０の下側部分１２１の下面とスリーブ９０の下側部分９１の上面との間には、隙間が存在している。

なお、保護部材１２０と板状部材１０またはスリーブ９０とが当接していることは、静電チャック１００の断面（Ｚ軸方向に平行な断面）を露出させ、該断面を観察することにより確認することができる。

以上説明した接合部３０の貫通孔３６の内周面３１の周辺の構成を有する第１実施形態の静電チャック１００は、例えば、以下のように製造することができる。すなわち、図３に示す断面形状を有する保護部材１２０を、例えば型による成形により作製する。なお、本実施形態では、後述するように、保護部材１２０が静電チャック１００に設置された状態では、保護部材１２０が弾性変形しているため、厳密に言えば、作製する保護部材１２０の断面形状は、図３に示す断面形状とは当該変形分だけ異なっている。また、作製された保護部材１２０を、スリーブ９０の上端に取り付ける。具体的には、保護部材１２０をスリーブ９０の上端に押し付けることにより、保護部材１２０を弾性変形させ、保護部材１２０の下側部分１２１の内周側の部分をスリーブ９０の外周面に形成された溝（中間部分９３の外周面を底面とする溝）に入り込ませ、保護部材１２０の下側部分１２１とスリーブ９０の上側部分９２との係合によってスリーブ９０に対する保護部材１２０のＺ軸方向への移動が規制された状態を形成する。また、板状部材１０とベース部材２０とを接合部３０により接合する。具体的には、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３とを、接着剤を介して貼り合わせた状態で、該接着剤を硬化させる硬化処理を行うことにより接合部３０を形成する。その後、ベース部材２０に形成された貫通孔２６に、互いに一体化されたスリーブ９０および保護部材１２０を、保護部材１２０を先頭にして挿入する。さらに、スリーブ９０を上側（奥側）に押し込むことにより、保護部材１２０の上側部分１２２の上面の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）を板状部材１０の下面Ｓ２に当接させ、かつ、保護部材１２０の上側部分１２２の下面の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）をスリーブ９０の上側部分９２の上面に当接させる。なお、本実施形態では、スリーブ９０を上側（奥側）に押し込むことにより、板状部材１０の下面Ｓ２と、スリーブ９０の上側部分９２の上面と、によって保護部材１２０の上側部分１２２を挟んで押圧し、保護部材１２０の上側部分１２２を上下方向に弾性変形させる。これにより、保護部材１２０の上側部分１２２の上面と板状部材１０の下面Ｓ２とが密着し、かつ、保護部材１２０の上側部分１２２の下面とスリーブ９０の上側部分９２の上面とが密着する。このような状態で、例えば接着剤やボルトによりスリーブ９０をベース部材２０に固定する。

Ａ−３．第１実施形態の効果：
以上説明したように、本実施形態の静電チャック１００は、Ｚ軸方向に略直交する吸着面Ｓ１１と、吸着面Ｓ１１とは反対側の下面Ｓ２と、を有し、セラミックスを含む材料により形成された板状部材１０と、上面Ｓ３を有し、上面Ｓ３が板状部材１０の下面Ｓ２側に位置するように配置され、導電性材料により形成されたベース部材２０と、板状部材１０の下面Ｓ２とベース部材２０の上面Ｓ３との間に配置されて板状部材１０とベース部材２０とを接合する接合部３０とを備え、板状部材１０の吸着面Ｓ１１上に対象物であるウェハＷを保持する装置である。板状部材１０には、ピン挿通孔１４０を構成する貫通孔１６が形成されている。板状部材１０に形成された貫通孔１６は、板状部材１０の下面Ｓ２と吸着面Ｓ１１とに開口する内部孔である。また、ベース部材２０には、ピン挿通孔１４０を構成する貫通孔２６が形成されており、接合部３０には、ピン挿通孔１４０を構成する貫通孔３６が形成されている。

また、本実施形態の静電チャック１００は、ベース部材２０の貫通孔２６に配置されたスリーブ９０を備える。スリーブ９０は、Ｚ軸方向に延びる貫通孔９８が形成された筒状部材であり、絶縁性材料により形成されている。

