JP5352334B2 - グラフェンと金属電極との電気的接合デバイス、それを用いた電子デバイス,電子集積回路及び光/電子集積回路 - Google Patents
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Description
と計算できる。rGPを10Ω/μm2、rCを10Ωμm2とした場合の計算結果を図1に示す。接触面積が大きくなるとともに、接触抵抗は
に収束する。接触面積を
あるいは
になる値に設定することにより、接触抵抗を収束値の10%増し、あるいは30%増しの値にまで、低減することができる。
を満たすように設定する必要がある。さらに望ましくは、
を満たすように設定する必要がある。また、rGPを10Ω/μm2、rCを10Ωμm2として、上式に代入することにより、グラフェンと金属電極との接合部202の面積Sは、1.0μm2以上に設定する必要がある。さらに望ましくは1.5μm2以上に設定する必要がある。
を満たすように設定する必要がある。さらに望ましくは、
を満たすように設定する必要がある。また、上式に、rGPを10Ω/μm2、rCを10Ωμm2を代入することにより、グラフェンとソース電極との接合部302およびグラフェンとドレイン電極との接合部303の面積Sは、1.0μm2以上に設定する必要がある。さらに望ましくは1.5μm2以上に設定する必要がある。
を満たすように設定する必要がある。さらに望ましくは、
を満たすように設定する必要がある。また、上式に、rGPを10Ω/μm2、rCを10Ωμm2を代入することにより、グラフェンと金属電極との接合部402の面積Sは、1.0μm2以上に設定する必要がある。さらに望ましくは1.5μm2以上に設定する必要がある。
202,402 グラフェンと金属電極との接合部
203,403 金属電極
301 グラフェンチャネル
302 グラフェンとソース電極との接合部
303 グラフェンとドレイン電極との接合部
304 ソース電極
305 ドレイン電極
306 ゲート電極
401 グラフェン発受光素子
Claims (7)
- 前記接触面積Sが、1.0μm2以上であることを特徴とする請求項1または2に記載のグラフェンと金属電極との電気的接合デバイス。
- 前記接触面積Sが、1.5μm2以上であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のグラフェンと金属電極との電気的接合デバイス。
- 前記グラフェンが、単層あるいは複数層からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のグラフェンと金属電極との電気的接合デバイス。
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