JP2006148111A - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リソグラフィ装置は、気体支承部などによって少なくとも部分的に支持された浸漬流体リザーバなどの光学要素を含む。基板を囲む周囲構造を設けリソグラフィ装置で基板の縁部を照明可能にする。基板の厚さなどの基板のレベルパラメータは、厚さセンサなどで測定する。アクチュエータで、基板テーブルを周囲構造に対して位置決めし、基板表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルにする。光学要素が基板表面と周囲構造の表面との間で移動できるようにする。
【選択図】図1
Description
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
基板テーブルを囲む周囲構造と、
基板のレベルパラメータを測定するように構成されたセンサと、
少なくとも周囲構造の表面に対して直角の方向で、周囲構造に相対して基板テーブルを動作させるように構成されたアクチュエータと、
アクチュエータを駆動し、基板テーブル上に保持された基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになるような位置へと、レベルパラメータを使用して基板テーブルを周囲構造の表面に相対して移動させる制御装置とを有する基板取り扱いシステムが提供される。
基板テーブルを囲む周囲構造の表面に対して基板テーブルを、基板テーブル上に保持された基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになる位置へと位置決めすることと、
パターン形成した放射線のビームを基板上に投影することとを含む方法が提供される。
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
基板テーブルを囲む周囲構造と、
基板、基板テーブル、周囲構造、またはその任意の組み合わせに隣接して液体を閉じ込めるように構成された流体リザーバと、
基板のレベルパラメータを測定するように構成されたセンサと、
少なくとも周囲構造の表面に対して直角の方向で、周囲構造に相対して基板テーブルを動作させるように構成されたアクチュエータと、
アクチュエータを駆動し、基板テーブル上に保持された基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになるような位置へと、レベルパラメータを使用して基板テーブルを周囲構造の表面に対して移動させる制御装置とを有する光学露光装置が提供される。
放射線ビームを調整するように構成された照明装置と、
パターニングデバイスを保持するように構築された支持体とを有し、パターニングデバイスは、放射線ビームの断面にパターンを与えて、パターン形成した放射線ビームを形成するように構成され、さらに、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
基板テーブルを囲む周囲構造と、
パターン形成した放射線ビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムと、
投影システムと基板の間の空間を液体で少なくとも部分的に充填するように構成された液体供給システムとを有し、液体供給システムは、空間内に少なくとも部分的に液体を閉じ込めるように構成された液体閉じ込め構造を有し、さらに、
基板のレベルパラメータを測定するように構成されたセンサと、
少なくとも周囲構造の表面に対して直角の方向で、周囲構造に対して基板テーブルを動作させるように構成されたアクチュエータと、
アクチュエータを駆動し、基板テーブル上に保持された基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになるような位置へと、レベルパラメータを使用して基板テーブルを周囲構造の表面に相対して移動させる制御装置とを有するリソグラフィ装置が提供される。
− 放射線ビームPB(例えばUV放射線またはDUV放射線)を調整するように構成された照明システム(照明装置)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持し、かつ、特定のパラメータに従って正確にパターニングデバイスの位置決めを行うように構成された第一位置決めデバイスPMに連結を行った支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
− 基板(例えばレジスト塗布したウェハ)Wを支持し、かつ、特定のパラメータに従って正確に基板の位置決めを行うように構成された第二位置決めデバイスPWに連結を行った基板テーブル(例えばウェハテーブル)WTと、
− パターニングデバイスMAによって放射線ビームBに与えられたパターンを基板Wの目標部分C(例えば、1つあるいはそれ以上のダイから成る)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折性投影レンズシステム)PLとを含む。
1.ステップモードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTは、基本的に静止状態に保たれている。そして、放射線ビームに与えたパターン全体が1回で目標部分Cに投影される(すなわち1回の静止露光)。次に基板テーブルWTがX方向および/あるいはY方向にシフトされ、異なる目標部分Cが照射され得る。ステップモードでは、露光フィールドの最大サイズが、1回の静止露光で描像される目標部分Cのサイズを制限する。
2.走査モードにおいては、マスクテーブルMTおよび基板テーブルWTを同期走査する一方、放射線ビームに与えられたパターンを目標部分Cに投影する(つまり1回の動的露光)。マスクテーブルMTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPLの拡大(縮小)および像反転特性によって決定される。走査モードでは、露光フィールドの最大サイズが、1回の動的露光で目標部分の(非走査方向における)幅を制限し、走査動作の長さが目標部分の(走査方向における)高さを決定する。
3.別のモードでは、マスクテーブルMTが基本的に静止状態に維持されて、プログラマブルパターニングデバイスを保持し、放射線ビームに与えられたパターンを目標部分Cに投影する間に、基板テーブルWTが動作するか、走査される。このモードでは、一般的にパルス状放射線ソースを使用して、基板テーブルWTを動作させるごとに、または走査中に連続する放射線パルス間に、プログラマブルパターニングデバイスを必要に応じて更新する。この動作モードは、以上で言及したようなタイプのプログラマブルミラーアレイなどのプログラマブルパターニングデバイスを使用するマスクなしリソグラフィに容易に適用することができる。
Claims (44)
- リソグラフィ装置の基板取り扱いシステムであって、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
基板テーブルを囲む周囲構造と、
基板のレベルパラメータを求めるように構成されたセンサと、
少なくとも周囲構造の表面に対して直角の方向で、周囲構造に対して基板テーブルを移動するように構成したアクチュエータと、
