JP2007109830A - 電界効果トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ゲート電極、アンドープIn0.2Ga0.8N/アンドープAl0.2Ga0.8N/アンドープGaNのヘテロ接合から成る電界効果トランジスタである。In0.2Ga0.8Nは、ピエゾ電界効果が大きいので、ヘテロ成長したこの層には、大きな応力歪みがかかり大きなピエゾ電界を発生する。これにより、Al0.2Ga0.8NとGaNの伝導帯を上昇させ、チャネルのレベルを上昇させることができる。これにより、ノーマリオフ型とでき、ゲート電極の下にのみ電界発生層を形成することで、チャネルの抵抗を大きく低減できる。
【選択図】図1
Description
しかしながら、ノーマリオン型のトランジスタは、動作に負電源を必要とすること、停電時などの異常時には、回路を遮断できないこと、などから、ノーマリオフ型のトランジスタの開発が期待されている。
しかしながら、このIII族窒化物半導体は、化学的に極めて安定しているので、半導体層にダメッジを与えることなくエッチングすることは容易ではない。このため、下記特許文献1では、障壁層の厚さをゲート電極の仕事関数に応じて設定することで、チャネルが導通するしきい値電圧を調整するようにしている。
また、発明の他の目的は、ゲートしきい値電圧を制御可能とすることである。
また、発明の他の目的は、製造容易な高性能なノーマリオフ型の電界効果トランジスタを実現することである。
また、発明の他の目的は、相互コンダクタンスの大きな電界効果トランジスタを実現することである。
さらに、発明の他の目的は、最大ゲート電圧を向上させることである。
ただし、いずれかの発明が、上記の1又は複数の目的を達成すれば十分であって、本件の個々の発明が、全ての目的を達成するものと、解釈されるべきではない。
即ち、第1の発明は、ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、チャネルの形成される第1の半導体層とを有する電界効果トランジスタにおいて、
ゲート電極と、第1の半導体層との間に、チャネルのキャリアの最低エネルギーを上昇させる電界発生層を設けたことを特徴とする電界効果トランジスタである。
第1の半導体層は、キャリアの移動度を高くするためには、不純物がノンドープであることが望ましい。しかし、例えば、チャネルのキャリアのエネルギーの調整、歪み量の調整、その他各種の目的のために、全部、又は、一部の領域に不純物がドープされていても良い。電界発生層の配置位置は、ゲート電極と第1の半導体層との間であれば、その間に他の層が介在していても良いし、電界発生層と第1の半導体層とが直接接合していても良い。また、第1の半導体層は、単一の層、複数の層で形成されていても良い。
また、絶縁膜と電界発生層とを用いた場合には、絶縁膜から電界発生層に歪みを印加するようにしても良い。
要するに、電界発生層は、電界発生層に接合する半導体層におけるキャリアの伝導可能な最低エネルギーを向上させることができ、その結果として第1の半導体層のチャネルのキャリアの最低エネルギーを上昇させることができる層であれば良い。
本発明は、チャネルが第1の半導体層の第2の半導体層に対する界面に形成されることが特徴である。
本発明は、第2の半導体層の上に電界発生層を形成したことが特徴である。第1の半導体層の伝導帯は、第2の半導体の伝導帯の上昇に伴って、上昇される。また、この場合には、電界発生層には第2の半導体層から歪みを受けて、ピエゾ電界効果により電界を発生させるものが使用できるが、自発分極により電界を発生する層を用いても良い。
電界発生層を第2の半導体層の上にヘテロ成長により形成した場合には、第2の半導体層から受ける応力歪みによるピエゾ電気分極により、電界発生層は電界を発生させることができる。
下層に格子整合しないでヘテロ成長させた層は、その厚さが厚くなると、転位などが発生して歪みが緩和する。このため、電界発生層の厚さは、歪みが緩和しない厚さよりも薄いことが必要である。
MISFET、MOSFETにも、本件発明は適用することができる。絶縁膜は、酸化珪素などの酸化膜、窒化珪素などの窒化膜などを用いることができる。
また、第8の発明は、第2の半導体層は、第1の半導体にヘテロ接合するIII族窒化物半導体から成ることを特徴とする請求項7に記載の電界効果トランジスタである。
ここで、III族窒化物半導体は、III族元素と窒素との化合物半導体であり、窒素の他、As、P、SbなどのV族元素を含む化合物であってもよい。また、II族元素、VI族元素などが化合物として又は不純物として含まれていてもよい。以下において、III族窒化物半導体は、このような広い意味で使用されている。
電界発生層をInを含むIII族窒化物半導体とすることで、大きな電界を発生することができる。電界発生層の下層の格子定数を電界発生層の格子定数よりも小さくすることで、この電界発生層には、膜厚の方向に引っ張り歪み(面方向には圧縮歪み)を与えることができる。また、電界発生層の主面をGa面とする。これらの条件は、下層にGax1Al1−x1Nを用いることで、その条件は容易に実現される。この時、電界発生層の分極の向きは、AlGaNからゲート電極に向かう方向となる。これにより、InGaN/AlGaN界面には負電荷が誘起され、その結果、電界発生層により発生される電界の向きを、ゲート電極から第1の半導体層に向かう向き、すなわち、ゲート電極を第1の半導体層に対して正電位とすることができる。これにより、電界発生層が接合する下層の半導体層の伝導帯のエネルギーレベルを上昇させることができ、第1の半導体層のチャネルのエネルギーレベルを上昇させることができる。また、チャネルをpチャネルとする場合には、チャネルの正孔のエネルギーを上昇(価電子帯のエネルギーレベルを下げる)させることができる。
電界発生層のInの組成比は、0.01〜0.3が望ましい。特に、望ましくは、0.1〜0.2である。Alの組成比は、0〜0.3が望ましい。特に、望ましくは、0〜0.2である。
