KR101116845B1 - 기판 검사용 테이블 - Google Patents

Abstract

기판 검사용 테이블이 개시된다. 에지(edge)를 따라 소정 폭으로 검사 영역이 설정되는 기판의 검사 영역을 검사하기 위해, 기판을 지지하는 테이블로서, 베이스 플레이트(base plate)와, 기판의 중앙부를 지지하도록 베이스 플레이트에 돌설되는 센터 블록과, 기판의 주변부를 지지하도록 베이스 플레이트에 돌설되는 주변 블록을 포함하되, 주변 블록은, 검사 영역이 주변 블록에 의해 지지되지 않고 주변 블록의 외측으로 돌출되도록, 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 테이블은, 기판의 다양한 크기에 상응하도록 센터 블록 주변에 주변 블록을 돌설시켜 검사 테이블을 구성함으로써, 검사 대상이 되는 기판의 크기가 바뀌어도 검사 테이블이 검사 영역을 침범하지 않으며, 검사 대상이 되는 기판의 에지 부분이 처지는 것을 방지할 수 있어, 하나의 검사 테이블을 사용하여 다양한 크기의 기판을 검사할 수 있다.

기판, 검사, 테이블

Description

기판 검사용 테이블{Table for inspection of substrate}

본 발명은 기판 검사용 테이블에 관한 것이다.

최근 액정디스플레이(LCD) 패널, PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판 디스플레이에는 평판 형태의 유리 기판이 사용되고 있으며, 솔라셀(solar cell)의 경우에도 유리 재질 등 투명 기판을 가공하여 기재로 사용하고 있다. 이에 따라 평판 디스플레이 패널이나 솔라셀 등을 제조하는 과정에서 기판을 절단하고, 절단된 에지(edge) 부위를 연마하는 공정이 수행된다.

이러한, 절단 공정과 연마 공정에서 기판의 에지에는 많은 결함이 발생할 수 있는데, 절단 공정에서는 기판의 크기오차, 직진성 불량, 크랙(crack), 칩(chip) 등이 발생할 수 있고, 연마 공정에서는 기판 에지 연마에 의해 형성되는 연마면의 경사각 오차 및 연마면에 칩(chip) 등이 발생할 우려가 있다.

따라서, 기판의 에지를 검사하여 결함의 유무를 판단하고, 다음 공정에서 불필요한 작업을 방지함으로써 생산 효율을 높이고, 고신뢰성 및 고품질을 유지할 수 있는 기판의 에지를 검사할 수 있는 기술이 필요하다.

종래에는 기판의 에지를 검사하기 위해, 도 1에 도시된 것처럼, 기판(7)의 에지(70) 부분이 돌출되도록 기판(7)을 검사 테이블(2) 상에 지지시킨 상태에서 돌출된 에지(70) 부분을 촬영하여 에지(70)의 가공 상태를 검사하게 된다. 이러한, 기판 에지 검사에 사용되는 검사 테이블(2)은 기판의 크기에 상응하는 크기로 제작되어야 하는데, 검사 테이블의 크기가 너무 커서 기판의 에지 부분이 충분히 돌출되지 않으면, 즉 카메라로 촬영되는 기판의 에지 부분(검사 영역) 내에 검사 테이블이 존재하면 검사 불량 요인이 되고, 검사 테이블의 크기가 너무 작아 기판의 에지 부분이 너무 많이 돌출되면, 기판에 처짐이 발생하여 검사의 신뢰성이 저하되는 문제가 있다.

따라서, 종래에는 검사 대상이 되는 기판의 크기가 바뀌면, 그에 따라 검사 테이블도 기판의 크기에 맞도록 교체하여 검사를 수행해야 한다는 한계가 있었다.

전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

본 발명은, 검사 테이블을 교체할 필요 없이, 하나의 검사 테이블을 사용하여 다양한 크기의 기판을 검사할 수 있는 기판 검사용 테이블을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 에지(edge)를 따라 소정 폭으로 검사 영역이 설정되는 기판의 검사 영역을 검사하기 위해, 기판을 지지하는 테이블로서, 베이스 플레이트(base plate)와, 기판의 중앙부를 지지하도록 베이스 플레이트에 돌설되는 센터 블록과, 기판의 주변부를 지지하도록 베이스 플레이트에 돌설되는 주변 블록을 포함하되, 주변 블록은, 검사 영역이 주변 블록에 의해 지지되지 않고 주변 블록의 외측으로 돌출되도록, 기판을 지지하는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 테이블이 제공된다.

주변 블록은 기판의 검사 영역의 형태에 상응하여 베이스 플레이트에 돌설될 수 있고, 소정 간격 이격되어 돌설되는 복수의 단위 블록을 포함할 수 있으며, 서로 다른 크기의 기판을 지지할 수 있도록, 기판의 크기에 상응하여 복수로 돌설될 수 있다.

