JP2005244178A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005244178A JP2005244178A JP2004381583A JP2004381583A JP2005244178A JP 2005244178 A JP2005244178 A JP 2005244178A JP 2004381583 A JP2004381583 A JP 2004381583A JP 2004381583 A JP2004381583 A JP 2004381583A JP 2005244178 A JP2005244178 A JP 2005244178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- wiring
- barrier metal
- pvd
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76843—Barrier, adhesion or liner layers formed in openings in a dielectric
- H01L21/76846—Layer combinations
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76853—Barrier, adhesion or liner layers characterized by particular after-treatment steps
- H01L21/76861—Post-treatment or after-treatment not introducing additional chemical elements into the layer
- H01L21/76864—Thermal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76871—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers
- H01L21/76873—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers for electroplating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76841—Barrier, adhesion or liner layers
- H01L21/76871—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers
- H01L21/76874—Layers specifically deposited to enhance or enable the nucleation of further layers, i.e. seed layers for electroless plating
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/5226—Via connections in a multilevel interconnection structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/532—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body characterised by the materials
- H01L23/53204—Conductive materials
- H01L23/53209—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides
- H01L23/53228—Conductive materials based on metals, e.g. alloys, metal silicides the principal metal being copper
- H01L23/53238—Additional layers associated with copper layers, e.g. adhesion, barrier, cladding layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76838—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics characterised by the formation and the after-treatment of the conductors
- H01L21/76877—Filling of holes, grooves or trenches, e.g. vias, with conductive material
