JP2005243727A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 しきい値電圧が正となるとともに、所望の特性を備える半導体装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】 ヘテロ接合型FETは、SiC基板1と、SiC基板1上に形成されたチャネル層3と、頂面8aを有し、チャネル層3との間にヘテロ接合を形成し、窒化物半導体からなるバリア層8と、頂面8a上に形成されたゲート電極5と、頂面8a上に形成されたソース電極およびドレイン電極6とを備える。バリア層8は、ゲート電極5が形成された頂面8a上の領域22とチャネル層3との間に位置するp型半導体層7と、ゲート電極5から露出する頂面8a上の領域21とチャネル層3との間に位置する半導体層10とを有する。p型半導体層7は、第1の濃度を有するp型半導体に形成されている。半導体層10は、真性半導体、n型半導体および第1の濃度よりも低い第2の濃度を有するp型半導体のいずれかに形成されている。
【選択図】 図1
【解決手段】 ヘテロ接合型FETは、SiC基板1と、SiC基板1上に形成されたチャネル層3と、頂面8aを有し、チャネル層3との間にヘテロ接合を形成し、窒化物半導体からなるバリア層8と、頂面8a上に形成されたゲート電極5と、頂面8a上に形成されたソース電極およびドレイン電極6とを備える。バリア層8は、ゲート電極5が形成された頂面8a上の領域22とチャネル層3との間に位置するp型半導体層7と、ゲート電極5から露出する頂面8a上の領域21とチャネル層3との間に位置する半導体層10とを有する。p型半導体層7は、第1の濃度を有するp型半導体に形成されている。半導体層10は、真性半導体、n型半導体および第1の濃度よりも低い第2の濃度を有するp型半導体のいずれかに形成されている。
【選択図】 図1
Description
この発明は、一般的には、半導体装置およびその製造方法に関し、より特定的には、ヘテロ接合電界効果型(HJFET:Hetero-Junction Field Effect Transistor)の半導体装置およびその製造方法に関する。
従来の窒化物半導体からなるヘテロ接合電界効果型トランジスタに関して、たとえば、下記の非特許文献1および2に開示がされている。非特許文献1に開示されたヘテロ接合型FETは、最下層に配置されたSiC基板と、そのSiC基板上に順次積層された緩衝層、ノンドープのGaNチャネル層およびノンドープのAl0.3Ga0.7Nバリア層と、そのバリア層上に形成されたソース電極、ドレイン電極およびゲート電極とを備える。ソース電極、ドレイン電極およびゲート電極は、20nmから30nmほどの厚みを有するn型のバリア層上に直接、形成されている(ノンドープのAlGaNは、n型である)。
岡本康宏ら,「SiC基板上のL帯高出力AlGaN/GaNヘテロ接合FET」,社団法人電子情報通信学会,信学技報 TECHNICAL REPORT OF IEICE. ED2002-94, LQE2002-69(2002-06) Akira Endoh et.al., 「Non-Recessed-Gate Enhancement-Mode ALGaN/GaN HEMTs with High RF Performance」, Extended Abstracts of the 2003 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tokyo, 2003, pp.914-915
岡本康宏ら,「SiC基板上のL帯高出力AlGaN/GaNヘテロ接合FET」,社団法人電子情報通信学会,信学技報 TECHNICAL REPORT OF IEICE. ED2002-94, LQE2002-69(2002-06) Akira Endoh et.al., 「Non-Recessed-Gate Enhancement-Mode ALGaN/GaN HEMTs with High RF Performance」, Extended Abstracts of the 2003 International Conference on Solid State Devices and Materials, Tokyo, 2003, pp.914-915
図13は、従来のヘテロ接合型FETにおいて、しきい値電圧で得られるエネルギーバンドを示す図である。ここで、しきい値電圧とは、チャネル層に2次元電子ガス(キャリア)がなくなり、チャネルのバンドの曲がりがなくなった状態である。この状態は、トランジスタ動作でいえばドレイン電流がちょうど流れなくなった状態である。
