JP2006303110A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 静電保護回路のトリガ電流が流れる経路の寄生容量を小さくし、これにより当該静電保護回路の誤動作を防止する。
【解決手段】 本発明による半導体装置は、P型半導体基板1に形成されたNウェル5と、Nウェル5に形成されたN+拡散層6及びP+拡散層7と、P型半導体基板1のNウェル5以外の部分に形成されたN+拡散層8及びP+拡散層9と、トリガ回路として機能するNMOSトランジスタ13とを備えている。P+拡散層7は、I/Oパッド10に接続され、P+拡散層9は、接地端子12に接続されている。NMOSトランジスタ13は、I/Oパッド10にサージが印加されたとき、Nウェル5からトリガ電流を引き出す役割をする。NMOSトランジスタ13は、抵抗素子31を介してN+拡散層6に接続されている。
【選択図】 図3
【解決手段】 本発明による半導体装置は、P型半導体基板1に形成されたNウェル5と、Nウェル5に形成されたN+拡散層6及びP+拡散層7と、P型半導体基板1のNウェル5以外の部分に形成されたN+拡散層8及びP+拡散層9と、トリガ回路として機能するNMOSトランジスタ13とを備えている。P+拡散層7は、I/Oパッド10に接続され、P+拡散層9は、接地端子12に接続されている。NMOSトランジスタ13は、I/Oパッド10にサージが印加されたとき、Nウェル5からトリガ電流を引き出す役割をする。NMOSトランジスタ13は、抵抗素子31を介してN+拡散層6に接続されている。
【選択図】 図3
Description
本発明は、半導体装置に関し、特に、ESD(electrostatic discharge)その他のサージの印加による内部回路の破壊を防止するための静電保護回路を搭載する半導体装置に関する。
半導体集積回路には、入出力パッドに印加されるサージに対して内部回路を保護するために静電保護回路が搭載される。静電保護回路の公知の回路トポロジーの一つが、サイリスタを使用する回路トポロジーである。特開2003−203985号公報(特許文献1)は、サイリスタを使用する静電保護回路を開示している。図1は、この文献に開示されている静電保護回路の構造を示す断面図である。
図1に示されているように、公知のその静電保護回路は、P型半導体基板1に集積化されたサイリスタ領域2とトリガ回路領域3とを備えている。トリガ回路領域3は、絶縁体のSTI層4によってサイリスタ領域2から分離されている。
サイリスタ領域2には、Nウェル5が形成され、そのNウェル5の表面部には、N+拡散層6とP+拡散層7とが形成されている。サイリスタ領域2のうちのNウェル5の外側の部分には、更に、N+拡散層8とP+拡散層9とが形成されている。N+拡散層6、P+拡散層7、N+拡散層8、及びP+拡散層9は、絶縁体のSTI層10によって互いに分離されている。P+拡散層7と、Nウェル5と、P型半導体基板1の表面近傍の部分と、及びN+拡散層8は、pnpn構造を有するサイリスタとして機能する;より具体的には、P+拡散層7はサイリスタのアノードとして機能し、Nウェル5はベースとして機能し、N+拡散層8はカソードとして機能する。一方、N+拡散層6及びP+拡散層9は、それぞれ、Nウェル5及びP型半導体基板1への電気的接続を実現するためのコンタクト層として機能する。P+拡散層7は、内部回路(図示されない)に信号を入出力するためのI/Oパッド11に接続され、N+拡散層8及びP+拡散層9は、接地端子12に共通に接続されている。
トリガ回路領域3は、I/Oパッド11にサージが印加されたときに上述のサイリスタをターンオンするためのトリガ回路が形成される領域であり、図1の静電保護回路では、ソースとゲートが接地端子12に共通接続されたNMOSトランジスタ13がトリガ回路として使用されている。詳細には、P型半導体基板1の表面部にはN+導電型のソース領域14とドレイン領域15とが形成されている。更にゲート絶縁層16がP型半導体基板1の表面に形成され、ゲート絶縁層16の上にゲート電極17が形成されている。ゲート電極17は、典型的には、ポリシリコン層17aと、その上に形成されたシリサイド層17bで構成される。シリサイド層17bとしては、例えば、チタンシリサイド層、コバルトシリサイド層、タングステンシリサイド層が使用され得る。ドレイン領域15は、メタル配線18を介してサイリスタ領域2のN+拡散層6に電気的に接続されている。ソース領域14及びゲート電極17は、接地端子12に接続されている。