さらに、本実施形態の静電チャック１００は、保護部材１２０を備える。保護部材１２０は、板状部材１０の貫通孔１６とスリーブ９０の貫通孔９８とに連通する貫通孔１２８が形成された筒状部材であり、エラストマーにより形成されている。保護部材１２０の少なくとも一部分は、接合部３０の貫通孔３６内に配置されている。Ｚ軸方向において板状部材１０に対向する保護部材１２０の表面（具体的には、上側部分１２２の上面）の少なくとも一部分の面は、板状部材１０に当接している。また、Ｚ軸方向においてスリーブ９０に対向する保護部材１２０の表面（具体的には、上側部分１２２の下面）の少なくとも一部分の面は、スリーブ９０に当接している。

このように、本実施形態の静電チャック１００では、Ｚ軸方向において板状部材１０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、板状部材１０に当接し、かつ、Ｚ軸方向においてスリーブ９０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、スリーブ９０に当接している。そのため、本実施形態の静電チャック１００では、保護部材１２０と板状部材１０およびスリーブ９０とを面接触させて封止面積を大きくすることができる。従って、本実施形態の静電チャック１００によれば、保護部材１２０により、プラズマやプロセスガスがピン挿通孔１４０から接合部３０の貫通孔３６の内周面３１付近に侵入することを確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部３０が劣化することを抑制することができる。なお、接合部３０がセラミックス等の充填材（フィラー）を含んでいる場合には、該侵入に起因して該フィラーが飛散し、真空チャンバー内にパーティクルが発生することを抑制することができる。

なお、本実施形態の静電チャック１００では、保護部材１２０がベース部材２０の貫通孔２６を通過可能な形状である。すなわち、保護部材１２０の外径は、ベース部材２０に形成された貫通孔２６の内径以下である（ただし、保護部材１２０を径方向に圧縮した状態での外径がベース部材２０に形成された貫通孔２６の内径以下であれば、保護部材１２０がベース部材２０の貫通孔２６を通過可能な形状であると言える）。そのため、板状部材１０とベース部材２０とを接合する接合部３０を形成する際に保護部材１２０を設置する必要はなく、上述したように、接合部３０を形成した後にベース部材２０の貫通孔２６を介して保護部材１２０を設置することができる。板状部材１０とベース部材２０とを接合する接合部３０を形成する際に保護部材１２０を設置しておくものとすると、静電チャック１００の使用開始後、保護部材１２０を容易に交換することができない。また、板状部材１０とベース部材２０とを接合する接合部３０を形成する際に保護部材１２０を設置しておくものとすると、保護部材１２０の材料として、接合部３０の形成のための熱処理等の際に接合部３０の材料と同様の挙動を取る材料を選択する必要があり、保護部材１２０の材料選択の自由度が低下する。なぜなら、例えば、保護部材１２０の材料が接合部３０の材料より熱膨張率が高い場合には、比較的大きく膨張した保護部材１２０の存在によって板状部材１０とベース部材２０との間隔が大きくなり、接合部３０による板状部材１０とベース部材２０との接合に不備が発生するおそれがあり、反対に、保護部材１２０の材料が接合部３０の材料より熱膨張率が低い場合には、保護部材１２０と板状部材１０およびベース部材２０とが確実に当接せず、保護部材１２０による封止性能が低下するおそれがあるからである。本実施形態の静電チャック１００では、保護部材１２０がベース部材２０の貫通孔２６を通過可能な形状であるため、保護部材１２０を容易に交換することができると共に、保護部材１２０の材料選択の自由度の低下を抑制することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００では、スリーブ９０は、下側部分９１と、Ｚ軸方向において下側部分９１より板状部材１０に近い側（上側）に位置する上側部分９２とを備える。上側部分９２におけるＺ軸方向に直交する方向（面方向）の外径Ｄ２は、下側部分９１の外径Ｄ１より小さい。また、保護部材１２０は、Ｚ軸方向視で、スリーブ９０の上側部分９２の外周を取り囲む部分である中間部分１２３を有する。そのため、本実施形態の静電チャック１００によれば、スリーブ９０に対する保護部材１２０の位置ずれ（面方向の位置ずれ）を抑制することができ、該位置ずれに起因して保護部材１２０による封止性能が低下することを抑制することができる。また、本実施形態の静電チャック１００によれば、保護部材１２０をスリーブ９０に固定することができ、保護部材１２０の組み付けや取り外しの際の取扱いを容易化することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００では、スリーブ９０は、さらに、Ｚ軸方向において下側部分９１と上側部分９２との間に位置する中間部分９３を備える。Ｚ軸方向に直交する方向（面方向）において、中間部分９３におけるＺ軸方向に直交する方向（面方向）の外径Ｄ３は、上側部分９２の最大外径Ｄ２より小さい。また、保護部材１２０は、Ｚ軸方向に直交する方向（面方向）視でスリーブ９０の中間部分９３に重なり、かつ、Ｚ軸方向視でスリーブ９０の上側部分９２に重なる部分（すなわち、下側部分１２１における内周側の部分）を有する。そのため、本実施形態の静電チャック１００では、保護部材１２０の下側部分１２１における内周側の部分がスリーブ９０の外周面に形成された溝（中間部分９３の外周面を底面とする溝）に入り込み、保護部材１２０の下側部分１２１とスリーブ９０の上側部分９２との係合によって、スリーブ９０に対する保護部材１２０のＺ軸方向への移動が規制された状態となる。従って、本実施形態の静電チャック１００によれば、保護部材１２０をスリーブ９０に確実に固定することができ、保護部材１２０の組み付けや取り外しの際の取扱いをさらに容易化することができる。