図13を参照して、この状態では、チャネル層には電荷は存在しない。そして、バリア層のチャネル側には分極(ピエゾ分極および自発分極)によって発生した正の電荷が存在する。また、バリア層のゲート側には、上記正の電荷とバランスする負の電荷が存在する。窒化物半導体からなるヘテロ接合型FETにおいては、通常のGaAsやInPからなる場合と異なり、このような分極がバリア層に発生し、この分極によってゲート電極側で電位が高くなり、バリア層側で電位が低くなる。
ゲート電極は、バリア層の伝導帯からφB(ゲート電極とバリア層表面との電気陰性度の差)だけ低いところに存在する。しきい値電圧Vthは、ゲート電位Vgとチャネル層のフェルミレベル(準位)EFとの差となり、分極によって生じる電位差ΔEgr、バリア層とチャネル層の伝導帯との差ΔEc、チャネル層における伝導帯からフェルミレベルまでの差ΔEF、およびゲート電極とバリア層の表面の半導体の電気陰性度との差φBから、次式により求めることができる。
Vth=φB−(ΔEc+ΔEF+ΔEgr)
Vthは、EFより下側で正となり、上側で負となる。窒化物半導体からなるヘテロ接合型FETにおいては、分極による電界が存在するため、しきい値ではバリア層にかかる電位はチャネル層からゲート電極に向かって高くなる。このため、現状ではVthが負となるのが一般的である。なお、図13では電子に対する電位を示しているので、上向きが負となっており、これはゲートに負の電圧をかけることでしきい値に達することを示している。
Vthは、EFより下側で正となり、上側で負となる。窒化物半導体からなるヘテロ接合型FETにおいては、分極による電界が存在するため、しきい値ではバリア層にかかる電位はチャネル層からゲート電極に向かって高くなる。このため、現状ではVthが負となるのが一般的である。なお、図13では電子に対する電位を示しているので、上向きが負となっており、これはゲートに負の電圧をかけることでしきい値に達することを示している。
このように従来の構造によっては、しきい値電圧が負となる。しきい値電圧は、それ以上の電圧がゲート電極に印加されたときにキャリアのチャネル通過を許容するものであるため、この場合、ゲート電極の電位をゼロにしても、キャリアはチャネルを通過することとなる。つまり、従来のヘテロ接合型FETは、ゲート電極に電位を印加しない状態でドレイン電流がオン状態となる、ノーマリオンのトランジスタである。
しかし、シリコンのCMOS(complementary metal oxide semiconductor)のように論理回路を形成する用途には、しきい値電圧が正のトランジスタ、つまりノーマリオフのトランジスタが必要である。また、パワーデバイスにおいては、異常時の安全確保のためしきい値が正となるトランジスタが望まれている。すなわち、パワートランジスタは回転機などのオンオフを制御するので、ノーマリオンのトランジスタを用いると、制御系に事故が発生しゲート電位がゼロとなっても、オン状態が継続され、危険である。
一方、窒化物半導体からなるヘテロ接合型FETは、バンドギャップが広いため、素子を微細化しても動作する論理回路や、高出力をオンオフ制御できるパワーデバイスへの使用が期待されている。
そこでこの発明の目的は、上記の課題を解決することであり、しきい値電圧が正となるとともに、所望の特性を備える半導体装置およびその製造方法を提供することである。
この発明に従った半導体装置は、主表面を有する基板と、主表面上に形成されたチャネル層と、頂面を有し、窒化物半導体からなるバリア層と、頂面上に形成されたゲート電極と、頂面上に形成され、ゲート電極の両側に位置するソース電極およびドレイン電極とを備える。バリア層は、チャネル層上に位置して、チャネル層との間にヘテロ接合を形成している。バリア層は、ゲート電極が形成された頂面上の第1領域とチャネル層との間に位置する第1の半導体層と、ゲート電極から露出する頂面上の第2領域とチャネル層との間に位置する第2の半導体層とを有する。第1の半導体層は、第1の濃度を有するp型半導体に形成されている。第2の半導体層は、真性半導体、n型半導体および第1の濃度よりも低い第2の濃度を有するp型半導体のいずれかに形成されている。
この発明に従えば、しきい値電圧が正となるとともに、所望の特性を備える半導体装置およびその製造方法を提供することができる。
この発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。
(実施の形態1)
図1は、この発明の実施の形態1におけるヘテロ接合型FETを示す断面図である。図2は、図1中のヘテロ接合型FETの変形例を示す断面図である。図1を参照して、本実施の形態におけるヘテロ接合型FETは、最下層に配置されたSiC基板1と、SiC基板1の主表面1a上にバッファ層2を介して形成されたチャネル層3と、チャネル層3上に設けられ、チャネル層3との境界にヘテロ接合を形成するバリア層8と、バリア層8の頂面8a上に形成されたソース/ドレイン電極6およびゲート電極5とを備える。ソース/ドレイン電極6は、ゲート電極5の両側に位置して、ゲート電極5と間隔を隔てて配置されている。