Inの組成比は、0.01〜0.3が望ましい。特に、望ましくは、0.1〜0.2である。
特に、電界発生層をこの材料とすることで、例えば、応用物理学会誌、Vol.70,No.05,2001 pp513−522によれば、Inの組成比が0.3、0.1の時に、それぞれ、5MV/cm、1.5MV/cmのピエゾ分極電界を発生させることができる。これは、電界発生層の厚さが10nmの時には、それぞれ、5V、1.5Vの電圧を意味し、下層の半導体の伝導帯を、それぞれ、5eV、1.5eVだけ上昇できることを意味する。すなわち、電界発生層の膜厚1nm当たり、伝導帯を、それぞれ、0.5eV、0.15eVだけ上昇させることができる。
下層の半導体層の伝導帯を所望の値だけ上昇させるには、Inの組成比と電界発生層の厚さとを適性に設計すれば良い。電界発生層にAlが含まれると、分極の向きが反対であるので、ピエゾ分極電界は減少する。しかし、In0.3Ga0.7Nが、10nmの厚さで、5Vのピエゾ電圧を発生するので、Alの組成比により、この電圧を減少方向に調整することも可能となる。
Inx2Gay2Al1−x2−y2N(0<x2≦1,0≦y2<1)または、Inx3Ga1−x3N(0<x3≦1)の場合に、歪みが緩和される臨界膜厚はx2,y2に依存するが0.25〜100nmである。よって、電界発生層の厚さは、100nm以下が望ましい。膜厚の下限値は、所望の値のピエゾ電圧を発生する厚さであれば良く、1原子層からでも可能である。ゲート電極の下にのみ電界発生層を形成する場合には、加工の観点から、薄い程、望ましい。下層に、AlGaN半導体を用いた場合には、この層は、電界発生層のエッチングストッパとして機能するので、その点においても、下層はAlGaNが望ましい。本件発明は、極めて薄い電界発生層により、チャネルの伝導を制御できることも、大きな特徴である。電界発生層のより望ましい範囲は、0.25〜50nm、さらに望ましくは、0.25〜10nmである。
電界発生層をInx2Gay2Al1−x2−y2N(0<x2≦1,0≦y2<1)または、Inx3Ga1−x3N(0<x3≦1)の場合、とりわけ、後者の場合には、極めて薄い層でチャネルのキャリアのエネルギーを制御できる。したがって、エッチングにより、電界発生層のゲート電極の下にのみ形成することが極めて容易となる。また、電界発生層に強誘電体を用いた場合は、エッチング、リフトオフ法により、容易にゲート電極下にのみ、電界発生層を生成することかできる。ゲート電極の下にのみ電界発生層を形成するのは、ノーマリオフ型、ノーマリオン型の両方のトランジスタに適用可能である。
この場合も、ノーマリオフ型、ノーマリオン型の両方のトランジスタに適用可能である。
本発明は、ノーマリオフ型の電界効果トランジスタとすることで、特に、大きな利点が得られる。
本発明は、電界発生層により、チャネルの形成される第1の半導体層のキャリアの伝導可能な最低エネルギーを上昇させることができる。すなわち、ゲート電極に電圧を印加していない状態におけるチャネルのキャリア濃度を制御することが可能となる。換言すれば、オン時、または、オフ時のゲートしきい値電圧VGthを制御することが可能となる。これにより、しきい値電圧VGthを所望の値に設定したノーマリオフ型の電界効果トランジスタを実現することが可能となる。逆に、ノーマリオン型の電界効果トランジスタにおいても、ゲートオフしきい値電圧VGthを所望の値に設定することが可能となる。
チャネルの寄生抵抗が大きくなるが、ゲートしきい値電圧VGthを容易に制御できるので、ノーマリオフ型のトランジスタを構成することもできる。ノーマリオン型のトランジスタでは、ゲートしきい値電圧VGthを大きくして、チャネルのキャリアのエネルギーを上昇させた状態で、nチャネルでは、電子濃度が、pチャネルでは正孔濃度が高くなるように各層の厚さを設計すれば良い。これにより、チャネルの寄生抵抗の小さなノーマリオン型のトランジスタを構成することができる。
本発明の原理を説明する。図1は、ヘテロ接合の伝導帯のバンド図である。分かり易くするために、伝導帯の傾斜は直線で表し模式的に表現している。アンドープIn0.2Ga0.8N/アンドープAl0.2Ga0.8N/アンドープGaNのヘテロ接合を例示している。以下、単に、In0.2Ga0.8NをInGaN、Al0.2Ga0.8NをAlGaNで表記する。InGaNが本発明の電界発生層、AlGaNが第2の半導体層、GaNが第1の半導体層である。InGaNの格子定数は、AlGaNの格子定数よりも大きいので、InGaNはAlGaNより、成長面上において圧縮応力を受け、成長面に垂直な方向に引っ張り応力を受ける。この結果、Ga面を成長面とするInGaNは自発分極とピエゾ電気分極とは反対を向き、ピエゾ電気分極の方が遥かに大きい。したがって、InGaNでは、InGaNからゲート電極に向かう方向に分極する。したがってInGaN/AlGaNの界面には負の電荷が誘起される。また、AlGaNは、InGaN、及びGaNから成長面内で引っ張り応力を受け、成長面に垂直な方向に圧縮応力を受ける。また、AlGaN、GaNは、自発分極とピエゾ電気分極とは同一方向を向き、大きさは自発分極の方がやや大きいが、InGaNのピエゾ電気分極に比べると遥かに小さい。この結果、AlGaN/GaN界面に正の電荷が誘起される。以上の結果をまとめると界面に誘起される電荷は図1に示すように表面から順に+−+−となる。従って電界の向きは図に示すようになる。
したがって、AlGaNとInGaNのバンドギャップの差異によるヘテロ接合障壁と、InGaN中のピエゾ電界が大きいことを考慮すると、伝導帯は図1(a)に示すようになる。これに、ショットキー障壁を考慮して、伝導帯を表現すると、図1(b)に示すようになる。図でBVは、ゲート電極とInGaNのショットキー障壁の大きさを示している。また、図1(b)の破線は、AlGaNが直接ゲート電極に接合している場合の伝導帯を示す。