レベルパラメータを使用して、周囲構造の表面に対して基板テーブルを、基板テーブル上に保持された場合に基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになる位置へと移動させるためにアクチュエータを駆動するように構成した制御装置とを有するシステム。 - さらに、光学素子と、基板の表面に対して光学素子を案内するように構成された支承部とを有する、請求項1に記載のシステム。
- 光学素子が浸漬流体リザーバを有し、支承部が、基板に対して浸漬流体リザーバを案内するように構築された流体支承部を有する、請求項2に記載のシステム。
- センサが、基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差を測定するように構成されたレベル差センサを有し、レベルパラメータがレベル差を有する、請求項1に記載のシステム。
- レベル差センサが、リソグラフィ装置の平坦さ測定位置に設けられ、レベル差センサ、基板を保持する基板テーブル、またはその両方が、基板の縁部を走査するように構成される、請求項4に記載のシステム。
- センサが、基板の厚さを測定するように構成された厚さセンサを有し、レベルパラメータが基板の厚さを有する、請求項1に記載のシステム。
- 厚さセンサが、リソグラフィ装置の基板供給部付近に位置決めされ、基板かリソグラフィ装置に供給された場合に基板の厚さを測定するように構成される、請求項6に記載のシステム。
- センサが、基板テーブルで保持された場合に基板の表面のレベルを測定するように構成され、レベルパラメータが基板の表面のレベルを有する、請求項1に記載のシステム。
- アクチュエータが、圧電アクチュエータ、空気圧アクチュエータ、リニアモータ、ローレンツアクチュエータ、カムディスク、およびスピンドルで構成されたグループから選択される、請求項1に記載のシステム。
- センサが、基板上の複数の個別位置で基板のレベルパラメータを求めるように構成される、請求項1に記載のシステム。
- アクチュエータが複数のアクチュエータを有し、複数のアクチュエータがそれぞれ、制御装置によって個々に駆動されるように構成される、請求項10に記載のシステム。
- 複数のアクチュエータがそれぞれ、制御装置によって駆動されて、周囲構造の表面に対して基板テーブルを、複数の個別位置で基板テーブルで保持されている基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになる位置へと移動させる、請求項11に記載のシステム。
- 基板テーブルで保持された基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差が40マイクロメートル未満である、請求項1に記載のシステム。
- 基板テーブルで保持された基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差が10マイクロメートル未満である、請求項1に記載のシステム。
- 周囲構造の表面が20マイクロメートル以内で平坦である、請求項1に記載のシステム。
- 周囲構造の表面が10マイクロメートル以内で平坦である、請求項1に記載のシステム。
- デバイス製造方法であって、
基板テーブルを囲む周囲構造の表面に対して基板テーブルを、基板テーブル上に保持された基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルにある位置に位置決めすることと、
パターン形成した放射線ビームを基板に投影することとを含む方法。 - さらに、基板に対して光学素子を案内することを含み、光学素子を使用してパターン形成したビームを投影する、請求項17に記載の方法。
- 光学素子が浸漬流体リザーバを有する、請求項18に記載の方法。
- さらに、基板のレベルパラメータを求めることと、基板テーブルの位置決めにレベルパラメータを使用することとを含む、請求項17に記載の方法。
- レベルパラメータが、基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差を有する、請求項20に記載の方法。
- レベルパラメータが基板の厚さを有する、請求項20に記載の方法。
- レベルパラメータが、基板テーブルで保持された場合の基板表面のレベルを有する、請求項20に記載の方法。
- 周囲構造の表面に対する基板テーブルを、複数の個別位置で基板テーブルで保持されている基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルである位置に位置決めすることを含む、請求項17に記載の方法。
- 基板テーブルを囲む周囲構造の表面に対する基板テーブルを、基板テーブル上で保持された基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルである位置に位置決めすることを含む方法を装置に実行させるように構成されたプログラム命令を有するコンピュータプログラム。
- さらに、装置に、センサから基板のパラメータを取得させ、周囲構造の表面に対して基板テーブルを位置決めするようにアクチュエータに命令させるように構成されたプログラム命令を有する、請求項25に記載のコンピュータプログラム。
- 光学露光装置であって、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
基板テーブルを囲む周囲構造と、
基板、基板テーブル、周囲構造、またはその任意の組み合わせの隣で液体を閉じ込めるように構成される流体リザーバと、
基板のレベルパラメータを求めるように構成されたセンサと、
少なくとも周囲構造の表面に対して直角な方向で、周囲構造に対して基板テーブルを移動するように構成されたアクチュエータと、
レベルパラメータを使用して、周囲構造の表面に対して基板テーブルを、基板テーブル上に保持された場合に基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになる位置へと移動させるためにアクチュエータを駆動するように構成した制御装置とを有する装置。 - センサが、基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差を測定するように構成されたセンサを有し、レベルパラメータがレベル差を有する、請求項27に記載の装置。
- レベル差センサが、リソグラフィ装置の平坦さ測定位置に設けられ、レベル差センサ、基板を保持する基板テーブル、またはその両方が、基板の縁部を走査するように構成される、請求項28に記載の装置。
- センサが、基板の厚さを測定するように構成された厚さセンサを有し、レベルパラメータが基板の厚さを有する、請求項27に記載の装置。
- 厚さセンサが、リソグラフィ装置の基板供給部付近に位置決めされ、装置に供給された場合に基板の厚さを測定するように構成される、請求項30に記載の装置。
- センサが、基板テーブルで保持された場合に基板の表面のレベルを測定するように構成され、レベルパラメータが基板の表面のレベルを有する、請求項27に記載の装置。
- センサが、基板上の複数の個別位置で基板のレベルパラメータを求めるように構成される、請求項27に記載の装置。
- アクチュエータが複数のアクチュエータを有し、複数のアクチュエータがそれぞれ、制御装置によって個々に駆動されるように構成される、請求項33に記載の装置。