図1は、この発明の実施の形態1におけるヘテロ接合型FETを示す断面図である。図2は、図1中のヘテロ接合型FETの変形例を示す断面図である。図1を参照して、本実施の形態におけるヘテロ接合型FETは、最下層に配置されたSiC基板1と、SiC基板1の主表面1a上にバッファ層2を介して形成されたチャネル層3と、チャネル層3上に設けられ、チャネル層3との境界にヘテロ接合を形成するバリア層8と、バリア層8の頂面8a上に形成されたソース/ドレイン電極6およびゲート電極5とを備える。ソース/ドレイン電極6は、ゲート電極5の両側に位置して、ゲート電極5と間隔を隔てて配置されている。
ゲート電極5は、頂面8a上の領域22に位置しており、ソース/ドレイン電極6は、頂面8a上の領域21に位置している。領域22は、ゲート電極5によって覆われた領域であり、領域21は、ゲート電極5から露出した領域である。
バリア層8は、InyAlxGa1−x−yN(yの範囲:0≦y<0.5、xの範囲:0<x≦1)から形成されているのが好ましく、本実施の形態では、30nmの厚みを有するAl0.3Ga0.7Nから形成されている。バリア層8は、ノンドープの半導体層10と、その半導体層10に設けられ、所定の不純物濃度を有するp型半導体層7とから構成されている。半導体層10は、ノンドープのAl0.3Ga0.7N、つまりn型半導体から形成されているほか、真性半導体から形成されていても良い。また、半導体層10は、p型半導体から形成されていても良く、この場合、半導体層10の不純物濃度は、p型半導体層7の不純物濃度よりも低く設定される。
p型半導体層7は、領域22とチャネル層3との間、つまり平面的に見てゲート電極5と重なる位置において、ゲート電極5と隣り合って形成されている。また、図2に示すように、p型半導体層7がゲート電極5から離れてバリア層8の中に配置されていても良い。半導体層10は、頂面8a側を除いたp型半導体層7の周りを取り囲むように、頂面8aからチャネル層3に接触する位置までに渡って形成されている。半導体層10は、領域21とチャネル層3との間、つまり平面的に見てゲート電極5と重ならない位置に少なくとも形成されている。
チャネル層3は、InyGa1−yN(yの範囲:0≦y<0.5)により形成されているのが好ましく、本実施の形態では、2μmの厚みを有するノンドープのGaN(窒化ガリウム)から形成されている。チャネル層3は、n型不純物を含んでいても良い。
また、チャネル層3とバリア層8とは、これらチャネル層とバリア層との接合部において、チャネル層3のバンドギャップよりバリア層8のバンドギャップの方が大きければ、バリア層8のAl組成比はゼロよりも大きく、また1以下であれば、とくに0.3でなくてもよい。また、これらチャネル層3およびバリア層8も、InAlGaNやInAlGaNAsなどで形成されていても良い。これらの半導体は、バンドギャップが広いため、素子を微細化した場合にも、良好に動作する論理回路や高出力をスイッチできるパワーデバイスを実現することができる。
チャネル層3の厚みは、0.1μmから3μm程度とし、そのn型不純物濃度は、ゼロから1×1018cm−3程度とするのが良い。バリア層8の厚みは、5nmから50nm程度とするのが良い。また、半導体層10を真性半導体またはn型半導体から形成する場合、n型不純物濃度は、ゼロから1×1019cm−3程度とするのが良い。半導体層10をp型半導体から形成する場合、p型不純物濃度は、1×1020cm−3以下であるのが好ましい。この場合、後述する半導体層10を設けたことによる効果を大きく得ることができる。
SiC基板1は、シリコン基板、サファイア基板およびGaN基板に置き換えても良い。バッファ層2は、たとえば、GaNやAlN(窒化アルミニウム)から形成されている。
図1に示すような窒化物半導体からなるヘテロ接合型FETの場合、分極したバリア層8のチャネル層3側に存在する正の電荷がバリア層8の電位を高くして、しきい値電圧を負にしようとする。窒化物半導体なので、チャネルのキャリアは電子に限られ、バリア層8の分極はこのような向きになる。しかし、上記のように、p型半導体層7を設けてバリア層8内に負の電荷(すなわち、イオン化されたp型不純物)を導入すると、バリア層8内のチャネル層3側における正の電荷の影響を低減することができる。これにより、バリア層8のチャネル層3側における電位を低くすることができ、その結果、しきい値電圧を正にすることができる。
