JP2005508078A - 高アスペクト比形態のエッチング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
高アスペクトシリコン形態の効果的なエッチングに対し、改善されたエッチング化学物質の使用方法と、そのための装置。プロセス化学物質は、フッ素/塩素エッチング化学物質を生成する為に的確なプリカーサーガスを使用し、同じく、十分な側壁形態を形成するための十分な強度の化学的結合を形成するために的確なプリカーサーガスも使用する。改善されたプロセス化学物質はSO2/SF4/SiCl4,SO2/SF4/Cl2、SO2/SiF4/SiCl4、SO2SiF4/Cl2,O2/F2/Cl2,O2/F2,N2O/F2/Cl2,NO2/F2/Cl2ベースの化学物質。
Description
【0001】
本発明は、エッチング化学物質に関するものであり、特に高アスペクト比形態にエッチングするために改善されたエッチング化学物質を利用する方法に関するものである。
【背景技術】
【0002】
半導体産業において、一般に集積回路の、特にメモリーデバイスの、速度の増加に対する需要がある。これらの需要は、半導体メーカーに、半導体ウェハー上により更に微細なデバイスを作ることを強制する。したがって、半導体チップを製造するのに用いられるますます小さな上部臨界精度(CDs)は深いトレンチキャパシター(それはメモリーに対し電荷を蓄積するのに用いられ、同じ内部表面積、すなわち同じ静電容量を保持するためにシリコン内部に、より深く形成されなければならない)を必要とする。これらのより小さい上部臨界精度は、エッチャント種がエッチング中に、このように深くエッチングされた穴に入ること、および廃棄種がシリコンウェハーのより深くエッチングされた形態から排気されることを、より困難とさせている。この相互作用は、より遅いエッチングと、それゆえより長いエッチング時間となり、そして、それは次には、ますます長いエッチング時間を残存するマスク提供の問題となる。現在の技術は、深いトレンチエッチングに対し、現在の化学物質で効果的となる現在のマスクの限界に近づいている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
現在の深いトレンチエッチング化学物質はフッ素を有するガスとO2でHBrの解離に頼る。これらの反応の副生成物はSiO2、HF、および他のSi−F−Br種を含んでいる。臭素は、化学的成分に加えて強い物理的成分を持つ反応で、シリコン面をエッチングする。この物理的成分は、まっすぐな照準線がシリコンエッチング面とプラズマの間に存在するところで、シリコンがより容易にエッチングされることを意味する。二酸化ケイ素(SiO2)は、エッチングされた表面からのシリコンとプラズマからの酸素(O2)の反応で生成され、エッチングに対し物理的成分がより少ないところの前記トレンチの垂直表面上に形成される。一般に、SiO2形成のプロセス操作は、最終的なトレンチの形態と幅をコントロールするために利用される。しかし、いくつかの限界は、現状のエッチング化学物質に関する深いトレンチエッチングに対し、挙げられる。例えば、特に形態の入口付近の、マスクエロージョンは、現在のプロセスで恐るべき問題を引き起こした。現在、マスクエロージョンは、HBrとNF3の間の相互作用によってつくられるHFによる化学浸食のものであると考えられる。その上、マスクエロージョンは、高エネルギーイオンによる物理的スパッタリングと、より微細な(高アスペクト比)形態からの低いシリコン入手可能性に起因するSiO2表面保護の減少によるものと考えられる。
【0004】
マスクエロージョンに加え、現在のプロセス化学物質は0.13ミクロンから0.10ミクロン形状に対し5ミクロンを越える深さ、又更に一般にはL/dが50を越えるところで、低いエッチング速度に悩む。この形態アスペクト比を越えたところで、シリコンエッチングは、主に物理的エッチングよりむしろ化学的エッチングに依存する(図1参照)。
【0005】
そして、最後には、現在のプロセス化学物質は、上部形態のコントロールと、平行側壁を有する異極的エッチングを維持することが出来ない。
【0006】
要約すると、臭素化学物質、特にHBrとしてプラズマに導入されたそれらは、フッ素化学物質とともに使われるとき、副生成物としてHFを生成する。処理プラズマ中のHFの存在は、酸化膜マスクの積極的な浸食を引き起こす。ゆえに、プラズマから水素を取り除く改善された化学物質は、現在の実務の前記欠点を軽減するために必要である。
【課題を解決するための手段】
【0007】
本発明は、高アスペクト比形態の効果的なエッチングの為に、改善されたエッチング化学物質を利用する方法と、利用のためのプラズマ処理システムを提供する。プロセス化学は、安定な形態側壁を作るため十分な強度の化学結合を形成するための適切な前駆体ガスに加え、フッ素/塩素エッチング化学物質の生成に対し適切な前駆体ガスを使用する。
【0008】
本発明は、酸素を有する第1のガスと、フッ素を有する第2のガスと、塩素を有する第3のガスとを持っているプロセスガスを供給する工程と、プロセスガスからプラズマを生成する工程と、を含む基板処理方法を有利に提供する。
【0009】
本発明は、少なくとも1つの堆積ガスと少なくとも1つのエッチングガスを持っているプロセスガスを供給する工程と、プロセスガスからプラズマを生成する工程と、を含む基板処理方法を、さらに有利に提供する。
