CN103283013A - 工件加热装置及工件处理装置 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种工件加热装置及使用其的工件处理装置，能够通过高的均热性对工件进行加热，并且能够进行精细的温度控制，而且，能够防止卡盘部件的变形等，并能够长期可靠性良好地进行使用。一种工件加热装置，层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，其中，加热器部件在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件，并将该工件加热装置载置在基础底座上。

Description

工件加热装置及工件处理装置
技术领域
本发明涉及工件加热装置及工件处理装置，尤其是涉及能够一边通过电吸附力吸附半导体片、玻璃基板等工件一边进行加热的工件加热装置及使用其的工件处理装置。
背景技术
就制造半导体装置、液晶装置等方面而言，除了在半导体片、玻璃基板等的工件形成薄膜以外，还需要进行溅射、蚀刻处理等，但在这些处理中，工件的温度决定成膜速度、蚀刻速度等，对得到的薄膜等的品质带来大的影响。因此，例如专利文献1那样，使用由陶瓷等构成的板主体中内置了吸附工件的吸附电极和电阻发热体的一体型的工件加热装置，以使吸附的工件成为所期望的温度的方式对发热体通电发热，进行薄膜形成等的处理。
以往，这样的一体型的工件吸附装置一般通过将以钨等高熔点金属为主要成分的导电墨水以规定的图样印刷在陶瓷生片上，层叠各陶瓷生片并同时烧制，制造内置了吸附电极和发热体的板主体。然而，在一体型的工件吸附装置中，包含印刷了导电墨水的陶瓷生片并将它们集中烧制，从而发热体的厚度、从发热体到工件的距离产生误差等，在工件整个面的范围内得到加热温度的均匀性是困难的。因此，例如专利文献2那样，提出了一种层叠构造型的工件加热装置，将发热体夹入在内部具有吸附电极并被一体烧制的含吸附电极陶瓷基板、和与其独立地烧制的陶瓷基板之间，通过粘接剂接合两个陶瓷基板。
另外，近年来，伴随着半导体片、玻璃基板等的大型化，以高精度均匀地维持工件温度变得日益重要。由此，做出了以下的方法，如图4所示，在层叠构造型的工件加热装置中，在具有工件吸附用的吸附电极3的卡盘部件1和具有发热体7的加热器部件5之间，夹设有由铝板等构成的均热板31，使来自发热体7的热量均匀地被传递到工件18的整个面等。
然而，若成为在卡盘部件1和加热器部件5之间夹设均热板31这样的构造，则包含用于层叠它们的粘接剂层32，从加热器部件的发热体7到工件18的距离变长，从而向工件的热传递花费相应的时间，另外，不同种类的材料增加，从而工件的温度控制变得复杂，对薄膜等的品质带来影响的精细的温度管理变得困难。另一方面，在以往的层叠构造型的工件加热装置中，若长期使用，则卡盘部件发生翘曲、挠曲，或者根据情况而发生龟裂等，卡盘部件的寿命决定了工件加热装置自身的产品寿命。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平11-111829号公报
专利文献2：日本特开2005-347559号公报
发明内容
发明要解决的课题
根据这样的状况，本发明人等为解决以往的工件加热装置所具有的问题而进行了认真的研究，得知卡盘部件的变形等是由卡盘部件和加热器部件的热膨胀差产生的内部应力引起的。因此，通过做成利用库仑力等的电气性力吸附两者的层叠构造，能够防止卡盘部件的变形等，另外，不仅解决该问题，还不需要用于固定两者的粘接剂层，从而工件温度控制的响应性高，并且能够进一步提高对于工件整个面的均热性，从而完成了本发明。
因此，本发明的目的是提供一种工件加热装置及使用其的工件处理装置，能够通过高的均热性加热工件，并且能够实现精细的温度控制，而且，能够防止卡盘部件的变形等，并能够长期地可靠性良好地使用。
用于解决的课题的手段
