JP2006295151A - 露光方法及び露光装置、デバイス製造方法、並びに露光装置の評価方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】液浸法に基づいて基板を露光する際、基板を良好に露光できる露光方法を提供する。
【解決手段】露光方法は、所定条件の下で光路空間K1を液体LQで満たした状態で基板ステージPSTを制御して基板ステージPSTを移動させつつ基板Pの位置情報を計測する第1ステップと、計測結果に基づいて基板ステージPSTの移動制御精度を求める第2ステップと、求めた移動制御精度に基づいて基板Pを露光するときの露光条件を決定する第3ステップと、決定された露光条件に基づいて基板Pを露光する第4ステップとを有する。これにより、液浸法に基づいて基板を露光する際、基板を良好に露光できる。
【選択図】図1
Description
本実施形態に係る露光装置について図1〜図4を参照しながら説明する。図1は露光装置EXを示す概略構成図、図2はマスクステージMSTの平面図、図3は基板ステージPSTの平面図、図4はノズル部材70を下方から見た図である。
以上、基板ステージPSTのXY方向に関する移動制御精度、すなわちマスクステージMSTと基板ステージPSTとをY軸方向に関して同期移動するときの同期誤差を評価し、最適な露光条件を決定する場合を例にして説明したが、光路空間K1に満たされた液体LQによって、基板ステージPSTのZ軸方向に関する移動制御精度が変動(劣化)する可能性もある。以下の説明において、基板ステージPSTのZ軸方向に関する移動制御精度を適宜、「フォーカス制御精度(誤差)」と称する。
また上述の第1及び第2実施形態においては、干渉計システム90の計測結果やフォーカス・レベリング検出系30の検出結果に基づいて同期誤差やフォーカス制御精度を求めているが、上述の各種条件の下で基板Pをテスト露光して、その露光結果に基づいて、同期誤差やフォーカス制御誤差を評価してもよい。
Claims (37)
- 露光光の光路空間を液体で満たした状態で前記露光光に対して基板ステージに保持された基板を移動しつつ前記基板を露光する露光方法であって、
所定条件の下で前記光路空間を液体で満たした状態で前記基板ステージを制御して前記基板ステージを移動させつつ前記基板ステージに保持された基板の位置情報を計測する第1ステップと、
前記計測結果に基づいて前記基板ステージの移動制御精度を求める第2ステップと、
前記求めた移動制御精度に基づいて前記基板を露光するときの露光条件を決定する第3ステップと、
前記決定された露光条件に基づいて前記基板を露光する第4ステップとを有する露光方法。 - 前記第4ステップにおいて、パターンを有するマスクを移動可能なマスクステージと前記基板ステージとを所定の走査方向に関して同期移動しつつ前記基板が露光され、
前記移動制御精度は、前記マスクステージと前記基板ステージとの同期誤差を含む請求項1記載の露光方法。 - 前記走査方向に関して前記マスクステージと前記基板ステージとを移動しつつ前記マスクと前記基板との位置情報を計測し、前記計測結果に基づいて前記同期誤差を求める請求項2記載の露光方法。
- 前記マスク上の所定のスリット領域を前記露光光で照明し、前記同期誤差に基づいて、前記基板上の任意の点が前記スリット領域に入ってから出るまでの間の前記同期誤差の平均値、及び前記同期誤差の平均値のまわりの散らばり度合いの少なくとも一方を求める請求項2又は3記載の露光方法。
- 前記基板ステージは所定の二次元方向に移動可能であって、
前記移動制御精度は、前記二次元方向に関する移動制御精度を含む請求項1〜4のいずれか一項記載の露光方法。 - 前記基板ステージは所定の二次元方向に移動可能であって、
前記移動制御精度は、前記二次元方向に垂直な方向に関する移動制御精度を含む請求項1〜5のいずれか一項記載の露光方法。 - 前記二次元方向に垂直な方向に関する移動制御精度は、前記基板ステージ上の所定面と該所定面を一致させるべき目標面との位置誤差を含む請求項6記載の露光方法。
- 前記所定面は、前記基板ステージに保持された基板の表面、及び前記基板ステージに保持された基板の周囲に配置された部材の表面の少なくとも一方を含む請求項7記載の露光方法。
- 前記第4ステップにおいて、前記露光光は、前記基板と投影光学系との間の光路空間を液体で満たした状態で前記基板上に照射され、
前記目標面は、前記投影光学系と前記液体とを介して形成される像面に基づいて決定される請求項7又は8記載の露光方法。 - 前記光路空間を液体で満たすことによって、前記基板ステージに保持された基板の表面と前記基板ステージに保持された基板の周囲に配置された部材の表面との少なくとも一方に液浸領域が形成される請求項1〜9のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記露光条件は、前記光路空間を液体で満たすための液浸条件を含む請求項1〜10のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記液浸条件は、前記光路空間に液体を供給するときの供給条件、及び液体を回収するときの回収条件の少なくとも一方を含む請求項11記載の露光方法。
- 前記露光条件は、前記基板の移動条件を含む請求項1〜12のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記移動条件は、前記基板の移動速度、加減速度、及び移動方向の少なくとも一つを含む請求項13記載の露光方法。
- 前記移動条件は、前記光路空間と前記基板ステージとの位置関係を含む請求項13又は14記載の露光方法。
- 前記露光条件は、前記液体に接触する物体の条件を含む請求項1〜15のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記物体は、前記基板ステージに保持された基板、及び前記基板ステージに保持された基板の周囲に配置された部材の少なくとも一方を含む請求項16記載の露光方法。