図3は、図1中のヘテロ接合型FETにおいて、得られるエネルギーバンドの一例を示す図である。なお、図中の文字に関しては、図13を参照して説明した内容と同様に理解する。図3を参照して、バリア層8内にp型半導体層7を配置することによって、バリア層8のバンドが曲がり、ゲート電位Vgとチャネル層3のフェルミレベルEFとの差がなくなり、しきい値電圧がゼロとなっていることが分かる。
一方、p型半導体層7によってバリア層8内のチャネル層3側における正の電荷の影響が低減されると、チャネル層3の下部と上部との間で生じていた電位差が小さくなる。このため、ゲート電極5とソース/ドレイン電極6との間の2次元電子ガス濃度が減少する。しかし、本実施の形態では、ゲート電極5から露出する領域21とチャネル層3との間に位置して、n型半導体、真性半導体またはp型半導体層7と比較して低い濃度を有するp型半導体から形成された半導体層10をバリア層8に設けている。この半導体層10内には、p型半導体層7内と比較して、キャリアとしての電子がより多く存在する。このため、半導体層10を設けた位置において、バリア層8内の2次元電子ガス濃度を増加させることができる。
また、オーミック電極であるゲート/ドレイン電極6から2次元電子ガスが存在する位置(バリア層8とチャネル層3との界面)までの抵抗をエピタキシャル抵抗Rと規定した場合、エピタキシャル抵抗Rは、バリア層8内の抵抗R1と、バリア層8とチャネル層3との界面部分における抵抗R2との和と考えることができる。この場合、バリア層8において、半導体層10内のキャリア(電子)が増加することによって、抵抗R1が減少し、バリア層8内の2次元電子ガス濃度が増加することによって、抵抗R2が減少する。結果、バリア層8に半導体層10を設けることによって、エピタキシャル抵抗Rを低減させることができる。
以上に説明した理由から分かるように、半導体層10は、より高濃度のn型半導体から形成されている場合が好ましい。さらに、半導体層10は、p型半導体層7の不純物濃度よりも高い不純物濃度を有するn型半導体から形成されている場合が好ましい。この場合、バリア層8内の2次元電子ガス濃度をより積極的に増加させることができる。
また、ソース/ドレイン電極6のオーミック特性を良好にするという観点から、特にソース/ドレイン電極6の直下の領域において、半導体層10のn型不純物濃度を高濃度にするのが好ましい。この場合、ソース/ドレイン電極6に接触する位置において、バリア層8内のキャリア濃度が増加し、ソース/ドレイン電極6とバリア層8との間で電子が移動しやすくなる。
また、図1および図2に示す場合のみならず、p型半導体層7は、平面的に見てゲート電極5の一部分と重なるように形成されていても良いし、p型半導体層7の一部分がゲート電極5と重なるように形成されていても良い。つまり、少なくともp型半導体層7の一部分がゲート電極5の直下に存在すれば、p型半導体層7を設けたことによる上述の効果を得ることができる。
しかし、ソース/ドレイン電極6のオーミック特性を低減させないという観点から、p型半導体層7はソース/ドレイン電極6の直下に存在しないことが好ましい。また、半導体層10を設けたことによる上述の効果を低減させないという理由から、ゲート電極5とソース/ドレイン電極6との間にもp型半導体層7が存在しないことが好ましい。したがって、p型半導体層7をゲート電極5の直下にのみ設けた図1および図2に示す場合が最も好ましい。
さらに、p型半導体層7は、バリア層8内のチャネル層3側における正の電荷の影響を低減させるために設けられているため、p型半導体層7をバリア層8内のチャネル層3により近い位置に配置するのが好ましい。この場合、p型半導体層7の不純物濃度や厚みを小さくしても、変わらない効果を得ることができる。
この発明の実施の形態1における半導体装置としてのヘテロ接合型FETは、主表面1aを有する基板としてのSiC基板1と、主表面1a上に形成されたチャネル層3と、頂面8aを有し、チャネル層3上に位置してチャネル層3との間にヘテロ接合を形成し、窒化物半導体からなるバリア層8と、頂面8a上に形成されたゲート電極5と、頂面8a上に形成され、ゲート電極5の両側に位置するソース電極およびドレイン電極6とを備える。バリア層8は、ゲート電極5が形成された頂面8a上の第1領域としての領域22とチャネル層3との間に位置する第1の半導体層としてのp型半導体層7と、ゲート電極5から露出する頂面8a上の第2領域としての領域21とチャネル層3との間に位置する第2の半導体層としての半導体層10とを有する。p型半導体層7は、第1の濃度を有するp型半導体に形成されている。半導体層10は、真性半導体、n型半導体および第1の濃度よりも低い第2の濃度を有するp型半導体のいずれかに形成されている。
なお、本実施の形態では、半導体層10が、バリア層8にのみ形成されている場合について説明したが、半導体層10は、バリア層8からさらにチャネル層3の内部にまで渡って形成されていても良い。このような場合であっても、本実施の形態による効果を同様に奏することができる。
