JP4295370B2 - 半導体素子 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、本発明は半導体素子に係り、特に、MOSトランジスタで構成される内部回路を静電破壊から保護する保護回路を構成するMOSトランジスタに関する。
【0002】
【従来の技術】
一般的に、MOSトランジスタは、論理回路を構成する用途以外に、しばしば入出力部において、外部からの静電気等による素子破壊を防止する、保護回路を構成する素子としても用いられる。図10に保護回路の一例を示す。同図において、MOSトランジスタにより構成された論理回路等の内部回路の入力側に設けられた保護回路は、PMOSトランジスタ200とNMOSトランジスタ202を有している。PMOSトランジスタ200のドレインはNMOSトランジスタ202のドレインに接続されている。PMOSトランジスタ200のソース、ゲート及び基板は共通接続されて電源電圧VDDが供給され、NMOSトランジスタ202のソース、ゲート及び基板は共通接続され接地電位に維持されている。
【0003】
またPMOSトランジスタ200及びNMOSトランジスタ202の接続点Pはパッド204及び内部回路に接続されている。
【0004】
MOSトランジスタにはその素子の構造上、ソース(バイポーラトランジスタのエミッタに相当する。)、基板(バイポーラトランジスタのベースに相当する。)、ドレイン(バイポーラトランジスタのコレクタに相当する。)で構成されるバイポーラトランジスタが寄生的に存在している。図10において保護素子として用いるMOSトランジスタの動作は、NMOSトランジスタ202を例にとると、例えば、接続点Pを介してN型ドレイン拡散層に静電気による+極性のサージ電圧が印加された場合、N型ドレイン拡散層とP型基板とのPN接合がアバランシェブレークダウンする。このとき基板中に流れるアバランシェ電流は、基板の電位を上昇させるため、N型ソース拡散層とP型基板との接合が導通し、保護素子として用いるNMOSトランジスタ202により形成されるNPN寄生パイポーラトランジスタが導通状態となる。この結果、保護素子の耐圧は寄生バイポーラトランジスタのエミッタ−コレクタ間の耐圧、すなわちエミッタ−コレクタ間耐圧(BVceo)を示すようになる。このエミッタ−コレクタ間耐圧は、内部回路のMOSトランジスタの耐圧(BVsd)より低くなるように設定されているため、サージ電圧によるブレークダウンは保護素子のみで起きるようになる。この結果、サージ電圧により生ずるサージ電流はNMOSトランジスタ202を介して接地側に流れる。
【0005】
このようにMOSトランジスタを用いた保護素子は、寄生バイポーラトランジスタを利用して内部回路をサージ電圧から保護している。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
上述した保護素子は、サージ電流がゲート幅(ベース長)方向に分散して流れるため、ゲート幅を拡げて単位ゲート幅当たりの電流密度を小さくすることにより、電流集中による熱暴走を防ぎ、静電破壊耐量を向上することができる。
【0007】
しかしながら、JIS等の規格により定められている静電破壊耐量を満足するためには数百μmものゲート幅が必要であるため、保護素子の面積が大きくなるという問題があった。このため集積回路のパターン設計者は、図11に示すように保護素子を櫛歯状に形成する等により素子面積の縮小化を図るが、ソース、ドレイン、基板、ゲート電極の各々と配線とを接続するコンタクトホールが多数あり、ソース領域及びドレイン領域等は、これらに通じるコンタクトホールを形成する時の合わせ余裕等を考慮した寸法にする必要があった。図11において、210はゲート電極、212はソース領域、ゲート電極及び基板が共通接続された共通配線、214はドレイン領域に接続されるドレイン配線であり、これらが櫛歯状に形成されている。
【0008】