【0010】
さらに、本発明は、プロセスチャンバと、プロセスチャンバ内にプロセスガスを導入するように構成されたガス導入システムと、プロセスガスからプラズマを生成するように構成されたプラズマソースと、を含むプラズマ処理システムを有利に提供する。プロセスガスは、酸素を有する第1のガスと、フッ素を有する第2のガスと、塩素を有する第3のガスと、を有利に含む。
【0011】
本発明は、プロセスチャンバと、プロセスチャンバ内にプロセスガスを導入するように構成されたガス導入システムと、プロセスガスからプラズマを生成するように構成されたプラズマソースと、を含むプラズマ処理システムをさらに有利に提供する。プロセスガスは、堆積ガスと、エッチングガスと、を有利に含んでいる。
【0012】
当該発明の、より完全な理解とその付随する優位性の多くは、詳細な説明により、特に添付図面と連携して考慮するときに容易に明瞭になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【0013】
プラズマ処理装置1は図2に記載され、チャンバ10と、その上には処理される基板25が装着される基板ホルダー20と、ガス導入システム40と、真空排気システム50と、を含んでいる。チャンバ10は、基板25の表面に隣接する処理領域45にプラズマ生成が容易になるように構成されている、ここでプラズマは、加熱された電子とイオン化可能なガスとの衝突を通し、形成される。イオン化可能な、ガス又は混合ガスは、ガス導入システム40を通し導入され、プロセス圧力は調節される。たとえば、ゲート弁(図示せず)は真空排気システム50の排気を抑えるのに用いられる。望ましく、プラズマは、予め定められた材料プロセスに、材料特性を創り出し、基板25の露出した表面に材料の堆積、又は、露出した表面から材料の除去のどちらか促進する為に利用される。
【0014】
基板25は、基板ホルダー20内部に収納されている基板リフトピン(示されなくて)によって受け取られて、収納されている機器によって機械的に移送されるロボット基板移送システムによって、スロット弁(図示せず)とチャンバフィードスルー(図示せず)を通ってチャンバ10内部に、そして外部に移動される。一旦基板25が基板移送システムから受け取られるならば、それは基板ホルダー20の上面まで降ろされる。
【0015】
代わりの実施形態として、基板25は静電クランプ(図示せず)によって、基板ホルダー20に密着される。さらに、基板ホルダー20は、冷却システムを更に含む。冷却システムは再循環クーラントフローを含み、基板ホルダー20から熱を受け取り、熱交換システム(図示せず)へ熱を移動する。加熱する場合には、熱交換システムから熱を移動する。さらに、基板25と基板ホルダー20の間のガスギャップ熱伝導性を改善するため基板の裏面にガスを供給しても良い。基板の温度コントロールは、上昇、又は低下した温度で必要とされるとき、このようなシステムは利用される。たとえば、基板の温度コントロールは、プラズマから基板25に供給される熱流と基板ホルダー20に伝導によって基板25から取り除かれる熱流のバランスによって、達成される定常状態温度を上回る温度で有効であろう。他の実施例で、発熱体、例えば抵抗発熱体、または熱電式ヒーター/冷却器は、含まれる。
【0016】
第1の実施形態(図2に示す)で、基板ホルダー20はさらに処理領域45でプラズマに結合するラジオ周波数(RF)パワーを通す電極として用いられる。たとえば、基板ホルダー20は、RF電源からインピーダンス整合ネットワーク32を通し基板ホルダー20へのRFパワーの伝達を通して、RF電圧で電気的にバイアスされる。RFバイアスは、電子を加熱する為に、そしてそれゆえ、プラズマを形成し、維持するために役立つ。この構成で、システムは反動的なイオンエッチング(RIE)として、原子炉(チャンバと上部ガス注射電極が地面面として用いられるその中に)を動かす。この構成で、システムは反応性イオンエッチングレアクターとして使用される。ここでチャンバと上部ガス導入電極が接地面としての役割を持っている。RFバイアスのための典型的周波数は、1MHzないし100MHzの範囲であり、望ましくは13.56MHzである。
【0017】
代わりの実施形態で、RFパワーは、マルチプル周波数で基板ホルダー電極に印加される。さらに、インピーダンス整合ネットワーク32は、反射されたパワーを最小にすることによって処理チャンバ10でプラズマにRFパヲーの移送を最大にするのに役立つ。整合ネットワークトポロジー(例えばLタイプ、πタイプ、Tタイプ、その他)と自動コントロール法は技術的に知られている。
【0018】
引き続き図2を参照し、プロセスガス42は、ガス導入システムを通し、処理領域42に導入される。ガス導入システム40は、シャワーヘッドを含むことが出来る。ここでシャワーヘッドにあっては、プロセスガス42を、ガス供給システム(図示せず)から処理領域45へ、ガス導入充填空間(plenum)(図示せず)、一連のバッフル板(図示せず)、マルチオリフィスシャワーヘッドガス導入板(図示せず)を通し、供給するものである。
【0019】