続いて、この発明の実施の形態1におけるヘテロ接合型FETの製造する方法について説明する。図1および図2中に示すヘテロ接合型FETは、以下に説明する製造方法を利用することによって作製することができる。
図4から図8は、この発明の実施の形態1におけるヘテロ接合型FETの製造方法の各工程を示す断面図である。図4から図8中において、図1中に示すヘテロ接合型FETと比較して、同一またはそれに相当する部材には同じ参照番号を付している。
図4を参照して、MOCVD(metal organic chemical vapor deposition)法、MBE(molecular beam epitaxy)法などのエピタキシャル成長法を適用することにより、SiC基板1の主表面1a上に、バッファ層2およびチャネル層3と、バリア層8を形成するためのAl0.3Ga0.7N層とを順次形成する。さらに、そのバリア層8上に、Mg+、Be+、Cd+、Mn+およびZn+などのp型不純物が導入されたAl0.3Ga0.7Nからなるp型半導体層7を形成する。
この際、たとえば、バリア層8が25nmの厚みを有するノンドープのAl0.3Ga0.7Nにより形成されており、ゲート電極5がNi(仕事関数は、5.15eV)により形成されている場合、p型半導体層7を、厚み20nm以上、アクセプタ濃度NA1.9×1019cm−3以上にすることで、後に完成するヘテロ接合型FETのしきい値を正にすることができる。なお、しきい値を正とするためには、バリア層8のアルミニウム組成や厚みなどの組み合わせにもよるが、バリア層8のアルミニウム組成xを0.05以上0.5以下とし、バリア層8の厚みを5nm以上30nm以下とし、p型半導体層7の不純物濃度を1×1017cm−3以上1×1020cm−3以下とし、p型半導体層7の厚みを5nm以上30nm以下とすれば良い。
図5を参照して、トランジスタを作製する領域外を、たとえばエッチングにより素子分離する。この際、エッチングの代わりに、イオン注入法などを用いて素子分離しても良い(図中には、エッチングによる素子分離が示されている)。
図6を参照して、p型半導体層7上に、所定のパターン形状を有し、SiO2やSiNからなるレジスト膜31を形成する。イオン注入法を用い、レジスト膜31をマスクとして、たとえばSi、Ge(ゲルマニウム)およびO(酸素)などのイオンをp型半導体層7に注入する。これらのイオンは、p型半導体層7やバリア層8に対してドナーとなるn型不純物となる。その後、RTA(rapid thermal annealing)またはレーザーアニールなどを用いて、イオンを活性化させる。これにより、後の工程でゲート電極5を形成する領域以外のp型半導体層7に半導体層10を形成することができる。
この半導体層10の形成に際して、n型不純物の注入条件(注入エネルギーおよびドーズ量)やアニール条件(温度および時間)を適当に制御することによって、半導体層10をp型半導体層7の不純物濃度よりも低い濃度を有するp型半導体に形成したり、真性半導体に形成したり、n型半導体に形成したりすることができる。たとえば、注入するn型不純物のドーズ量を増加させていくと、その増加に従って半導体層10のp型不純物濃度が低下していき、やがて、半導体層10がp型半導体から真性半導体になる。さらにn型不純物のドーズ量を増加させていくと、半導体層10は、n型半導体となり、そのn型不純物濃度も徐々に増加していく。
半導体層10をp型半導体層7の不純物濃度よりも低い濃度を有するp型半導体に形成する場合、たとえば、p型半導体層7およびバリア層8を含めた厚みが25nmであれば、n型不純物としてのSiの注入エネルギーをおよそ0.1keVから200keVに設定し、ドーズ量をおよそ1×1012cm−2以上に設定すればよい。また、アニール処理は、不活性ガス中でおよそ500℃から1500℃までの温度で、およそ1分間から30分間だけ行なえば良い。但し、既に説明したとおり、半導体層10は、真性半導体またはn型半導体から形成されている方がより好ましい。この場合、半導体層10の不純物濃度がゼロになるか、半導体層10がn型になるように、注入条件およびアニール条件を設定すれば良い。このように、本実施の形態における製造方法によれば、図6に示す工程において、n型不純物を導入する条件を適当に選択するだけで、半導体層10を所望の状態に容易に変化させることができる。
図7を参照して、半導体層10上に、たとえば、Ti(チタン)、Al(アルミニウム)、Au(金)、Mo(モリブデン)およびW(タングステン)などの金属からなるソース/ドレイン電極6を、リフトオフ法を用いて形成する。