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【課題】バリアメタル膜を伴うCu膜の信頼性や電気的特性などを向上し得るとともに、信頼性や電気的特性などが向上された半導体装置を効率良く、かつ、容易に製造できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板1上の絶縁膜内に形成された凹部5内に、第1のバリアメタル膜6、第2のバリアメタル膜7、および第3のバリアメタル膜8を順番に積層して設ける。各バリアメタル膜6,7,8は、それぞれ4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む。第2のバリアメタル膜7は、CVD法およびALD法の少なくとも一方の方法により成膜される。第3のバリアメタル膜8上に、大気開放せずにCu膜9,10を設けて凹部5を埋め込む。
【選択図】 図4
【解決手段】基板1上の絶縁膜内に形成された凹部5内に、第1のバリアメタル膜6、第2のバリアメタル膜7、および第3のバリアメタル膜8を順番に積層して設ける。各バリアメタル膜6,7,8は、それぞれ4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む。第2のバリアメタル膜7は、CVD法およびALD法の少なくとも一方の方法により成膜される。第3のバリアメタル膜8上に、大気開放せずにCu膜9,10を設けて凹部5を埋め込む。
【選択図】 図4
Description
本発明は、Cu膜を備える半導体装置の製造技術に係り、特にバリアメタル膜とともに絶縁膜に埋め込まれるCu膜を備える半導体装置の製造方法に関する。
通常、半導体装置の内部に配線を設ける場合、配線が劣化し難くするために配線の周囲にバリアメタル膜を設ける(例えば特許文献1および2参照)。以下、一般的なCu配線の形成方法について簡潔に説明する。
先ず、Cu配線を設ける層の層間絶縁膜に配線用の溝を形成する。Cu配線をその下層の配線層や拡散層などの導電層に接続する場合には、接続プラグ用の孔を配線用の溝に連通させて開孔する。例えば、配線用の溝と接続プラグ用の孔とを層間絶縁膜を貫通して一体に形成し、導電層の表面を露出させる。次に、配線用溝および接続プラグ用孔の内壁面、ならびに導電層の表面を覆って、PVD法によりバリアメタル膜を設ける。次に、このバリアメタル膜上に、Cu配線の主要部となるCu膜(Cu層)を設ける際の下地層となるシードCu膜(Seed−Cu層)を設ける。続けて、このシードCu膜上にCu膜をCuめっき技術により成長させて、配線用溝および接続プラグ用孔の内部を埋め込む。次に、層間絶縁膜上のバリアメタル膜およびCu膜をCMP法により研磨して除去し、Cuからなる所望の埋め込み配線(ダマシン配線)を形成する。Cu配線の上にさらに上層配線を形成する場合には、Cu配線を覆って層間絶縁膜を設けた後、この層間絶縁膜に前述した方法と同様の方法により所望の上層配線を形成する。
特開平8−17920号公報
特開2001−244265号公報
一般に、シードCu膜は、Cuが凝集するのを防ぐために25℃(室温)以下の低温で成膜される。それとともに、シードCu膜上のCu膜は室温でめっき成長される。ところが、このように低温で形成されたCu膜(Cu配線、Cuプラグ)は、結晶粒(グレイン)が小さいため、ストレスマイグレーションやエレクトロマイグレーションなどの不良に対する信頼性(耐性)が低い。そこで、それらの不良に対するCu配線(Cuプラグ)の信頼性を高めるために、通常は、Cuめっき処理後に100℃以上の高温でアニール処理を実施する。これにより、Cu膜の結晶粒成長を促進させて、Cu配線の信頼性を向上させる。
前述したように、Cuめっき処理後のアニール処理は100℃以上の高温で行われる。また、Cu配線上に上層配線を設ける場合、上層配線用の層間絶縁膜を成膜する際の温度も、一般に350℃以上の高温になる。Cu配線とバリアメタル膜との密着性が低い場合、それらのような高温の環境下にCu配線が置かれると、Cu配線中のCu原子および空間(Vacancy)がバリアメタル膜とシードCu膜との界面に沿って移動する。また、Cu配線に接続されている下層配線がCu配線である場合にも、Cuヴィアプラグの周囲に設けられたバリアメタル膜と下層Cu配線との密着性が低いと、バリアメタル膜と下層Cu配線との界面において同様の現象が生じる。これらの結果、Cu配線や下層Cu配線中に空乏(ボイド:Void)が形成されて、それら各Cu配線の信頼性、品質、および電気的特性などが低下する。ひいては、半導体装置の信頼性、品質、性能、および歩留まりなどが低下する。