真空排気システム50は、望ましくは、1秒間に5000リットル(それ以上)まで排気速度が可能なターボ分子真空ポンプ(TMP)と、チャンバ圧を抑えるためのゲート弁とを含む。ドライプラズマエッチングに対し使用される従来のプラズマ処理装置は、1秒間に1000から3000リットルのTMPが使用されている。TMPは、概して50mTorrより低い、低圧処理には有効である、高い圧力では、TMPの排気速度は劇的に低下する。高圧処理(すなわち100mTorrを超える圧力)のために、機械のブースターポンプとドライ粗引きポンプが、使われる。コンピュータ55は、マイクロプロセッサーと、メモリーと、プラズマ処理システムに対し通信し、入力をアクティブにするのに十分な制御電圧を生成することが可能なデジタルI/Oポートと、を含んでいる。さらに、コンピュータ55は、RF電源30、インピーダンス整合ネットワーク32,ガス導入システム、真空排気システム50と結合し、情報を交換する。メモリーに保存されたプログラムは、保存されたプロセスレシピに応じて、プラズマ処理システム1の前記構成要素に入力をアクティブにするために使用される。コンピュータ55の一例として、DELL PRECISION WORKDTASTION(登録商標)、がDELL、Dallas,Texasから購入可能である。
【0020】
第2の実施形態として(図3に示す)、プラズマ処理システム1は、図2の参照で記述されたそれら構成要素に加えて、機械的又は電気的のどちらかの回転直流磁場システム60を、さらに含む。それは潜在的にプラズマ密度を増加するため、そして/またはプラズマ処理の均一性を改善するためである。さらに、コンピュータ55は、回転速度と磁場強度を調整するために回転磁場システム60に結合する。
【0021】
第3の実施形態として(図4に示す)、図2のプラズマ処理システム1は、RF電源72からインピーダンス整合ネットワーク74を通しRFパワーが結合する上部電極板を、さらに含む。上部電極へのRFパワーの印加に対し、典型的な周波数は、10MHzないし200MHzの範囲であり、望ましくは、60MHzである。加えて、下部電極へのパワーの印加に対し、典型的な周波数は、0.1MHzないし30MHzの範囲であり、望ましくは、2MHzである。さらに、コンピュータ55は、上部電極70へのRFパワーの印加をコントロールするために、RF電源72とインピーダンス整合ネットワーク74とに結合する。
【0022】
第4の実施形態として(図5に示す)、図2のプラズマ処理システムは、インピーダンス整合ネットワーク84を通し、RF電源82によってRFパワーが結合する誘導コイル80を、さらに含む。RFパワーは、誘導コイル80から、誘電体窓(図示せず)を通し、プラズマ処理領域45に、誘導的に結合する。誘導コイル80へのRFパワーの印加に対し、典型的な周波数は10MHzないし100MHzの範囲であり、望ましくは、13.56MHzである。同様に、チャック電極へのパワーの印加に対する典型的な周波数範囲は、0.1MHzないし30MHzの範囲であり、そして望ましくは13.56MHzである。それに加えて、スロットファラデーシールド(図示せず)は、誘導コイル80とプラズマの間で容量結合を減らすために使用される。さらに、コンピュータ55は誘導コイル80にパワーの印加をコントロールするためにRF電源82とインピーダンス整合ネットワーク84に結合する。
【0023】
代わりの実施形態で、プラズマは電子サイクロトロン共鳴(ECR)を使ってつくられる。さらにもう一つの実施形態で、プラズマはヘリコン波の発生から作られる。さらにもう一つの実施形態で、プラズマは伝搬表面波から作られる。
【0024】
今、図5を介し図2に言及すると、プロセスガス42は、ガス導入システム40を通し、処理領域45に導入される。加熱された電子の存在で、プロセスガス42は、シリコンのエッチング対し十分な化学反応物を有するプロセス化学物質を生成するために特に選択された1つ以上のガス種を含む。それは、側壁形態に安定な膜を形成するために十分な化学物質を形成するのと、同様である。プロセス化学物質は、以下で記載するように、安定な形態を維持し、不必要なHF副生成物によってフォトレジストマスクの過剰な浸食を防止する間、効果的にシリコンをエッチングする為に使用される。
【0025】
形態側壁安定性は、高い結合強度の化学結合を形成する種を含むプロセス化学物質を選ぶことによって達成される。図6に示した表を使用し、フッ素/塩素のエッチング化学物質を有する硫黄及び/又は酸素を有するガスの使用は、側壁安定性に対し優れた候補であるSi−S結合及び/又はSi−O結合を含有する形態側壁膜を生じる。従ってプロセスガス42は、例えばSO2,O2,N2O,NO2の様な堆積(すなわち膜形成)ガスのセットと、例えばSF6,SF4,F2,SiF4,SiCl4,Cl2のようなエッチングガスのセットから選ばれる。
【0026】
好ましい実施形態として、プロセスガス42は、酸素を有する第1のガスと、フッ素を有する第2のガスと、塩素を有する第3のガスと、を含む。例えば、第1のガスはSO2を含み、第2のガスはSF4を含み、第3のガスはSiCl4を含む。ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、塩素を有する第3のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの第1流量は、1ないし200sccmの範囲であり、好ましい範囲は、1ないし100sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし750sccmであり、好ましい範囲は、1ないし300sccmである。塩素を有する第3のガスの第3流量の範囲は5ないし400sccmであり、好ましい範囲は、10ないし150sccmである。
