JP2006290676A - Iii−v族窒化物半導体基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第一の半導体結晶基板を準備し、この第一の半導体結晶基板を接着によりサセプタ上に固定し、この第一の半導体結晶基板上にIII−V族窒化物系半導体結晶を成長する。
【選択図】 図1
Description
<従来例:ただのテンプレートで3インチ基板作製>
2 下地GaN層(MOVPE)
3 GaN厚膜
4 GaN基板(剥離したGaN厚膜)
5 研磨したGaN自立基板
6 サファイア基板
7 下地GaN層(MOVPE)
8 GaN厚膜
9 GaN基板(剥離したGaN厚膜)
10 研磨したGaN自立基板
11 TiNナノマスク
12 高温用接着剤
17 下地GaN層(MOVPE)
18 GaN厚膜
19 GaN基板(剥離したGaN厚膜)
Claims (19)
- III−V族窒化物系半導体結晶からなる自立したIII−V族窒化物半導体基板であって、
前記基板の面積は45cm2以上であり、
前記基板の厚みは200μm以上であり、
前記基板の表面における平均転位密度の値Aが2×107cm-2以下であり、
前記基板の表面における転位密度の最大値がA×150%以下であることを特徴とするIII−V族窒化物半導体基板。 - 前記基板の表面における基板面内の結晶軸のばらつきが±0.3°以内であることを特徴とする請求項1記載のIII−V族窒化物半導体基板。
- 前記基板の表面における任意の点でのキャリア濃度と基板面内の平均キャリア濃度との差が±20%以内であることを特徴とする請求項1記載のIII−V族窒化物半導体基板。
- 前記基板面内の任意の点での基板の厚みと平均基板厚みとの差が±10μm以内であることを特徴とする請求項1記載のIII−V族窒化物半導体基板。
- 前記III−V族窒化物系半導体結晶のX線回折のロッキングカーブの半値幅が250sec以下であることを特徴とする請求項1記載のIII−V族窒化物半導体基板。
- 前記III−V族窒化物系半導体結晶の組成がInxAlyGa1-x-yN(x≧0、y≧0、x+y≦1)であることを特徴とする請求項1記載のIII−V族窒化物半導体基板。
- 第一の半導体結晶基板を準備し、
サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を接着し、
前記第一の半導体結晶基板上にIII−V族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とするIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。 - 前記第一の半導体結晶基板が、前記III−V族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板であることを特徴とする請求項7記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
- 前記第一の半導体結晶基板を、前記III−V族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板とし、
前記異種基板上に、第一のIII−V族窒化物系半導体結晶を形成し、
当該第一のIII−V族窒化物系半導体結晶をボイド化し、
当該ボイド化した第一のIII−V族窒化物系半導体結晶の上に第二のIII−V族窒化物系半導体結晶を形成し、
前記異種基板および前記第一のIII−V族窒化物系半導体結晶を除去して前記第二のIII−V族窒化物系半導体結晶を前記III−V族窒化物系半導体結晶とすることを特徴とする請求項7記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。 - 前記異種基板がサファイア基板であることを特徴とする請求項8又は9記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
- 前記第一の半導体結晶基板が、前記III−V族窒化物系半導体結晶と組成が同じ種結晶基板であることを特徴とする請求項7に記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
- 前記III−V族窒化物系半導体結晶の組成がInxAlyGa1-x-yN(x≧0、y≧0、x+y≦1)であることを特徴とする請求項7記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
- 第一の半導体結晶基板を準備し、
サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を載せ、
前記第一の半導体結晶基板の前記サセプタと対向する面とは反対側の面から、当該第一の半導体結晶基板の反対側の面の一部が露出するように前記第一の半導体結晶基板を前記サセプタに押さえつけて固定し、
前記第一の半導体結晶基板の露出した前記反対側の面の上にIII−V族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とするIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。 - 第一の半導体結晶基板を準備し、
サセプタ上に前記第一の半導体結晶基板を接着し、
前記第一の半導体結晶基板の前記サセプタと対向する面とは反対側の面から、当該第一の半導体結晶基板の反対側の面の一部が露出するように前記第一の半導体結晶基板を前記サセプタに押さえつけて固定し、
前記第一の半導体結晶基板の露出した前記反対側の面の上にIII−V族窒化物系半導体結晶を成長させることを特徴とするIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。 - 前記第一の半導体結晶基板は、前記III−V族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板であることを特徴とする請求項13又は14記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
- 前記第一の半導体結晶基板を、前記III−V族窒化物系半導体結晶とは組成が異なる異種基板とし、
前記異種基板上に、第一のIII−V族窒化物系半導体結晶を形成し、
当該第一のIII−V族窒化物系半導体結晶をボイド化し、
当該ボイド化した第一のIII−V族窒化物系半導体結晶の上に第二のIII−V族窒化物系半導体結晶を形成し、
前記異種基板および前記第一のIII−V族窒化物系半導体結晶を除去して前記第二のIII−V族窒化物系半導体結晶を前記III−V族窒化物系半導体結晶とすることを特徴とする請求項13又は14記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。 - 前記異種基板がサファイア基板であることを特徴とする請求項15又は16記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
- 前記第一の半導体結晶基板が、前記III−V族窒化物系半導体結晶と組成が同じ種結晶基板であることを特徴とする請求項13又は14記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
- 前記III−V族窒化物系半導体結晶の組成がInxAlyGa1-x-yN(x≧0、y≧0、x+y≦1)であることを特徴とする請求項13〜18のいずれかに記載のIII−V族窒化物半導体基板の製造方法。
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