即，本发明是一种工件加热装置，其层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，其特征在于，加热器部件在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件。
另外，本发明是一种工件加热装置，其层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，其特征在于，卡盘部件在与加热器部件相对的面和工件吸附电极之间具有吸附加热器部件的加热器吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件。
而且，本发明的工件处理装置，其特征在于，将上述工件加热装置载置在基础底座上而形成。
本发明的工件加热装置的特征是，通过电吸附力等能够拆装地使具有工件吸附用的工件吸附电极的卡盘部件和具有工件加热用的发热体的加热器部件层叠。即，至少在使用工件加热装置时，使电吸附力作用于卡盘部件和加热器部件之间来固定两者，在使用前、使用后这样不用进行工件的处理时，通过停止电吸附，能够容易地分离卡盘部件和加热器部件。
就形成这样的工件加热装置的方面而言，在本发明中能够采用如下的2个结构例。首先，第一结构例是在加热器部件侧具有用于吸附卡盘部件的卡盘吸附电极的工件加热装置，第二结构例是在卡盘部件侧具有用于吸附加热器部件的加热器吸附电极的工件加热装置。在任意的情况下，在本发明中，形成不经由粘接剂层地通过沿垂直方向作用的吸附力吸附卡盘部件和加热器部件的状态，从而即使产生了因热膨胀差沿水平方向伸缩的力，卡盘部件和加热器部件也能够沿该方向滑动，能够缓和卡盘部件、加热器部件的翘曲等。
此外，为了通过电吸附力层叠卡盘部件和加热器部件，从理论上讲，还可以考虑利用在卡盘部件中的工件吸附电极的里面侧（与工件相反的一侧的面）体现的吸附力，但为了释放这里被吸附的工件而切断施加于工件吸附电极的电压时，保持卡盘部件-加热器部件之间的吸附力也消失，从而在处理工件的作业中，产生不良情况。由此，在本发明中，与工件吸附电极相独立地设置上述卡盘吸附电极或加热器吸附电极。另外，也可以并用卡盘吸附电极和加热器吸附电极，但在功能上，仅采用任意一方也是充分的。
首先，在加热器部件侧具有用于吸附卡盘部件的卡盘吸附电极的第一结构例中，在与卡盘部件相对的面和发热体之间设置有卡盘吸附电极。其中，关于卡盘吸附电极，只要能够通过库仑力、约翰逊拉别克力、梯度力等这样的电吸附力吸附卡盘部件，其材质、形成手段等没有特别限制，例如，可以将金属箔蚀刻成规定形状地形成，也可以采用溅射法、离子电镀法，除此以外，还可以采用热喷涂金属材料，或者使用了导电墨水的印刷法等公知的方法。
该卡盘吸附电极可以构成所谓的单极型或双极型中的任意一方，能够适当地选定例如平板状、半圆状、梳齿状、网格这样的图样形状等，但从对卡盘部件体现的吸附力的观点、或能够使在施加电压的方面上的装置结构更简便等的观点出发，优选的是，可以形成为规定图样的电极部以相互产生电位差的方式由交替地组合而成的双极型的卡盘吸附电极构成。另外，为了能够更简单地进行加热器部件-卡盘部件间的拆装，优选的是，具有ON/OFF的切换开关并具有能够与外部电源连接的连接端子，或者能够通过ON/OFF开关与外部电源连接。此外，关于卡盘吸附电极的厚度，没有特别限定，但考虑从发热体到工件的距离等时，优选为25μm以上100μm以下左右。
另外，加热器部件中的发热体能够良好地使用通过通电发热的电阻发热体，例如，除了使用金属线以外，还可以直接使用金属板、金属箔，或者使用蚀刻地形成规定图样的金属板、金属箔，或者通过使用了导电墨水的印刷法而形成的等，能够采用公知的发热体。在发热体中，与卡盘吸附电极的情况同样地，优选的是，具有能够与具有ON/OFF切换开关的外部电源连接的连接端子，或者能够通过ON/OFF开关与外部电源连接。而且，该发热体也可以被分成多个地形成，使得能够对工件按每个规定的区域进行温度控制，在该情况下，在每个区域的发热体上分别设置连接端子，或者能够与外部电源连接。