図2は、図1に図示されている静電保護回路の等価回路図である。図1に図示されている静電保護回路は、等価的に、PNPトランジスタ21、NPNトランジスタ22、基板抵抗RSUB、Nウェル抵抗RNW、及びNMOSトランジスタ13とからなる回路として機能する。PNPトランジスタ21のエミッタはI/Oパッド11に接続され、コレクタは基板抵抗RSUBを介して接地端子12に接続され、更に、ベースはNPNトランジスタ22のコレクタに接続されている。NPNトランジスタ22のベースはPNPトランジスタ21のコレクタに接続され、エミッタは接地端子12に接続されている。トリガ回路として機能するNMOSトランジスタ13は、そのドレインがNウェル抵抗RNW、及びメタル配線18を介してPNPトランジスタ21のベースに接続され、ソース及びゲートが接地端子12に接続されている。
I/Oパッド11にサージ電圧が印加されると、図1に図示されている静電保護回路は、下記のように動作して内部回路を保護する:I/Oパッド11にサージ電圧が印加されると、PNPトランジスタ21のエミッタ及びベースを通じてNMOSトランジスタ13のドレインにサージ電圧が印加される。このサージ電圧によってNMOSトランジスタ13がブレークダウンすると、PNPトランジスタ21のベースから接地端子12に向けてトリガ電流が流れ、PNPトランジスタ21がターンオンする。PNPトランジスタ21のターンオンにより、PNPトランジスタ21のエミッタからコレクタにエミッタ−コレクタ電流が流れる。エミッタ−コレクタ電流は、基板抵抗RSUBを介して接地端子12に流れ込む。エミッタ−コレクタ電流が基板抵抗RSUBを流れると、基板抵抗RSUBの電圧降下によってNPNトランジスタ22のベース電位が上昇する。ベース電位の上昇により、ベース電流がNPNトランジスタ22に流れ、NPNトランジスタ22がターンオンする。NPNトランジスタ22がターンオンすることにより、I/Oパッド11に印加されたサージ電圧がNPNトランジスタ22を介して放電され、内部回路が保護される。
図1の静電保護回路の利点は、サイリスタとトリガ回路とが分離されているため、高い放電能力と低いトリガ電圧とを両立できることである。第1に、図1の静電保護回路では、サイリスタとトリガ回路とが分離されているため、サイリスタのベース長を短く設計できる。これは、静電保護回路の放電能力を向上させる。更に、図1の静電保護回路では、トリガ回路をサイリスタとは無関係に設計できるため、トリガ電圧を任意に設計することができる。これは、図1の静電保護回路では、高い放電能力と低いトリガ電圧とを両立できることを意味している。
特開2003−203985号公報
しかしながら、図1に図示されている静電保護回路には、トリガ電流が流れる経路に寄生する容量が必然的に大きくなることに起因して、不必要な時に静電保護回路が動作してしまう事態が発生し得るという課題がある。トリガ電流が流れる経路に寄生する容量は、主として、NMOSトランジスタ13のドレイン容量である。NMOSトランジスタ13は、それ自体がサージ電圧によって破壊されてはならないためサイズが大きい必要があり、従って、NMOSトランジスタ13のドレイン容量、即ち、トリガ電流が流れる経路に寄生する容量は大きくならざるを得ない。しかし、トリガ電流が流れる経路に寄生する寄生容量が大きくなると、急峻に立ち上がる電圧パルスがI/Oパッド11に印加されたときに不必要に静電保護回路が動作してしまうことがある。なぜなら、PNPトランジスタ21のベースに流れるトリガ電流Iは、下記式:
I=C・(dV/dt),
で表され、I/Oパッド11の電圧の時間変化dV/dt及び寄生容量Cに比例して増大するからである。I/Oパッド11の電圧の時間変化dV/dtが大きいと、I/Oパッド11に印加される電圧パルスの電圧レベルが正常な範囲であっても、大きなトリガ電流が流れて静電保護回路が動作してしまう。このような静電保護回路の誤動作は、防止されることが望ましい。
I=C・(dV/dt),
で表され、I/Oパッド11の電圧の時間変化dV/dt及び寄生容量Cに比例して増大するからである。I/Oパッド11の電圧の時間変化dV/dtが大きいと、I/Oパッド11に印加される電圧パルスの電圧レベルが正常な範囲であっても、大きなトリガ電流が流れて静電保護回路が動作してしまう。このような静電保護回路の誤動作は、防止されることが望ましい。