図8を参照して、p型半導体層7上に、たとえば、Pt(白金)、AuおよびNi(ニッケル)などの金属、縮退するまでp型不純物を導入したZnSe(セレン化亜鉛)、CdS(硫化カドミウム)およびGaNなどの半導体、またはIrSi、PtSiおよびNiSi2などのシリサイドからなるゲート電極5を、たとえばリフトオフ法を用いて形成する。以上に説明した工程により、ヘテロ接合型FETが完成する。
なお、半導体層10の形成は、ゲート電極5を形成する領域22以外の領域21に位置して、p型半導体層7上にn型不純物(Si、Ge、Oなど)を含む膜(SiN膜、SiO膜、アモルファスのSi膜など)を形成し、その後、熱処理による拡散法を実施する手法で行なっても良い。この場合、拡散後に形成したSiN膜、SiO膜またはアモルファスのSi膜を、HF(フッ化水素)またはドライエッチングなどで除去する必要が生じる。
また、上記の製造工程において、図6に示す半導体層10を形成する工程と、図7に示すソース/ドレイン電極6を形成する工程とは、この順序で行なわれるが、これらの工程と他の工程とは適宜順序を入れ替えても良い。また、図6に示す半導体層10を形成する工程と、図7に示すソース/ドレイン電極6を形成する工程とは、必ずしも連続して行なう必要はない。たとえば、図6に示す半導体層10を形成する工程は、図5に示す素子分離の工程の前に行なっても良い。
また、図6に示す半導体層10を形成する工程の後、AlGaN層を上部に再成長させても良い。このような工程を実施することによって、図2中に示すヘテロ接合型FETの構造を得ることができる。この製造方法では、p型半導体層7のバンドギャップは、バリア層8のそれと異なっていても良い。しかし、p型半導体層7のアクセプタをイオン化しやすくするためには、p型半導体層7のバンドギャップをバリア層8のバンドギャップ以上とするのが好ましい。
この発明の実施の形態1におけるヘテロ接合型FETの製造方法は、SiC基板1の主表面1a上にチャネル層3をエピタキシャル成長させる工程と、チャネル層3上に、p型不純物を含み、窒化物半導体からなるバリア層8をエピタキシャル成長させる工程とを備える。バリア層8は、領域22と、領域22の両側に位置する領域21とが規定された頂面8aを有し、チャネル層3との間にヘテロ接合を形成している。ヘテロ接合型FETの製造方法は、さらに、頂面8aの領域21にn型不純物を導入する工程と、n型不純物を導入する工程の後、頂面8aの領域22にゲート電極5を形成し、頂面8aの領域21にソース電極およびドレイン電極6を形成する工程とを備える。
このように構成されたヘテロ接合型FETおよびその製造方法によれば、まず、ゲート電極5が形成された領域22の直下に設けたp型半導体層7によって、しきい値電圧が正のノーマリオフのトランジスタを実現することができる。また同時に、ゲート電極5から露出する領域21の直下に設けた半導体層10によって、バリア層8内の2次元電子ガス濃度を増加させ、エピタキシャル抵抗を低減させることができる。このため、バリア層8にp型半導体層7を設けたにもかかわらず、ゲート電極5からソース/ドレイン電極6に向けた位置の寄生抵抗を低くすることができる。これにより、ドレイン電流を増大させるとともに、良好な相互コンダクタンスを得ることができる。
(実施の形態2)
この発明の実施の形態2におけるヘテロ接合型FETは、実施の形態1におけるヘテロ接合型FETと比較して、部分的に同様の構造を備える。以下、重複する構造については説明を繰り返さない。
この発明の実施の形態2におけるヘテロ接合型FETは、実施の形態1におけるヘテロ接合型FETと比較して、部分的に同様の構造を備える。以下、重複する構造については説明を繰り返さない。
図9は、この発明の実施の形態2におけるヘテロ接合型FETを示す断面図である。図中では、図1中に示すヘテロ接合型FETと比較して、同一またはそれに相当する部材には同じ参照番号を付している。図9を参照して、本実施の形態では、ヘテロ接合型FETは、チャネル層3上に設けられ、チャネル層3との境界にヘテロ接合を形成するバリア層50を備える。バリア層50は、1nm以上10nm以下の厚みTを有する。
バリア層50は、実施の形態1におけるバリア層8と同様の材料から形成されており、半導体層52とn型半導体層51とから構成されている。半導体層52は、相対的に小さいn型不純物濃度で形成されており、n型半導体層51は、相対的に大きいn型不純物濃度で形成されている。本実施の形態では、半導体層52は、ノンドープのAl0.3Ga0.7Nから形成されており、n型半導体層51は、半導体層52のn型不純物濃度よりも大きいn型不純物濃度を有するAl0.3Ga0.7Nから形成されている。半導体層52は、真性半導体から形成されていても良い。
n型半導体層51は、領域21とチャネル層3との間、つまり平面的に見てゲート電極5と重ならない位置において、ソース/ドレイン電極6に隣り合って形成されている。半導体層52は、領域22とチャネル層3との間、つまり平面的に見てゲート電極5と重なり合う位置に形成されており、さらに、チャネル層3とn型半導体層51との間を充填するように形成されている。