而且，优选的是，可以将发热体夹入至少2个电介质之间而形成加热器部件，而在第一结构例中，该加热器部件需要采用在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有卡盘吸附电极的构造。卡盘吸附电极只要在与卡盘部件相对的面和发热体之间，可以是任意位置，但在考虑对工件的加热响应性等时，发热体和卡盘吸附电极之间的距离可以成为25μm以上100μm以下，优选的是25μm以上50μm以下。
当形成加热器部件时，如上所述，例如，除了使用聚酰亚胺、聚对苯二甲酸乙二酯（PET）等的绝缘性树脂膜、陶瓷板以外，还可以使用热喷涂氧化铝粉末、氮化铝粉末、氧化锆粉末等的陶瓷粉末而形成的陶瓷热喷涂膜等公知的电介质来夹持发热体，并且采用卡盘吸附电极位于规定位置的构造即可。此时，也可以使用由相同材质构成的电介质形成加热器部件，也可以使用两种以上的电介质。另外，也可以使用粘结片、粘接剂等形成加热器部件。此外，加热器部件的厚度因所使用的电介质的种类而不同，没有特别限制，但如上所述，将工件加热装置载置在基础底座上地使用，考虑使用基础底座这样的冷却机构等时，包含发热体及卡盘吸附电极的整体的厚度优选为0.2mm以上0.7mm以下左右。
另外，关于第一结构例中的卡盘部件，能够将其一个面作为工件吸附面通过电吸附力吸附工件，并且另一个面被加热器部件所具有的卡盘吸附电极吸附即可，优选的是，具有通过至少2个电介质在内部夹持工件吸附电极的构造。
这里所使用的电介质可以使用在加热器部件的形成中列举的公知的材料，也可以根据需要使用粘结片、粘接剂等。另外，关于工件吸附电极，也可以使用在上述卡盘吸附电极的形成中列举的公知的材料，根据吸附对象的工件的种类、尺寸等选择单极型或双极型，并且适当地设计工件吸附电极的形状即可。而且，卡盘部件的厚度没有特别限制，但考虑从加热器部件的发热体到工件的距离时，优选为120μm以上300μm以下左右。
以下，在第二结构例中，卡盘部件在与加热器部件相对的面和工件吸附电极之间具有吸附加热器部件的加热器吸附电极，能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件。该加热器吸附电极能够通过电吸附力吸附加热器部件即可，能够采用第一结构例中的卡盘吸附电极所列举的材质、形状等，关于设置连接端子这点和加热器吸附电极的厚度，也相同。另外，加热器吸附电极只要在与加热器部件相对的面和工件吸附电极之间，可以是任意位置，但在考虑对工件的加热响应性等时，工件吸附电极和加热器吸附电极之间的距离可以成为25μm以上100μm以下，优选为25μm以上50μm以下。
第二结构例中的卡盘部件除了如上所述地具有加热器吸附电极以外，与第一结构例中的卡盘部件相同，其厚度考虑了包含加热器吸附电极的量，优选为0.2mm以上1mm以下左右。另一方面，关于加热器部件，除了没有卡盘吸附电极以外，与第一结构例中的加热器部件相同，其厚度优选为0.1mm以上0.3mm以下左右。
本发明的工件加热装置优选的是，载置在内部具有供气体或液体这样的介质流动的管路的基础底座上并作为工件处理装置使用。不仅通过加热器部件的加热，还能够通过介质在基础底座的内部流动的冷却效果，与工件的处理相应地进行更适当的温度控制。
另外，对在内部具有供气体介质流动的管路且表面具有与该管路连接的气孔的基础底座，优选的是，加热器部件具有与基础底座的气孔连通的通孔。即，在本发明中，加热器部件和卡盘部件之间不通过粘接剂层被粘接固定，而两者通过电吸附力被相互吸引。至少在这些部件的界面上存在因电介质（也有卡盘吸附电极或加热器吸附电极的情况）的表面粗糙度而产生的微观的凹凸，从而通过设置贯穿加热器部件的表里面的通孔，从基础底座侧被供给的气体介质存在于加热器部件和卡盘部件之间的界面并被吸附。存在于吸附界面上的气体成为热的优良介质，尤其是在真空状态下处理工件的情况下，其运动是显著的，发挥与以往所使用的铝板等的均热板同等或更多的功能。当然，也可以在加热器部件和卡盘部件中的任意一方或双方上形成气体介质用的气槽，另外，也可以在卡盘部件上形成通孔并使其与加热器部件的通孔连接，气体介质能够存在于工件和卡盘部件之间的界面上。
