JP2006303426A5 - - Google Patents
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- 下電極、圧電体層及び上電極を備え、且つ前記圧電体層が、マンガン、ニッケル及びストロンチウムからなる群から選択される少なくとも１つの添加物を有すると共に、当該圧電体層の電気抵抗率が２０ＭΩ・ｃｍ以上であり、リーク電流が１×１０ −８ Ａ／ｃｍ ２ 以下であり、抗電界が１５〜３０ｋＶ／ｃｍであり且つ残留分極強度が１０〜２５μＣ／ｃｍ ２ であることを特徴とする圧電素子。
- 前記圧電体層の耐電圧が９００ｋＶ／ｃｍ以上であることを特徴とする請求項１記載の圧電素子。
- 前記圧電体層の比誘電率が７５０〜１５００であることを特徴とする請求項１又は２に記載の圧電素子。
- 請求項１〜３の何れか一項に記載の圧電素子と、該圧電素子によって圧力変化が加えられると共にノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板とを具備することを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項４記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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