JP2006049817A - プラズマ処理方法およびプラズマエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
地球環境保全およびプラズマプロセスの高性能化を実現するため、非温室効果ガスを用いたプラズマ処理方法を開発し、デバイスへの損傷を抑制することができる高精度のプラズマエッチング方法を提供すること。
【解決手段】
本発明に係るプラズマ処理方法は、プラズマ生成室にフッ素ガス(F2)を含む処理ガ
スを供給し、高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、該プラズマを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とする。また、前記プラズマから負イオンまたは正イオンを、個別にまたは交互に、あるいは、負イオンのみを選択的に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行ってもよい。
【選択図】 図1
Description
、六フッ化硫黄ガス(SF6)など)が大量に用いられている。しかし、フルオロカーボ
ン系や無機フッ化物系のガスは、地球温暖化係数(GWP)が高い温室効果ガスであり、二酸化炭素と並んで地球温暖化を引き起こす大きな要因となっている。それゆえ、温室効果ガスの環境への放出量を削減するために、フルオロカーボン系や無機フッ化物系の代替ガスを利用した新しいプロセスの開発が急務となっている。
ため、プラズマプロセスに起因する損傷がより顕著になると考えられている。そのため、high−kやlow−k膜の実用化検討を推進する上でも、新しいプラズマプロセスの開発が急務となっている。
ンの中性化は、ガス原子・分子に付着した電子の離脱によって進行するため、電荷交換による正イオンの中性化と比較して、低エネルギーで高効率な中性粒子ビームを生成することができる。
が用いられているため、電極を素子や下部電極とコンタクトするコンタクトホールの形成が必要不可欠である。このようなコンタクトホールの形成には、下地のSiに対して高い選択性を得ることが重要であることから、従来からフルオロカーボンガスが用いられている。
の堆積とエッチング反応とが、SiO2表面およびSi表面の双方の上で競合するように
なる。しかし、SiO2層の中にはO(酸素)が存在するため、SiO2エッチング中に酸素が解離し、堆積重合物と結合して揮発性の生成物であるCO、CO2またはCOF2分子を形成し、SiO2上では堆積物の重合が抑制される。一方、酸素のないSi上には重合
膜堆積抑制効果がないため、重合物の堆積が生じることとなる。この堆積重合物がSi表面を保護(マスク)する効果により、下地シリコンに対してエッチング選択性を得ることが可能となっている。
内部に侵入しにくく、吸着層は1原子層程度である。このため、ClラジカルやBrラジカルに比べて、FラジカルはSiとの反応性が大きい。結果として、従来のプラズマプロセスを利用してSiのエッチングを行った場合、F系ガスを用いるとエッチング速度は大きいが、異方性エッチングを達成することができないという問題があった。
または加工形状の異常を回避することができると考えられる。
(1)高速のエッチングレートが達成されること。
(2)エッチングプロファイルの垂直性が得られること。
(3)エッチング壁面の平滑さが優れていること。
成するFラジカルによるSiの等方性エッチングを引き起こす。次に、成膜工程時間中に、C4F8ガスなどのフルオロカーボン系のガスプラズマによってフルオロカーボン状のポリマー膜を形成する。その際、ポリマー膜は全ての表面上(トレンチの底部および側壁部)に堆積する。再び繰り返されるエッチング工程では、前段階で成膜されたポリマー膜のうちトレンチの底部にある部分のみ、イオンの突入を受けて選択的に取り除かれる。一方、エッチング工程時間中でも、トレンチの側壁部に堆積したポリマー膜は、イオンの突入を受けないため、エッチングから保護されて残留する。エッチング工程において、トレンチの底部にのみイオンの突入が起こるのは、基板の下部に設置された電極に高周波電界等を印加することによって、プラズマ中のイオン(荷電粒子)が基板に向かって垂直方向に加速されるためである。このような2段階の工程(等方性エッチング工程と側壁保護用成膜工程)から成るプロセスを数秒〜数10秒毎に繰り返すことによって、ある程度の高速のエッチングレートとエッチングプロファイルの垂直性とが実現されている。
しまう。
地球温暖化係数が高いという問題がある。したがって、これらの温室効果ガスを使用することなく、高性能な微細加工を実現可能な新規プロセスの開発が強く求められている。例えば、非温室効果ガスを用いてプラズマを生成し、プラズマ中のイオンや中性粒子ビームのエネルギーおよび密度を高精度に制御して基板に照射することができれば、(1)高速のエッチングレートが達成されること、(2)エッチングプロファイルの垂直性が得られること、および、(3)エッチング壁面の平滑さが優れていること、という加工技術に求められる3点の要求事項を同時に満足することが可能になる。
すなわち本発明は、以下の事項に関する。
高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、
該プラズマを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。