【0027】
代わりの実施形態として、もしSiの十分な量が利用できれば(例えば基板25の表面から)、プロセス化学物質は、酸素を有する第1のガスとしてSO2を、フッ素を有する第2のガスとしてSF4を、塩素を有する第3のガスとしてCl2を含む。同様に、ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、塩素を有する第3のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの流量の範囲は1ないし200sccmであり、好ましい範囲は、1ないし100sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし750sccmであり、好ましい範囲は、1ないし300sccmである。塩素を有する第3のガスの第3流量の範囲は10ないし750sccmであり、好ましい範囲は、25ないし300sccmである。
【0028】
代わりの実施形態として、もしSiが不十分な量しか利用出来なければ、(例えば基板25の表面から)、プロセス化学物質は、酸素を有する第1のガスとしてSO2を、フッ素を有する第2のガスとしてSiF4を、塩素を有する第3のガスとしてSiCl4を含む。同様に、ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、塩素を有する第3のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの第1流量の範囲は1ないし200sccmであり、好ましい範囲は、1ないし100sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし750sccmであり、好ましい範囲は、1ないし300sccmである。塩素を有する第3のガスの第3流量の範囲は5ないし400sccmであり、好ましい範囲は、10ないし150sccmである。
【0029】
代わりの実施形態として、もしSiが不十分な量しか利用出来なければ、(例えば基板25の表面から)、プロセス化学物質は、酸素を有する第1のガスとしてSO2を、フッ素を有する第2のガスとしてSiF4を、塩素を有する第3のガスとしてCl2を含む。同様に、ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、塩素を有する第3のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの流量の範囲は1ないし200sccmであり、好ましい範囲は、1ないし100sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし750sccmであり、好ましい範囲は、1ないし300sccmである。塩素を有する第3のガスの第3流量の範囲は10ないし750sccmであり、好ましい範囲は、25ないし300sccmである。
【0030】
代わりの実施形態として、もしプロセス化学物質から硫黄(S)が除かれることを希望されたら、プロセス化学物質は、酸素を有する第1のガスとしてO2を、フッ素を有する第2のガスとしてF2を、塩素を有する第3のガスとしてCl2を含む。プロセス化学物質において硫黄の使用は、Si−S結合の形成のポテンシャルに対し、そしてそれゆえ、形態の側壁膜保護に対し大変安定な膜を有利に提供する。しかしながら、硫黄の存在は、次に示す可能性を有している。
【0031】
(1)エッチング後処理中にシリコン表面から(または、そのクリーニングで)除去が困難、(2)硫黄の除去(すなわちクリーニング)工程無しで、エッチング後処理中に基板に、硫黄/湿気化学物質はダメージを与え得る。(3)チャンバ構成部品上の硫黄/湿気化学物質の形成は時間と共にチャンバ表面に重大なダメージを与え得る。同様に、ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、塩素を有する第3のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの流量の範囲は1ないし200sccmであり、好ましい範囲は、1ないし100sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし1500sccmであり、好ましい範囲は、1ないし600sccmである。塩素を有する第3のガスの第3流量の範囲は10ないし750sccmであり、好ましい範囲は、25ないし300sccmである。
【0032】
代わりの実施形態として、プロセス化学物質は、酸素を有する第1のガスとしてNO2を、フッ素を有する第2のガスとしてF2を、塩素を有する第3のガスとしてCl2を含む。同様に、ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、塩素を有する第3のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの流量の範囲は1ないし200sccmであり、好ましい範囲は、1ないし100sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし1500sccmであり、好ましい範囲は、1ないし600sccmである。塩素を有する第3のガスの第3流量の範囲は10ないし750sccmであり、好ましい範囲は、25ないし300sccmである。
