JP6499109B2 - 保持装置の分離方法および製造方法 - Google Patents
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Description
A−1.静電チャック100の構成:
図1は、本実施形態における静電チャック100の外観構成を概略的に示す斜視図であり、図2は、本実施形態における静電チャック100のXZ断面構成を概略的に示す説明図である。各図には、方向を特定するための互いに直交するXYZ軸が示されている。本明細書では、便宜的に、Z軸正方向を上方向といい、Z軸負方向を下方向というものとするが、静電チャック100は実際にはそのような向きとは異なる向きで設置されてもよい。
次に、本実施形態における静電チャック100の分離・製造方法を説明する。静電チャック100の分離・製造方法は、静電チャック100において接着されているセラミックス板10とベース板20とを分離し、分離したセラミックス板10とベース板20との少なくとも一方を再利用して静電チャック100を新たに製造する方法である。図3は、本実施形態における静電チャック100の分離・製造方法を示すフローチャートである。
以上説明したように、本実施形態の静電チャック100の分離・製造方法では、少なくとも表面が樹脂を含む材料で形成されている板状器具200をセラミックス板10のセラミックス側接合面S2とベース板20のベース側接合面S3との間に挿入することによって、接着層30の少なくとも一部を物理的に除去して、セラミックス板10とベース板20とを分離する工程を備える。そのため、本実施形態の静電チャック100の分離・製造方法によれば、静電チャック100を接着層30に含まれる接着剤の分解温度まで加熱せずともセラミックス板10とベース板20とを分離することができ、セラミックス板10やベース板20の熱による変形や汚れの発生を抑制することができる。また、本実施形態の静電チャック100の分離・製造方法によれば、板状器具200の表面が樹脂を含む材料で形成されているため、セラミックス板10とベース板20との分離の際に屑が発生することを抑制することによってコンタミネーションの発生を抑制することができると共に、セラミックス板10やベース板20に傷がつくことを抑制することができる。
本明細書で開示される技術は、上述の実施形態に限られるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の形態に変形することができ、例えば次のような変形も可能である。
Claims (7)
- 第1の表面と、前記第1の表面とは反対側の第2の表面と、を有する第1の板状部材と、第3の表面を有し、前記第3の表面が前記第1の板状部材の前記第2の表面に対向するように配置された第2の板状部材と、樹脂系の接着剤を含み、前記第1の板状部材の前記第2の表面と前記第2の板状部材の前記第3の表面とを接着する接着層と、を備え、前記第1の板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置の分離方法において、
前記接着層の分解温度より低い温度で、少なくとも表面が樹脂を含む材料で形成されている板状器具を前記第1の板状部材の前記第2の表面と前記第2の板状部材の前記第3の表面との間に挿入することによって、前記接着層の少なくとも一部を物理的に除去して、前記第1の板状部材と前記第2の板状部材とを分離する工程を備える、保持装置の分離方法。 - 請求項1に記載の保持装置の分離方法において、
前記板状器具には複数の刃が形成されており、
前記分離する工程は、前記板状器具を前記刃が形成された側から前記第1の板状部材の前記第2の表面と前記第2の板状部材の前記第3の表面との間に挿入する工程であることを特徴とする、保持装置の分離方法。 - 請求項2に記載の保持装置の分離方法において、
前記板状器具の前記複数の刃は、前記板状器具の前記保持装置に対する一方向への相対移動に伴い切断作用を奏する向きに形成されており、
前記分離する工程は、前記板状器具を前記保持装置に対して前記一方向へ相対移動させつつ、前記板状器具を前記刃が形成された側から前記第1の板状部材の前記第2の表面と前記第2の板状部材の前記第3の表面との間に挿入する工程であることを特徴とする、保持装置の分離方法。 - 請求項1から請求項3までのいずれか一項に記載の保持装置の分離方法において、
前記第1の板状部材は、セラミックスにより形成されていることを特徴とする、保持装置の分離方法。 - 請求項1から請求項4までのいずれか一項に記載の保持装置の分離方法において、
前記第2の板状部材は、金属により形成されていることを特徴とする、保持装置の分離方法。 - 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の保持装置の分離方法により分離された前記第1の板状部材の前記第2の表面と、所定の板状部材の所定の表面とを、樹脂系の接着剤により接着することにより、前記第1の板状部材と、前記所定の表面が前記第1の板状部材の前記第2の表面に対向するように配置された所定の板状部材と、前記第1の板状部材の前記第2の表面と前記所定の板状部材の前記所定の表面とを接着する接着層と、を備え、前記第1の板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置を製造する方法。
- 請求項1から請求項5までのいずれか一項に記載の保持装置の分離方法により分離された前記第2の板状部材の前記第3の表面と、所定の板状部材の所定の表面とを、樹脂系の接着剤により接着することにより、前記所定の板状部材と、前記第3の表面が前記所定の板状部材の前記所定の表面に対向するように配置された前記第2の板状部材と、前記所定の板状部材の前記所定の表面と前記第2の板状部材の前記第3の表面とを接着する接着層と、を備え、前記所定の板状部材の前記所定の表面とは反対側の表面上に対象物を保持する保持装置を製造する方法。
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