高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、
該プラズマから負イオンまたは正イオンを、個別にあるいは交互に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、
該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。
高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、
該プラズマから負イオンのみを選択的に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、
該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。
記(1)〜(3)のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
(5) 前記処理ガスがフッ素ガス(F2)と塩素ガス(Cl2)との混合ガスであることを特徴とする前記(1)〜(3)のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
生じるフッ素ガス(F2)であることを特徴とする前記(1)〜(5)のいずれかに記載
のプラズマ処理方法。
(8) 前記プラズマを生成する際の高周波電界の印加の停止時間が、20〜100μ秒であることを特徴とする前記(1)〜(7)のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
(10) (1)〜(8)のいずれかに記載のプラズマ処理方法を利用することを特徴とする基板のプラズマエッチング方法。
(12) 前記シリコン化合物が、酸化珪素、窒化珪素または珪酸塩であることを特徴とする(11)に記載のプラズマエッチング方法。
(14) (1)〜(12)のいずれかに記載の方法により製作したマイクロマシン(MEMS:Micro Electric Mechanical System)デバイス。
本発明に係るプラズマ処理方法およびプラズマエッチング方法を実施可能なパルス変調プラズマ生成装置の一例を図1に示す。図1のパルス変調プラズマ生成装置の構成について、以下に説明する。
意に設定することができる。
電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、該プラズマを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法である。本発明者らは、上記本発明の方法により、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマを生成することに
初めて成功した。
調プラズマ中の負イオン(F-)の生成量は、従来から検討されていた六フッ化硫黄ガス
(SF6)を処理ガスとして用いた場合と比較しても格段に多い。
密度が、六フッ化硫黄ガス(SF6)の連続プラズマ中の電子密度に比べて極めて大きい
ことを確認した。プラズマの電子密度が大きいことは、処理ガスのイオン化効率が高いことを示しており、そのようなフッ素ガス(F2)の特性が、パルス変調プラズマ中に多量
の負イオン(F-)を生成する原因であると考えられる。すなわち、パルス変調プラズマ
における高周波電界のON時間中に生成した高密度の電子が、続く高周波電解のOFF時間中にフッ素ガス(F2)に解離性付着することによって多量の負イオン(F-)を生成するというスキームが推定される。
向性を持たないラジカル(F)の生成量は、従来から検討されていた六フッ化硫黄ガス(SF6)を処理ガスとして用いた場合と比較して格段に少ない。
に生成した負イオン(F-)を外部からの電界により基板に向かって加速して方向性を持
たせることができ、かつ、方向性を持たないラジカル(F)の生成量が少ないため、所望の異方性エッチングを実現することができる。
従来まで、プラズマ処理技術およびプラズマエッチング処理技術としての実用化検討は、ほとんど行われていなかった。その理由としては、第一に、フッ素ガス(F2)の反応性
、腐食性および毒性が極めて高いために、その取扱いが困難であったこと、第二に、フッ素ガス(F2)によるプラズマを従来の方法で生成した場合、重要なエッチング特性であ
る異方性エッチングを実現できないことが従来からよく知られていたことが挙げられる。
しているが、近年の優れた耐食材料の新規開発ならびにガス供給設備の信頼性および安全
性の向上に伴って、半導体デバイス等の製造工程において、反応性、腐食性および毒性が高いフッ素ガス(F2)を、プロセスガスとして利用できるようになったという技術的な
進歩が背景にある。こうした技術的背景をもとに、本発明者らが、フッ素ガス(F2)を
初めてパルス変調プラズマに適用することにより、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラ
ズマが、微細加工性に優れた特異的な性質、すなわちイオン生成量が多く、かつ、ラジカル生成量が少ないという性質を有していることを初めて見出したことによって、フッ素ガス(F2)を用いたプラズマによる高速の異方性エッチングプロセスを初めて実用可能に
した。