센터 블록에는 기판을 흡착하여 지지된 기판을 고정시키는 흡착홀이 형성될 수 있다. 테이블의 상부에는, 검사 영역의 위치에 상응하여 위치하며, 검사 영역을 촬영하여 에지의 가공 상태를 판별하는 검사용 카메라가 설치될 수 있다.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 기판의 다양한 크기에 상응하도록 센터 블록 주변에 주변 블록을 돌설시켜 검사 테이블을 구성함으로써, 검사 대상이 되는 기판의 크기가 바뀌어도 검사 테이블이 검사 영역을 침범하지 않으며, 검사 대상이 되는 기판의 에지 부분이 처지는 것을 방지할 수 있어, 하나의 검사 테이블을 사용하여 다양한 크기의 기판을 검사할 수 있다.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징 들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면들을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사용 테이블을 나타낸 사시도이고, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사용 테이블을 나타낸 단면도이다. 도 2 내지 도 4를 참조하면, 베이스 플레이트(1), 센터 블록(3), 주변 블록(5), 기판(7), 카메라(9), 흡착홀(30), 단위 블록(50), 에지(70), 검사 영역(72)이 도시되어 있다.

본 실시예는, LCD 패널용 유리 기판의 에지 부분의 불량 등을 검사하는 에지 인스펙션(Edge Inspection) 장비에 사용되는 검사 테이블에 관한 것으로, 검사 패널의 크기에 따라 검사 테이블을 교체해야 했던 종래의 문제점을 개선하여, 검사 테이블을 교체하지 않고 하나의 검사 테이블로 여러 종류의 패널을 검사할 수 있도록 한 것을 특징으로 한다. 이하, LCD 패널의 에지 인스펙션 장비를 예로 들어 설명하나, 본 발명의 기술적 사상이 LED용 유리 기판이나 솔라셀용 기판 등 다른 종류의 기판을 검사하는 데에 사용되는 검사 테이블에도 적용될 수 있음은 물론이다.

본 실시예에 따른 에지 검사용 테이블은, 검사 테이블 상에 다수의 블록을 돌설시킴으로써, 검사 대상이 되는 기판(7)의 사이즈가 다양하게 변경되더라도, 기 판(7)이 테이블에 지지된 상태에서 그 에지(70) 부분의 검사영역은 테이블로부터 돌출된 상태가 되도록 한 것이다.

도 3 및 도 4에 도시된 것처럼, 검사 테이블의 상부에는 검사용 카메라(9)가 설치되며, 기판(7)의 에지(70) 부분에는 검사용 카메라(9)에 의해 촬영되는 부분인 '검사 영역(72)'이 소정의 폭(예를 들면, 100mm)으로 설정되는데, 본 실시예는 여러 종류의 기판(7)을 올려놓더라도 기판(7)의 검사 영역(72)이 테이블에 의해 지지되지 않은 상태가 되도록 한 것이다. 검사용 카메라(9)는 검사 테이블에 의해 지지되지 않은 검사 영역(72)을 촬영한 후 영상 데이터를 획득, 분석하여 에지(70)의 가공 상태 및 결함 여부를 판별하게 된다.

본 실시예에 따른 기판 검사용 테이블은, 베이스 플레이트(base plate)(1) 상에 센터 블록(3)과 주변 블록(5)이 돌설된 구조로 이루어진다.

센터 블록(3)은 검사 대상 기판(7)의 중앙부를 지지하는 역할을 하며, 도 2에 도시된 것처럼 센터 블록(3)의 표면에는 석션(suction) 라인 또는 진공(vacuum) 라인(미도시)에 연결된 구멍, 즉 흡착홀(30)을 형성할 수 있다.

이처럼, 흡착홀(30)이 형성된 센터 블록(3)에 검사 대상 기판(7)을 올려놓고 진공 라인을 작동시키게 되면, 기판(7)이 흡착홀(30)에 흡착되어 검사 과정 중에 기판(7)이 움직이지 않고 고정된 상태를 유지할 수 있다.

주변 블록(5)은 기판(7)의 주변부를 지지하는 역할을 하며, 이처럼 검사용 테이블을 단일 테이블로 구성하지 않고, 기판(7)의 중앙부를 지지하는 부분(센터 블록(3))과 기판(7)의 주변을 지지하는 부분(주변 블록(5))으로 구분하여 구성함으 로써, 다양한 크기의 기판(7)을 지지하더라도 기판(7)의 검사 영역(72)이 항상 지지되지 않은 상태가 되도록, 즉 검사 영역(72)이 주변 블록(5)에 의해 지지되지 않고 주변 블록(5)의 외측으로 돌출된 상태가 되도록 할 수 있다.

본 실시예에 따른 주변 블록(5)은 기판(7)의 주변부를 지지하도록 베이스 플레이트(1) 상에 돌설되는 구성요소로서, 기판(7)의 검사 영역(72)의 형태에 맞도록 돌설될 수 있다. 예를 들어, 1250mm×1100mm 크기의 기판(7)의 검사영역의 경계선이 1050mm×900mm 크기의 직사각형의 변에 해당한다고 가정할 때, 본 실시예에 따른 주변 블록(5)은 1050mm×900mm 크기의 직사각형의 각 변을 따라 직사각형의 형상으로 돌설시킬 수 있다.