実施の形態1におけるp型半導体層7による効果と同様に、バリア層50を薄膜化することによって、バリア層50におけるピエゾ分極の影響を低減させ、ヘテロ接合型FETのしきい値を正にすることができる。このとき、バリア層50の厚みが10nmを超える場合、ピエゾ分極の効果が大きくなり、チャネル層3の上部と下部との間の電位差が大きくなってしまう。このため、しきい値電圧を正にして、ノーマリオフのトランジスタを得ることが困難となる。また、バリア層50の厚みが1nm未満である場合、十分な量の電子をチャネル層3に供給することができない。加えて、製造工程上、バリア層50の膜厚の制御が困難となる。
また、n型半導体層51は、実施の形態1における半導体層10の機能と同様の機能を発揮する。このため、バリア層8内の2次元電子ガス濃度を増加させるとともに、エピタキシャル抵抗を低減させることとができる。
この発明の実施の形態2におけるヘテロ接合型FETは、主表面1aを有する基板としてのSiC基板1と、主表面1a上に形成されたチャネル層3と、頂面50aを有し、チャネル層3上に位置してチャネル層3との間にヘテロ接合を形成し、窒化物半導体からなるバリア層50と、頂面50a上に形成されたゲート電極5と、頂面50a上に形成され、ゲート電極5の両側に位置するソース電極およびドレイン電極6とを備える。バリア層50は、1nm以上10nm以下の厚みを有する。バリア層50は、ゲート電極5が形成された頂面50a上の領域22とチャネル層3との間に位置し、相対的に小さいn型不純物濃度で形成された第1の部分としての半導体層52と、ゲート電極5から露出する頂面50a上の領域21とチャネル層3との間に位置し、相対的に大きいn型不純物濃度で形成された第2の部分としてのn型半導体層51とを有する。
続いて、図9中に示すヘテロ接合型FETの製造する方法について説明する。図10から図12は、図9中に示すヘテロ接合型FETの製造方法の各工程を示す断面図である。以下、実施の形態1におけるヘテロ接合型FETの製造方法と重複する工程については、説明を繰り返さない。
図10を参照して、エピタキシャル成長法を適用することにより、SiC基板1の主表面1a上に、バッファ層2およびチャネル層3と、バリア層50を形成するためのAl0.3Ga0.7N層とを順次形成する。この際、Al0.3Ga0.7N層の厚みを1nm以上10nm以下に設定する。図11を参照して、トランジスタを作製する領域外を、たとえばエッチングにより素子分離する。
図12を参照して、バリア層50上に、所定のパターン形状を有し、SiO2やSiNからなるレジスト膜61を形成する。イオン注入法を用い、レジスト膜61をマスクとして、たとえばSi、GeおよびOなどのイオンをバリア層50に注入する。その後、RTAまたはレーザーアニールなどを用いて、イオンを活性化させる。これにより、後の工程でゲート電極5を形成する領域以外のバリア層50にn型半導体層51を形成するとともに、残る領域をノンドープのAl0.3Ga0.7Nからなる半導体層52とすることができる。
次に、実施の形態1における図7および図8に示す工程を実施し、ソース/ドレイン電極6およびゲート電極5を頂面50a上に形成する。以上の工程により、図9中に示すヘテロ接合型FETが完成する。
この発明の実施の形態2におけるヘテロ接合型FETの製造方法は、SiC基板1の主表面1a上にチャネル層3をエピタキシャル成長させる工程と、チャネル層3上に、窒化物半導体からなり、1nm以上10nm以下の厚みを有するバリア層50をエピタキシャル成長させる工程とを備える。バリア層50は、領域22と、領域22の両側に位置する領域21とが規定された頂面50aを有し、チャネル層3との間にヘテロ接合を形成している。ヘテロ接合型FETの製造方法は、さらに、頂面50aの領域21にn型不純物を導入する工程と、n型不純物を導入する工程の後、頂面50aの領域22にゲート電極5を形成し、頂面50aの領域21にソース電極およびドレイン電極6を形成する工程とを備える。
このように構成されたヘテロ接合型FETおよびその製造方法によれば、実施の形態1に記載の効果と同様の効果を奏することができる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 SiC基板、1a 主表面、3 チャネル層、5 ゲート電極、6 ソース/ドレイン電極、7 p型半導体層、8,50 バリア層、8a,50a 頂面、10,52 半導体層、21,22 領域、51 n型半導体層。
Claims (12)
- 主表面を有する基板と、
前記主表面上に形成されたチャネル層と、
頂面を有し、前記チャネル層上に位置して前記チャネル層との間にヘテロ接合を形成し、窒化物半導体からなるバリア層と、