加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、該プラズマから負イオンまたは正イオンを、個別にあるいは交互に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処
理方法である。
成し、処理ガスとしてフッ素ガス(F2)を用いたパルス変調プラズマ中には、方向性を
持たせることが可能な負イオン(F-)の生成量が格段に多いこと、さらに、方向性を持
たないラジカル(F)の生成量が極めて少ないことを見出した。
あるいは交互に引き出して中性化することにより、エッチングプロセスに必要な中性粒子ビームを生成し、これを基板に照射するため、プラズマ中に生成する荷電粒子およびフォトンの基板への照射による損傷を抑制した異方性エッチングを実現することができる。
す方法としては、例えば、図3における下部電極28に交流電圧を印加する方法が挙げられる。具体的には、図3における上部電極26に−50Vの直流電圧を印加し、下部電極28に100Vの交流電圧を印加することにより、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラ
ズマ中の負イオンと正イオンとが交互に加速され、下部電極28を通過して中性粒子ビーム31が生成される。
加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、該プラズマから負イオンのみを選択的に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法である。
方法において、処理ガス中のフッ素ガス(F2)の含有濃度は、プラズマ処理方法等の目
的に応じて任意に設定することができるが、より高効率で高密度のプラズマおよび中性粒子ビームを得るためには、より高濃度のフッ素ガス(F2)を用いることが好ましく、1
00容量%のフッ素ガス(F2)を用いることが特に好ましい。
Cl2)を、フッ素ガス(F2)との混合ガス種として用いることも好ましい。フッ素ガス(F2)と塩素ガス(Cl2)との混合ガスを用いたパルス変調プラズマでは、処理ガス中のフッ素ガス(F2)と塩素ガス(Cl2)との混合比を変化させることによって、F(F
-イオンおよび中性Fビーム)とCl(Cl-イオンおよび中性Clビーム)の混合比を容易に変化させることができ、フッ素(F)と塩素(Cl)の化学的性質の違いや粒子サイズの違いを利用したプラズマ処理またはプラズマエッチング処理を行うことができる。
に進行させ、エッチング反応の最表面がSiO2等の下地膜に近づいて、より選択性の高
いエッチングが必要なエッチング後期の段階では、塩素ガス(Cl2)濃度を高めること
により、フッ素(F)と塩素(Cl)の化学的性質の違いを利用したプロセス上の最適化を行なうことができる。また、フッ素(F)は、塩素(Cl)に比べて小さい粒子であることから、より低損傷のエッチングプロセスを構築できる可能性もある。処理ガス中のフッ素ガスと塩素ガスとの混合比は、プラズマ処理方法またはプラズマエッチング方法の目的に応じて、最適に設定することが好ましい。
フッ化水素の電気分解反応または金属フッ化物の加熱分解反応を利用したフッ素ガス発生装置などの任意の供給システムを選択して利用することができる。これらの中では、より安全性が高く、かつ、より高純度のフッ素ガス(F2)を供給することができる、固体状
の金属フッ化物の加熱分解反応を利用したシステムが特に好ましい。
ガス圧力は、プラズマ処理方法等の目的に応じて任意に設定することができるが、0.1〜100Pa、好ましくは0.3〜10Pa、特に好ましくは0.5〜5Paの範囲とすることが望ましい。ガス圧力を上記範囲とすることにより、高効率で高密度のプラズマおよび中性粒子ビームを得ることができる。なお、プラズマ生成室のガス圧力が上記範囲よりも低いと、高密度のプラズマを生成することが困難であり、上記範囲を超えると、プラズマおよび中性粒子ビームの生成効率が低下する傾向にある。
)を含むガスを用いる場合には、OFF時間を20〜100μ秒、好ましくは40〜90μ秒、特に好ましくは50〜70μ秒とすることが望ましい。OFF時間が上記範囲よりも短いと負イオンの生成が不十分となる傾向があり、OFF時間が上記範囲を超えるとプラズマ中の電子密度が低下して、続くON時の放電が困難になる現象や、ON時に電子温度が急激に上昇して電子が増殖するなどの現象が生じ、パルス変調の効果が阻害されてしまう傾向にある。
本発明の方法は、エッチング反応に対して良好なプラズマおよび中性粒子ビームを生成できるため、次世代のプラズマエッチング技術に適用可能なフッ素(F-イオンおよび中性
Fビーム)源として極めて有望な方法である。そのため、本発明は、塩素(Cl-イオン
および中性Clビーム)源として利用する塩素ガス(Cl2)のパルス変調プラズマと組
み合わせることにより、フッ素(F)および塩素(Cl)の化学的性質や粒子サイズの違い等を利用して、最適なプロセスを構築することを初めて可能とした。
さらに、処理ガスとして、非温室効果ガスであり、かつ、安価なフッ素ガス(F2)を
用いることから、環境調和型で実用性も高いプロセスであるため、その技術的な価値は極めて大きいものである。
以下、実施例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明はこれら実施例に何ら限定されるものではない。
図4に示したプラズマ・中性粒子ビーム分析装置を用いて、フッ素ガス(F2)から連