まず電界発生層を設けずに、且つ、ゲート電極に電圧を印加していないと仮定した状態で、図1(b)の破線に示すように、チャネルChのエネルギーレベルがフェルミーレベルに対して十分に接近して低い位置となるように各層の厚さなどを設計したとする。次に、ゲート電極の下方にのみ、電界発生層を設けることで、ゲート電極に電圧を印加していない状態で、チャネルChのエネルギーレベルがフェルミーレベルより十分に高いところに位置するように、ΔVを与える電界発生層の厚さやIn組成比を設計する。このように構成すれば、ゲート電極の下方以外の領域では、ゲート電極に電圧を印加していない状態でチャネルChに十分な濃度の電子を確保でき、チャネルの寄生抵抗が十分に低いノーマリオフ型の電界効果トランジスタを形成することができる。
p−InGaN/n−AlGaN/i−GaNの場合にバンド図を図5の曲線Aに示す。図5の曲線Bは、p−InGaNをi-InGaNとした場合のバンド図である。図5の曲線Cは、p−InGaNの電界発生層が存在せずn−AlGaNが直接、ゲート電極に接合している場合のバンド図である。すなわち、p−InGaNとn−AlGaNとの障壁電位と、電界発生層InGaNをp型にすることによる電位上昇分Etと、p−InGaNとゲート電極間のショットキー障壁Bvおよびひずみ分極によるエネルギー上昇ΔVの和で、最大ゲート電圧VGmaxが決定される。したがって、最大ゲート電圧をp−InGaNの電界発生層がない場合に比べてΔV+Etだけ大きくすることができる。
ただし、これらの半導体結晶層を結晶成長させる方法としては、上記の有機金属化合物気相成長法(MOVPE)の他にも、分子線気相成長法(MBE)、ハイドライド気相成長法(HVPE)等が有効である。
また、第1の半導体層は、InGaNとGaNの2層構造であっても良いしし、AlGaNとGaNとの2層構造でも良い。
また、第2の半導体層は、GaNとAlGaNとの2層構造でも良い。
上記の全実施例において、本発明の電界効果トランジスタを構成する基板の材料としては、サファイアの他、炭化シリコン(SiC)、シリコン(Si)、GaNなどを用いても良い。オーミック電極やゲート電極の形成形態としては、周知の任意の形態を採用することができる。例えば、ゲート電極は、電界発生層の上に絶縁膜を介して形成しても良い。
14…チャネル層(第1の半導体層)
16…第1障壁層(第2の半導体層)
20…第2障壁層(第2の半導体層)
40…電界発生層
Claims (17)
- ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、チャネルの形成される第1の半導体層とを有する電界効果トランジスタにおいて、
前記ゲート電極と、前記第1の半導体層との間に、前記チャネルのキャリアの最低エネルギーを上昇させる電界発生層を設けたことを特徴とする電界効果トランジスタ。 - 前記電界発生層と前記第1の半導体層との間に介在された、前記第1の半導体層にヘテロ接合した第2の半導体層を有することを特徴とする請求項1に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層は、前記第2の半導体層の伝導帯の最低エネルギーレベルを上昇させることにより、前記第2の半導体層にヘテロ接合した前記第1の半導体層の伝導帯を上昇させて、前記チャネルの最低エネルギーレベルを上昇させる層であることを特徴とする請求項2に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層は、ピエゾ電気分極により電界を発生させる層であることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層は下層とヘテロ接合し、前記電界発生層の厚さは歪みが緩和されない臨界膜厚より小さい値に設定されていることを特徴とする請求項1乃至請求項4の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記ゲート電極と前記電界発生層との間に形成された絶縁膜を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記第1の半導体層はIII族窒化物半導体から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項6の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記第2の半導体層は、前記第1の半導体層にヘテロ接合するIII族窒化物半導体から成ることを特徴とする請求項7に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記第1の半導体層はGaNから成り、前記第2の半導体層は、Gax1Al1−x1N(0≦x1<1)から成ることを特徴とする請求項8に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層はInx2Gay2Al1−x2−y2N(0<x2≦1,0≦y2<1)から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層はInx3Ga1−x3N(0<x3≦1)から成ることを特徴とする請求項1乃至請求項9の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層の厚さは、0.25〜100nmであることを特徴とする請求項10又は請求項11に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層は、前記ゲート電極の下にのみ形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項12の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層は、ソース電極、ドレイン電極、前記ゲート電極の下に一様に形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項12の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層はp伝導型であり、前記第2の半導体層はn伝導型であることを特徴とする請求項2乃至請求項14の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 前記電界発生層はp伝導型であり、前記第2の半導体層はアンンドープであることを特徴とする請求項2乃至請求項14の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
