JP2007093643A - 光レベル制御器とその制御方法並びにこれを用いたレーザ応用装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光レベル制御器1は、レーザ発振器2から出射された波長が異なる2つのビーム強度を独立に制御する。光レベル制御器1は、波長依存性がある波長板3と偏光ビームスプリッタ4とを備えている。波長依存性がある波長板3は、一方の光波に対しては1/2波長板として機能し、他方の光波に対しては全波長板として機能する。偏光ビームスプリッタ4の光軸回りの回転角度だけを調整して、偏光ビームスプリッタ4を直進透過する他方の光波の強度を定める。次に、偏光ビームスプリッタ4を調整した角度に固定して、波長板3の光軸回りの回転角度を調整し、一方の光波の強度を定める。
【選択図】 図1
Description
2 レーザ発振器
3 波長依存性がある波長板
4 偏光ビームスプリッタ
5 光レベル制御器
6 波長依存性がある波長板
7 光レベル制御器
8 波長依存性がある波長板
9 光レベル制御器
10 レーザ加工装置光学系
11 レーザ発振器
20 レーザ加工装置光学系
21 レーザ発振器
22 レーザ発振器
23 合波器
100 光レベル制御器
30 集光光学系
40 加工対象
Claims (11)
- 実質的に同一の光軸に合波された波長が異なる2つの光波の各光透過率を任意に可変可能な光レベル制御器において、一方の光波に対して1/2波長板として機能し、他方の光波に対して全波長板として機能する波長依存性がある波長板と、前記波長板を透過した前記2つの光波を更に透過する偏光ビームスプリッタとを有することを特徴とする光レベル制御器。
- 実質的に同一の光軸に合波された波長が異なる2つの光波の各光透過率を任意に可変可能な光レベル制御器において、一方の光波に対して1/2波長板として機能し、他方の光波に対して全波長板として機能し、前記光軸の周りに回動可能な波長依存性のある波長板と、前記波長板を透過した前記2つの光波を更に透過し、前記光軸の周りに回動可能な偏光ビームスプリッタとを有し、前記2つの回動手段の回転角を調整して、前記偏光ビームスプリッタを直進透過する前記2つの光波の透過率を定めることを特徴とする光レベル制御器。
- 前記波長板の前段に、更に、波長が異なる2つの光波のうち、一方の光波に対して1/4波長板として機能し、他方の光波に対しては全波長板又は1/2波長板として機能する別の波長依存性がある波長板を設けたことを特徴とする請求項2に記載の光レベル制御器。
- 前記偏光ビームスプリッタの後段に、更に、一方の光波に対して1/2波長板として機能し、他方の光波に対して全波長板として機能し、前記光軸の周りに回動可能な更に別の波長依存性がある波長板を設けたことを特徴とする請求項2又は3に記載の光レベル制御器。
- 前記請求項2乃至4のいずれか1項に記載の光レベル制御器の制御方法において、前記2つの回動手段の回転角を調整して、前記偏光ビームスプリッタを直進透過する前記2つの光波の各光透過率を任意に定めることを特徴とする光レベル制御器の制御方法。
- 前記2つの回動手段の回転角の調整は、前記波長板の回動手段を固定して、前記偏光ビームスプリッタの回動手段を回転させる工程と、前記偏光ビームスプリッタの回動状態を固定した状態で、前記波長板の回動手段を回転させる工程とを有することを特徴とする請求項5に記載の光レベル制御器の制御方法。
- 前記光レベル制御器は、前記波長板の前段に、更に、波長が異なる2つの光波のうち、一方の光波に対して1/4波長板として機能し、他方の光波に対しては全波長板又は1/2波長板として機能する別の波長依存性がある波長板を設けたことを特徴とする請求項5又は6に記載の光レベル制御器の制御方法。
- 前記偏光ビームスプリッタの後段に、更に、一方の光波に対して1/2波長板として機能し、他方の光波に対して全波長板として機能し、前記光軸の周りに回動可能な更に別の波長依存性がある波長板を設け、前記別の波長依存性がある波長板を回転させて、前記2つの光波の偏光の主軸の角度差を可変とすることを特徴とする請求項6又は7に記載の光レベル制御器の制御方法。
- 波長が異なる2つの光波を同一光軸に出力するレーザ発振器と、前記請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光レベル制御器とを有するレーザビーム系を備えたことを特徴とするレーザ応用装置。
- 波長が異なる2つの光波を夫々発振する2つのレーザ発振器と、前記2つの光波を実質的に同一光軸に合波して出力する合波器と、前記請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光レベル制御器とを有するレーザビーム系を備えたことを特徴とするレーザ応用装置。
- 波長が異なる請求項9又は10に記載の複数のレーザビーム系と、前記複数のレーザビーム系から出力された複数のレーザビームを実質的に同一光軸に合波して出力する合波器とを有することを特徴とするレーザ応用装置。
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