- 複数のアクチュエータがそれぞれ、制御装置によって駆動されて、周囲構造の表面に対して基板テーブルを、複数の個別位置で基板テーブルで保持されている基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになる位置へと移動させる、請求項34に記載の装置。
- 基板テーブルで保持された基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差が40マイクロメートル未満である、請求項27に記載の装置。
- リソグラフィ装置であって、
放射線ビームを調整するように構成された照明装置と、
パターニングデバイスを保持するように構成された支持体とを有し、パターニングデバイスが、放射線ビームの断面にパターンを与えて、パターン形成した放射線ビームを形成するように構成され、さらに、
基板を保持するように構築された基板テーブルと、
基板テーブルを囲む周囲構造と、
パターン形成した放射線ビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムと、
投影システムと基板の間の空間を液体で少なくとも部分的に充填するように構成された液体供給システムとを有し、液体供給システムが、少なくとも部分的に液体を空間内に閉じ込めるように構成された液体閉じ込め構造を有し、さらに、
基板のレベルパラメータを求めるように構成されたセンサと、
少なくとも周囲構造の表面に対して直角の方向で、周囲構造に対して基板テーブルを移動するように構成されたアクチュエータと、
レベルパラメータを使用して、周囲構造の表面に対して基板テーブルを、基板テーブル上に保持された場合に基板の表面が周囲構造の表面とほぼ同一レベルになる位置へと移動させるためにアクチュエータを駆動するように構成した制御装置とを有する装置。 - さらに、基板の表面に対して液体閉じ込め構造を案内するように構成された支承部を有する、請求項37に記載の装置。
- センサが、基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差を測定するように構成されたレベル差センサを有し、レベルパラメータがレベル差を有する、請求項37に記載の装置。
- センサが、基板の厚さを測定するように構成された厚さセンサを有し、レベルパラメータが基板の厚さを有する、請求項37に記載の装置。
- センサが、基板テーブルで保持された場合に基板の表面のレベルを測定するように構成されたレベル測定センサを有し、レベルパラメータが基板の表面のレベルを有する、請求項37に記載の装置。
- センサが、基板上の複数の個別位置で基板のレベルパラメータを求めるように構成される、請求項37に記載の装置。
- アクチュエータが複数のアクチュエータを有し、複数のアクチュエータがそれぞれ、制御装置によって個々に駆動されるように構成される、請求項42に記載の装置。
- 基板テーブルで保持された基板の表面と周囲構造の表面とのレベル差が40マイクロメートル未満である、請求項37に記載の装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/990,323 US7411657B2 (en) | 2004-11-17 | 2004-11-17 | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009287219A Division JP2010080980A (ja) | 2004-11-17 | 2009-12-18 | 光学露光装置及び基板取り扱いシステム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006148111A true JP2006148111A (ja) | 2006-06-08 |
Family
ID=36385912
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005331476A Pending JP2006148111A (ja) | 2004-11-17 | 2005-11-16 | リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 |
JP2009287219A Pending JP2010080980A (ja) | 2004-11-17 | 2009-12-18 | 光学露光装置及び基板取り扱いシステム |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009287219A Pending JP2010080980A (ja) | 2004-11-17 | 2009-12-18 | 光学露光装置及び基板取り扱いシステム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US7411657B2 (ja) |
JP (2) | JP2006148111A (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100568101C (zh) | 2002-11-12 | 2009-12-09 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和器件制造方法 |
US7110081B2 (en) | 2002-11-12 | 2006-09-19 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG121818A1 (en) * | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US9482966B2 (en) | 2002-11-12 | 2016-11-01 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US10503084B2 (en) | 2002-11-12 | 2019-12-10 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG121822A1 (en) | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7213963B2 (en) * | 2003-06-09 | 2007-05-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7411657B2 (en) * | 2004-11-17 | 2008-08-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP5597535B2 (ja) * | 2007-07-10 | 2014-10-01 | エルジー エレクトロニクス インコーポレイティド | マスクレス露光方法及びマスクレス露光装置 |
NL2009874A (en) * | 2011-12-23 | 2013-06-26 | Asml Netherlands Bv | Support, lithographic apparatus and device manufacturing method. |