続プラズマ、パルス変調プラズマおよび中性粒子ビームを生成し、QMS(四重極質量分析計)、マイクロ波干渉計、発光分光計、ファラデーカップおよびカロリーメーターを用いて、生成した連続プラズマ、パルス変調プラズマおよび中性粒子ビームの分析を行った。
空けられている。前記上部電極46および下部電極48に印加された電圧の電位差によって加速されたイオンは、下部電極48の微細孔を通過する過程で、電荷交換や電子離脱等によって中性化されて中性粒子ビーム51が生成される。中性粒子ビーム51は、計測機器52に対してほぼ垂直に照射される。
図4に示したプラズマ・中性粒子ビーム分析装置におけるプラズマ生成室42に、処理ガス41として100容量%のフッ素ガス(F2)を30ml/minで導入し、前記高
周波電源44から前記アンテナ43に、放電周波数として13.56MHzのRFバイアス(500Wまたは1kW)を連続で印加することにより、連続プラズマを生成した。このとき、前記上部電極46および下部電極48は、電圧を印加せず接地の状態とした。なお、プラズマ生成時におけるプラズマ生成室42内の圧力は1Paとした。また、前記フッ素ガス(F2)としては、金属フッ化物であるK3NiF7を充填した容器を350℃に
加熱することによって、K3NiF7の加熱分解反応により発生したフッ素ガス(F2)を
用いた。
って分析した。RFバイアス=500Wの分析結果を図5に、RFバイアス=1kWの分析結果を図6に示す。
次に、図4に示したプラズマ・中性粒子ビーム分析装置におけるプラズマ生成室42に、処理ガス41として100容量%のフッ素ガス(F2)を30ml/minで導入し、
高周波電源44からアンテナ43に、放電周波数として13.56MHzのRFバイアス=2kW(ON時間中)または500W(ON時間中)をパルス状に印加してパルス変調プラズマを生成した。このとき、パルス変調におけるON時間/OFF時間は、50μ秒/50μ秒とした。このようにアンテナ43に印加する電圧をパルス状に変調してパルス変調プラズマを生成した以外は、実施例1の実験1と同様にして、フッ素ガス(F2)の
パルス変調プラズマ中の負イオンをQMS計測によって分析した。RFバイアス=2kW(ON時間中)の分析結果を図5に、RFバイアス=1kW(ON時間中)の分析結果を図6に示す。
図4に示したプラズマ・中性粒子ビーム分析装置におけるプラズマ生成室42に、処理
ガス41として100容量%のフッ素ガス(F2)を30ml/minで導入し、前記高
周波電源44から前記アンテナ43に、放電周波数として13.56MHzのRFバイアスを連続で印加することにより、連続プラズマを生成した。このとき、前記上部電極46および下部電極48は、電圧を印加せず接地の状態とした。なお、プラズマ生成時におけるプラズマ生成室42内の圧力は1Paとした。また、前記フッ素ガス(F2)としては
、金属フッ化物であるK3NiF7を充填した容器を350℃に加熱することによって、K3NiF7の加熱分解反応により発生したフッ素ガス(F2)を用いた。
を変化させてプラズマを生成し、フッ素ガス(F2)の連続プラズマの電子密度について
RF出力依存性を測定した。分析結果を図7に示す。
)の結果についても示してある。図7より、フッ素ガス(F2)の連続プラズマでは、六
フッ化硫黄ガス(SF6)と比較して電子密度が大きく、RF出力を400W程度とした
場合でも1.0×1011/cm3以上となることがわかった。さらにRF出力の増加に伴
い、電子密度は単調に増大することがわかった。連続プラズマの電子密度が高いことは、パルス変調プラズマにおける高周波電界のON時間中の電子密度が高いことを示している。
よって多量の負イオン(F-)を生成することが期待される。
図4に示したプラズマ・中性粒子ビーム分析装置におけるプラズマ生成室42に、処理ガス41として、フッ素ガス(F2)を30ml/minおよびアルゴンガスを1.5m
l/minで導入し、前記高周波電源44から前記アンテナ43に、放電周波数として13.56MHzのRFバイアスを連続で印加することにより、連続プラズマを生成した。このとき、前記上部電極46および下部電極48は、電圧を印加せず接地の状態とした。なお、プラズマ生成時におけるプラズマ生成室42内の圧力は1Paとした。また、前記フッ素ガス(F2)としては、金属フッ化物であるK3NiF7を充填した容器を350℃
に加熱することによって、K3NiF7の加熱分解反応により発生したフッ素ガス(F2)
を用いた。
の連続プラズマの発光スペクトルを計測した。アンテナ43に印加する高周波電界の出力を変化させてプラズマを生成し、フッ素ガス(F2)の連続プラズマの発光スペクトルに
ついてRF出力依存性を測定した。各プラズマ条件で得られた発光スペクトルより、フッ素ラジカル(F)の発光ピーク(703.7nm)に対するアルゴンラジカル(Ar)の発光ピーク(750.4nm)の強度比[IF(703.7nm)/IAr(750.4nm)]を算出した。IF(703.7nm)/IAr(750.4nm)値の相互比較によって、フッ素ラジカル(F)量の相対比較が可能である。以上の方法は、一般に発光アクチノメトリと呼ばれる分析手法である。分析結果を図8に示す。
の結果についても示してある。図8より、フッ素ガス(F2)の連続プラズマでは、IF
(703.7nm)/IAr(750.4nm)の値は六フッ化硫黄ガス(SF6)に比
べて非常に小さく、RF出力を300〜1000Wと増加した場合でも、IF(703.