本発明は、保護素子として用いる、素子面積の縮小を図った半導体素子を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項1に記載の発明は、第1導電型の半導体基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された制御電極層と、前記制御電極層上の離間した位置に前記制御電極層を貫通して前記半導体基板表面まで到達するように形成された第1、第2のコンタクトホールと、前記第1のコンタクトホール内の前記半導体基板の表層に形成された第2導電型ソース領域と、前記第2のコンタクトホール内の前記半導体基板の表層に形成された第2導電型ドレイン領域とを有し、前記第1のコンタクトホール内に形成された配線を介して前記制御電極層と前記ソース領域とが電気的に接続され、かつ第2のコンタクトホール側壁に絶縁膜が形成されており、外部から電気信号が入力される入力パッドと、内部回路と、の間に接続される保護回路の保護素子におけるPMOSトランジスタまたは、NMOSトランジスタである。
【0016】
請求項1に記載の半導体素子によれば、制御電極層上の離間した位置に制御電極層を貫通して半導体基板表面まで到達する2つのコンタクトホールを形成し、これら2つのコンタクトホール内の半導体基板の表層にソース領域及びドレイン領域をそれぞれ形成し、かつドレイン領域に通じるコンタクトホールの側壁に絶縁膜を形成するようにしたので、ソース領域及びドレイン領域を自己整合的に形成することができ、2つの各コンタクトホールとソース領域、ドレイン領域との合わせ余裕が不要となり、素子面積を縮小化することが可能となる。
【0019】
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の半導体素子において、第2導電型ソース電極、前記制御電極層及び前記第1導電型半導体基板は同電位に設定されることを特徴とする。
【0020】
請求項2に記載の半導体素子によれば、請求項1に記載の半導体素子において、第2導電型ソース電極、前記制御電極層及び前記第1導電型半導体基板を同電位に設定するようにしたので、素子面積の縮小を図った保護素子として機能させることができる。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して詳細に説明する。本発明の第1の実施の形態にかかる半導体素子の構造を図1及び図2に示す。図1は本実施の形態に係る半導体素子の平面図であり、図2は図1におけるA−A’切断線による断面図である。
【0022】
これらの図において、P型の半導体基板10の表層には互いに離間した位置にN型のソース領域12及びN型のドレイン領域14が形成されている。N型ドレイン領域14上、N型ドレイン領域14とN型ソース領域12間のP型半導体基板10上及びN型ソース領域12にはゲート酸化膜30が形成されており、N型ドレイン領域14とN型ソース領域12間に形成されたゲート酸化膜30上にゲート電極16が形成されている。ゲート電極16は例えば、ポリシリコンで形成される。
【0023】
P型半導体基板10のN型ソース領域12上にはゲート酸化膜30を貫通してN型ソース領域12に通じるコンタクトホール18がゲート電極16に接触するようにN型ソース領域12のN型ドレイン領域14側に寄るように形成されており、N型ドレイン領域14上にはN型ドレイン領域14に通じるコンタクトホール20が形成されている。32は絶縁酸化膜、34は素子分離酸化膜である。
コンタクトホール18、20内にはアルミ配線22、24がそれぞれ、形成されており、ゲート電極16とN型ソース領域12とがアルミ配線22により電気的に接続されている。
【0024】
本実施の形態ではN型ソース領域12とアルミ配線22のゲート電極側での余裕がないので、アルミ配線22がゲート電極16のエッジ部分で半導体基板10と電気的に短絡する懸念が有るが、本発明ではソース領域、ゲート電極及び半導体基板を同電位に設定して保護素子として機能させるので問題はない。換言すれば、本発明はソース領域、ゲート電極及び半導体基板を同電位にすることにより実現できる素子構造としている。この点は本実施の形態に限らず、他の実施の形態についても同様である。
【0025】
ここでP型半導体基板10は本発明の第1導電型の半導体基板に相当し、N型ソース領域12は本発明の第2導電型ソース領域に、N型ドレイン領域14は本発明の第2導電型ドレイン領域に、ゲート電極16は本発明の制御電極層に、ゲート酸化膜30は本発明の絶縁膜に、それぞれ相当する。
【0026】
本発明の第1の実施の形態に係る半導体素子によれば、ゲート酸化膜を貫通してソース領域に通じるコンタクトホールがゲート電極に接触するように形成され、コンタクトホール内に形成された配線を介してゲート電極とソース領域とが電気的に接続されるように構成したので、ソース領域及びゲート電極にそれぞれ、接続するための配線を設けるためのコンタクトホールは1つ配置するだけで済み、それ故素子面積の縮小化が図れる。