【0033】
代わりの実施形態として、プロセス化学物質は、酸素を有する第1のガスとしてN2Oを、フッ素を有する第2のガスとしてF2を、塩素を有する第3のガスとしてCl2を含む。同様に、ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、塩素を有する第3のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの流量の範囲は1ないし400sccmであり、好ましい範囲は、1から200sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし1500sccmであり、好ましい範囲は、1から600sccmである。塩素を有する第3のガスの第3流量の範囲は10ないし750sccmであり、好ましい範囲は、25ないし300sccmである。
【0034】
代わりの実施形態として、プロセス化学物質は、堆積ガスとしての第1のガスO2を、エッチングガスとして第2のガスF2を含む。同様に、ガス導入システム40は、コンピュータ55に記憶されたプロセスレシピによって酸素を有する第1のガスの流量、フッ素を有する第2のガスの流量、の調整をコントロールされる。例えば、酸素を有する第1のガスの流量の範囲は1ないし200sccmであり、好ましい範囲は、1ないし100sccmである。フッ素を有する第2のガスの第2流量の範囲は1ないし1500sccmであり、好ましい範囲は、1ないし600sccmである。
【0035】
最後に、代わりの実施形態として、不活性ガスは前記プロセスガス化学物質のどの1つにでも加えられる。不活性ガスはアルゴン、ヘリウム、キセノン、クリプトン、窒素のうち、少なくとも1つである。たとえば、プロセス化学物質への不活性ガスの追加ははプロセスガスの希釈、またはガス分圧の調節に使用される。さらに、例えば不活性ガスの追加は、形態エッチングの物理的成分を促進することが出来る。
【0036】
この発明の特定の典型的な実施形態だけを上記に詳細に記載したが、当業者は容易に、この発明の新しい教示と長所から離れることなく、典型的な実施形態において多くの修正が可能であることを認識する。したがって、全てのそのような修正は、この発明の範囲内に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【0037】
【図1】図1は、基板形態の図解の横断面図を示す。
【図2】図2は、本発明の第1の実施態様によるプラズマ処理システムを示す。
【図3】図3は、本発明の第2の実施態様によるプラズマ処理システムを示す。
【図4】図4は、本発明の第3の実施態様によるプラズマ処理システムを示す。
【図5】図5は、本発明の第4の実施態様によるプラズマ処理システムを示す。
【図6】図6は、複数の化学結合に対する結合強度の表を示す。
Claims (76)
- 酸素を含む第1のガスと、フッ素を含む第2のガスと、塩素を含む第3のガスと、を有するプロセスガスを供給する工程と、
そのプロセスガスからプラズマを生成する工程と、を具備する基板処理方法。 - 酸素を含む前記第1のガスは、O2、SO2、N2O、およびNO2の少なくとも1つを有する請求項1に記載の基板処理方法。
- フッ素を含む前記第2のガスはSF4、SF6、SiF4、およびF2の少なくとも1つを有する請求項1に記載の基板処理方法。
- 塩素を含む前記第3のガスはSiCl4、およびCl2の少なくとも1つを含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスはSO2、SF4、およびSiCl4を含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスはSO2、SF4,およびCl2を含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスはSO2、SiF4,およびSiCl4を含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスはSO2、SiF4,およびCl2を含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスはO2、F2,およびCl2を含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスはNO2、F2,およびCl2を含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスはN2O、F2,およびCl2を含む請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccmの範囲である請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記SF4の流量は1ないし750sccmの範囲である請