7nm)/IAr(750.4nm)はほぼ一定の値を示すことがわかった。すなわち、フッ素ガス(F2)の連続プラズマでは、計測を行ったRF出力領域において、フッ素(
F)ラジカル量が非常に少ないことがわかった。
図4に示したプラズマ・中性粒子ビーム分析装置における上部電極46に−100Vの直流電圧を印加し、下部電極48に−50Vの直流電圧を印加した以外は、実施例1の実験2と同様の方法で、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマを生成した。
ぼ垂直に加速され、下部電極48の微細孔を通過する過程で、付着電子の離脱によって中性化されて中性粒子ビーム51が生成され、計測室50内のQMS(計測機器52)に流入する。
引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビーム中に残留する(=中性化されなかった)負イオンを、QMS計測により分析した結果を図10に示す。比較のため、実施例1の実験2において分析したフッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマの負イオン分析結
果についても図10に示す。
選択的に引き出して、これを中性化することにより生成した中性粒子ビームには、中性化されずに残留する負イオン(F-)がほとんど含まれていない。すなわち、この結果は、
フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマ中の負イオンを選択的に引き出して、これを中
性化して生成した中性粒子ビームの中性化率が極めて高い(高効率である)ことを示している。
図4における計測室50内に設置する計測機器52として、ファラデーカップを用い、ファラデーカップのガス取入れ口の位置が、下部電極48の下部約20mmの位置に配置されるようにファラデーカップ(計測機器52)を設置した以外は、実施例1の実験5と同様の方法により、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマ中の負イオンを選択的に引
き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビーム中に残留する(=中性化されなかった)負イオンの電流密度をファラデーカップを用いて測定した。その結果、中性粒子ビーム中の残留負イオン電流密度は、検出可能な下限値(0.4μA/cm2)未満であり、
極めて低いことが確認された。
ズマでは、多量のF-イオンを生成すること、また、プラズマ中に多量に生成されたF-イオンは高効率に中性化することが可能であり、ほぼ100%に近い中性化率を実現していることが明らかとなった。
図4における計測室50内に設置する計測機器52として、カロリーメーターを設置したこと以外は、実施例1の実験5と同様の方法により、フッ素ガス(F2)のパルス変調
プラズマ中の負イオンを選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームのフラックスをカロリーメーターにより計測した。カロリーメーターに流入したビームの運動エネルギーは、カロリーメーターでほぼ完全に熱変換されると考えられるため、カロリーメーターの出力電圧の変化(ΔV/15秒)を中性粒子ビームのフラックスとした。
結果を図11に示す。
)の結果についても示してある。図11から明らかなように、フッ素ガス(F2)のパル
ス変調プラズマの負イオンを選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームのフラックスは、六フッ化硫黄ガス(SF6)に比べて5倍以上大きいことがわかっ
た。
フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマによって基板のプラズマエッチングを行い、
シリコン(Si)のエッチング速度を測定し、エッチング形状を観察した。
図2に示したパルス変調プラズマ生成装置を用いて、プラズマ生成・基板処理室62に、処理ガス61として実施例1で用いたものと同じ100容量%のフッ素ガス(F2)を
30ml/minで導入し、高周波電源64からアンテナ63に、放電周波数として13.56MHzのRFバイアス(1kW)を印加して連続プラズマ65を生成した。
高周波電源64からアンテナ63に、放電周波数として13.56MHzのRFバイアス=1kW(ON時間中)をパルス状に印加してパルス変調プラズマ65を生成した以外は、実施例2の実験1と同様の方法で基板のプラズマエッチングを行った。このとき、パルス変調におけるON時間/OFF時間は、50μ秒/50μ秒とした。実験で得られたエッチング速度を表1に示す。また、エッチング形状を観察したSEM(走査電子顕微鏡)像を図9に示す。
速度に比べて、パルス変調プラズマ(RF出力=1kW(ON時間中))のエッチング速度が、実質のプラズマパワーが半分(0.5倍)であるにも係わらず約1.5倍も大きくなっていることがわかった。また、図9より、Siのエッチングが、側壁保護膜の形成を必要とせずに垂直に進行できることが実証された。さらに、これらの結果より、フッ素ガス(F2)のプラズマをパルス変調することによりプラズマ中に多量に生成した負イオン
(F-)が、Siのエッチングに大きく寄与していることが明らかとなった。フッ素ガス
(F2)のパルス変調プラズマによるエッチングでは、良好な垂直加工性を維持しながら
、エッチング速度は1μm/minを超過しており、これらの結果は、MEMS等の製造工程で要求される加工条件を満足するものである。
フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマから負イオンを選択的に引き出して、これを
中性化して生成した中性粒子ビームによって、基板のプラズマエッチングを行った。中性粒子ビームの組成を調べるために、Fラジカルの付着係数が異なるビーム引き出し電極を用いて、ポリシリコン(Poly−Si)およびSiO2のエッチング速度を測定し、さ
らに、Poly−Siのエッチング形状を観察した。