また、本実施形態の静電チャック１００では、Ｚ軸方向における保護部材１２０の厚さは、接合部３０の厚さより厚い。そのため、本実施形態の静電チャック１００によれば、プラズマやプロセスガスが保護部材１２０の周囲を通って接合部３０の貫通孔３６の内周面３１に至る侵入経路を長くすることができ、保護部材１２０によりプラズマやプロセスガスの侵入を一層確実に抑制することができる。なお、ここで言う保護部材１２０の厚さは、最大厚さを意味する。

Ｂ．第２実施形態：
図４は、第２実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図である。以下では、第２実施形態の静電チャック１００の構成の内、上述した第１実施形態の静電チャック１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

図４に示すように、第２実施形態では、スリーブ９０の構成が第１実施形態と異なる。より詳細には、第２実施形態では、スリーブ９０の上側部分９２における板状部材１０側（上側）の端部に、板状部材１０に近いほど縮径する段差９７が形成されている。そのため、スリーブ９０の上側部分９２の上面Ｓ６は、Ｚ軸方向視でスリーブ９０の貫通孔９８に隣接する第１の領域Ｓ６１と、Ｚ軸方向視で第１の領域Ｓ６１の外周側に位置し、かつ、Ｚ軸方向において第１の領域Ｓ６１より板状部材１０から離れた側（下側）に位置する第２の領域Ｓ６２と、を有している。

また、第２実施形態では、スリーブ９０の構成の違いに対応して、保護部材１２０の構成も第１実施形態と異なる。より詳細には、第２実施形態では、保護部材１２０の上側部分１２２に、板状部材１０に近いほど貫通孔１２８の内径が大きくなる段差１２７が形成されている。そのため、保護部材１２０の上側部分１２２は、スリーブ９０の上側部分９２における段差９７を構成する表面（上面Ｓ６）の内、上述した第１の領域Ｓ６１と第２の領域Ｓ６２とに当接している（図４の「当接箇所ＴＰ」参照）。