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記SiCl4の流量は5ないし400sccmの範囲である請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccm、前記SF4の流量は1ないし750sccm、および前記SiCl4の流量は5ないし400sccmの範囲である請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし100sccm、前記SF4の流量は1ないし300sccm、および前記SiCl4の流量は10ないし150sccmの範囲である請求項5に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccmの範囲である請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記SF4の流量は1ないし750sccmの範囲である請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccm、前記SF4の流量は1ないし750sccm、および前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし100sccm、前記SF4の流量は1ないし300sccm、および前記Cl2の流量は25ないし300sccmの範囲である請求項6に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccmの範囲である請求項7に記載の基板処理方法。
- 前記SiF4の流量は1ないし750sccmの範囲である請求項7に記載の基板処理方法。
- 前記SiCl4の流量は5ないし400sccmの範囲である請求項7に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccm、前記SiF4の流量は1ないし750sccm、および前記SiCl4の流量は5ないし400sccmの範囲である請求項7に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし100sccm、前記SiF4の流量は1ないし300sccm、および前記SiCl4の流量は10ないし150sccmの範囲である請求項7に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccmの範囲である請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記SiF4の流量は1ないし750sccmの範囲である請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし200sccm、前記SiF4の流量は1ないし750sccm、および前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記SO2の流量は1ないし100sccm、前記SiF4の流量は1ないし300sccm、および前記Cl2の流量は25ないし300sccmの範囲である請求項8に記載の基板処理方法。
- 前記O2の流量は1ないし200sccmの範囲である請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記F2の流量は1ないし1500sccmの範囲である請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記O2の流量は1ないし200sccm、前記F2の流量は1ないし1500sccm、および前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記O2の流量は1ないし100sccm、前記F2の流量は1ないし600sccm、および前記Cl2の流量は25ないし300sccmの範囲である請求項9に記載の基板処理方法。
- 前記NO2の流量は1ないし200sccmの範囲である請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記F2の流量は1ないし1500sccmの範囲である請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記NO2の流量は1ないし200sccm、前記F2の流量は1ないし1500sccm、および前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記NO2の流量は1ないし100sccm、前記F2の流量は1ないし600sccm、および前記Cl2の流量は25ないし300sccmの範囲である請求項10に記載の基板処理方法。
- 前記N2Oの流量は1ないし400sccmの範囲である請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記F2の流量は1ないし1500sccmの範囲である請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記N2Oの流量は1ないし400sccm、前記F2の流量は1ないし1500sccm、および前記Cl2の流量は10ないし750sccmの範囲である請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記N2Oの流量は1ないし200sccm、前記F2の流量は1ないし600sccm、および前記Cl2の流量は25ないし300sccmの範囲である請求項11に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスは、不活性ガスをさらに有する請求項1に記載の基板処理方法。