【0027】
またソース領域側のコンタクトホールをソース領域のドレイン領域側に寄るように形成できるので、MOSトランジスタによる寄生バイポーラトランジスタのエミッタ抵抗が低減でき、その結果、ドレイン領域とソース領域との間でサージ電流が流れ易くなり、静電破壊耐量の向上が図れる。
【0028】
次に本発明の第2の実施の形態に係る半導体素子の構造を図3及び図4に示す。図3は本実施の形態に係る半導体素子の平面図であり、図4は図3におけるB−B’切断線による断面図である。これらの図において、P型半導体基板10の表層にはN型ドレイン領域44が形成されており、N型ドレイン領域44を含むP型半導体基板10上にはゲート酸化膜60が形成されている。更にゲート酸化膜60上にN型ドレイン領域44の端部からN型ドレイン領域44以外の領域に向かう方向に延在するようにゲート電極46が形成されている。
このゲート電極46は例えば、ポリシリコンで形成される。
【0029】
またP型半導体基板10表面に沿ってN型ドレイン領域44から離間した領域に、ゲート電極46及びゲート酸化膜60を貫通してP型半導体基板10表面に到達するコンタクトホール48が形成され、かつコンタクトホール48内のP型半導体基板10の表層にN型ソース領域42が形成されている。更にN型ドレイン領域44上にはN型ドレイン領域44に通じるコンタクトホール50が形成され、コンタクトホール48、50内にはそれぞれ、アルミ配線52、54が形成されており、ゲート電極46とN型ソース領域42とがアルミ配線52により電気的に接続されている。62は絶縁酸化膜、64は素子分離酸化膜である。
ここでP型半導体基板10は本発明の第1導電型の半導体基板に、N型ソース領域42は本発明の第2導電型ソース領域に、N型ドレイン領域44は本発明の第2導電型ドレイン領域に、ゲート電極46は本発明の制御電極層に、ゲート酸化膜60は本発明の絶縁膜に、それぞれ相当する。
【0030】
本発明の第2の実施の形態に係る半導体素子によれば、ソース領域に通じるコンタクトホールをゲート電極及びゲート酸化膜を貫通するように形成し、コンタクトホールを介してソース領域を形成するようにしたので、ソース領域をコンタクトホールを介して自己整合的に形成できると共に、請求項1に記載の半導体素子に比して更に素子面積の縮小化が図れる。
【0031】
次に本発明の第3の実施の形態に係る半導体素子の構造を図5に示す。本実施の形態に係る半導体素子が第2の実施の形態に係る半導体素子と構成上、異なるのはソース領域に通じるコンタクトホール側壁に高抵抗導電膜を形成し、ゲート電極とソース領域に通じるコンタクトホール内に形成された配線との間に高抵抗を介在させるようにした点であり、その他の構成は同一であるので、同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【0032】
図5において、P型半導体基板10表面に沿ってN型ドレイン領域44から離間した領域に、ゲート電極46を貫通してP型半導体基板10表面に到達するコンタクトホール48が形成され、かつコンタクトホール48内のP型半導体基板10の表層にN型ソース領域42が形成されている。このコンタクトホール48の側壁には例えば、窒化チタン等の高抵抗導電膜70が形成され、高抵抗導電膜70を介してN型ソース領域42とゲート電極46とを電気的に接続するアルミ配線52が形成されている。
【0033】
更にドレイン領域44上に形成されたドレイン領域44に通じるコンタクトホール50の側壁にも窒化チタン等の高抵抗導電膜70が形成され、コンタクトホール50内にはドレイン領域44に接続されるアルミ配線54が形成されている。このドレイン領域44に通じるコンタクトホール50の側壁に形成されている高抵抗導電膜70はソース領域側のコンタクトホール48の側壁に高抵抗導電膜70を形成する際に製造工程上、同時に形成されるものであり、本発明では構成上、不要であるが、特に不都合は生じないのでコンタクトホール50の側壁にも残存させている。ここでP型半導体基板10は本発明の第1導電型の半導体基板に、N型ソース領域42は本発明の第2導電型ソース領域に、N型ドレイン領域44は本発明の第2導電型ドレイン領域に、ゲート電極46は本発明の制御電極層に、ゲート酸化膜60は本発明の絶縁膜に、それぞれ相当する。
【0034】