CN104350426A (zh) * | 2012-04-27 | 2015-02-11 | Asml荷兰有限公司 | 光刻设备 |
CN109927283A (zh) * | 2017-12-15 | 2019-06-25 | 三纬国际立体列印科技股份有限公司 | 立体打印方法 |
JP7204457B2 (ja) * | 2018-12-06 | 2023-01-16 | キヤノン株式会社 | インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 |
US11378889B2 (en) * | 2020-10-29 | 2022-07-05 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Immersion lithography system and method of using |
Family Cites Families (133)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE242880C (ja) | ||||
DE221563C (ja) | ||||
DE206607C (ja) | ||||
DE224448C (ja) | ||||
GB1242527A (en) | 1967-10-20 | 1971-08-11 | Kodak Ltd | Optical instruments |
US3573975A (en) | 1968-07-10 | 1971-04-06 | Ibm | Photochemical fabrication process |
DE2963537D1 (en) | 1979-07-27 | 1982-10-07 | Tabarelli Werner W | Optical lithographic method and apparatus for copying a pattern onto a semiconductor wafer |
FR2474708B1 (fr) | 1980-01-24 | 1987-02-20 | Dme | Procede de microphotolithographie a haute resolution de traits |
JPS5754317A (en) | 1980-09-19 | 1982-03-31 | Hitachi Ltd | Method and device for forming pattern |
US4509852A (en) | 1980-10-06 | 1985-04-09 | Werner Tabarelli | Apparatus for the photolithographic manufacture of integrated circuit elements |
US4346164A (en) | 1980-10-06 | 1982-08-24 | Werner Tabarelli | Photolithographic method for the manufacture of integrated circuits |
US4390273A (en) | 1981-02-17 | 1983-06-28 | Censor Patent-Und Versuchsanstalt | Projection mask as well as a method and apparatus for the embedding thereof and projection printing system |
JPS57153433A (en) | 1981-03-18 | 1982-09-22 | Hitachi Ltd | Manufacturing device for semiconductor |
JPS58202448A (ja) | 1982-05-21 | 1983-11-25 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
DD206607A1 (de) | 1982-06-16 | 1984-02-01 | Mikroelektronik Zt Forsch Tech | Verfahren und vorrichtung zur beseitigung von interferenzeffekten |
DD242880A1 (de) | 1983-01-31 | 1987-02-11 | Kuch Karl Heinz | Einrichtung zur fotolithografischen strukturuebertragung |
DD221563A1 (de) | 1983-09-14 | 1985-04-24 | Mikroelektronik Zt Forsch Tech | Immersionsobjektiv fuer die schrittweise projektionsabbildung einer maskenstruktur |
DD224448A1 (de) | 1984-03-01 | 1985-07-03 | Zeiss Jena Veb Carl | Einrichtung zur fotolithografischen strukturuebertragung |
JPS6265326A (ja) | 1985-09-18 | 1987-03-24 | Hitachi Ltd | 露光装置 |
JPS62121417A (ja) | 1985-11-22 | 1987-06-02 | Hitachi Ltd | 液浸対物レンズ装置 |
JPH0658410B2 (ja) * | 1986-05-23 | 1994-08-03 | 株式会社ニコン | ステ−ジ装置 |
JPS63157419A (ja) | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Toshiba Corp | 微細パタ−ン転写装置 |
US4902900A (en) * | 1987-12-21 | 1990-02-20 | Nikon Corporation | Device for detecting the levelling of the surface of an object |
US5040020A (en) | 1988-03-31 | 1991-08-13 | Cornell Research Foundation, Inc. | Self-aligned, high resolution resonant dielectric lithography |
JPH0228312A (ja) * | 1988-07-18 | 1990-01-30 | Nikon Corp | 露光装置 |
JP2679186B2 (ja) * | 1988-12-05 | 1997-11-19 | 株式会社ニコン | 露光装置 |
JPH03209479A (ja) | 1989-09-06 | 1991-09-12 | Sanee Giken Kk | 露光方法 |
US5121256A (en) | 1991-03-14 | 1992-06-09 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Lithography system employing a solid immersion lens |
