JP5275746B2 - 圧電素子 - Google Patents
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Description
及する場合、特に明示しまたは原理的に明らかに特定の数に限定される場合等を除き、その特定の数に限定されるものではない。
明示した場合および原理的に明らかに必須であると考えられる場合等を除き、本発明に必ずしも必須のものではないことは言うまでもない。
、特に明示した場合および原理的に明らかにそうではないと考えられる場合等を除き、実
質的にその形状等に近似または類似するもの等を含むものとする。このことは、上記数値
および範囲についても同様である。
ここで、前述したアナターゼ結晶構造はルチル結晶構造が若干捩れて構成された準安定的結晶構造をもつ。
明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
Claims (10)
- BaTi2O5を主構成材料とする圧電材料体と、該圧電材料体に電圧を印加する内部電極とを有する圧電素子チップを複数積層して圧電素子チップブロックを構成し、該圧電素子チップブロックを接合層を介して複数個接合した圧電素子において、
前記内部電極は前記圧電材料体の積層方向に垂直な断面を覆って形成され、前記圧電素子の一側面に露出した前記内部電極に設けられた電気絶縁層と、前記圧電素子の他の側面に露出した前記内部電極と接続する外部電極とを有し、かつ前記内部電極の主構成材料がRuとRuO2の混合物であり、前記圧電材料体がルチル構造の結晶粒を含有し、前記内部電極中のRuO2がルチル構造の結晶を有し、前記圧電材料体の積層方向に垂直な断面と前記内部電極中のRu(001)面およびRuO2(001)面が略平行であることを特徴とする圧電素子。 - 請求項1に記載された圧電素子において、前記圧電材料体の主構成材料であるBaTi2O5は、BaTiO3とTiO2の混合物であることを特徴とする圧電素子。
- 請求項2に記載された圧電素子において、BaTiO3とTiO2の組成比が略1:1であることを特徴とする圧電素子。
- 請求項1乃至3のいずれか1項に記載された圧電素子において、前記内部電極の主構成材料であるRuとRuO2の組成比が略1:1であることを特徴とする圧電素子。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載された圧電素子において、前記圧電材料体におけるルチル構造の結晶粒はTiO2を有することを特徴とする圧電素子。
- BaTi2O5を主構成材料とする圧電材料体と、該圧電材料体に電圧を印加する内部電極とを有する圧電素子チップを複数積層して圧電素子チップブロックを構成し、該圧電素子チップブロックを接合層を介して複数個接合した圧電素子において、
前記内部電極は前記圧電材料体の積層方向に垂直な断面を覆って形成され、前記圧電素子の一側面に露出した前記内部電極に設けられた電気絶縁層と、前記圧電素子の他の側面に露出した前記内部電極と接続する外部電極とを有し、かつ前記内部電極の主構成材料がRuとRuO2の混合物であり、前記圧電材料体がアナターゼ構造の結晶粒を含有し、前記内部電極中のRuO2がアナターゼ構造の結晶を有し、前記圧電材料体の積層方向に垂直な断面と前記内部電極中のRu(001)面およびRuO2(001)面が略平行であることを特徴とする圧電素子。 - 請求項6に記載された圧電素子において、前記圧電材料体の主構成材料であるBaTi2O5は、BaTiO3とTiO2の混合物であることを特徴とする圧電素子。
- 請求項7に記載された圧電素子において、BaTiO3とTiO2の組成比が略1:1であることを特徴とする圧電素子。
- 請求項6乃至8のいずれか1項に記載された圧電素子において、前記内部電極の主構成材料であるRuとRuO2の組成比が略1:1であることを特徴とする圧電素子。
- 請求項6乃至9のいずれか1項に記載された圧電素子において、前記圧電材料体におけるアナターゼ構造の結晶粒はTiO2を有することを特徴とする圧電素子。
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