JP2007005816A - ウエハ支持部材 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 板状セラミック体12の一方の主面を、ウエハWを載せる載置面13とするとともに、板状セラミック体12中の同一深さに少なくとも二つの導体膜15a,15bを埋設したウエハ支持部材11において、少なくとも一つの導体膜15bにはコーナー部を有し、かつこのコーナー部から他の導体膜15aまでの最短距離を25mm以下とするとともに、コーナー部の角部を円弧状Pとする。
【選択図】 図2
Description
2,12,22,32:板状セラミック体
3,13,23,33:載置面
4,14,24,34:内部電極
5,5a,5b,15a,15b,25a,25b:導体膜
6,16,26,36:給電端子
W:ウエハ
P:円弧状
R:曲率半径
Claims (2)
- 板状セラミック体の一方の主面を、ウエハを載せる載置面とするとともに、上記板状セラミック体中に帯状の導体膜を埋設したウエハ支持部材であって、上記帯状の導体膜は発熱用であり、該導体膜は同心円状に配置された複数の円弧形状の導体膜と、同心円間で上記円弧形状の導体膜の端同士を連結する直線形状の導体膜とを備え、該直線形状の導体膜とそれにより連結された上記円弧形状の導体膜とでコーナー部を形成しており、上記同心円の同じ円上で外側同士が相対向する一方の上記コーナー部と他方の上記コーナー部との最短距離が25mm以下であるとともに、一方の上記コーナー部および他方の上記コーナー部が円弧状であることを特徴とするウエハ支持部材。
- 一方の上記コーナー部および他方の上記コーナー部の曲率半径が0.2mm〜15mmであることを特徴とする請求項1に記載のウエハ支持部材。
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2006
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