JPH04305915A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
JPH04305917A (ja) | 1991-04-02 | 1992-10-28 | Nikon Corp | 密着型露光装置 |
JPH06124873A (ja) | 1992-10-09 | 1994-05-06 | Canon Inc | 液浸式投影露光装置 |
JP2753930B2 (ja) * | 1992-11-27 | 1998-05-20 | キヤノン株式会社 | 液浸式投影露光装置 |
JP2520833B2 (ja) | 1992-12-21 | 1996-07-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 浸漬式の液処理装置 |
US5654553A (en) * | 1993-06-10 | 1997-08-05 | Nikon Corporation | Projection exposure apparatus having an alignment sensor for aligning a mask image with a substrate |
JPH07220990A (ja) | 1994-01-28 | 1995-08-18 | Hitachi Ltd | パターン形成方法及びその露光装置 |
JPH07239552A (ja) | 1994-03-01 | 1995-09-12 | Adtec Eng:Kk | オフコンタクト露光装置 |
JP3143770B2 (ja) * | 1994-10-07 | 2001-03-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置 |
JP3387075B2 (ja) * | 1994-12-12 | 2003-03-17 | 株式会社ニコン | 走査露光方法、露光装置、及び走査型露光装置 |
WO1998009278A1 (en) | 1996-08-26 | 1998-03-05 | Digital Papyrus Technologies | Method and apparatus for coupling an optical lens to a disk through a coupling medium having a relatively high index of refraction |
US5825043A (en) | 1996-10-07 | 1998-10-20 | Nikon Precision Inc. | Focusing and tilting adjustment system for lithography aligner, manufacturing apparatus or inspection apparatus |
AU4823797A (en) * | 1996-10-15 | 1998-05-22 | Megapanel Corporation | Method and apparatus for transfer of a reticle pattern onto a substrate by scanning |
JP3612920B2 (ja) | 1997-02-14 | 2005-01-26 | ソニー株式会社 | 光学記録媒体の原盤作製用露光装置 |
JPH10255319A (ja) | 1997-03-12 | 1998-09-25 | Hitachi Maxell Ltd | 原盤露光装置及び方法 |
JP3747566B2 (ja) | 1997-04-23 | 2006-02-22 | 株式会社ニコン | 液浸型露光装置 |
JP2891238B2 (ja) | 1997-05-28 | 1999-05-17 | 株式会社日立製作所 | 拡大投影露光方法及びその装置 |
JP3817836B2 (ja) | 1997-06-10 | 2006-09-06 | 株式会社ニコン | 露光装置及びその製造方法並びに露光方法及びデバイス製造方法 |
US5900354A (en) | 1997-07-03 | 1999-05-04 | Batchelder; John Samuel | Method for optical inspection and lithography |
EP1028456A4 (en) * | 1997-09-19 | 2003-03-05 | Nikon Corp | PLATINUM, SCANNING ALIGNMENT DEVICE, AND SCANNING EXPOSURE METHOD, AND DEVICE MANUFACTURED THEREBY |
SE9704193D0 (sv) * | 1997-11-14 | 1997-11-14 | Micronic Laser Systems Ab | Device and method for flat holding of a substrate in microlithography |
JPH11219900A (ja) | 1997-11-14 | 1999-08-10 | Nikon Corp | 露光装置及び露光方法 |
JPH11176727A (ja) | 1997-12-11 | 1999-07-02 | Nikon Corp | 投影露光装置 |
WO1999031717A1 (fr) | 1997-12-12 | 1999-06-24 | Nikon Corporation | Procede d'exposition par projection et graveur a projection |
JPH11274031A (ja) * | 1998-03-20 | 1999-10-08 | Canon Inc | 露光装置およびデバイス製造方法ならびに位置決め装置 |
AU2747999A (en) | 1998-03-26 | 1999-10-18 | Nikon Corporation | Projection exposure method and system |
JP2000058436A (ja) | 1998-08-11 | 2000-02-25 | Nikon Corp | 投影露光装置及び露光方法 |
JP2000250226A (ja) | 1999-02-26 | 2000-09-14 | Nikon Corp | 露光装置 |
US7116401B2 (en) * | 1999-03-08 | 2006-10-03 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic projection apparatus using catoptrics in an optical sensor system, optical arrangement, method of measuring, and device manufacturing method |
TWI242111B (en) | 1999-04-19 | 2005-10-21 | Asml Netherlands Bv | Gas bearings for use in vacuum chambers and their application in lithographic projection apparatus |