上記の課題を解決するために、本発明は、以下に述べられる手段を採用する。その手段を構成する技術的事項の記述には、[特許請求の範囲]の記載と[発明を実施するための最良の形態]の記載との対応関係を明らかにするために、[発明を実施するための最良の形態]で使用される番号・符号が付加されている。但し、付加された番号・符号は、[特許請求の範囲]に記載されている発明の技術的範囲を限定的に解釈するために用いてはならない。
本発明による半導体装置は、パッド(10)に接続される第1p型半導体領域(7)と、第1p型半導体領域(7)に接合された第1n型半導体領域(5、6)と、第1n型半導体領域(5)に接合され、且つ、接地端子(12)に接続された第2p型半導体領域(1、9)と、前記第2p型半導体領域(1、9)に接合され、且つ、接地端子に接続された第2n型半導体領域(8)と、パッド(10)にサージが印加されたとき、前記第1n型半導体領域(5)からトリガ電流を引き出すように構成されたトリガ回路(13、32〜34、36、36a、36b、37a、37b、38a〜38c)とを備えている。トリガ回路(13他)は、抵抗素子(31)を介して第1n型半導体領域(5、6)に接続されている。
このような半導体装置では、第1n型半導体領域(5、6)とトリガ回路(13他)との間の電気的接続に抵抗素子(31)が使用されているため、トリガ回路(13他)自身の静電破壊が起こりにくい。このため、トリガ回路(13他)は、そのサイズが小さい、言い換えれば寄生容量が小さいことが許容される。従って、本発明による半導体装置は、トリガ電流が流れる経路の寄生容量が大きいことに起因する静電保護回路の誤動作を抑制することができる。
本発明によれば、トリガ電流が流れる経路の寄生容量を小さくし、これにより静電保護回路の誤動作を防止することができる。
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施の形態が詳細に説明される。図面において、同一又は類似の構成要素は、同一又は対応する符号によって参照されていることに留意されたい。
図3は、本発明の実施の一形態に係る半導体装置に搭載される静電保護回路の構成を示す断面図である。本実施形態に係る静電保護回路と、図1に図示されている従来の静電保護回路との相違点は、サイリスタ領域2のN+拡散層6とNMOSトランジスタ13のドレイン領域15とが抵抗素子31を介して接続されていることにある;本実施形態に係る静電保護回路の他の部分の構成は、図1に図示されている静電保護回路と同一である。本実施形態では、抵抗素子31として、STI層4の上に形成されたポリシリコン層31aと、ポリシリコン層31aの上に形成されたシリサイド層31bとの積層体が使用される。シリサイド層31bとしては、例えば、チタンシリサイド層、コバルトシリサイド層、タングステンシリサイド層が使用され得る。
図4は、本実施形態に係る静電保護回路の等価回路図である。本実施形態に係る静電保護回路の等価回路は、NMOSトランジスタ13のドレイン領域15が、抵抗素子31を介してNウェル抵抗RNWに接続されることを除けば、図1に図示されている静電保護回路の等価回路と同一であり、従って、本実施形態に係る静電保護回路の動作は、図1に図示されている静電保護回路と同様である。I/Oパッド11にサージ電圧が印加されると、PNPトランジスタ21のエミッタ及びベース、並びに抵抗素子31を通じてNMOSトランジスタ13のドレインにサージ電圧が印加される。このサージ電圧によってNMOSトランジスタ13がブレークダウンすると、PNPトランジスタ21のベースから接地端子12に向けてトリガ電流が流れ、PNPトランジスタ21がターンオンする。PNPトランジスタ21のターンオンにより、PNPトランジスタ21のエミッタからコレクタにエミッタ−コレクタ電流が流れる。エミッタ−コレクタ電流は、基板抵抗RSUBを介して接地端子12に流れ込む。エミッタ−コレクタ電流が基板抵抗RSUBを流れると、基板抵抗RSUBの電圧降下によってNPNトランジスタ22のベース電位が上昇する。ベース電位の上昇により、ベース電流がNPNトランジスタ22に流れ、NPNトランジスタ22がターンオンする。NPNトランジスタ22がターンオンすることにより、I/Oパッド11に印加されたサージ電圧がNPNトランジスタ22を介して放電され、内部回路が保護される。