また、前述したように、シードCu膜は基板を室温以下の低温に冷却しつつ成膜されるので、シードCu膜を成膜する際に表面拡散現象を利用することができない。このため、シードCu膜による接続プラグ用孔の内部の被覆率(カバレージ)が低下したり、あるいは配線用溝の開口部においてシードCu膜によるオーバーハング部が大きく成長したりする。これらは、シードCu膜を成膜した後に、Cu膜をめっき成長させて接続プラグ用孔および配線用溝を埋め込む際の障害となる。そこで、カバレージの低下やオーバーハング部の成長を抑制するために、バリアメタル膜としてCVD膜やALD膜を用いる技術が試みられている。しかし、CVD膜やALD膜はシードCu膜との密着性が低いため、Cu配線の形成プロセス(加熱プロセス)中においてCu配線内にボイドが発生し易い。また、CVD膜やALD膜は、それらの下地層となる絶縁膜の種類や状態に敏感である。すなわち、CVD膜やALD膜を絶縁膜上に直接、安定して成膜することは難しい。このため、バリアメタル膜にCVD膜やALD膜を単独で用いると、Cu配線の信頼性や品質が著しく低下するおそれが高い。
本発明は、以上説明したような課題を解決するためになされたものであり、その目的とするところは、Cu膜を覆って絶縁膜内に埋め込まれるバリアメタル膜の膜質および成膜性、ならびにCu膜とバリアメタル膜との密着性の改善を図ることにより、Cu膜の信頼性や電気的特性などを向上し得るとともに、このようなCu膜を備えることにより信頼性や電気的特性などが向上された半導体装置を効率良く、かつ、容易に製造できる半導体装置の製造方法を提供することにある。
前記課題を解決するために、本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法は、基板上に設けられた少なくとも1層の絶縁膜に形成された凹部内に、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む第1のバリアメタル膜をPVD法により設け、この第1のバリアメタル膜上に、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む第2のバリアメタル膜を、CVD法およびALD法の少なくとも一方の方法により大気開放せずに連続して設け、この第2のバリアメタル膜上に、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む第3のバリアメタル膜をPVD法により大気開放せずに連続して設け、この第3のバリアメタル膜上に、第1のCu膜を大気開放せずに連続して設け、前記第1のCu膜に加熱処理を施す、ことを特徴とするものである。
本発明の一態様に係る半導体装置の製造方法によれば、Cu膜を覆って絶縁膜内に埋め込まれるバリアメタル膜の膜質および成膜性、ならびにCu膜とバリアメタル膜との密着性の改善を図ることができる。この結果、Cu膜の信頼性や電気的特性などを向上し得るとともに、このようなCu膜を備えることにより信頼性や電気的特性などが向上された半導体装置を効率良く、かつ、容易に製造することができる。
以下、本発明に係る各実施形態を図面を参照しつつ説明する。
(第1の実施の形態)
先ず、本発明に係る第1実施形態を図1〜図12を参照しつつ説明する。図1〜図4は、それぞれ本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図5は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図6および図7は、それぞれ本実施形態に対する比較例としての背景技術に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図8は、本実施形態に係るCu配線および背景技術に係るCu配線のシンター試験後の抵抗値をそれぞれグラフにして示す図である。図9は、本実施形態に係るCuヴィアプラグおよび背景技術に係るCuヴィアプラグのそれぞれのシンター試験後の抵抗値をグラフにして示す図である。図10は、第2のバリアメタル膜としてCVD膜を用いた本実施形態に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせ、および背景技術に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせのSIV耐性の配線幅依存性をそれぞれグラフにして示す図である。図11は、第2のバリアメタル膜としてALD膜を用いた本実施形態に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせ、および背景技術に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせのSIV耐性の配線幅依存性をそれぞれグラフにして示す図である。図12は、本実施形態に係るCu配線および背景技術に係るCu配線のエレクトロマイグレーション耐性試験によるTTFをそれぞれグラフにして示す図である。