図3に示した中性粒子ビーム生成装置を用いて、プラズマ生成室22に、処理ガス21として実施例1で用いたものと同じ100容量%のフッ素ガス(F2)を30ml/mi
nで導入し、高周波電源24からアンテナ23に、放電周波数として13.56MHzのRFバイアス=1kW(ON時間中)をパルス状に印加してパルス変調プラズマを生成した。このとき、パルス変調におけるON時間/OFF時間は、50μ秒/50μ秒とした。
の微細孔を通過する過程で、付着電子の離脱によって中性化されて中性粒子ビーム31が生成され、ステンレス製基板処理室30内に流入する。
膜が堆積された基板を設置して、前記中性粒子ビーム31によって、基板のプラズマエッチングを行い、Poly−SiおよびSiO2のエッチング速度を測定した。エッチング
速度は、エッチング処理時間のみを変化させて複数回のエッチング処理を行って、段差測定装置を用いてエッチング深さを計測することによって計算した。
を測定した。これらの測定結果を表2にまとめて示す。
中性Fビームによる寄与が大きいと考えられる。そのため、Poly−SiおよびSiO2の両者のエッチング速度を測定することによって、中性Fビーム中に混入するFラジカ
ルの割合を推測することができる。つまり、中性粒子ビーム中にラジカルが多い場合には、Poly−Siのエッチング速度は大きくなり、一方でSiO2のエッチング速度は小
さくなると考えられる。
き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームにおいて、ビーム引き出し用電極としてカーボン製電極を用いた場合と、アルミナ溶射電極を用いた場合とを比較すると、Poly−Siのエッチング速度差が大きくないことがわかった。すなわち、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマから負イオンを選択的に引き出して、これを中性化して生成
した中性粒子ビーム中には、方向性を持たないFラジカルの生成量が少ないことが明らかになった。同時に、この結果は、中性化した中性粒子ビーム中ばかりでなく、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマ自体の中に、Fラジカルの生成量が少ないことを示してい
る。
図3に示した中性粒子ビーム生成装置を用いて、実施例3の実験1と同様の方法によりPoly−Siをエッチングし、SEM(走査電子顕微鏡)観察を行って、エッチング形状を評価した。エッチング形状評価のためのサンプルは、Si基板上に熱酸化処理によってSiO2膜(300nm)を形成し、その上に150nmのポリシリコン(Poly−
Si)膜を堆積させたものを用いた。エッチングマスクとして、Poly−Siの表面には反射防止膜およびレジストを塗布して露光・現像処理を施した。エッチングの形状評価を目的として、エッチング処理時間は、20%分のオーバーエッチングとなる条件、すなわち、Poly−Siの膜厚150nmの1.2倍である180nmをエッチング可能な時間に設定した。ビーム引き出し用電極として、カーボン電極およびアルミナ溶射電極の
双方を用いた結果を、それぞれ図12および図13に示す。
のパルス変調プラズマから負イオンを選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームでは、高精度な異方性エッチングが実現されており、中性粒子ビーム中には、方向性を持たないFラジカルの生成量が少ないと推測した実施例3の実験1の結果が実証された。
[実施例4]
フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマから負イオンを選択的に引き出して、これを
中性化して生成した中性粒子ビームによって、基板のプラズマエッチングを行った。次世代のゲート長である50nmのポリシリコン(Poly−Si)膜を堆積させた基板を用いた。
選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームによって、50nmのポリシリコン(Poly−Si)パターンの形成に成功することができた。また、エッチング速度は29.4nm/minであり、ゲート電極を加工する上で実用的な速度を得ることができた。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いたパルス変調プラズマ、およびパル
ス変調プラズマ中から引出した中性粒子ビームを生成し、各種計測機器による分析を行った。前述した実施例1との比較を行い、処理ガスとしてフッ素ガス(F2)を用いた場合
の優位性を確認した。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた以外は、実施例1の実験2と同様
の方法により、六フッ化硫黄ガス(SF6)のパルス変調プラズマ中の負イオンを、QM
S計測により分析した。分析結果を図15に示す。図15には、比較のため、前述した実施例1の実験2において分析したフッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマの負イオン分
析結果についても示す。
F-イオンがほとんど生成せず、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマと比較して、F-イオン量が格段に少ない。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた以外は、実施例1の実験3と同様
の方法により、六フッ化硫黄ガス(SF6)の連続プラズマの電子密度を測定した。分析
結果を図7に示す。
についても示してある。図7より、フッ素ガス(F2)の連続プラズマでは、六フッ化硫
黄ガス(SF6)と比較して電子密度が大きいこと、すなわちフッ素ガス(F2)のイオン化効率が六フッ化硫黄ガス(SF6)に比べて高いことが確認された。
処理ガスとして、六フッ化硫黄ガス(SF6)を30ml/minおよびアルゴンガス
を1.5ml/minで用いた以外は、実施例1の実験4と同様の方法により、六フッ化硫黄ガス(SF6)の連続プラズマのフッ素ラジカル(F)量を測定した。分析結果を図
