JP4466213B2 - 固体撮像装置の製造方法 - Google Patents
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- 受光領域を形成した半導体基板の一方面に層間膜を形成する工程と、
前記層間膜を貫通して前記半導体基板の一方面まで達するコンタクトを形成する工程と、
前記コンタクトと導通する信号回路を形成する工程と、
前記半導体基板の他方面をエッチングして前記受光領域を露出させる工程と、
前記半導体基板の他方面から前記コンタクトまで達する電極取り出し用開口を形成し、
光入射面となる前記半導体基板の他方面側に前記コンタクトと導通する金属膜を形成する工程と、
前記半導体基板の他方面に感光性材料を塗布し、所定の露光および現像によって前記受光領域と対応する位置に光学部材を形成する工程と
を有することを特徴とする固体撮像装置の製造方法。 - 前記金属膜を、前記電極取り出し用開口に形成する
請求項1記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記金属膜を、前記電極取り出し用開口の内面に形成する
請求項1又は2に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記金属膜を形成する工程では、前記金属膜の形成と同時に前記受光領域に対する遮光
膜を形成する
ことを特徴とする請求項1から3のうちいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。 - 前記コンタクトはタングステンから成る
ことを特徴とする請求項1から4のうちいずれか1項に記載の固体撮像装置の製造方法。
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