JP2007013061A5 - - Google Patents
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Claims (10)
- 基板の一主面に配された、入射光量に応じて光電変換を行う有効画素領域と、基準信号を作成するためのオプティカルブラック領域とを有する固体撮像装置であって、
前記基板の一主面上に配置された、前記有効画素領域にかからないように前記オプティカルブラック領域に配された第１の配線層と該第１の配線層よりも下層に配された第２の配線層とを有する複数の配線層と、
前記第１の配線層と前記第２の配線層との間に配された絶縁膜と、
前記有効画素領域では前記絶縁膜上、前記オプティカルブラック領域では前記第１の配線層上に配されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜上の少なくとも前記有効画素領域に配された層内レンズとを有し、
前記パッシベーション膜の厚みが、前記第１の配線層の厚み以下であり、
前記有効画素領域では前記パッシベーション膜と前記絶縁膜との間、前記オプティカルブラック領域では前記パッシベーション膜と前記第１の配線層との間に、平坦化層を構成しないことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第１の配線層が遮光層として機能することを特徴とする請求項１に記載の固体撮像装置。
- 前記層内レンズが、入射光に向かって凸形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の固体撮像装置。
- 基板の一主面に配された、入射光量に応じた信号を出力するための有効画素領域と、基準信号を出力するためのオプティカルブラック領域とを有する固体撮像装置であって、
前記基板の一主面上に配置された、前記有効画素領域にかからないように前記オプティカルブラック領域に配された第１の配線層と該第１の配線層よりも下層に配された第２の配線層とを有する複数の配線層と、
前記第１の配線層と前記第２の配線層との間に配された絶縁膜と、
前記有効画素領域では前記絶縁膜上、前記オプティカルブラック領域では前記第１の配線層上に配されたパッシベーション膜と、
前記パッシベーション膜上の前記有効画素領域に配され、入射光に向かって凸形状をした層内レンズとを有し、
前記オプティカル領域における前記絶縁膜の上面から前記パッシベーション膜の上面までの高さが、前記有効画素領域における前記絶縁膜の上面から前記層内レンズの頂点までの高さよりも高いことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第１の配線層が遮光層として機能することを特徴とする請求項４に記載の固体撮像装置。
- 前記オプティカルブラック領域に前記層内レンズが配されていないことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記第１の配線層が、前記遮光層の厚みと略同じ厚みであることを特徴とする請求項２または５に記載の固体撮像装置。
- 前記パッシベーション膜は、ＳｉＮ，ＳｉＯＮ，ＳｉＯのいずれかにより形成された膜を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記パッシベーション膜と前記層内レンズは、一体的に同じ層として構成されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
- 前記絶縁膜の上面は、平坦化されることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の固体撮像装置。
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