- 前記物体の条件は、前記液体との接触角に関する条件を含む請求項16又は17記載の露光方法。
- 前記物体の条件は、前記物体の表面の膜に関する条件を含む請求項16〜18のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記露光条件は、前記光路空間の外側から前記光路空間に向けて気体を吹き付けるときの吹き付け条件を含む請求項1〜19のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記第1ステップ及び第2ステップは、前記所定条件を変えて複数回行われる請求項1〜20のいずれか一項記載の露光方法。
- 前記所定条件は、前記光路空間を液体で満たすための液浸条件、前記基板の移動条件、前記液体と接触する物体の条件、前記光路空間の外側から前記光路空間に向けて気体を吹き付けるときの吹き付け状態の少なくとも一つを含む請求項1〜21のいずれか一項記載の露光方法。
- 請求項1〜22のいずれか一項記載の露光方法を用いて基板を露光することと、
露光された基板を現像することと、
現像された基板を加工することとを含むデバイス製造方法。 - 露光光の所定の光路空間を液体で満たしつつ前記液体を介して基板を露光する露光装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板ステージにより保持された基板の位置情報を計測する計測装置と、
所定条件の下で前記光路空間を液体で満たした状態で前記露光光に対して前記基板が移動されるときに計測装置により計測された基板の位置情報に基づいて、前記基板ステージの移動制御精度を求め、求められた移動制御精度に基づいて露光条件を決定する制御装置と、を備える露光装置。 - さらに、パターンを有するマスクを移動可能なマスクステージを備え、前記基板の露光時、前記マスクステージと前記基板ステージとは所定の走査方向に同期移動され、前記移動制御精度は、前記マスクステージと前記基板ステージとの同期誤差を含む請求項24記載の露光装置。
- 前記計測装置は、前記走査方向に関する前記マスクステージと前記基板ステージの移動中に前記マスクと前記基板との位置情報を計測し、前記制御装置は、前記計測結果に基づいて前記同期誤差を求める請求項25記載の露光装置。
- 前記制御装置は、前記同期誤差に基づいて、前記露光光が照射される所定のスリット領域に前記基板上の任意の点が入ってから出るまでの間の前記同期誤差の平均値、及び前記同期誤差の平均値のまわりの散らばり度合いの少なくとも一方を求める請求項25又は26記載の露光装置。
- 前記基板ステージは所定の二次元方向に移動可能であり、
前記移動制御精度は、前記二次元方向、及びそれに垂直な方向の少なくとも1つの方向に関する移動制御精度を含む請求項24〜27のいずれか一項記載の露光装置。 - さらに、前記基板が像面側に配置される投影光学系を備え、前記露光光は、少なくとも前記投影光学系と前記基板との間の光路空間が前記液体で満たされた状態で前記基板上に照射される請求項24〜28のいずれか一項記載の露光装置。
- さらに、前記光路空間の外側から前記光路空間に向けて気体を吹き付ける装置を備える請求項24〜29のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光条件は、前記光路空間を液体で満たすための液浸条件、前記基板の移動条件、前記液体に接触する物体の条件、及び前記光路空間の外側から前記光路空間に向けて気体を吹き付けるときの吹き付け条件の少なくとも一つを含む請求項24〜30のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記露光条件は、前記光路空間に液体を供給するときの供給条件、及び液体を回収するときの回収条件の少なくとも一方を含む請求項24〜31のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記所定条件は、前記光路空間を液体で満たすための液浸条件、前記基板の移動条件、前記液体と接触する物体の条件、及び前記光路空間の外側から前記光路空間に向けて気体を吹き付けるときの吹き付け状態の少なくとも一つを含む請求項24〜32のいずれか一項記載の露光装置。
- 請求項24〜33のいずれか一項記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
- 基板を移動可能な基板ステージを有し、露光光の光路空間を液体で満たした状態で前記露光光に対して前記基板を移動しつつ露光する露光装置の制御精度の評価方法であって、
所定条件の下で前記光路空間を液体で満たした状態で前記基板ステージを制御して前記基板ステージを移動させつつ前記基板の位置情報を計測する第1ステップと、
前記計測結果に基づいて前記基板ステージの移動制御精度を評価する第2ステップとを有する評価方法。 - 基板を移動可能な基板ステージを有し、露光光に対して前記基板を移動しつつ液体を介して基板を露光する露光装置の制御精度の評価方法であって、
所定露光条件の下で、前記基板ステージを移動させつつ所定パターンを液体を介して基板にテスト露光するテスト露光ステップと、
基板上にテスト露光された露光パターンを計測する計測ステップと、
露光パターンの計測結果から基板ステージの移動制御精度を評価する評価ステップとを有する評価方法。 - 前記基板と所定パターンを有するマスクとを所定の走査方向に同期移動させながら前記液体を介して基板が露光され、前記所定パターンが、前記走査方向に直交する方向に延在するパターンを含む請求項36に記載の評価方法。
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