先ず、本発明に係る第1実施形態を図1〜図12を参照しつつ説明する。図1〜図4は、それぞれ本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。図5は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図6および図7は、それぞれ本実施形態に対する比較例としての背景技術に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図8は、本実施形態に係るCu配線および背景技術に係るCu配線のシンター試験後の抵抗値をそれぞれグラフにして示す図である。図9は、本実施形態に係るCuヴィアプラグおよび背景技術に係るCuヴィアプラグのそれぞれのシンター試験後の抵抗値をグラフにして示す図である。図10は、第2のバリアメタル膜としてCVD膜を用いた本実施形態に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせ、および背景技術に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせのSIV耐性の配線幅依存性をそれぞれグラフにして示す図である。図11は、第2のバリアメタル膜としてALD膜を用いた本実施形態に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせ、および背景技術に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせのSIV耐性の配線幅依存性をそれぞれグラフにして示す図である。図12は、本実施形態に係るCu配線および背景技術に係るCu配線のエレクトロマイグレーション耐性試験によるTTFをそれぞれグラフにして示す図である。
本実施形態においては、CVD(Chemical Vapor Deposition)法もしくはALD(Atomic Layer Deposition)法によるバリアメタル膜の成膜技術、シードCu膜の成膜技術、およびめっき法によるCu膜の成膜技術を用いて、バリアメタル膜により覆われたCu配線を設ける。この際、CVD法もしくはALD法により成膜されるバリアメタル膜を間に挟んで、その両側にPVD(Physical Vapor Deposition)法により金属単体からなるバリアメタル膜を成膜する。これにより、ストレスによるボイド発生(Stress induced voiding:SIV)やエレクトロマイグレーション(Electro Migration:EM)に対するCu配線の耐性、すなわちCu配線の信頼性を向上させる。ひいては、そのようなCu配線を含むCu多層配線構造を備える半導体装置のSIVやEMに対する耐性、すなわちCu多層配線構造を備える半導体装置の信頼性を向上させる。以下、詳しく説明する。
先ず、図1から図4を参照しつつ、本実施形態に係る半導体装置およびその製造方法について説明する。
図1(a)に示すように、半導体基板(シリコンウェーハ)1上に、例えばSiO2などからなる層間絶縁膜(Inter Level Dielectric:ILD)2がCVD法により複数層に積層されて設けられている。半導体基板1には、図示しない素子分離領域や能動領域、あるいは各種半導体素子などが設けられている。各層間絶縁膜2のうち、第n−1層目(nは2以上の整数)の層間絶縁膜(下層絶縁膜)2aには、下層導電層としての第n−1層目の下層Cu配線3が少なくとも1本設けられている。下層Cu配線3は、例えばTiの単層膜からなるバリアメタル膜4により覆われている。また、下層Cu配線3は、図示しない層間接続配線を介して、半導体基板1に設けられている能動領域や各種半導体素子などに電気的に接続されている。第n−1層目の層間絶縁膜2aの上には、第n層目の層間絶縁膜2bが設けられている。以下、第n層目以上の製造工程について説明する。
先ず、図1(a)に示すように、第n層目の層間絶縁膜2bに、後述する第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8および第n層目のCu膜(Cu層)12を設けるための凹部5を形成する。このCu膜12は、後述するように、互いに異なる成膜方法により成膜される第1のCu膜9および第2のCu膜10から構成される。ただし、第2のCu膜10は、第1のCu膜9に一体化されつつ成膜される。また、本実施形態においては、Cu膜12を、第n層目のCu配線12aと、このCu配線12aを下層Cu配線3に電気的に接続するCuヴィアプラグ12bとから構成されるCu導電層12として形成する。すなわち、Cu配線12aを、下層Cu配線3に電気的に接続されて通電され、実際に配線として機能する、いわゆる実効配線として設ける。この際、Cu導電層12を、Cu配線12aとCuヴィアプラグ12bとが一体の、いわゆるデュアルダマシン構造に形成する。したがって、導電層用凹部5を、Cu配線12aを設けるための配線用凹部(配線溝)5aと、Cuヴィアプラグ12bを設けるためのプラグ用凹部(ヴィアホール)5bとで構成する。それとともに、ヴィアホール5bを、配線溝5aに連通させて一体に形成する。