- 電界効果トランジスタはノーマリオフ型のトランジスタであることを特徴とする請求項1乃至請求項16の何れか1項に記載の電界効果トランジスタ。
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---|---|
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Cited By (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007220895A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
US7425721B2 (en) | 2006-05-23 | 2008-09-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Field-effect transistor |
JP2009032713A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | GaNをチャネル層とする窒化物半導体トランジスタ及びその作製方法 |
JP2009141244A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | 窒化物半導体トランジスタ及びその製造方法 |
WO2009116281A1 (ja) * | 2008-03-19 | 2009-09-24 | 住友化学株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2010064706A1 (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-10 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
WO2010099065A1 (en) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Raytheon Company | Gan-based high electron mobility transistor structures |
WO2011010418A1 (ja) * | 2009-07-22 | 2011-01-27 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
JP2011044457A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置、半導体装置の製造方法 |
JP2011108712A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | New Japan Radio Co Ltd | 窒化物半導体装置 |
JP2011119304A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-16 | Nichia Corp | 電界効果トランジスタ |
WO2011132284A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、電源装置 |
KR20110137809A (ko) * | 2009-04-08 | 2011-12-23 | 이피션트 파워 컨버젼 코퍼레이션 | 증가형 GaN HEMT 장치 및 그 제조 방법 |
JP2012119638A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Fujitsu Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2012523701A (ja) * | 2009-04-08 | 2012-10-04 | エフィシエント パワー コンヴァーション コーポレーション | 補償型ゲートmisfet及びその製造方法 |
CN102812554A (zh) * | 2010-01-27 | 2012-12-05 | 美国国家半导体公司 | 常关型氮化镓基半导体器件 |
JP2013030667A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | New Japan Radio Co Ltd | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
JP2013526076A (ja) * | 2010-05-02 | 2013-06-20 | ヴィシク テクノロジーズ リミテッド | 電界効果パワートランジスタ |
CN103383960A (zh) * | 2012-05-02 | 2013-11-06 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体装置及其制造方法 |
CN103681831A (zh) * | 2012-09-14 | 2014-03-26 | 中国科学院微电子研究所 | 高电子迁移率晶体管及其制造方法 |