本発明の第3の実施の形態に係る半導体素子によれば、ソース領域に通じるコンタクトホール側壁に形成された高抵抗導電膜及び配線を介してゲート電極とソース領域とを電気的に接続するようにしたので、ゲート酸化膜を介してゲート電極からドレイン領域に流れるサージ電流を低減できるため、サージ電流によるゲート酸化膜が絶縁破壊するのを防止でき、静電破壊耐量の向上が図れる。
【0035】
次に本発明の第4の実施の形態に係る半導体素子の構造を図6及び図7に示す。図6は本実施の形態に係る半導体素子の平面図、図7は図6におけるC−C’切断線による断面図である。これらの図において、P型半導体基板10上にゲート酸化膜100が形成されており、このゲート酸化膜100上に形成されたゲート電極86上の離間した位置にゲート電極86を貫通して半導体基板10表面まで到達する2つのコンタクトホール88、90が形成されている。
【0036】
またコンタクトホール88内のP型半導体基板10の表層にN型ソース領域82が、コンタクトホール90内のP型半導体基板10の表層にはN型ドレイン領域84が、それぞれ形成されている。コンタクトホール88内にはN型ソース領域82とゲート電極86とを電気的に接続するアルミ配線92が形成されている。
【0037】
一方、コンタクトホール90の側壁には絶縁膜110が形成されており、コンタクトホール90内にはN型ドレイン領域84に接続されるアルミ配線94が形成されている。ここでP型半導体基板10は本発明の第1導電型の半導体基板に、N型ソース領域82は本発明の第2導電型ソース領域に、N型ドレイン領域84は本発明の第2導電型ドレイン領域に、ゲート電極86は本発明の制御電極層に、ゲート酸化膜100は本発明の絶縁膜に、それぞれ相当する。
【0038】
本発明の第4の実施の形態に係る半導体素子によれば、ゲート電極上の離間した位置にゲート電極を貫通して半導体基板表面まで到達する2つのコンタクトホールを形成し、これら2つのコンタクトホール内の半導体基板の表層にソース領域及びドレイン領域をそれぞれ形成し、かつドレイン領域に通じるコンタクトホールの側壁に絶縁膜を形成するようにしたので、ソース領域及びドレイン領域を自己整合的に形成することができ、2つの各コンタクトホールとソース領域、ドレイン領域との合わせ余裕が不要となり、請求項2に記載の半導体素子より素子面積を縮小化することが可能となる。
【0039】
次に本発明の第5の実施の形態に係る半導体素子の構造を図8及び図9に示す。図8は本実施の形態に係る半導体素子の平面図、図9は図8におけるD−D’切断線による断面図である。これらの図において、P型半導体基板10の表層にはN型ソース領域122及びN型ドレイン領域124が互いに離間して形成されている。
【0040】
またN型ドレイン領域124上及びN型ドレイン領域124とN型ソース領域122間のP型半導体基板10上にゲート酸化膜140が形成され、ゲート酸化膜140及びソース領域上にゲート電極126が形成されており、ゲート電極126はN型ソース領域122と電気的に接続されている。ここでP型半導体基板10は本発明の第1導電型の半導体基板に、N型ソース領域122は本発明の第2導電型ソース領域に、N型ドレイン領域124は本発明の第2導電型ドレイン領域に、ゲート電極126は本発明の制御電極層に、ゲート酸化膜140は本発明の絶縁膜に、それぞれ相当する。
【0041】
本発明の第5の実施の形態に係る半導体素子によれば、ゲート電極自体をゲート電極とソース領域とを直接、電気的に接続する配線として使用するようにしたので、ゲート電極とソース領域とを接続する配線が不要となり、ドレイン領域側の配線のパターンレイアウトの制約をなくすことができる。したがって、多層配線を用いなくても、保護素子をパッドからのアルミ配線直下やパッド直下に配置することができ、ICのチップ面積を縮小することができる。
【0042】
尚、上述した各実施の形態では保護回路に使用するMOSトランジスタとしてNMOSトランジスタを例にして説明したが、ソース領域、ドレイン領域をP型とし、半導体基板をN型とすることによりPMOSトランジスタにも適用することが可能である。
【0043】
また各実施の形態は、一対のソース領域及びドレイン領域を有するMOSトランジスタを例にして説明したが、図11の従来例のようにソース領域、ドレイン領域及びゲート電極を櫛歯状に形成することにより素子面積をより縮小できることは明らかである。
【0044】