前記頂面上に形成されたゲート電極と、
前記頂面上に形成され、前記ゲート電極の両側に位置するソース電極およびドレイン電極とを備え、
前記バリア層は、前記ゲート電極が形成された前記頂面上の第1領域と前記チャネル層との間に位置する第1の半導体層と、前記ゲート電極から露出する前記頂面上の第2領域と前記チャネル層との間に位置する第2の半導体層とを有し、
前記第1の半導体層は、第1の濃度を有するp型半導体に形成されており、
前記第2の半導体層は、真性半導体、n型半導体および前記第1の濃度よりも低い第2の濃度を有するp型半導体のいずれかに形成されている、半導体装置。 - 前記バリア層は、前記チャネル層側に正の電荷を誘起する分極を生じ、前記第1の半導体層は、前記バリア層の分極を打ち消す方向に分極し、前記第1の半導体層の分極が、半導体装置のしきい値電圧をゼロ以上とするように、前記第1の半導体層の分布および前記第1の濃度が設定されている、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記第1の半導体層の厚みが、5nm以上30nm以下の範囲にある、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記第1の濃度は、1×1017cm−3以上である、請求項2または3に記載の半導体装置。
- 前記第2の濃度は、1×1020cm−3以下である、請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第2の半導体層は、前記頂面上の前記第2領域から前記チャネル層内にまで達している、請求項1から5のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記第2の半導体層は、前記第1の濃度よりも高い濃度を有するn型半導体に形成されている、請求項1から6のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 主表面を有する基板と、
前記主表面上に形成されたチャネル層と、
頂面を有し、前記チャネル層上に位置して前記チャネル層との間にヘテロ接合を形成し、窒化物半導体からなるバリア層と、
前記頂面上に形成されたゲート電極と、
前記頂面上に形成され、前記ゲート電極の両側に位置するソース電極およびドレイン電極とを備え、
前記バリア層は、1nm以上10nm以下の厚みを有し、
前記バリア層は、前記ゲート電極が形成された前記頂面上の第1領域と前記チャネル層との間に位置し、相対的に小さいn型不純物濃度で形成された第1の部分と、前記ゲート電極から露出する前記頂面上の第2領域と前記チャネル層との間に位置し、相対的に大きいn型不純物濃度で形成された第2の部分とを有する、半導体装置。 - 前記チャネル層は、InyGa1−yN(yの範囲:0≦y<0.5)により形成されており、前記バリア層は、InyAlxGa1−x−yN(yの範囲:0≦y<0.5、xの範囲:0<x≦1)により形成されている、請求項1から8のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記基板は、シリコン基板、サファイア基板、SiC基板およびGaN基板のいずれかである、請求項1から9のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 基板の主表面上にチャネル層をエピタキシャル成長させる工程と、
前記チャネル層上に、p型不純物を含み、窒化物半導体からなるバリア層をエピタキシャル成長させる工程とを備え、
前記バリア層は、第1領域と、前記第1領域の両側に位置する第2領域とが規定された頂面を有し、前記チャネル層との間にヘテロ接合を形成しており、さらに、
前記頂面の前記第2領域にn型不純物を導入する工程と、
前記n型不純物を導入する工程の後、前記頂面の前記第1領域にゲート電極を形成し、前記頂面の前記第2領域にソース電極およびドレイン電極を形成する工程とを備える、半導体装置の製造方法。 - 基板の主表面上にチャネル層をエピタキシャル成長させる工程と、
前記チャネル層上に、窒化物半導体からなり、1nm以上10nm以下の厚みを有するバリア層をエピタキシャル成長させる工程とを備え、
前記バリア層は、第1領域と、前記第1領域の両側に位置する第2領域とが規定された頂面を有し、前記チャネル層との間にヘテロ接合を形成しており、さらに、
前記頂面の前記第2領域にn型不純物を導入する工程と、
前記n型不純物を導入する工程の後、前記頂面の前記第1領域にゲート電極を形成し、前記頂面の前記第2領域にソース電極およびドレイン電極を形成する工程とを備える、半導体装置の製造方法。
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