8に示す。
についても示してある。図8より、フッ素ガス(F2)の連続プラズマは六フッ化硫黄ガ
ス(SF6)に比べて、IF(703.7nm)/IAr(750.4nm)の値は非常
に小さいこと、すなわちフッ素(F)ラジカル量が少ないことが確認された。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた以外は、実施例1の実験7と同様
の方法にて、六フッ化硫黄ガス(SF6)のパルス変調プラズマ中の負イオンを選択的に
引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームのフラックスを計測した。結果を図11に示した。
についても示してある。図11から明らかなように、フッ素ガス(F2)のパルス変調プ
ラズマの負イオンを選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームのフラックスは、六フッ化硫黄ガス(SF6)に比べて5倍以上大きいことが確認された。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いたパルス変調プラズマによって基板
のプラズマエッチングを行い、シリコン(Si)のエッチング速度を測定し、エッチング形状を観察した。前述した実施例2との比較を行い、処理ガスとしてフッ素ガス(F2)
を用いた場合の優位性を確認した。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた以外は、実施例2の実験1と同様
の方法で、六フッ化硫黄ガス(SF6)の連続プラズマを生成して、シリコン(Si)基
板のプラズマエッチングを行った。エッチング速度は、エッチング処理時間のみを変化させて複数回のエッチング処理を行って、段差測定装置を用いてエッチング深さを計測して算出した。得られたエッチング速度を表3に示す。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた以外は、実施例2の実験2と同様
の方法でシリコン(Si)基板のパルス変調プラズマによるエッチングを行った。実験で得られたエッチング速度を表3に示す。また、エッチング形状を観察したSEM(走査電子顕微鏡)像を図16に示す。
ッチング速度に比べて、パルス変調プラズマ(RF出力=1kW(ON時間中))のエッチング速度が小さくなっていることがわかった。このことは、前述した実施例2の実験1および実験2(表1)の結果と大きく異なっている。六フッ化硫黄ガス(SF6)のパル
ス変調プラズマのエッチング速度が、連続プラズマによるエッチング速度に比べて小さくなるのは、六フッ化硫黄ガス(SF6)プラズマのエッチング反応において主に寄与して
いる反応種がラジカルであって、そのラジカルの生成量が、連続プラズマに比べてパルス変調プラズマでは小さくなっているためであると考えられる。また、図16より、六フッ化硫黄ガス(SF6)のパルス変調プラズマでは、Siのエッチングにおいて大きなアン
ダーカット(サイドエッチ)を生じること、すなわち等方性のエッチングが進行していることが確認された。
<実験1>
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた以外は、実施例3の実験1と同様
の方法により、六フッ化硫黄ガス(SF6)のパルス変調プラズマを生成し、パルス変調
プラズマ中の負イオンを選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームによるPoly−SiおよびSiO2のエッチング速度を測定した。その結果を表4に示
す。
オンを選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームにおいて、ビーム引き出し用電極としてカーボン製電極を用いた場合と、アルミナ溶射電極を用いた場合とを比較すると、Poly−Siのエッチング速度差が極めて大きい。すなわち、この結果は、従来の六フッ化硫黄ガス(SF6)のパルス変調プラズマは、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマに比べて、プラズマ中のFラジカルの生成量が極めて多いことを示している。
きいと考えられるSiO2のエッチング速度は、カーボン製電極を用いた場合およびアル
ミナ溶射電極を用いた場合のいずれにおいても、フッ素ガス(F2)を用いた場合のエッ
チング速度が、六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた場合のエッチング速度を上回ってい
る。この結果は、フッ素ガス(F2)のパルス変調プラズマは、従来の六フッ化硫黄ガス
(SF6)のパルス変調プラズマに比べて、中性Fビームの生成効率が格段に優れている
ことを示している。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた以外は、実施例3の実験2と同様
の方法によりPoly−Siをエッチングし、SEM(走査電子顕微鏡)観察を行って、エッチング形状を評価した。ビーム引き出し用電極として、カーボン電極を用いたときの結果を図17に、アルミナ溶射電極を用いたときの結果を図18に示す。
に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームでは、エッチング形状が等方性となり、異方性エッチングを達成できないことが明らかとなった。すなわち、六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いた中性粒子ビーム中には、方向性を持たないFラジカルの生成量
が極めて多いと推測した比較例3の実験1の推測を裏付けるものである。
は、従来の六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いたパルス変調プラズマと比較して、F-イオンの生成量が格段に多いこと、また、微細加工の障害となる方向性を持たないFラジカルの生成量が格段に少ないことが明らかになった。さらに、処理ガスとしてフッ素ガス(F2)を用いたパルス変調プラズマから引き出した中性粒子ビームは、方向性が揃った中性