なお、図３（第１実施形態）と図４（第２実施形態）とを比較すると明らかなように、第２実施形態では、第１実施形態と比較して、保護部材１２０の内、ピン挿通孔１４０（プラズマやプロセスガスが存在する空間）に露出する部分（図４の部分Ｐ１の内周面）が小さくなっている。また、図４に示す第２実施形態においてスリーブ９０の上側部分９２の段差９７を無くし、上側部分９２における最大径の部分が上端まで延びるように変更した形態と比較して、第２実施形態では、保護部材１２０における厚さが薄い部分（図４の部分Ｐ１）の幅（面方向における長さ）が小さくなっている。また、図４に示す第２実施形態においてスリーブ９０の上側部分９２の段差９７を無くし、上側部分９２における最小径の部分が中間部分９３との接続位置まで延びるように変更した形態と比較して、第２実施形態では、スリーブ９０の上端部における厚さが薄い部分（図４の部分Ｐ２）の長さが短くなっている。

以上説明した接合部３０の貫通孔３６の内周面３１の周辺の構成を有する第２実施形態の静電チャック１００は、上側部分９２に段差９７を形成し、保護部材１２０に段差１２７を形成すること以外は、上述した第１実施形態の静電チャック１００の製造方法と同様の方法により製造することができる。

以上説明したように、第２実施形態の静電チャック１００では、第１実施形態と同様に、Ｚ軸方向において板状部材１０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、板状部材１０に当接し、かつ、Ｚ軸方向においてスリーブ９０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、スリーブ９０に当接している。そのため、第２実施形態の静電チャック１００によれば、第１実施形態と同様に、保護部材１２０により、プラズマやプロセスガスがピン挿通孔１４０から接合部３０の貫通孔３６の内周面３１付近に侵入することを確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部３０が劣化することを抑制することができる。

また、第２実施形態の静電チャック１００では、スリーブ９０の上側部分９２における板状部材１０側（上側）の端部には、板状部材１０に近いほど縮径する段差９７が形成されている。また、保護部材１２０は、スリーブ９０の上側部分９２における段差９７を構成する表面（上面Ｓ６）の内、Ｚ軸方向視でスリーブ９０の貫通孔９８に隣接する第１の領域Ｓ６１と、Ｚ軸方向視で第１の領域Ｓ６１の外周側に位置し、かつ、Ｚ軸方向において第１の領域Ｓ６１より板状部材１０から離れた側（下側）に位置する第２の領域Ｓ６２とに当接している。そのため、第２実施形態の静電チャック１００では、スリーブ９０の端部における厚さが薄い部分（図４の部分Ｐ２）の長さを短くしつつ、かつ、保護部材１２０における厚さが薄い部分（図４の部分Ｐ１）の幅を小さくしつつ、保護部材１２０においてプラズマやプロセスガスが存在する空間（ピン挿通孔１４０）に露出する部分（図４の部分Ｐ１の内周面）を小さくすることができ、保護部材１２０の劣化を抑制することができる。

Ｃ．第３実施形態：
図５は、第３実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図である。以下では、第３実施形態の静電チャック１００の構成の内、上述した第１実施形態の静電チャック１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

図５に示すように、第３実施形態では、保護部材１２０の構成が第１実施形態と異なる。より詳細には、第３実施形態では、第１実施形態と同様に、保護部材１２０の上側部分１２２の上面の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）は、板状部材１０の下面Ｓ２に当接している。一方、第３実施形態では、第１実施形態と異なり、保護部材１２０の上側部分１２２の下面は、スリーブ９０の上側部分９２の上面Ｓ６に当接していない。すなわち、Ｚ軸方向において、スリーブ９０の上側部分９２における上面Ｓ６と、保護部材１２０における板状部材１０との当接部分である上側部分１２２との間には、隙間ＳＰが存在する。

また、第３実施形態では、第１実施形態と同様に、保護部材１２０の下側部分１２１の上面とスリーブ９０の上側部分９２の下面との間には、隙間が存在している。一方、第３実施形態では、第１実施形態と異なり、保護部材１２０の下側部分１２１の下面とスリーブ９０の下側部分９１の上面Ｓ５との間には、隙間は存在しない。すなわち、保護部材１２０におけるＺ軸方向においてスリーブ９０の下側部分９１に対向する表面（下側部分１２１の下面）の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）は、スリーブ９０の下側部分９１の上面Ｓ５に当接している。