예를 들어, LCD 패널의 경우 15인치, 17인치, 19인치 등 미리 정해진 규격에 따라 기판(7)의 크기가 결정되므로, 그 규격에 상응하도록 본 실시예에 따른 주변 블록(5)을 돌설시켜 놓음으로써, 다양한 크기의 LCD 패널을 검사할 수 있는 검사용 테이블을 구현할 수 있는 것이다.

한편, 주변 블록(5)은 반드시 검사 영역(72)의 형태를 따라 연속된 형태로 돌설시켜야 하는 것은 아니며, 도 2에 도시된 것처럼, 소정 간격 이격된 복수의 단위 블록(50)의 형태로 돌설시킬 수도 있다. 이처럼, 주변 블록(5)을 복수의 단위 블록(50)의 조합체로 구성함으로써, 검사 테이블을 용이하게 제작할 수 있고, 제작에 소요되는 재료를 절감할 수 있다.

나아가, 본 실시예에 따른 주변 블록(5)은 다양한 크기의 기판(7)에 상응하여, 센터 블록(3)으로부터 방사상으로 분포되도록 복수로 형성할 수 있다. 예를 들 어, 본 실시예에 따른 검사 테이블을 사용하여 17인치, 19인치, 21인치 LCD 패널용 유리 기판(7)의 검사가 가능하도록 하기 위해, 17인치에 상응하는 주변 블록(5), 19인치에 상응하는 주변 블록(5), 및 21인치에 상응하는 주변 블록(5)을 센터 블록(3)으로부터 방사상으로 돌설시킬 수 있다.

예를 들어, 보다 작은 크기의 기판(예를 들어, 17인치 패널)을 검사할 때에는, 기판의 검사 영역이 센터 블록(3)으로부터 돌출되도록 하고, 중간 크기의 기판(예를 들어, 19인치 패널)(7)을 검사할 때에는, 도 3에 도시된 것처럼, 기판(7)의 검사 영역(72)이 첫 번째 주변 블록(5)으로부터 돌출되도록 주변 블록(5)을 설치하고, 보다 큰 크기의 기판(예를 들어, 21인치 패널)(7')을 검사할 때에는, 도 4에 도시된 것처럼, 기판(7')의 검사 영역(72)이 두 번째 주변 블록(5')으로부터 돌출되도록 주변 블록(5')을 설치할 수 있다.

도 3 및 도 4에는 2단계로 주변 블록(5, 5')이 설치된 경우가 예시되어 있으나, 본 실시예에 따른 검사 테이블을 사용하여 검사하고자 하는 기판의 크기의 종류에 따라 여러 단계로 주변 블록(5)을 더 설치할 수도 있음은 물론이다.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

도 1은 종래 기술에 따른 기판 검사용 테이블을 나타낸 단면도.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사용 테이블을 나타낸 사시도.

도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 검사용 테이블을 나타낸 단면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 베이스 플레이트 3 : 센터 블록

5 : 주변 블록 7 : 기판

9 : 카메라 30 : 흡착홀

50 : 단위 블록 70 : 에지

72 : 검사 영역

Claims (6)

1. 에지(edge)를 따라 소정 폭으로 검사 영역이 설정되는 기판의 상기 검사 영역을 검사하기 위해, 상기 기판을 지지하는 테이블로서,

   하나의 베이스 플레이트(base plate)와;

   상기 기판의 중앙부를 지지하도록 상기 베이스 플레이트에 돌설되는 센터 블록과;

   상기 기판의 주변부를 지지하도록 상기 베이스 플레이트에 돌설되는 주변 블록을 포함하되,

   상기 주변 블록은, 상기 기판의 검사 영역의 형태에 상응하여, 상기 검사 영역이 상기 주변 블록에 의해 지지되지 않고 상기 주변 블록의 외측으로 돌출된 상태가 되도록, 상기 기판을 지지하며,

   서로 다른 크기의 상기 기판을 지지할 수 있도록, 상기 기판의 크기에 상응하여, 상기 센터 블록으로부터 방사상으로 분포되도록 복수로 돌설되는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 테이블.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 주변 블록은, 소정 간격 이격되어 돌설되는 복수의 단위 블록을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 테이블.
4. 삭제
5. 제1항에 있어서,

   상기 센터 블록에는 상기 기판을 흡착하여 지지된 상기 기판을 고정시키는 흡착홀이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 검사용 테이블.
6. 제1항에 있어서,

   상기 테이블의 상부에는, 상기 검사 영역의 위치에 상응하여 위치하며, 상기 검사 영역을 촬영하여 상기 에지의 가공 상태를 판별하는 검사용 카메라가 설치되는 것을 특징으로 기판 검사용 테이블.

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