JP2010541185A5

JP2010541185A5 -

Info

Publication number: JP2010541185A5
Application number: JP2010528148A
Authority: JP
Filing date: 2008-10-03
Publication date: 2011-11-17

Claims

（ａ）（ｉ）基板、（ii）前記基板上に配置された導電性ゲート電極、（iii）前記ゲート電極上に配置された絶縁層、（iv）前記絶縁層上に配置された約１×１０¹⁰〜約１×１０¹⁴オーム・パー・スクエアの電気シート抵抗を有する電荷散逸層、（ｖ）前記電荷散逸層上に配置されたカソード電極、および（vi）前記カソード電極と接触している電子電界エミッタを含むカソード組立体と、（ｂ）アノードとを含む電界放出トライオード装置。
カソード電極が、電子放出材料層上に配置されている請求項１に記載の装置。
カソード電極および電子電界エミッタが、同一構成部品である請求項１に記載の装置。
カソードが、電子電界エミッタの上部でパターニングされている請求項１に記載の装置。
（ａ）（ｉ）基板、（ii）前記基板上に配置された導電性ゲート電極、（iii）前記ゲート電極上に配置された絶縁層、（iv）前記絶縁層上に配置されたカソード電極、（ｖ）前記カソード電極および前記絶縁層上に配置された約１×１０¹⁰〜約１×１０¹⁴オーム・パー・スクエアの電気シート抵抗を有する電荷散逸層、および（vi）前記電荷散逸層上に配置された電子電界エミッタを含むカソード組立体と、（ｂ）アノードとを含む電界放出トライオード装置。
カソード電極および電子電界エミッタが、交線としてパターニングされている請求項５に記載の装置。
カソードが、電子電界エミッタの上部でパターニングされている請求項５に記載の装置。
（ａ）（ｉ）基板、（ii）前記基板上に配置された導電性ゲート電極、（iii）前記ゲート電極上に配置された絶縁層、（iv）前記絶縁層上に配置されたカソード電極、（ｖ）前記カソードと接触している電子電界エミッタ、（vi）前記絶縁層、前記カソード電極および前記電子電界エミッタ上に配置された約１×１０¹⁰〜約１×１０¹⁴オーム・パー・スクエアの電気シート抵抗を有する電荷散逸層を含むカソード組立体と、（ｂ）アノードとを含む電界放出トライオード装置。
電荷散逸層が、絶縁層上でパターニングされている請求項８に記載の装置。
カソード電極および電子電界エミッタが、交線としてパターニングされている請求項８に記載の装置。
カソードが、電子電界エミッタの上部でパターニングされている請求項８に記載の装置。
（ａ）基板、（ii）前記基板上に配置された導電性ゲート電極、（iii）前記ゲート電極上に配置された絶縁層、（iv）前記絶縁層上に配置された約１×１０¹⁰〜約１×１０¹⁴オーム・パー・スクエアの電気シート抵抗を有する電荷散逸層、（ｖ）前記電荷散逸層上に配置されたカソード電極、および（vi）前記カソード電極と接触している電子電界エミッタを含むカソード組立体。
（ｉ）基板、（ii）前記基板上に配置された導電性ゲート電極、（iii）前記ゲート電極上に配置された絶縁層、（iv）前記絶縁層上に配置されたカソード電極、（ｖ）前記カソード電極および前記絶縁層上に配置された約１×１０¹⁰〜約１×１０¹⁴オーム・パー・スクエアの電気シート抵抗を有する電荷散逸層、および（vi）前記電荷散逸層上に配置された電子電界エミッタを含むカソード組立体。
（ｉ）基板、（ii）前記基板上に配置された導電性ゲート電極、（iii）前記ゲート電極上に配置された絶縁層、（iv）前記絶縁層上に配置されたカソード電極、（ｖ）前記カソードと接触している電子電界エミッタ、および（vi）前記絶縁層、前記カソード電極および前記電子電界エミッタ上に配置された約１×１０¹⁰〜約１×１０¹⁴オーム・パー・スクエアの電気シート抵抗を有する電荷散逸層を含むカソード組立体。
カソード電極および電子電界エミッタが、交線としてパターニングされている請求項１２〜１４のいずれか１項に記載のカソード組立体。