CN103681323A (zh) * | 2012-09-14 | 2014-03-26 | 中国科学院微电子研究所 | 高电子迁移率晶体管的制造方法 |
EP2768027A1 (en) * | 2013-02-15 | 2014-08-20 | Azzurro Semiconductors AG | Layer structure for a group-III-nitride normally-off transistor |
EP2793255A1 (en) * | 2013-04-16 | 2014-10-22 | Imec | Semiconductor device comprising a Schottky diode and a high electron mobility transistor, and manufacturing method thereof |
JP2015502050A (ja) * | 2011-11-22 | 2015-01-19 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | 逆分極キャップを備えたエンハンスメントモードiii族‐n高電子移動度トランジスタ |
US9130028B2 (en) | 2011-08-23 | 2015-09-08 | Visic Technologies Ltd. | Field effect power transistors |
CN106030809A (zh) * | 2014-03-25 | 2016-10-12 | 英特尔公司 | 具有提供陡峭的亚阈值摆幅的外延层的iii-n晶体管 |
TWI701836B (zh) * | 2019-07-26 | 2020-08-11 | 新唐科技股份有限公司 | 增強型高電子遷移率電晶體元件及其製造方法 |
JP2020167275A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 富士通株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11261053A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高移動度トランジスタ |
JP2002016087A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2004273486A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004335960A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Kri Inc | 電界効果型トランジスタ |
JP2005243727A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
-
2005
- 2005-10-12 JP JP2005298241A patent/JP2007109830A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11261053A (ja) * | 1998-03-09 | 1999-09-24 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 高移動度トランジスタ |
JP2002016087A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2004273486A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
JP2004335960A (ja) * | 2003-05-12 | 2004-11-25 | Kri Inc | 電界効果型トランジスタ |
JP2005243727A (ja) * | 2004-02-24 | 2005-09-08 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
Cited By (56)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007220895A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
US7425721B2 (en) | 2006-05-23 | 2008-09-16 | Sharp Kabushiki Kaisha | Field-effect transistor |
JP2009032713A (ja) * | 2007-07-24 | 2009-02-12 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | GaNをチャネル層とする窒化物半導体トランジスタ及びその作製方法 |
JP2009141244A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Panasonic Corp | 窒化物半導体トランジスタ及びその製造方法 |
WO2009116281A1 (ja) * | 2008-03-19 | 2009-09-24 | 住友化学株式会社 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2009231396A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
WO2010064706A1 (ja) * | 2008-12-04 | 2010-06-10 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