以上説明した接合部３０の貫通孔３６の内周面３１の周辺の構成を有する第３実施形態の静電チャック１００は、例えば、以下のように製造することができる。すなわち、図５に示す断面形状を有する保護部材１２０を、例えば型による成形により作製する。なお、本実施形態では、後述するように、保護部材１２０が静電チャック１００に設置された状態では、保護部材１２０が弾性変形しているため、厳密に言えば、作製する保護部材１２０の断面形状は、図５に示す断面形状とは当該変形分だけ異なっている。また、作製された保護部材１２０を、スリーブ９０の上端に取り付ける。また、板状部材１０とベース部材２０とを接合部３０により接合した後、ベース部材２０に形成された貫通孔２６に、互いに一体化されたスリーブ９０および保護部材１２０を挿入する。さらに、スリーブ９０を上側（奥側）に押し込むことにより、保護部材１２０の上側部分１２２の上面の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）を板状部材１０の下面Ｓ２に当接させ、かつ、保護部材１２０の下側部分１２１の下面の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）をスリーブ９０の下側部分９１の上面Ｓ５に当接させる。なお、本実施形態では、スリーブ９０を上側（奥側）に押し込むことにより、板状部材１０の下面Ｓ２と、スリーブ９０の下側部分９１の上面Ｓ５と、によって保護部材１２０を挟んで押圧し、保護部材１２０を上下方向に弾性変形させる。これにより、保護部材１２０の上側部分１２２の上面と板状部材１０の下面Ｓ２とが密着し、かつ、保護部材１２０の下側部分１２１の下面とスリーブ９０の下側部分９１の上面Ｓ５とが密着する。このような状態で、例えば接着剤やボルトによりスリーブ９０をベース部材２０に固定する。

以上説明したように、第３実施形態の静電チャック１００では、第１実施形態と同様に、Ｚ軸方向において板状部材１０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、板状部材１０に当接し、かつ、Ｚ軸方向においてスリーブ９０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、スリーブ９０に当接している。そのため、第３実施形態の静電チャック１００によれば、第１実施形態と同様に、保護部材１２０により、プラズマやプロセスガスがピン挿通孔１４０から接合部３０の貫通孔３６の内周面３１付近に侵入することを確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部３０が劣化することを抑制することができる。

また、第３実施形態の静電チャック１００では、Ｚ軸方向において、スリーブ９０の上側部分９２における上面Ｓ６と、保護部材１２０における板状部材１０との当接部分（上側部分１２２）との間に隙間ＳＰが存在する。そのため、第３実施形態の静電チャック１００では、該隙間ＳＰの存在により、保護部材１２０における板状部材１０との当接部分（上側部分１２２）を弾性変形容易に構成できる。これにより、保護部材１２０やスリーブ９０に寸法バラツキがあっても、保護部材１２０の該当接部分（上側部分１２２）が該寸法バラツキに追従して弾性変形することによって、保護部材１２０を板状部材１０に確実に当接させることができる。従って、第３実施形態の静電チャック１００によれば、保護部材１２０により、プラズマやプロセスガスがピン挿通孔１４０から接合部３０の貫通孔３６の内周面３１付近に侵入することをより確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部３０が劣化することをより効果的に抑制することができる。

Ｄ．第４実施形態：
図６は、第４実施形態の静電チャック１００における接合部３０に形成された貫通孔３６の内周面３１の周辺の詳細構成を示す説明図である。以下では、第４実施形態の静電チャック１００の構成の内、上述した第１実施形態の静電チャック１００の構成と同一の構成については、同一の符号を付すことによってその説明を適宜省略する。

