JP2011211144A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、焦電素子及びｉｒセンサー - Google Patents

液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、焦電素子及びｉｒセンサー Download PDF

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本発明は、ノズル開口に連通する圧力発生室に圧力変化を生じさせ、圧電体層と圧電体層に電圧を印加する電極を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、焦電素子及びＩＲセンサーに関する。
本発明はこのような事情に鑑み、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができ且つ環境負荷の少ない圧電素子を有する液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、焦電素子及びＩＲセンサーを提供することを目的とする。
本発明の他の態様は、ビスマス、鉄およびセリウムを含むペロブスカイト型複合酸化物であって、セリウムを、ビスマスおよびセリウムの総量に対してモル比で０．０１以上０．１３以下含むことを特徴とする焦電素子にある。これによれば、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる焦電素子となる。また、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減できる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の焦電素子を具備することを特徴とするＩＲセンサーにある。かかる態様では、絶縁性が高くリーク電流の発生を抑制することができる焦電素子を有するため、絶縁破壊が防止され信頼性に優れたＩＲセンサーとなる。また、鉛の含有量を抑え環境への負荷が低減されたＩＲセンサーを提供できる。

Claims (10)

  1. ノズル開口に連通する圧力発生室と、
    圧電体層および前記圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子と、を具備し、
    前記圧電体層は、ビスマス、鉄およびセリウムを含むペロブスカイト型複合酸化物であり、
    前記圧電体層は、セリウムを、ビスマスおよびセリウムの総量に対してモル比で０．０１以上０．１３以下含むことを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記圧電体層は、さらに、ランタンを含むことを特徴とする請求項１に記載する液体噴射ヘッド。
  3. 前記圧電体層は、ランタンを、ビスマスとセリウムとランタンの総量に対してモル比で０．０５以上０．２０以下含むことを特徴とする請求項２に記載する液体噴射ヘッド。
  4. 前記圧電体層は、電界誘起相転移を示すことを特徴とする請求項２または３に記載する液体噴射ヘッド。
  5. 前記圧電体層は、強誘電体であることを特徴とする請求項２または３に記載する液体噴射ヘッド。
  6. 前記圧電体層は、粉末Ｘ線回折パターンにおいて、強誘電性を示す相に帰属される回折ピークと、反強誘電性を示す相に帰属される回折ピークが同時に観測されることを特徴とする請求項５に記載する液体噴射ヘッド。
  7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
  8. 圧電体層および前記圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子であって、
    前記圧電体層は、ビスマス、鉄およびセリウムを含むペロブスカイト型複合酸化物であり、
    前記圧電体層は、セリウムを、ビスマスおよびセリウムの総量に対してモル比で０．０１以上０．１３以下含むことを特徴とする圧電素子。
  9. ビスマス、鉄およびセリウムを含むペロブスカイト型複合酸化物であって、
    セリウムを、ビスマスおよびセリウムの総量に対してモル比で０．０１以上０．１３以下含むことを特徴とする焦電素子。
  10. 請求項９に記載する焦電素子を具備することを特徴とするＩＲセンサー。
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