JP5684574B2 (ja) * | 2008-12-04 | 2015-03-11 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置 |
JPWO2010064706A1 (ja) * | 2008-12-04 | 2012-05-10 | 日本電気株式会社 | 半導体装置 |
WO2010099065A1 (en) * | 2009-02-27 | 2010-09-02 | Raytheon Company | Gan-based high electron mobility transistor structures |
KR101666910B1 (ko) * | 2009-04-08 | 2016-10-17 | 이피션트 파워 컨버젼 코퍼레이션 | 증가형 GaN HEMT 장치 및 그 제조 방법 |
US8890168B2 (en) | 2009-04-08 | 2014-11-18 | Efficient Power Conversion Corporation | Enhancement mode GaN HEMT device |
JP2012523697A (ja) * | 2009-04-08 | 2012-10-04 | エフィシエント パワー コンヴァーション コーポレーション | エンハンスメントモードGaNHEMTデバイス、及びその製造方法 |
KR20110137809A (ko) * | 2009-04-08 | 2011-12-23 | 이피션트 파워 컨버젼 코퍼레이션 | 증가형 GaN HEMT 장치 및 그 제조 방법 |
JP2012523701A (ja) * | 2009-04-08 | 2012-10-04 | エフィシエント パワー コンヴァーション コーポレーション | 補償型ゲートmisfet及びその製造方法 |
WO2011010418A1 (ja) * | 2009-07-22 | 2011-01-27 | パナソニック株式会社 | 窒化物半導体装置及びその製造方法 |
JP2011044457A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 半導体装置、半導体装置の製造方法 |
JP2011108712A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | New Japan Radio Co Ltd | 窒化物半導体装置 |
JP2011119304A (ja) * | 2009-11-30 | 2011-06-16 | Nichia Corp | 電界効果トランジスタ |
TWI574325B (zh) * | 2010-01-27 | 2017-03-11 | 國家半導體公司 | 常關型氮化鎵基半導體裝置 |
CN102812554A (zh) * | 2010-01-27 | 2012-12-05 | 美国国家半导体公司 | 常关型氮化镓基半导体器件 |
JP2013518445A (ja) * | 2010-01-27 | 2013-05-20 | ナショナル セミコンダクター コーポレーション | ノーマリーオフの窒化ガリウムベースの半導体装置 |
US9385199B2 (en) | 2010-01-27 | 2016-07-05 | National Semiconductor Corporation | Normally-off gallium nitride-based semiconductor devices |
US9252254B2 (en) | 2010-04-22 | 2016-02-02 | Fujitsu Limited | Semiconductor device and method of manufacturing the same, and power supply apparatus |
JP5720678B2 (ja) * | 2010-04-22 | 2015-05-20 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、電源装置 |
WO2011132284A1 (ja) * | 2010-04-22 | 2011-10-27 | 富士通株式会社 | 半導体装置及びその製造方法、電源装置 |
JP2013526076A (ja) * | 2010-05-02 | 2013-06-20 | ヴィシク テクノロジーズ リミテッド | 電界効果パワートランジスタ |
JP2012119638A (ja) * | 2010-12-03 | 2012-06-21 | Fujitsu Ltd | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
JP2013030667A (ja) * | 2011-07-29 | 2013-02-07 | New Japan Radio Co Ltd | 窒化物半導体装置およびその製造方法 |
US9130028B2 (en) | 2011-08-23 | 2015-09-08 | Visic Technologies Ltd. | Field effect power transistors |
JP2015502050A (ja) * | 2011-11-22 | 2015-01-19 | 日本テキサス・インスツルメンツ株式会社 | 逆分極キャップを備えたエンハンスメントモードiii族‐n高電子移動度トランジスタ |
JP2013235873A (ja) * | 2012-05-02 | 2013-11-21 | Renesas Electronics Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
CN103383960A (zh) * | 2012-05-02 | 2013-11-06 | 瑞萨电子株式会社 | 半导体装置及其制造方法 |