JP4504479B2 (ja) | 1999-09-21 | 2010-07-14 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡用液浸対物レンズ |
JP2001297973A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-26 | Canon Inc | 位置決め装置 |
JP3720680B2 (ja) * | 2000-06-16 | 2005-11-30 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法 |
TW591653B (en) | 2000-08-08 | 2004-06-11 | Koninkl Philips Electronics Nv | Method of manufacturing an optically scannable information carrier |
EP1261016A4 (en) * | 2000-12-12 | 2007-06-27 | Ebara Corp | ELECTRON BEAM DEVICE AND METHOD FOR PRODUCING SEMICONDUCTOR DEVICES USING THE ELECTRON BEAM DEVICE |
WO2002091078A1 (en) | 2001-05-07 | 2002-11-14 | Massachusetts Institute Of Technology | Methods and apparatus employing an index matching medium |
JP2003031474A (ja) * | 2001-07-16 | 2003-01-31 | Oki Electric Ind Co Ltd | 露光装置および露光方法 |
US6600547B2 (en) | 2001-09-24 | 2003-07-29 | Nikon Corporation | Sliding seal |
EP1446703A2 (en) | 2001-11-07 | 2004-08-18 | Applied Materials, Inc. | Optical spot grid array printer |
US6809793B1 (en) * | 2002-01-16 | 2004-10-26 | Advanced Micro Devices, Inc. | System and method to monitor reticle heating |
JP4352458B2 (ja) * | 2002-03-01 | 2009-10-28 | 株式会社ニコン | 投影光学系の調整方法、予測方法、評価方法、調整方法、露光方法及び露光装置、露光装置の製造方法、プログラム並びにデバイス製造方法 |
DE10229818A1 (de) | 2002-06-28 | 2004-01-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Fokusdetektion und Abbildungssystem mit Fokusdetektionssystem |
TWI277836B (en) * | 2002-10-17 | 2007-04-01 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Method and apparatus for forming pattern on thin-substrate or the like |
US6788477B2 (en) | 2002-10-22 | 2004-09-07 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus for method for immersion lithography |
DE60335595D1 (de) | 2002-11-12 | 2011-02-17 | Asml Netherlands Bv | Lithographischer Apparat mit Immersion und Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung |
EP1420300B1 (en) | 2002-11-12 | 2015-07-29 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG121822A1 (en) * | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
CN101349876B (zh) | 2002-11-12 | 2010-12-01 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和器件制造方法 |
CN100568101C (zh) | 2002-11-12 | 2009-12-09 | Asml荷兰有限公司 | 光刻装置和器件制造方法 |
SG121818A1 (en) | 2002-11-12 | 2006-05-26 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
SG131766A1 (en) | 2002-11-18 | 2007-05-28 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP4179283B2 (ja) | 2002-12-10 | 2008-11-12 | 株式会社ニコン | 光学素子及びその光学素子を用いた投影露光装置 |
WO2004053954A1 (ja) | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Nikon Corporation | 露光装置及びデバイス製造方法 |
AU2003289272A1 (en) | 2002-12-10 | 2004-06-30 | Nikon Corporation | Surface position detection apparatus, exposure method, and device porducing method |
US7242455B2 (en) | 2002-12-10 | 2007-07-10 | Nikon Corporation | Exposure apparatus and method for producing device |
EP1571694A4 (en) | 2002-12-10 | 2008-10-15 | Nikon Corp | EXPOSURE APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THE DEVICE |
JP4352874B2 (ja) | 2002-12-10 | 2009-10-28 | 株式会社ニコン | 露光装置及びデバイス製造方法 |
CN101424883B (zh) | 2002-12-10 | 2013-05-15 | 株式会社尼康 | 曝光设备和器件制造法 |