具体的には、先ず、第n層目の層間絶縁膜2b上に図示しないヴィアホール形成用のレジストマスクを設け、予め定められたCuヴィアプラグ12bのプラグパターンを層間絶縁膜2bの表面にパターニングする。続けて、例えばRIE法により、そのプラグパターンに沿って層間絶縁膜2bを下層Cu配線3の表面が露出するまでエッチングする。これにより、層間絶縁膜2bをその厚さ方向に沿って貫通して、所定のパターンからなるヴィアホール5bを形成する。この後、ヴィアホール形成用のレジストマスクを層間絶縁膜2b上から剥離させて除去する。次に、ヴィアホール5bが形成された層間絶縁膜2b上に図示しない配線溝形成用のレジストマスクを設け、予め定められたCu配線12aの配線パターンを層間絶縁膜2bの表面にパターニングする。続けて、RIE法により、その配線パターンに沿って層間絶縁膜2bをその厚さ方向の中間部までエッチングする。これにより、ヴィアホール5bに連通して、所定のパターンからなる配線溝5aを形成する。この後、配線溝形成用のレジストマスクを層間絶縁膜2b上から剥離させて除去する。このようにして、ヴィアホール5bが配線溝5aに連通して一体化された第n層目の導電層用凹部5を、第n層目の層間絶縁膜2b内に所定のパターンで形成する。
次に、第n層目の導電層用凹部5内にバリアメタル膜11およびCu導電層12を設ける。背景技術において説明したように、従来は、PVD法によりバリアメタル膜およびシードCu膜を真空中で連続して成膜する。そして、シードCu膜を成膜した後、めっき法によりCuめっき膜をシードCu膜上に成膜する。この後、層間絶縁膜やCu膜などにアニール処理やCMP処理を施す。また、必要に応じて、Cu膜を覆ってさらに層間絶縁膜を設ける。これに対して、本実施形態においては、PVD膜からなる第1および第3のバリアメタル膜6,8の間にCVD膜からなる第2のバリアメタル膜7を設ける。以下、具体的に説明する。
先ず、図1(b)に示すように、第n層目の層間絶縁膜2bの表面および下層Cu配線3の露出面を覆って、Ti単体からなる金属層(導電層)としての第1のバリアメタル膜(下層バリアメタル層)6を導電層用凹部5内に設ける。このTi膜6は、PVD法の一種であるスパッタリング法により、大気開放(大気曝露)されることなく約3nmの膜厚に成膜される。
次に、図2(a)に示すように、第1のバリアメタル膜(Ti膜)6の表面上に、窒化金属化合物であるTiSiNからなる第2のバリアメタル膜(中間バリアメタル層)7を設ける。このTiSiN膜7は、CVD法により、大気開放されることなくTi膜6に連続して約3nmの膜厚に成膜される。このTiSiN膜7は、Ti膜6と同様に導電層である。
次に、図2(b)に示すように、第2のバリアメタル膜(TiSiN膜)7の表面上に、Ti単体からなる第3のバリアメタル膜(上層バリアメタル層)8を設ける。このTi膜8は、PVD法(スパッタリング法)により、大気開放されることなくTiSiN膜7に連続して約3nmの膜厚に成膜される。
これまでの工程により、本実施形態に係る3層構造のバリアメタル膜11を構成する第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8が、導電層用凹部5内に順次積層されて設けられる。各バリアメタル膜6,7,8は、具体的には真空中で連続して成膜される。したがって、各バリアメタル膜6,7,8には酸化物層が形成されていない。
次に、図3(a)に示すように、金属層である第3のバリアメタル膜(Ti膜)8の表面上に、第1のCu膜9を設ける。この第1のCu膜9は、後述する第2のCu膜10を設けるためのシード層(下地層)となる。第1のCu膜(シードCu膜、Cu下地膜)9は、PVD法(スパッタリング法)により、大気開放されることなくTi膜8に連続して薄膜形状に成膜される。すなわち、第1のCu膜9は、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8に連続して真空中で成膜される。なお、後述するように、第1のCu膜9を成膜する際には、半導体基板1の温度を25℃以上に設定してもよい。
次に、図3(b)に示すように、第1のCu膜9の表面上に第2のCu膜10を設ける。この第2のCu膜10は、Cu導電層の主要部であるCu導電層本体となる。第2のCu膜10は、その下地層である第1のCu膜9をシード層(seed layer)として、その表面上にめっき法により成膜される。具体的には、第2のCu膜としてのCuめっき膜10は、シードCu膜9と合わせた膜厚が約800nmになるまで、シードCu膜9に一体化されつつめっき成長される。これにより、配線溝5aおよびヴィアホール5bからなる導電層用凹部5の内側を、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8、ならびにシードCu膜9およびCuめっき膜10により埋め込む。導電層用凹部5の埋め込みが終了した後、層間絶縁膜2bおよび各膜6〜10などに、加熱温度を約150℃、加熱時間を約60分間に設定してアニール処理を施す。
