JP2011207204A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサー - Google Patents
液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサー Download PDFInfo
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Description
本発明は、ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせ、圧電体層と圧電体層に電圧を印加する電極を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサーに関する。
本発明はこのような事情に鑑み、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサーを提供することを目的とする。
本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる液体噴射ヘッドを有するため、絶縁破壊が防止され信頼性に優れた液体噴射装置となる。それに加え、誘電率および圧電性が高い圧電材料を具備する液体噴射ヘッドを有するため、液体吐出能力に優れた液体噴射装置となる。
また、本発明の他の態様は、圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子であって、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする圧電素子にある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない圧電素子となる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする焦電センサーにある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有するため、優れた焦電特性を発現できる信頼性の高い焦電センサーとなる。
また、本発明の他の態様は、圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子であって、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする圧電素子にある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない圧電素子となる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の圧電素子を具備することを特徴とする焦電センサーにある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を有するため、優れた焦電特性を発現できる信頼性の高い焦電センサーとなる。
Claims (7)
- ノズル開口に連通する圧力発生室と、
圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 前記鉄酸マンガン酸ビスマスと前記チタン酸ビスマスカリウムのモル比である鉄酸マンガン酸ビスマス／チタン酸ビスマスカリウムが、０．４２以上１．５以下であることを特徴とする請求項１に記載する液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、厚さが２μｍ以下の薄膜であることを特徴とする請求項１または２に記載する液体噴射ヘッド。
- 前記圧電体層は、比誘電率が３００以上であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッド。
- 請求項１〜４のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
- 圧電体層と前記圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子であって、
前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ビスマスカリウムを含むペロブスカイト構造を有する複合酸化物であることを特徴とする圧電素子。 - 請求項６に記載する圧電素子を具備することを特徴とする焦電センサー。
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