SG152063A1 (en) | 2002-12-10 | 2009-05-29 | Nikon Corp | Exposure apparatus and method for producing device |
KR101101737B1 (ko) | 2002-12-10 | 2012-01-05 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 노광방법, 디바이스 제조방법 |
KR20120127755A (ko) | 2002-12-10 | 2012-11-23 | 가부시키가이샤 니콘 | 노광장치 및 디바이스 제조방법 |
WO2004053951A1 (ja) | 2002-12-10 | 2004-06-24 | Nikon Corporation | 露光方法及び露光装置並びにデバイス製造方法 |
DE10257766A1 (de) | 2002-12-10 | 2004-07-15 | Carl Zeiss Smt Ag | Verfahren zur Einstellung einer gewünschten optischen Eigenschaft eines Projektionsobjektivs sowie mikrolithografische Projektionsbelichtungsanlage |
JP4232449B2 (ja) | 2002-12-10 | 2009-03-04 | 株式会社ニコン | 露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 |
CN100370533C (zh) | 2002-12-13 | 2008-02-20 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 用于照射层的方法和用于将辐射导向层的装置 |
JP4364806B2 (ja) | 2002-12-19 | 2009-11-18 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 層上にスポットを照射する方法及び装置 |
CN1316482C (zh) | 2002-12-19 | 2007-05-16 | 皇家飞利浦电子股份有限公司 | 照射层上斑点的方法和装置 |
EP1447752A3 (en) * | 2003-02-17 | 2006-02-22 | STMicroelectronics Pvt. Ltd | Method and system for multi-processor FFT/IFFT with minimum inter-processor data communication |
EP1596425A4 (en) * | 2003-02-19 | 2007-08-01 | Nikon Corp | Transfer method, exposure method and exposure device, and construction element manufacturing method |
JP2004260117A (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-16 | Nikon Corp | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
KR20110104084A (ko) | 2003-04-09 | 2011-09-21 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 유체 제어 시스템 |
JP4656057B2 (ja) | 2003-04-10 | 2011-03-23 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィ装置用電気浸透素子 |
JP4488005B2 (ja) | 2003-04-10 | 2010-06-23 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィ装置用の液体を捕集するための流出通路 |
KR101364889B1 (ko) | 2003-04-10 | 2014-02-19 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 장치용 진공 배출을 포함하는 환경 시스템 |
EP1611486B1 (en) | 2003-04-10 | 2016-03-16 | Nikon Corporation | Environmental system including a transport region for an immersion lithography apparatus |
JP4582089B2 (ja) | 2003-04-11 | 2010-11-17 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィ用の液体噴射回収システム |
SG10201803122UA (en) | 2003-04-11 | 2018-06-28 | Nikon Corp | Immersion lithography apparatus and device manufacturing method |
KR101861493B1 (ko) | 2003-04-11 | 2018-05-28 | 가부시키가이샤 니콘 | 액침 리소그래피 머신에서 웨이퍼 교환동안 투영 렌즈 아래의 갭에서 액침 액체를 유지하는 장치 및 방법 |
WO2004095135A2 (en) | 2003-04-17 | 2004-11-04 | Nikon Corporation | Optical arrangement of autofocus elements for use with immersion lithography |
JP4025683B2 (ja) * | 2003-05-09 | 2007-12-26 | 松下電器産業株式会社 | パターン形成方法及び露光装置 |
TWI295414B (en) | 2003-05-13 | 2008-04-01 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7274472B2 (en) | 2003-05-28 | 2007-09-25 | Timbre Technologies, Inc. | Resolution enhanced optical metrology |
EP2261741A3 (en) | 2003-06-11 | 2011-05-25 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP2005019616A (ja) | 2003-06-25 | 2005-01-20 | Canon Inc | 液浸式露光装置 |
JP4343597B2 (ja) | 2003-06-25 | 2009-10-14 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