CN103681323A (zh) * | 2012-09-14 | 2014-03-26 | 中国科学院微电子研究所 | 高电子迁移率晶体管的制造方法 |
CN103681831B (zh) * | 2012-09-14 | 2017-02-08 | 中国科学院微电子研究所 | 高电子迁移率晶体管及其制造方法 |
CN103681831A (zh) * | 2012-09-14 | 2014-03-26 | 中国科学院微电子研究所 | 高电子迁移率晶体管及其制造方法 |
WO2014125094A1 (en) * | 2013-02-15 | 2014-08-21 | Azzurro Semiconductors Ag | Layer structure for a group-iii-nitride normally-off transistor |
EP3285302A1 (en) * | 2013-02-15 | 2018-02-21 | AZUR SPACE Solar Power GmbH | Layer structure for a group-iii-nitride normally-off transistor |
CN105122456A (zh) * | 2013-02-15 | 2015-12-02 | 阿聚尔斯佩西太阳能有限责任公司 | 第iii族氮化物常关晶体管的层结构 |
CN107731902B (zh) * | 2013-02-15 | 2021-02-19 | 阿聚尔斯佩西太阳能有限责任公司 | 第iii族氮化物常关晶体管的层结构 |
US10658500B2 (en) | 2013-02-15 | 2020-05-19 | Azurspace Solar Power Gmbh | Layer structure for a group-III-nitride normally-off transistor |
EP2768027A1 (en) * | 2013-02-15 | 2014-08-20 | Azzurro Semiconductors AG | Layer structure for a group-III-nitride normally-off transistor |
US10128362B2 (en) | 2013-02-15 | 2018-11-13 | Azurspace Solar Power Gmbh | Layer structure for a group-III-nitride normally-off transistor |
CN107731902A (zh) * | 2013-02-15 | 2018-02-23 | 阿聚尔斯佩西太阳能有限责任公司 | 第iii 族氮化物常关晶体管的层结构 |
US9773896B2 (en) | 2013-02-15 | 2017-09-26 | Azurspace Solar Power Gmbh | Layer structure for a group-III-nitride normally-off transistor |
EP2793255A1 (en) * | 2013-04-16 | 2014-10-22 | Imec | Semiconductor device comprising a Schottky diode and a high electron mobility transistor, and manufacturing method thereof |
CN106030809A (zh) * | 2014-03-25 | 2016-10-12 | 英特尔公司 | 具有提供陡峭的亚阈值摆幅的外延层的iii-n晶体管 |
EP3123512A4 (en) * | 2014-03-25 | 2017-09-06 | Intel Corporation | Iii-n transistors with epitaxial layers providing steep subthreshold swing |
JP2017509150A (ja) * | 2014-03-25 | 2017-03-30 | インテル・コーポレーション | 急峻なサブスレッショルドスイングを提供するエピタキシャル層を有するiii−nトランジスタ |
KR102174901B1 (ko) * | 2014-03-25 | 2020-11-05 | 인텔 코포레이션 | 급격한 문턱미만 스윙을 제공하는 에피택셜 층들을 갖는 ⅲ-n 트랜지스터들 |
KR20160136288A (ko) * | 2014-03-25 | 2016-11-29 | 인텔 코포레이션 | 급격한 문턱미만 스윙을 제공하는 에피택셜 층들을 갖는 ⅲ-n 트랜지스터들 |
JP2020167275A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 富士通株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子装置 |
JP7231824B2 (ja) | 2019-03-29 | 2023-03-02 | 富士通株式会社 | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子装置 |
TWI701836B (zh) * | 2019-07-26 | 2020-08-11 | 新唐科技股份有限公司 | 增強型高電子遷移率電晶體元件及其製造方法 |
CN112310215A (zh) * | 2019-07-26 | 2021-02-02 | 新唐科技股份有限公司 | 增强型高电子迁移率晶体管元件及其制造方法 |
CN112310215B (zh) * | 2019-07-26 | 2023-07-04 | 新唐科技股份有限公司 | 增强型高电子迁移率晶体管元件及其制造方法 |
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