JP7353106B2 - 保持装置 - Google Patents
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Description
A-1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、接合部30の外周面31の周辺の詳細構成について説明する。図3は、本実施形態の静電チャック100における接合部30の外周面31の周辺の詳細構成を示す説明図である。図3には、図2のX1部のXZ断面構成が拡大して示されている。本実施形態の静電チャック100は、Z軸方向視での静電チャック100の中心を通り、Z軸方向に平行な任意の断面において、図3に示す構成と同様の構成となっている。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100は、Z軸方向に略直交する吸着面S11と、吸着面S11とは反対側の下面S2と、を有し、セラミックスを含む材料により形成された板状部材10と、上面S3を有し、上面S3が板状部材10の下面S2側に位置するように配置されたベース部材20と、板状部材10の下面S2とベース部材20の上面S3との間に配置されて板状部材10とベース部材20とを接合する接合部30とを備え、板状部材10の吸着面S11上に対象物であるウェハWを保持する装置である。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (4)
- 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有し、セラミックスを含む材料により形成された板状部材と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面側に位置するように配置されたベース部材と、
前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記板状部材の前記第2の表面側には、外周に沿って連続した切り欠きであって、前記板状部材の外周面に連続する外周面側表面と、前記板状部材における前記接合部との接触面に連続する接触面側表面と、を有する切り欠きが形成されており、
前記ベース部材の前記第3の表面側には、外周に沿って連続した切り欠きであって、前記ベース部材の外周面に連続する外周面側表面と、前記ベース部材における前記接合部との接触面に連続する接触面側表面と、を有する切り欠きが形成されており、
前記保持装置は、さらに、
前記第1の方向に直交する方向において前記接合部の外周面に対向する特定部分と、前記特定部分に連続すると共に、前記板状部材の前記切り欠きの前記接触面側表面の少なくとも一部分に当接する板状部材当接部分と、前記特定部分に連続すると共に、前記ベース部材の前記切り欠きの前記接触面側表面の少なくとも一部分に当接するベース部材当接部分と、を有し、エラストマーにより形成された内側保護部材と、
前記内側保護部材の外周を取り囲むように配置され、前記内側保護部材を前記第1の方向に直交する方向における内側方向に押圧している、前記内側保護部材よりも硬い外側保護部材と、
を備える、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1に記載の保持装置において、
前記内側保護部材の前記板状部材当接部分は、前記板状部材の前記切り欠きの前記外周面側表面の少なくとも一部分にも当接し、
前記内側保護部材の前記ベース部材当接部分は、前記ベース部材の前記切り欠きの前記外周面側表面の少なくとも一部分にも当接する、
ことを特徴とする保持装置。 - 請求項1または請求項2に記載の保持装置において、
前記外側保護部材は、前記第1の方向に直交する方向視で、少なくとも前記内側保護部材の前記特定部分の全体と重なるように配置されている、
ことを特徴とする保持装置。 - 第1の方向に略直交する第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有し、セラミックスを含む材料により形成された板状部材と、
第3の表面を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面側に位置するように配置されたベース部材と、
前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置されて前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、
を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置において、
前記板状部材の前記第2の表面側には、外周に沿って連続した切り欠きであって、前記板状部材の外周面に連続する外周面側表面と、前記板状部材における前記接合部との接触面に連続する接触面側表面と、を有する切り欠きが形成されており、
前記ベース部材の前記第3の表面側には、外周に沿って連続した切り欠きであって、前記ベース部材の外周面に連続する外周面側表面と、前記ベース部材における前記接合部との接触面に連続する接触面側表面と、を有する切り欠きが形成されており、
前記保持装置は、さらに、
前記第1の方向に直交する方向において前記接合部の外周面に対向する特定部分と、前記特定部分に連続すると共に、前記板状部材の前記切り欠きの前記接触面側表面の少なくとも一部分に当接する板状部材当接部分と、前記特定部分に連続すると共に、前記ベース部材の前記切り欠きの前記接触面側表面の少なくとも一部分に当接するベース部材当接部分と、を有し、エラストマーにより形成された内側保護部材と、
前記内側保護部材の外周を取り囲むように配置され、前記内側保護部材を前記第1の方向に直交する方向における内側方向に押圧している外側保護部材と、
を備え、
前記外側保護部材と前記板状部材の前記切り欠きの前記外周面側表面との間、および、前記外側保護部材と前記ベース部材の前記切り欠きの前記外周面側表面との間には、隙間が存在している、
ことを特徴とする保持装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019163504A JP7353106B2 (ja) | 2019-09-09 | 2019-09-09 | 保持装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019163504A JP7353106B2 (ja) | 2019-09-09 | 2019-09-09 | 保持装置 |
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JP2021044304A JP2021044304A (ja) | 2021-03-18 |
JP7353106B2 true JP7353106B2 (ja) | 2023-09-29 |
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ID=74864425
Family Applications (1)
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JP2019163504A Active JP7353106B2 (ja) | 2019-09-09 | 2019-09-09 | 保持装置 |
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010129845A (ja) | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Creative Technology:Kk | 静電チャック及びその製造方法 |
JP2017208562A (ja) | 2012-04-26 | 2017-11-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | Escの接着剤の浸食を防止するための方法及び装置 |
WO2018230446A1 (ja) | 2017-06-13 | 2018-12-20 | 日本碍子株式会社 | 半導体製造装置用部材 |
JP3219636U (ja) | 2017-10-31 | 2019-01-10 | 麥豐密封科技股▲分▼有限公司 | 半導体加工装置 |
-
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WO2018230446A1 (ja) | 2017-06-13 | 2018-12-20 | 日本碍子株式会社 | 半導体製造装置用部材 |
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