EP1498778A1 (en) | 2003-06-27 | 2005-01-19 | ASML Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
JP3862678B2 (ja) | 2003-06-27 | 2006-12-27 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
WO2005010611A2 (en) | 2003-07-08 | 2005-02-03 | Nikon Corporation | Wafer table for immersion lithography |
US7738074B2 (en) | 2003-07-16 | 2010-06-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
US7070915B2 (en) | 2003-08-29 | 2006-07-04 | Tokyo Electron Limited | Method and system for drying a substrate |
US6954256B2 (en) | 2003-08-29 | 2005-10-11 | Asml Netherlands B.V. | Gradient immersion lithography |
JP4288426B2 (ja) | 2003-09-03 | 2009-07-01 | 株式会社ニコン | 液浸リソグラフィのための流体の供給装置及び方法 |
JP4378136B2 (ja) | 2003-09-04 | 2009-12-02 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP3870182B2 (ja) | 2003-09-09 | 2007-01-17 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2005159322A (ja) | 2003-10-31 | 2005-06-16 | Nikon Corp | 定盤、ステージ装置及び露光装置並びに露光方法 |
JP2005175016A (ja) | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Canon Inc | 基板保持装置およびそれを用いた露光装置ならびにデバイス製造方法 |
JP2005175034A (ja) | 2003-12-09 | 2005-06-30 | Canon Inc | 露光装置 |
US7589818B2 (en) | 2003-12-23 | 2009-09-15 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus, alignment apparatus, device manufacturing method, and a method of converting an apparatus |
JP2005191393A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Canon Inc | 露光方法及び装置 |
JP2005191381A (ja) | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Canon Inc | 露光方法及び装置 |
JP4429023B2 (ja) | 2004-01-07 | 2010-03-10 | キヤノン株式会社 | 露光装置及びデバイス製造方法 |
JP4018647B2 (ja) | 2004-02-09 | 2007-12-05 | キヤノン株式会社 | 投影露光装置およびデバイス製造方法 |
JP4510494B2 (ja) | 2004-03-29 | 2010-07-21 | キヤノン株式会社 | 露光装置 |
JP2005286068A (ja) | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Canon Inc | 露光装置及び方法 |
US7411657B2 (en) * | 2004-11-17 | 2008-08-12 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
-
2004
- 2004-11-17 US US10/990,323 patent/US7411657B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-11-16 JP JP2005331476A patent/JP2006148111A/ja active Pending
-
2008
- 2008-07-03 US US12/216,441 patent/US7978306B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-12-18 JP JP2009287219A patent/JP2010080980A/ja active Pending
-
2011
- 2011-06-14 US US13/160,042 patent/US9188882B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-11-16 US US14/942,679 patent/US9581916B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9188882B2 (en) | 2015-11-17 |
US20110241259A1 (en) | 2011-10-06 |
US7978306B2 (en) | 2011-07-12 |
US20080278697A1 (en) | 2008-11-13 |
US9581916B2 (en) | 2017-02-28 |
US20060103831A1 (en) | 2006-05-18 |
US20160139514A1 (en) | 2016-05-19 |
US7411657B2 (en) | 2008-08-12 |
JP2010080980A (ja) | 2010-04-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20060919 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20061130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090116 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090417 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090818 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091218 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100104 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20100226 |