另外，在将工件加热装置载置在基础底座上时，也可以使用粘结片、粘接剂进行粘接固定，而优选的是，加热器部件在与基础底座相对的面和发热体之间具有吸附基础底座的基底吸附电极，或者在其与基础底座相对的面上具有由树脂材料构成的吸附片，而能够拆装地载置在基础底座上。
这里，在使用基底吸附电极的情况下，与上述卡盘吸附电极、加热器吸附电极的情况同样地，优选的是，能够使用公知的材料等形成，或者设置连接端子。
另一方面，在使用吸附片的情况下，可以使用由树脂材料构成的吸附片，该树脂材料的弹性率为0.5MPa以上10MPa以下，优选为2MPa以上3MPa以下，并且三维平均表面粗糙度（SRa）为0.01μm以上0.55μm以下，优选为0.4μm以上0.5μm以下。可以推测由这样的树脂材料构成的吸附片能够拆装地吸附基础底座的理由之一是与分子间作用力（范德华引力）相关的。本发明人等发现了，一般来说，对于由铝合金等的金属底座构成的基础底座，具有上述弹性率、三维平均表面粗糙度的树脂材料是效果的。作为树脂材料的具体例，可以列举有机硅树脂、苯乙烯-丁二烯橡胶、氯磺化聚乙烯橡胶、丙烯腈-丁二烯橡胶、乙烯-丙烯橡胶、氯丁二烯橡胶、丁二烯橡胶、氟橡胶、异丁烯异戊二烯橡胶、聚氨酯橡胶等，其中优选有机硅树脂。
发明的效果
在本发明的工件加热装置中，卡盘部件和加热器部件具有通过电吸附力被层叠的构造，从而即使加热器部件被加热而在其与卡盘部件之间发生热膨胀差，也能够防止在这些部件上引起翘曲、变形等的内部应力的发生。由此，能够长期可靠性良好地使用。另外，不需要卡盘部件和加热器部件之间的粘接剂层，层叠构造自身变得简单，从而对工件具有快速的热响应性。尤其，在加热器部件上设置规定的通孔，工件加热装置载置在基础底座上地使用时，从基础底座侧被供给的气体介质存在于卡盘部件和加热器部件之间的界面上，由此，能够效率良好且均匀地将来自加热器部件的热量传递到工件，能够实现工件的精细的温度控制。
而且，本发明的工件加热装置能够与工件-卡盘部件间的拆装相独立地通过电压施加的ON/OFF自由地进行卡盘部件-加热器部件间的拆装，从而能够没有不良情况地进行半导体制造装置等中的工件处理，并且例如在卡盘部件被消耗的情况下，也能够容易地进行零件更换，在进行维护方面也很方便。
附图说明
图1是表示将本发明的第一结构例的工件加热装置载置在基础底座上，作为工件处理装置使用时的使用状态的截面示意图。
图2是表示在维护图1所示的工件处理装置这样的情况下，使部件之间分离的状态的截面示意图。
图3是表示将本发明的第二结构例的工件加热装置载置在基础底座上，作为工件处理装置使用时的使用状态的截面示意图。
图4是表示以往的层叠构造型工件加热装置的截面示意图。
具体实施方式
以下，基于附图说明本发明的工件加热装置的优选实施方式。
实施例
［第一实施方式］
在图1及图2中，示出了能够适用于使用等离子对半导体基板进行等离子腐蚀的等离子腐蚀装置等的工件处理装置。在该工件处理装置中，由卡盘部件1和加热器部件5构成的工件加热装置14被载置在内部具有供气体流动的管路16的铝合金制的基础底座15上，在工件加热装置14的卡盘部件侧吸附半导体基板等的工件18，能够将工件18维持在例如适于等离子处理的温度来进行等离子腐蚀等规定的处理。
其中，卡盘部件1具有在电介质2的内部具备工件吸附用的工件吸附电极3的构造，能够根据工件的形状如下地形成，使用例如两片厚度0.1mm～5mm左右的圆板状的氧化铝制陶瓷板（例如京瓷公司制A-479等），在一个陶瓷板上经由规定的掩模蒸镀厚度为0.1μm～50μm左右的铜而形成工件吸附电极3，并经由环氧树脂制粘接剂等贴合另一个陶瓷板。该第一实施方式是形成双极型的工件吸附电极3的例子，并示出了如下情况，相互交错地装入了梳齿状的电极部3a及3b，具有能够与具有开关的外部电源连接的连接端子4，并在这些电极部（3a、3b）之间施加直流电压。