図６に示すように、第４実施形態では、保護部材１２０の構成が第１実施形態と異なる。より詳細には、第４実施形態では、保護部材１２０の上側部分１２２が、板状部材側部分Ｐ３と、板状部材側部分Ｐ３より下側に位置し、スリーブ９０の上側部分９２の上面Ｓ６に対向するスリーブ側部分Ｐ４とを有する。保護部材１２０の上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３の上面の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）は、板状部材１０の下面Ｓ２に当接している。一方、保護部材１２０の上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３の下面は、スリーブ９０の上側部分９２の上面Ｓ６に当接していない。すなわち、Ｚ軸方向において、スリーブ９０の上側部分９２における上面Ｓ６と、保護部材１２０における板状部材１０との当接部分である板状部材側部分Ｐ３との間には、隙間ＳＰが存在する。なお、第４実施形態では、該隙間ＳＰは、保護部材１２０の上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３とスリーブ側部分Ｐ４との間の内周面に形成された溝１２９である。この溝１２９は、板状部材１０との当接部分である板状部材側部分Ｐ３より板状部材１０から離れた側（下側）に位置し、Ｚ軸方向視におけるスリーブ９０の上側部分９２の最外周線の位置より凹んでいる。

また、第４実施形態では、第１実施形態と同様に、保護部材１２０の下側部分１２１の上面とスリーブ９０の上側部分９２の下面との間には、隙間が存在している。一方、第４実施形態では、第１実施形態と異なり、保護部材１２０の下側部分１２１の下面とスリーブ９０の下側部分９１の上面Ｓ５との間には、隙間は存在しない。すなわち、保護部材１２０におけるＺ軸方向においてスリーブ９０の下側部分９１に対向する表面（下側部分１２１の下面）の少なくとも一部分の面（当接箇所ＴＰ）は、スリーブ９０の下側部分９１の上面Ｓ５に当接している。

以上説明した接合部３０の貫通孔３６の内周面３１の周辺の構成を有する第４実施形態の静電チャック１００は、保護部材１２０を成形する形状以外は、上述した第３実施形態の静電チャック１００の製造方法と同様の方法により製造することができる。

以上説明したように、第４実施形態の静電チャック１００では、第１実施形態と同様に、Ｚ軸方向において板状部材１０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、板状部材１０に当接し、かつ、Ｚ軸方向においてスリーブ９０に対向する保護部材１２０の表面の少なくとも一部分の面が、スリーブ９０に当接している。そのため、第４実施形態の静電チャック１００によれば、第１実施形態と同様に、保護部材１２０により、プラズマやプロセスガスがピン挿通孔１４０から接合部３０の貫通孔３６の内周面３１付近に侵入することを確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部３０が劣化することを抑制することができる。

また、第４実施形態の静電チャック１００では、第３実施形態と同様に、Ｚ軸方向において、スリーブ９０の上側部分９２における上面Ｓ６と、保護部材１２０における板状部材１０との当接部分（上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３）との間に隙間ＳＰが存在するため、保護部材１２０における板状部材１０との当接部分（上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３）を弾性変形容易に構成でき、保護部材１２０を板状部材１０に確実に当接させることができる。従って、第４実施形態の静電チャック１００によれば、第３実施形態と同様に、保護部材１２０により、プラズマやプロセスガスがピン挿通孔１４０から接合部３０の貫通孔３６の内周面３１付近に侵入することをより確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部３０が劣化することをより効果的に抑制することができる。

また、第４実施形態の静電チャック１００では、保護部材１２０において、板状部材１０との当接部分（上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３）より板状部材１０から離れた側（下側）の位置の内周面に、Ｚ軸方向視におけるスリーブ９０の上側部分９２の最外周線の位置より凹んだ溝１２９が形成されている。そのため、第４実施形態の静電チャック１００では、溝１２９の存在により、保護部材１２０における板状部材１０との当接部分（上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３）を確実に内周面側に弾性変形させられるため、保護部材１２０やスリーブ９０に寸法バラツキがあっても、保護部材１２０の該当接部分（上側部分１２２の板状部材側部分Ｐ３）が該寸法バラツキに追従して確実に内周面側に弾性変形することによって、保護部材１２０を板状部材１０に一層確実に当接させることができる。従って、第４実施形態の静電チャック１００によれば、保護部材１２０により、プラズマやプロセスガスがピン挿通孔１４０から接合部３０の貫通孔３６の内周面３１付近に侵入することを一層確実に抑制することができ、該侵入に起因して接合部３０が劣化することを極めて効果的に抑制することができる。