更に第3の実施の形態では高抵抗導電膜70をコンタクトホール48の側壁に形成するが、これは一般的なサイドウォール形成技術により形成することができる。この際にドレイン領域のコンタクトホール側壁にも高抵抗導電膜が形成されるが、ドレイン領域のコンタクトホールの側壁は絶縁膜であるため問題はない。
【0045】
第4の実施の形態におけるドレイン領域領域に通じるコンタクトホールの側壁に形成される絶縁膜は、通常の絶縁膜形成技術及びパターニング技術を用いることにより形成することができる。
【0046】
各実施の形態に係る半導体素子におけるソース領域とドレイン領域との間隔は、保護素子のソース領域、ドレイン領域間のパンチスルー耐圧が内部回路より低下しないだけの寸法があればよい。
【0047】
また第2の実施の形態、第3の実施の形態ではソース領域に通じるコンタクトホールをドレイン領域と平行に長方形状に延在させることにより、。寄生バイポーラトランジスタのベース幅を拡げることができ、静電破壊耐量の向上が図れる。同様に第4の実施の形態においてもソース領域及びドレイン領域にそれぞれ、通じるコンタクトホールを対向して延在させることにより静電破壊耐量の向上が図れる。
【0048】
【発明の効果】
以上説明したように請求項1に記載の半導体素子によれば、制御電極層上の離間した位置に制御電極層を貫通して半導体基板表面まで到達する2つのコンタクトホールを形成し、これら2つのコンタクトホール内の半導体基板の表層にソース領域及びドレイン領域をそれぞれ形成し、かつドレイン領域に通じるコンタクトホールの側壁に絶縁膜を形成するようにしたので、ソース領域及びドレイン領域を自己整合的に形成することができ、2つの各コンタクトホールとソース領域、ドレイン領域との合わせ余裕が不要となり、素子面積を縮小化することが可能となる。
【0053】
請求項2に記載の半導体素子によれば、請求項1に記載の半導体素子において、第2導電型ソース電極、前記制御電極層及び前記第1導電型半導体基板を同電位に設定するようにしたので、素子面積の縮小を図った保護素子として機能させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る半導体素子の平面図。
【図2】図1におけるA−A’切断線による断面図。
【図3】本発明の第2の実施の形態に係る半導体素子の平面図。
【図4】図3におけるB−B’切断線による断面図。
【図5】本発明の第3の実施の形態に係る半導体素子の断面図。
【図6】本発明の第4の実施の形態に係る半導体素子の平面図。
【図7】図6におけるC−C’切断線による断面図。
【図8】本発明の第5の実施の形態に係る半導体素子の平面図。
【図9】図8におけるD−D’切断線による断面図。
【図10】MOSトランジスタを使用した入力保護回路の構成の一例を示す回路図。
【図11】保護素子としての複数のMOSトランジスタが形成された集積回路のパターン例を示す説明図。
【符号の説明】
10 P型半導体基板
12 ソース領域
14 ドレイン領域
16 ゲート電極
18 コンタクトホール
20 コンタクトホール
22 アルミ配線
24 アルミ配線
30 ゲート酸化膜
32 絶縁酸化膜
34 素子分離酸化膜
Claims (2)
- 第1導電型の半導体基板上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成された制御電極層と、
前記制御電極層上の離間した位置に前記制御電極層を貫通して前記半導体基板表面まで到達するように形成された第1、第2のコンタクトホールと、
前記第1のコンタクトホール内の前記半導体基板の表層に形成された第2導電型ソース領域と、
前記第2のコンタクトホール内の前記半導体基板の表層に形成された第2導電型ドレイン領域とを有し、
前記第1のコンタクトホール内に形成された配線を介して前記制御電極層と前記ソース領域とが電気的に接続され、かつ第2のコンタクトホール側壁に絶縁膜が形成されており、外部から電気信号が入力される入力パッドと、内部回路と、の間に接続される保護回路の保護素子におけるPMOSトランジスタまたは、NMOSトランジスタである半導体素子。 - 第2導電型ソース電極、前記制御電極層及び前記第1導電型半導体基板は同電位に設定されることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子。
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