另外，加热器部件5具有以下构造，在电介质6的内部具有工件加热用的发热体7，并且具有：卡盘吸附电极8，在与卡盘部件1相对的面和发热体7之间吸附卡盘部件1；基底吸附电极9，在与基础底座15相对的面和发热体7之间吸附基础底座15。
作为形成这样的加热器部件的例子，首先，在厚度25μm～125μm左右的聚酰亚胺薄膜的单面上，与卡盘部件1中的工件吸附电极3的情况同样地形成基底吸附电极9，并在基底吸附电极侧涂布环氧树脂制粘接剂并热压接厚度25μm～125μm左右的聚酰亚胺薄膜（例如东丽杜邦公司制Kapton H、宇部兴产公司制Upilex等）。然后，在之前形成有基底吸附电极9的聚酰亚胺薄膜的剩余的面上使用银填料墨水这样的导电性墨水来印刷厚度5μm～30μm左右的电阻发热体7，并经由环氧树脂制粘接剂热压接厚度25μm～125μm左右的聚酰亚胺薄膜。而且，在该聚酰亚胺薄膜的表面上，还是与工件吸附电极3的情况同样地形成卡盘吸附电极8，并经由环氧树脂制粘接剂热压接厚度25μm～125μm左右的聚酰亚胺薄膜，最后裁切成圆板形状即可。在本第一实施方式中，卡盘吸附电极8及基底吸附电极9分别具有与工件吸附电极3的情况相同的连接端子11及12。另外，发热体7与工件的形状相匹配地使例如平面形状成为涡旋状，具有能够与图示之外的外部电源连接的连接端子10。而且，在该第一实施方式中，在基础底座15的表面上具有与管路16连通的气孔17，在加热器部件5上，与该气孔17连接地形成有贯穿表里面的通孔13。
在使用该第一实施方式的工件处理装置利用例如等离子腐蚀装置对直径12英寸的硅基板进行等离子腐蚀的情况下，如图1所示，将加热器部件5载置在基础底座15上，对基底吸附电极9施加500V～2000V左右的直流电压并使加热器部件5吸附基础底座15。另外，在加热器部件5的上面重叠有卡盘部件1并对卡盘吸附电极8施加500V～2000V左右的直流电压，使卡盘部件1吸附加热器部件5。而且，将卡盘部件1的表面作为工件吸附面载置硅基板，并对工件吸附电极3施加500V～2000V左右的直流电压而吸附硅基板。在对硅基板进行蚀刻处理时，使等离子腐蚀装置的工件处理室内成为10-1Pa～10-5Pa左右的真空，硅基板的温度成为在-80℃～250℃的范围内的规定温度。
此时，通过对发热体7通电而发出的热量对硅基板进行加热，但形成卡盘部件1的氧化铝制陶瓷板和形成加热器部件5的聚酰亚胺薄膜它们自身具有规定的表面粗糙度，从而从基础底座15侧被供给的气体介质存在于卡盘部件1和加热器部件5之间的界面上。由此，从加热器部件5发出的热量经由该气体介质通过卡盘部件1均匀地加热硅基板的整个面。
在工件的处理结束之后，只要切断与卡盘部件1的工件吸附电极3连接的外部电源的开关等来停止对工件吸附电极3的电压施加，就能够释放被卡盘部件1吸附的工件。另外，在根据需要进行维护等的情况下，如图2所示，只要切断与加热器部件5的卡盘吸附电极8连接的外部电源的开关等来停止电压的施加，就能够简单地使卡盘部件1和加热器部件5之间分离，另外，只要切断与基础底座电极9连接的外部电源的开关等来停止电压的施加，就能够简单地使加热器部件5和基础底座15之间分离。
［第二实施方式］
图3示出了使用了本发明的工件加热装置的变形例的工件处理装置，在本第二实施方式的工件处理装置中，由卡盘部件1和加热器部件5构成的工件加热装置14经由被粘贴在加热器部件侧的吸附片29而被载置在铝合金制的基础底座15上。
其中，卡盘部件1具有以下构造，即，在电介质21的内部具有工件吸附用的工件吸附电极22和吸附加热器部件5的加热器吸附电极23，其中，加热器吸附电极23位于与加热器部件相对的面和工件吸附电极22之间。为了形成该卡盘部件1，例如，准备与第一实施方式同样地在单面上蒸镀铜而形成工件吸附电极22的氧化铝制的陶瓷板、和在单面上蒸镀铜而形成了加热器吸附电极23的氧化铝制的陶瓷板，能够在它们之间夹着氧化铝制的陶瓷板地分别用环氧树脂制粘接剂等粘贴。工件吸附电极22及加热器吸附电极23的形状等与第一实施方式相同，各个电极具有能够与具有开关的外部电源连接的连接端子24和连接端子25。