Ｅ．変形例：
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。

上記実施形態における静電チャック１００の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態における保護部材１２０と板状部材１０およびスリーブ９０との当接／離間の関係は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記第１実施形態では、保護部材１２０の下側部分１２１の上面とスリーブ９０の上側部分９２の下面との間、および、保護部材１２０の下側部分１２１の下面とスリーブ９０の下側部分９１の上面との間には隙間が存在しているが、これらの箇所において両部材が当接していてもよい。

また、上記実施形態における保護部材１２０やスリーブ９０の構成は、あくまで一例であり、種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、Ｚ軸方向における保護部材１２０の厚さは接合部３０の厚さより厚いとしているが、保護部材１２０の厚さが接合部３０の厚さ以下であるとしてもよい。この場合において、保護部材１２０の外周側の一部分が、Ｚ軸方向におけるベース部材２０と板状部材１０との間に位置していてもよい。このような構成においても、板状部材１０とベース部材２０とを接合する接合部３０を形成した後に、保護部材１２０を径方向に圧縮した状態で、ベース部材２０の貫通孔２６を介して保護部材１２０を設置することは可能である。

また、例えば、上記実施形態では、スリーブ９０が中間部分９３を有し、保護部材１２０の下側部分１２１の一部（内周側の部分）がスリーブ９０の外周面に形成された溝（中間部分９３の外周面を底面とする溝）に入り込んでスリーブ９０に対する保護部材１２０のＺ軸方向への移動が規制された状態となっているが、必ずしもそのような構成である必要はない。

また、上記実施形態では、Ｚ軸方向視での接合部３０の貫通孔３６の中心を通り、Ｚ軸方向に平行な任意の断面において、保護部材１２０等が図３等に示す構成と同様の構成となっているが、Ｚ軸方向視での接合部３０の貫通孔３６の中心を通り、Ｚ軸方向に平行な少なくとも１つの断面において、保護部材１２０等が図３等に示す構成と同様の構成となっていればよい。

また、静電チャック１００にピン挿通孔１４０が複数存在する場合には、少なくとも１つのピン挿通孔１４０において保護部材１２０が設けられていればよい。

また、上記実施形態では、板状部材１０の上面側の外周に沿って上側に切り欠きが形成されているが、該切り欠きは形成されていなくてもよい。また、上記実施形態では、板状部材１０の内部に１つのチャック電極４０が設けられた単極方式が採用されているが、板状部材１０の内部に一対のチャック電極４０が設けられた双極方式が採用されてもよい。また、上記実施形態の静電チャック１００の各部材（板状部材１０、ベース部材２０、接合部３０、保護部材１２０等）の形成材料は、あくまで一例であり、種々変更可能である。例えば、上記実施形態では、接合部３０は樹脂材料（接着材料）を主成分として含んでいるが、接合部３０は金属材料等の他の材料を主成分として含んでいてもよい。

また、本発明は、ピン挿通孔１４０以外の用途のために接合部３０に形成された貫通孔（例えば、ガス流路を構成するための貫通孔）の内周面を保護するための構成についても同様に適用可能である。また、本発明は、静電チャック１００に限らず、板状部材と、ベース部材と、両者を接合する接合部とを備え、板状部材の表面上に対象物を保持する他の保持装置にも適用可能である。

１０：板状部材１６：貫通孔２０：ベース部材２１：冷媒流路２６：貫通孔３０：接合部３１：内周面３６：貫通孔４０：チャック電極５０：ヒータ電極９０：スリーブ９１：下側部分９２：上側部分９３：中間部分９７：段差９８：貫通孔１００：静電チャック１１０：Ｏリング１２０：保護部材１２１：下側部分１２２：上側部分１２３：中間部分１２７：段差１２８：貫通孔１２９：溝１４０：ピン挿通孔ＩＰ：内側部ＯＰ：外周部Ｐ３：板状部材側部分Ｐ４：スリーブ側部分Ｓ１１：吸着面Ｓ１２：外周上面Ｓ５：上面Ｓ６１：第１の領域Ｓ６２：第２の領域Ｓ６：上面ＳＰ：隙間ＴＰ：当接箇所Ｗ：ウェハ