- 前記不活性ガスは、アルゴン、ヘリウム、キセノン、クリプトン、および窒素の少なくとも1つを有する請求項47に記載の基板処理方法。
- 少なくとも1つ堆積ガスと、少なくとも1つのエッチングガスとを有するプロセスガスを供給する工程と、
そのプロセスガスからプラズマを生成する工程と、を具備する基板処理方法。 - 前記堆積ガスは、O2、SO2、N2O、およびNO2の少なくとも1つを有する請求項49に記載の基板処理方法。
- 前記エッチングガスは、SF4、SF6、SiF4、Cl2、SiCl4およびF2の少なくとも1つを有する請求項49に記載の基板処理方法。
- 前記プロセスガスは、O2およびF2を含む請求項49に記載の基板処理方法。
- 前記O2の流量は、1ないし200sccmの範囲である請求項52に記載の基板処理方法。
- 前記F2の流量は、1ないし1500sccmの範囲である請求項52に記載の基板処理方法。
- 前記O2の流量は、1ないし100sccm、前記F2の流量は1ないし600sccmの範囲である請求項52に記載の基板処理方法。
- プロセスチャンバと、
プロセスチャンバ内にプロセスガスを導入するように構成されているガス導入システムと、
プロセスガスからプラズマを生成するように構成されているプラズマソースと、を具備し、
前記プロセスガスは、酸素を有する第1のガスと、フッ素を有する第2のガスと、塩素を有する第3のガスとを含む、プラズマ処理システム。 - プラズマソースは誘導コイルを有する請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- プラズマソースは平板電極を有する請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 酸素を含む前記第1のガスは、O2とSO2の少なくとも1つを有する請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- フッ素を含む前記第2のガスは、SF4、SF6、SiF4、およびF2の少なくとも1つを有する請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 塩素を含む前記第3のガスは、SiCl4およびCl2の少なくとも1つを有する請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、SO2、SF4、およびSiCl4を含む請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、SO2、SF4、およびCl2を含む請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、SO2、SiF4、およびSiCl4を含む請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、SO2、SiF4、およびCl2を含む請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、O2、F2、およびCl2を含む請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、NO2、F2、およびCl2を含む請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、N2O、F2、およびCl2を含む請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、不活性ガスをさらに有する請求項56に記載のプラズマ処理システム。
- 前記不活性ガスは、アルゴン、ヘリウム、キセノン、クリプトン、および窒素の少なくとも1つを有する請求項69に記載のプラズマ処理システム。
- プロセスチャンバと、
プロセスチャンバ内にプロセスガスを導入するように構成されているガス導入システムと、
プロセスガスからプラズマを生成するように構成されているプラズマソースと、を具備し、
前記プロセスガスは、堆積ガスと、エッチングガスと、を含むものであるプラズマ処理システム。 - 前記プラズマソースは、誘導コイルを有する請求項71に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プラズマソースは、平板電極を有する請求項71に記載のプラズマ処理システム。
- 前記堆積ガスは、O2、SO2、N2O、およびNO2の少なくとも1つを有する請求項71に記載のプラズマ処理システム。
- 前記エッチングガスは、SF4、SF6、SiF4、Cl2、SiCl4およびF2の少なくとも1つを有する請求項71に記載のプラズマ処理システム。
- 前記プロセスガスは、O2およびF2を含む請求項75に記載のプラズマ処理システム。
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