另外，加热器部件5除了在电介质26的内部仅具有工件加热用的发热体27以外，能够与第一实施方式的情况同样地得到，在发热体27中具有能够与图示之外的外部电源连接的连接端子28。而且，在该加热器部件5的与基础底座15相对的面上粘贴有例如扶桑橡胶工业公司制的有机硅树脂（商品名天狼星；弹性率2.7MPa，三维平均表面粗糙度（SRa）0.46μm）等这样的吸附片29。
而且，在该第二实施方式中，在基础底座15的表面上具有与管路16连通的气孔17，在加热器部件5上形成有贯穿其表里面的通孔31并能够与基础底座15的气孔17连接，并且在卡盘部件1上形成有贯穿其表里面并与通孔31连接的通孔30。
将该第二实施方式的工件处理装置用于等离子腐蚀装置等时，能够与第一实施方式的情况相同。另外，在使用后进行维护等时，只要切断与卡盘部件5的加热器吸附电极23连接的外部电源的开关等来停止电压的施加，就能够简单地使卡盘部件1和加热器部件5之间分离，由于加热器部件5和基础底座15之间仅被吸附片29吸附，所以能够用手容易地撕掉。
工业实用性
本发明的工件加热装置能够一边吸附工件一边将工件加热到规定的温度，尤其是通过载置在基础底座上用作工件处理装置，例如在等离子腐蚀装置这样的半导体制造装置等中，能够良好地进行半导体基板、玻璃基板等的处理。另外，除此以外，还能够用于单独利用工件加热装置吸附工件并将工件加热到规定的温度等的各种的工件处理。
附图标记的说明
1：卡盘部件
2、6、21、26：电介质
3、22：工件吸附电极
3a、3b、8a、8b、9a、9b、22a、22b：电极部
4、10、11、12、24、25、28：连接端子
5：加热器部件
7、27：发热体
8：卡盘吸附电极
9：基底吸附电极
13、30、31：通孔
14：工件加热装置
15：基础底座
16：管路
17：气孔
18：工件
23：加热器吸附电极
29：吸附片
31：均热板
32：粘接剂层

Claims (6)

1.一种工件加热装置，其层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，
其特征在于，加热器部件在与卡盘部件相对的面和发热体之间具有吸附卡盘部件的卡盘吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件。
2.一种工件加热装置，其层叠卡盘部件和加热器部件，能够由加热器部件加热被吸附在卡盘部件侧的工件，该卡盘部件具有工件吸附用的工件吸附电极，该加热器部件具有工件加热用的发热体，
其特征在于，卡盘部件在与加热器部件相对的面和工件吸附电极之间具有吸附加热器部件的加热器吸附电极，而能够拆装地层叠卡盘部件和加热器部件。
3.如权利要求1或2所述的工件加热装置，其特征在于，使加热器部件与基础底座相对地载置在基础底座上地进行使用，所述基础底座在内部具有供气体介质流动的管路，并在表面具有与该管路连接的气孔，
加热器部件具有与基础底座的气孔连通的通孔，层叠加热器部件和卡盘部件，使得从基础底座侧被供给的气体介质存在于加热器部件和卡盘部件的界面上。
4.如权利要求3所述的工件加热装置，其特征在于，加热器部件，在与基础底座相对的面和发热体之间具有吸附基础底座的基底吸附电极，或者，在与基础底座相对的面上具有由树脂材料构成的吸附片，而能够拆装地载置在基础底座上。
5.如权利要求4所述的工件加热装置，其特征在于，吸附片由树脂材料构成，该树脂材料的弹性率为0.5MPa以上10MPa以下，并且三维平均表面粗糙度（SRa）为0.01μm以上0.55μm以下。
6.一种工件处理装置，其特征在于，将权利要求1～5中任一项所述的工件加热装置载置在基础底座上而形成。
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