本実施形態の静電保護回路の最も重要な特徴は、N+拡散層6とNMOSトランジスタ13のドレイン領域15とが抵抗素子31を介して接続されているために、NMOSトランジスタ13自身の静電破壊が起こりにくいことである。静電破壊が起こりにくいため、本実施形態の静電保護回路ではNMOSトランジスタ13のサイズを小さくする、即ち、NMOSトランジスタ13のドレイン容量を小さくすることができる。したがって、本実施形態の静電保護回路は、トリガ電流が流れる経路の寄生容量を小さくすることができる。これは、静電保護回路の誤動作の抑制に有効である。
抵抗素子31としては、ポリシリコン層31aとシリサイド層31bの積層体の代わりに、他の構造を有する抵抗素子が使用可能である。例えば、抵抗素子31は、単一のポリシリコン層で形成され得る。また、抵抗素子31は、単層のタングステンシリサイド層で形成されることが可能であり、又は、タングステンシリサイド層と窒化チタン層との積層体で形成されることも可能である。
ただし、抵抗素子31として単一のポリシリコン層、又は、ポリシリコン層とシリサイド層の積層体が使用されることは、製造工程の簡便化の点で好ましい。単一のポリシリコン層、又は、ポリシリコン層とシリサイド層の積層体を抵抗素子31として使用する場合には、抵抗素子31をMOSトランジスタのゲートと同時に形成することが可能である。これは、抵抗素子31を形成するための専用の工程を不必要にし、製造工程を簡便化する。
既述のように抵抗素子31は様々な構造が許容されるが、抵抗素子31としてP型半導体基板1に形成された拡散抵抗が使用されることは好ましくない;言い換えれば、抵抗素子31は、P型半導体基板1の外部に形成されていることが好ましい。拡散抵抗を使用するとpn接合がP型半導体基板1に形成され、従って、トリガ電流が流れる経路の寄生容量を増大させる。これは、静電保護回路の誤動作の抑制の効果を失わせる。
抵抗素子31は、そのシート抵抗が1.0Ω/□以上の層又は積層体で形成されることが好適であり、5.0Ω/□以上の層又は積層体で形成されることがより好適である。シート抵抗が低すぎると、NMOSトランジスタ13がサージ電圧から充分に保護されない。この場合、抵抗素子31を構成する層又は積層体のシート抵抗は、1.0kΩ/□以下であることが好ましい。シート抵抗が大きすぎると、サージ電圧が印加されたときにNMOSトランジスタ13がターンオンしにくくなり、内部回路が充分に保護されない。
サイリスタをターンオンさせるためのトリガ回路の構成は様々に変更され得る。図5A〜図5Gは、トリガ回路として使用可能な回路の構成を示す回路図である。図5A〜図5Gにおいて、符号31cは、抵抗素子31に接続される抵抗素子接続ノードを示していることに留意されたい。
図5Aに示されているように、ソース及びゲートが抵抗素子31に、ドレインが接地端子12に接続されたPMOSトランジスタ32がトリガ回路として使用され得る。
また、図5Bに示されているように、NMOSトランジスタ33とインバータ34とで構成されるトリガ回路も使用され得る。NMOSトランジスタ33は、ドレインが抵抗素子31に接続され、ソースが接地端子12に接続される。インバータ34は、電源端子35と接地端子12との間に直列に接続されたPMOSトランジスタ34aとNMOSトランジスタ34bとで構成される。インバータ34の出力(即ち、PMOSトランジスタ34aとNMOSトランジスタ34bのドレイン)は、NMOSトランジスタ33のゲートに接続され、インバータ34の入力(即ち、PMOSトランジスタ34aとNMOSトランジスタ34bのゲート)は、電源端子35に接続される。
図5Bに図示されているトリガ回路の一つの特徴は、NMOSトランジスタ33が完全にオフしないために、静電保護回路を動作させるサージ電圧を低くできる点である。静電保護回路を搭載する半導体装置に電源が投入されていない状態では、電源端子35はフローティングであり、インバータ34のPMOSトランジスタ34a及びNMOSトランジスタ34bは、いずれも完全にはオンしていない。従って、インバータ34の出力に接続されているNMOSトランジスタ33のゲートはフローティングであり、NMOSトランジスタ33は完全にはオフされない。これは、接地端子12に対して正極性のサージ電圧がI/Oパッド11に印加されたときに、静電保護回路を動作させやすくする。
また、図5Cに示されているように、ドレインとゲートが抵抗素子31に、ソースが接地端子12に接続されたNMOSトランジスタ36がトリガ回路として使用されることも可能である。図5Cに図示されているトリガ回路の一つの特徴は、静電保護回路を動作させるサージ電圧を低くできる点である。図5Cのトリガ回路は、I/Oパッド11にサージ電圧が印加されると、そのサージ電圧がNMOSトランジスタ36のゲートに印加されるため、NMOSトランジスタ36がターンオンしやすい。