次に、図4(a)に示すように、導電層用凹部5の外側の不要な第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8、ならびにシードCu膜9およびCuめっき膜10を除去する。具体的には、層間絶縁膜2b上の各膜6〜10にCMP処理を施すことにより、層間絶縁膜2b上の各膜6〜10を研磨して除去する。これにより、導電層用凹部5の内側にのみ、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8、ならびにシードCu膜9およびCuめっき膜10を残す。すなわち、Cu配線12aとCuヴィアプラグ12bとが一体に形成されたデュアルダマシン構造からなるCu導電層12を、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8の3層構造からなるバリアメタル膜11により覆って導電層用凹部5内に設ける。以下の説明においては、Cu導電層12を、Cuデュアルダマシン配線12と称することとする。
次に、図4(b)に示すように、バリアメタル膜11およびCuデュアルダマシン配線12を覆って、第n層目の層間絶縁膜2bの表面上にCVD法により第n+1層目の層間絶縁膜(上層絶縁膜)2cを設ける。以後、予め決められている所定の工程を経て、図4(b)に示す配線構造を有する所望の半導体装置13を得る。すなわち、Cu多層配線構造として、下層Cu配線3およびCuデュアルダマシン配線12からなる2層のCu積層配線構造を有する本実施形態の半導体装置13を得る。
次に、図5〜図12を参照しつつ、前述した本実施形態に係る半導体装置の製造方法により製造された半導体装置の信頼性、品質、および電気的特性等を調べるために、本発明者らが行った幾つかの実験およびその結果について説明する。
第1に、図5〜図7を参照しつつ、シードCu膜におけるCuの凝集を調べた実験およびその結果について説明する。この実験は、バリアメタル膜とその表面上に設けられるシードCu膜(シードCu層)との密着性を調べるために行われた。具体的には、シードCu膜を成膜する前に、バリアメタル膜を大気開放した場合と、バリアメタル膜を大気開放しなかった場合とで、バリアメタル膜上のシードCu膜におけるCuの凝集状態を比較した。このCuの凝集試験を行うに際して、本発明者らは次に述べる第1〜第3の3つのサンプル14,101,102を用意した。
先ず、図5(a)〜(c)に示す第1のサンプル14は、シードCu膜9までを、前述した本実施形態に係る半導体装置の製造方法と同様の方法により成膜したものである。具体的には、先ず、層間絶縁膜に相当するSiO2膜のべた膜上に、第1のバリアメタル膜に相当するPVD−Ti膜のべた膜、第2のバリアメタル膜に相当するCVD−TiSiN膜のべた膜、および第3のバリアメタル膜に相当するPVD−Ti膜のべた膜を、真空中で連続して設けた。続けて、PVD−シードCu膜(PVD−Seed−Cu膜)9のべた膜を、PVD−Ti膜上に真空中で連続して設けた。このように、第1のサンプル14は、大気曝露(大気開放)されずに連続して成膜されたPVD−Ti膜、CVD−TiSiN膜、PVD−Ti膜、およびPVD−Seed−Cu膜9の各べた膜が、SiO2膜のべた膜上に積層されて設けられた構造を有している。このような構造を、SiO2膜/PVD−Ti膜/CVD−TiSiN膜/PVD−Ti膜/PVD−Seed−Cu膜9、と表記することとする。なお、前文において、「/」はその前後の膜を成膜する際に大気曝露が無いことを示すものである。また、図5(a)〜(c)に示す写真においては、前記構造のうち、PVD−Ti膜/CVD−TiSiN膜/PVD−Ti膜が一体化したバリアメタル膜11およびPVD−Seed−Cu膜9が写っており、SiO2膜は写っていない。この第1のサンプル14は、本実施形態に係る第1の実施例となる。
次に、図6(a)〜(c)に示す第2のサンプル101は、第3のバリアメタル膜としてのPVD−Ti膜までを、前述した本実施形態に係る半導体装置の製造方法と同様の方法により成膜したものである。具体的には、先ず、層間絶縁膜に相当するSiO2膜のべた膜上に、第1のバリアメタル膜に相当するPVD−Ti膜のべた膜、第2のバリアメタル膜に相当するCVD−TiSiN膜のべた膜、および第3のバリアメタル膜に相当するPVD−Ti膜のべた膜を、真空中で連続して設けた。続けて、PVD−Seed−Cu膜103を成膜するのに先立って、第3のバリアメタル膜に相当するPVD−Ti膜を大気曝露して、その表層部に酸化物層を形成した。この後、酸化物層が形成されたPVD−Ti膜上に、PVD−Seed−Cu膜103のべた膜を真空中で設けた。すなわち、第2のサンプル101は、大気曝露されたPVD−Ti膜の上にPVD−Seed−Cu膜103が成膜されている点を除いては、第1のサンプル14と略同じ構造を有している。このような構造を、SiO2膜/PVD−Ti膜/CVD−TiSiN膜/PVD−Ti膜//PVD−Seed−Cu膜103、と表記することとする。なお、前文において、「//」はその前後の膜を成膜する際に大気曝露が有ることを示すものである。また、図6(a)〜(c)に示す写真においては、前記構造のうち、PVD−Ti膜/CVD−TiSiN膜/PVD−Ti膜が一体化したバリアメタル膜105およびPVD−Seed−Cu膜103が写っており、SiO2膜は写っていない。この第2のサンプル101は、本実施形態に係る第1の実施例である第1のサンプル14に対する第1の比較例となる。