Claims

第１の方向に略直交する第１の表面と、前記第１の表面とは反対側の第２の表面と、を有し、前記第２の表面と前記第１の表面とに開口する内部孔が形成され、セラミックスを含む材料により形成された板状部材と、
第３の表面を有し、前記第３の表面が前記板状部材の前記第２の表面側に位置するように配置され、貫通孔が形成され、導電性材料により形成されたベース部材と、
前記板状部材の前記第２の表面と前記ベース部材の前記第３の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接合し、貫通孔が形成された接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第１の表面上に対象物を保持する保持装置において、さらに、
前記ベース部材の前記貫通孔内に配置され、前記第１の方向に延びる貫通孔が形成された筒状であり、絶縁性材料により形成されたスリーブと、
エラストマーにより形成された保護部材であって、少なくとも一部分が前記接合部の前記貫通孔内に配置され、前記板状部材の前記内部孔と前記スリーブの前記貫通孔とに連通する貫通孔が形成された筒状であり、前記第１の方向において前記板状部材に対向する表面の少なくとも一部分の面が前記板状部材に当接すると共に、前記第１の方向において前記スリーブに対向する表面の少なくとも一部分の面が前記スリーブに当接する、保護部材と、
を備える、
ことを特徴とする保持装置。
請求項１に記載の保持装置において、
前記スリーブは、
第１の部分と、
前記第１の方向において、前記第１の部分より前記板状部材に近い側に位置し、前記第１の方向に直交する方向の外径が前記第１の部分より小さい第２の部分と、
を備え、
前記保護部材は、前記第１の方向視で、前記スリーブの前記第２の部分の外周を取り囲む部分を有する、
ことを特徴とする保持装置。
請求項２に記載の保持装置において、
前記スリーブの前記第２の部分における前記板状部材側の端部には、前記板状部材に近いほど縮径する段差が形成されており、
前記保護部材は、前記スリーブの前記第２の部分における前記段差を構成する表面の内、
前記第１の方向視で前記スリーブの前記貫通孔に隣接する第１の領域と、
前記第１の方向視で前記第１の領域の外周側に位置し、かつ、前記第１の方向において前記第１の領域より前記板状部材から離れた側に位置する第２の領域と、
に当接する、
ことを特徴とする保持装置。
請求項２に記載の保持装置において、
前記保護部材は、前記第１の方向において前記スリーブの前記第１の部分に対向する表面の少なくとも一部分の面が前記スリーブの前記第１の部分に当接し、
前記第１の方向において、前記スリーブの前記第２の部分における前記板状部材側の端面と、前記保護部材における前記板状部材との当接部分との間には、隙間が存在する、
ことを特徴とする保持装置。
請求項４に記載の保持装置において、
前記保護部材において、前記板状部材との当接部分より前記板状部材から離れた側の位置の内周面に、前記第１の方向視における前記スリーブの前記第２の部分の最外周線の位置より凹んだ溝が形成されている、
ことを特徴とする保持装置。
請求項２から請求項５までのいずれか一項に記載の保持装置において、
前記スリーブは、前記第１の方向において前記第１の部分と前記第２の部分との間に位置し、前記第１の方向に直交する方向の外径が前記第２の部分の最大外径より小さい第３の部分を備え、
前記保護部材は、前記第１の方向に直交する方向視で前記スリーブの前記第３の部分に重なり、かつ、前記第１の方向視で前記スリーブの前記第２の部分に重なる部分を有する、
ことを特徴とする保持装置。
請求項１から請求項６までのいずれか一項に記載の保持装置において、
前記第１の方向における前記保護部材の厚さは、前記接合部の厚さより厚い、
ことを特徴とする保持装置。