図5Cに示されているトリガ回路は、NMOSトランジスタ36を介して流れるリーク電流が大きい点が問題になり得る。リーク電流の問題を回避するためには、NMOSトランジスタ36のゲート長が充分に増大されることが望ましい。他のアプローチとしては、図5Dに示されているように、直列に接続された複数のNMOSトランジスタが、トリガ回路として使用されることも可能である;図5Dには、2つのNMOSトランジスタ36a、36bが直列に接続されたトリガ回路が図示されている。各NMOSトランジスタのドレイン及びゲートは、直接に、又は他のNMOSトランジスタを介して抵抗素子31に接続され、各NMOSトランジスタのソースは、直接に、又は他のNMOSトランジスタを介して接地端子12に接続される。図5Dの例では、NMOSトランジスタ36aのドレイン及びゲートが直接に抵抗素子31に接続され、NMOSトランジスタ36bのドレイン及びゲートはNMOSトランジスタ36aを介して抵抗素子31に接続される。更に、NMOSトランジスタ36aのソースがNMOSトランジスタ36bを介して接地端子12に接続され、NMOSトランジスタ36bのソースは、直接に接地端子12に接続される。
更に、図5Eに示されているように、ソースが抵抗素子31に、ドレインとゲートが接地端子12に接続されたPMOSトランジスタ37がトリガ回路として使用されることも可能である。図5Eに図示されているトリガ回路の一つの特徴は、静電保護回路を動作させるサージ電圧を低くできる点である。図5Eのトリガ回路は、PMOSトランジスタ37のゲートが接地端子12に接続されているため、PMOSトランジスタ37がターンオンしやすい。
図5Cに示されているトリガ回路と同様に、図5Eに示されているトリガ回路は、PMOSトランジスタ37を介して流れるリーク電流が大きい点が問題になり得る。リーク電流の問題を回避するためには、PMOSトランジスタ37のゲート長が充分に増大されることが望ましい。他のアプローチとしては、図5Fに示されているように、直列に接続された複数のPMOSトランジスタが、トリガ回路として使用されることも可能である;図5Fには、2つのPMOSトランジスタ37a、37bが直列に接続されたトリガ回路が図示されている。各PMOSトランジスタのソースは、直接に、又は他のPMOSトランジスタを介して抵抗素子31に接続され、各PMOSトランジスタのドレイン及びゲートは、直接に、又は他のPMOSトランジスタを介して接地端子12に接続される。図5Fの例では、PMOSトランジスタ37aのソースが直接に抵抗素子31に接続され、PMOSトランジスタ37bのソースは、PMOSトランジスタ37aを介して抵抗素子31に接続される。更に、PMOSトランジスタ37aのドレイン及びゲートは、PMOSトランジスタ37bを介して接地端子12に接続され、PMOSトランジスタ37bのドレイン及びゲートは、直接に接地端子12に接続される。
また、図5Gに示されているように、抵抗素子31から接地端子12に向けて順方向に直列に接続された複数のダイオードが、トリガ回路として使用され得る;図5Gには、3つの直列に接続されたダイオード38a〜38cからなるトリガ回路が図示されている。図5Gに図示されているトリガ回路では、静電保護回路が動作するサージ電圧、及び、トリガ回路を流れるリーク電流を、ダイオードの個数で調節可能である。
1:P型半導体基板
2:サイリスタ領域
3:トリガ回路領域
4:STI層
5:Nウェル
6:N+拡散層
7:P+拡散層
8:N+拡散層
9:P+拡散層
10:STI層
11:I/Oパッド
12:接地端子
13:NMOSトランジスタ
14:ソース領域
15:ドレイン領域
16:ゲート絶縁層
17:ゲート電極
17a:ポリシリコン層
17b:シリサイド層
18:メタル配線
31:抵抗素子
31a:ポリシリコン層
31b:シリサイド層
32:PMOSトランジスタ
33:NMOSトランジスタ
34:インバータ
34a:PMOSトランジスタ
34b:NMOSトランジスタ
35:電源端子
36、36a、36b:NMOSトランジスタ
37、37a、37b:PMOSトランジスタ
38a、38b、38c:ダイオード
2:サイリスタ領域
3:トリガ回路領域
4:STI層
5:Nウェル
6:N+拡散層
7:P+拡散層
8:N+拡散層
9:P+拡散層
10:STI層
11:I/Oパッド
12:接地端子
13:NMOSトランジスタ
