JP2006032454A - 半導体レーザパッケージおよび半導体レーザパッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 LD4の出射光は、ミラー5で上面に反射されて光軸方向が変わり、ガラス基板6の上面からLaの方向に放射される。LD4とミラー5は、平面状の基板2の表面に半田材料Aにより実装され、上下面が開口している枠体3はその後半田材料B基板2に実装される。このため、LD4とミラー5を実装する基板2の表面研磨が、特殊の治具を要することなく精度良く行える。
【選択図】 図1
Description
InXAlYGa1-X-YN(0≦X≦1、0≦Y≦1、X+Y≦1)
を用いた窒化物系半導体発光素子を光源に用いることもできる。
Claims (11)
- 基板と、半導体レーザ(LD)と、前記LDの出射光を反射して光軸方向を変えるミラーと、上下面が開放されている枠体と、ガラス基板とを備え、前記基板に実装された前記LDおよびミラーを前記枠体で囲み、前記枠体を前記基板および前記ガラス基板に固着して封止し、前記ガラス基板より前記LDの出射光を放射することを特徴とする、半導体レーザパッケージ。
- 基板と、前記基板に実装される複数対のLDおよびミラーと、複数の貫通穴を有する枠体と、ガラス基板とよりなり、前記枠体の前記貫通穴で前記LDおよびミラーの対を囲み、前記枠体と前記基板および前記ガラス基板とを固着して封止し、ダイシングによりチップ化したことを特徴とする、半導体レーザパッケージ。
- 前記基板および前記枠体がAlNまたはSiCからなる焼結材であることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の半導体レーザパッケージ。
- 前記基板と前記LDおよびミラーとを同一の半田材料Aで固着し、前記枠体と前記基板および前記ガラス基板とを同一の半田材料Bで固着し、前記半田材料Aの融点は、前記半田材料Bの融点よりも所定温度以上高いことを特徴とする、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の半導体レーザパッケージ。
- 前記ガラス基板に予め前記ミラーを固着させたことを特徴とする、請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の半導体レーザパッケージ。
- 前記枠体がSiからなり、前記ミラーを異方性エッチングにより予め前記枠体に形成したことを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の半導体レーザパッケージ。
- 前記基板と前記LDを半田材料Aで固着し、前記枠体と前記基板および前記ガラス基板とを同一の半田材料Bで固着し、前記半田材料Aの融点は、前記半田材料Bの融点よりも所定温度以上高いことを特徴とする、請求項6に記載の半導体レーザパッケージ
- 前記LDが窒化物半導体レーザであることを特徴とする、請求項1ないし請求項7のいずれかに記載の半導体レーザパッケージ。
- 基板に半田材料Aを塗布してLDとミラーを第1の熱処理で基板に固着したあとに、枠体の表裏両面に融点が前記半田材料Aよりも低い半田材料Bを塗布して前記枠体と前記基板、および前記枠体とガラス基板を第2の熱処理で固着することを特徴とする、半導体レーザパッケージの製造方法。
- 基板およびガラス基板に半田材料Aを塗布し、第1の熱処理でLDを前記基板に、ミラーを前記ガラス基板に固着したあとに、前記枠体の表裏両面に融点が前記半田材料Aよりも低い半田材料Bを塗布して前記枠体と前記基板、および前記枠体と前記ガラス基板を第2の熱処理で固着することを特徴とする、半導体レーザパッケージの製造方法。
- 基板に半田材料Aを塗布して、第1の熱処理でLDとミラーが形成された枠体を前記基板に固着したあとに、枠体の表裏両面に融点が前記半田材料Aよりも低い半田材料Bを塗布して前記枠体と前記基板、および前記枠体とガラス基板を第2の熱処理で固着することを特徴とする、半導体レーザパッケージの製造方法。
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