のFビームであり、異方性のエッチングを実現できることが明らかになった。
処理ガスとして六フッ化硫黄ガス(SF6)を用いたパルス変調プラズマから負イオン
を選択的に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームによって、基板のプラズマエッチングを行った。次世代のゲート長である50nmのポリシリコン(Poly−Si)膜を堆積させた基板を用いた。前述した実施例4との比較を行い、処理ガスとしてフッ素ガス(F2)を用いた場合の優位性を確認した。結果を図19に示す。
に引き出して、これを中性化して生成した中性粒子ビームでは、明らかに大きなアンダーカット(サイドエッチ)が確認され、50nmレベルのポリシリコン(Poly−Si)パターンの形成はできないことがわかった。また、エッチング速度は18.0nm/minであり、上述したフッ素ガス(F2)を用いた場合(実施例4)のエッチング速度(2
9.4nm/min)に比べても小さいことがわかった。
2 石英製プラズマ生成・基板処理室
3 誘導結合プラズマ生成用アンテナ
4 パルス変調可能なプラズマ生成用高周波電源
5 プラズマ
6 カーボン製イオン加速用上部電極
7 電圧印加用電源(上部電極用)
8 カーボン製イオン加速用下部電極
9 電圧印加用電源(下部電極用)
10 基板保持台
11 基板
12 排気ガス
21 処理ガス
22 石英製プラズマ生成室
23 誘導結合プラズマ生成用アンテナ
24 パルス変調可能なプラズマ生成用高周波電源
25 プラズマ
26 カーボン製イオン加速用上部電極
27 電圧印加用電源(上部電極用)
28 カーボン製イオン加速用下部電極(ビーム引き出し用電極)
29 電圧印加用電源(下部電極用)
30 ステンレス製基板処理室
31 中性粒子ビーム
32 基板保持台
33 基板
34 排気ガス
41 処理ガス
42 石英製プラズマ生成室
43 誘導結合プラズマ生成用アンテナ
44 パルス変調可能なプラズマ生成用高周波電源
45 プラズマ
46 カーボン製イオン加速用上部電極
47 電圧印加用電源(上部電極用)
48 カーボン製イオン加速用下部電極(ビーム引き出し用電極)
49 電圧印加用電源(下部電極用)
50 ステンレス製計測室
51 中性粒子ビーム
52 計測機器
53 排気ガス
61 処理ガス
62 プラズマ生成・基板処理室
63 誘導結合プラズマ生成用アンテナ
64 パルス変調可能なプラズマ生成用高周波電源
65 プラズマ
68 カーボン製イオン加速用電極
69 電圧印加用電源
70 基板保持台
71 基板
72 排気ガス
Claims (14)
- フッ素ガス(F2)を含む処理ガスをプラズマ生成室に供給し、
高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、
該プラズマを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。 - フッ素ガス(F2)を含む処理ガスをプラズマ生成室に供給し、
高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、
該プラズマから負イオンまたは正イオンを、個別にあるいは交互に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、
該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。 - フッ素ガス(F2)を含む処理ガスをプラズマ生成室に供給し、
高周波電界の印加と印加の停止とを交互に繰り返すことによりプラズマを生成し、
該プラズマから負イオンのみを選択的に引き出して中性化することにより中性粒子ビームを生成し、
該中性粒子ビームを基板に照射して基板処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。 - 前記処理ガスが100容量%のフッ素ガス(F2)であることを特徴とする請求項1〜
3のいずれかに記載のプラズマ処理方法。 - 前記処理ガスがフッ素ガス(F2)と塩素ガス(Cl2)との混合ガスであることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
- 前記フッ素ガス(F2)が、固体状の金属フッ化物を加熱分解することにより生じるフ
ッ素ガス(F2)であることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ処理
方法。 - 前記プラズマを生成する際のプラズマ生成室のガス圧力が、0.1〜100Paであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
- 前記プラズマを生成する際の高周波電界の印加の停止時間が、20〜100μ秒であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載のプラズマ処理方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のプラズマ処理方法を利用することを特徴とする基板のフッ素化処理方法。
- 請求項1〜8のいずれかに記載のプラズマ処理方法を利用することを特徴とする基板のプラズマエッチング方法。
- 請求項10に記載のプラズマエッチング方法を利用することを特徴とするシリコンまたはシリコン化合物のプラズマエッチング方法。
- 前記シリコン化合物が、酸化珪素、窒化珪素または珪酸塩であることを特徴とする請求項11に記載のプラズマエッチング方法。
- 請求項1〜12のいずれかに記載の方法により製作した半導体デバイス。
- 請求項1〜12のいずれかに記載の方法により製作したマイクロマシン(MEMS:Micro Electric Mechanical System)デバイス。
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