14:ソース領域
15:ドレイン領域
16:ゲート絶縁層
17:ゲート電極
17a:ポリシリコン層
17b:シリサイド層
18:メタル配線
31:抵抗素子
31a:ポリシリコン層
31b:シリサイド層
32:PMOSトランジスタ
33:NMOSトランジスタ
34:インバータ
34a:PMOSトランジスタ
34b:NMOSトランジスタ
35:電源端子
36、36a、36b:NMOSトランジスタ
37、37a、37b:PMOSトランジスタ
38a、38b、38c:ダイオード
Claims (13)
- パッドに接続される第1p型半導体領域と、
前記第1p型半導体領域に接合された第1n型半導体領域と、
前記第1n型半導体領域に接合され、且つ、接地端子に接続された第2p型半導体領域と、
前記第2p型半導体領域に接合され、且つ、接地端子に接続された第2n型半導体領域と、
前記パッドにサージが印加されたとき、前記第1n型半導体領域からトリガ電流を引き出すように構成されたトリガ回路
とを備え、
前記トリガ回路は、抵抗素子を介して前記第1n型半導体領域に接続された
半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記第1p型半導体領域、前記第1n型半導体領域、前記第2p型半導体領域、及び前記第2n型半導体領域は、半導体基板に集積化され、
前記抵抗素子は、前記半導体基板の外部に形成されている
半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置であって、
前記抵抗素子は、ポリシリコン層を含む構造体で形成された
半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記抵抗素子は、シート抵抗が1.0Ω/□以上の層、又は積層体で形成された
半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記第1n型半導体領域は、前記半導体基板に形成されたNウェルであり、
前記第1p型半導体領域は、前記Nウェルに形成されたP+拡散層であり、
前記第2p型半導体領域は、前記半導体基板の一部であるP型領域であり、
前記第2n型半導体領域は、前記半導体基板に形成されたN+拡散層である
半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置であって、
前記トリガ回路は、ドレインが前記抵抗素子を介して前記第1n型半導体領域に接続されたNMOSトランジスタを備える
半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置であって、
前記NMOSトランジスタのゲート及びソースは、接地端子に接続された
半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置であって、
前記NMOSトランジスタのソースは接地端子に接続され、
前記NMOSトランジスタのゲートは、少なくとも一のMOSトランジスタを介して電源端子に接続され、少なくとも一のMOSトランジスタを介して接地端子に接続された
半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置であって、
前記NMOSトランジスタのゲートが前記抵抗素子を介して前記第1n型半導体領域に接続された
半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置であって、
前記トリガ回路は、ソースが前記抵抗素子を介して前記第1n型半導体領域に接続されたPMOSトランジスタを備える
半導体装置。 - 請求項10に記載の半導体装置であって、
前記PMOSトランジスタのゲートが前記抵抗素子を介して前記第1n型半導体領域に接続された
半導体装置。 - 請求項10に記載の半導体装置であって、
前記PMOSトランジスタのゲートがドレインに接続され、
前記PMOSトランジスタのドレインが直接に、又は他のPMOSトランジスタを介して接地端子に接続された
半導体装置。 - 請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の半導体装置であって、
前記トリガ回路は、前記抵抗素子から接地端子に向けて順方向に直列に接続された複数のダイオードを備える
半導体装置。
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