そして、図7(a)〜(c)に示す第3のサンプル102は、背景技術において説明した半導体装置の製造方法と略同様の方法により作成したものである。具体的には、先ず、層間絶縁膜に相当するSiO2膜のべた膜上に、バリアメタル膜に相当するPVD−Ta膜104のべた膜を真空中で設けた。続けて、大気開放することなく、PVD−Seed−Cu膜106のべた膜をPVD−Ta膜104上に真空中で連続して設けた。このように、第3のサンプル102は、大気曝露されずに連続して成膜されたPVD−Ta膜104およびPVD−Seed−Cu膜106の各べた膜が、SiO2膜のべた膜上に積層されて設けられた構造を有している。このような構造を、SiO2膜/PVD−Ta膜104/PVD−Seed−Cu膜106、と表記することとする。また、図7(a)〜(c)に示す写真においては、前記構造のうち、PVD−Ta膜104およびPVD−Seed−Cu膜106が写っており、SiO2膜は写っていない。この第3のサンプル102は、本実施形態に係る第1の実施例である第1のサンプル14に対する第2の比較例となる。
この試験では、先ず、前述した第1〜第3の各サンプル14,101,102を、約200℃および約300℃でそれぞれ約1時間ずつアニールした。この後、アニール処理された各サンプル14,101,102の各PVD−Seed−Cu膜9,103,106の表面をSEMで観察した。それとともに、アニール処理を施さなかった各サンプル14,101,102の各PVD−Seed−Cu膜9,103,106の表面をSEMで観察した。一般的に、各バリアメタル膜(PVD−Ti膜、PVD−Ta膜)と各PVD−Seed−Cu膜9,103,106との密着性が弱くなるにつれて、各PVD−Seed−Cu膜9,103,106のCuはアニール処理により凝集し易くなる。図5〜図7には、アニール処理前、約200℃でのアニール処理後、および約300℃でのアニール処理後の、各サンプル14,101,102の表面をSEMで観察した結果を示す。
図5(a)〜(c)に示すように、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により作成された第1のサンプル14では、アニール処理前、約200℃でのアニール処理後、および約300℃でのアニール処理後の、いずれの状態においてもPVD−Seed−Cu膜9上にCuの凝集は殆ど観察されなかった。
また、図6(a)に示すように、PVD−Ti膜が大気曝露された後にPVD−Seed−Cu膜103が成膜された第2のサンプル101では、アニール処理前はPVD−Seed−Cu膜103上にCuの凝集は殆ど観察されなかった。ところが、図6(b)に示すように、約200℃でのアニール処理後では、PVD−Seed−Cu膜103上に部分的にCuの凝集が観察された。さらに、図6(c)に示すように、約300℃でのアニール処理後では、PVD−Seed−Cu膜103上に略全面的に散らばってCuの凝集107が観察された。また、この約300℃でのアニール処理により発生したCuの凝集部分107は、約200℃でのアニール処理により発生したCuの凝集部分107より大きかった。
そして、図7(a)および(b)に示すように、背景技術に係る半導体装置の製造方法により作成された第3のサンプル102では、アニール処理前および約200℃でのアニール処理後では、PVD−Seed−Cu膜106上にCuの凝集は殆ど観察されなかった。ところが、図7(c)に示すように、約300℃でのアニール処理後では、PVD−Seed−Cu膜106上に略全面的に散らばってCuの凝集108が観察された。この第3のサンプル102の約300℃でのアニール処理により発生したCuの凝集部分108は、図6(c)に示す第2のサンプル101の約300℃でのアニール処理により発生したCuの凝集部分107に比べて著しく大きかった。
このようなCuの凝集試験の結果により、次に述べることが分かった。PVD−Ti膜(第3のバリアメタル膜)とPVD−Seed−Cu膜9とを大気曝露すること無く連続して成膜すると、図5(c)に示すように、PVD−Seed−Cu膜9に約300℃でアニール処理を施してもCuの凝集が発生しない。また、図示は省略するが、本発明者らが行った追試験によれば、PVD−Ti膜とPVD−Seed−Cu膜9とを大気曝露すること無く連続して成膜すると、PVD−Seed−Cu膜9に約450℃でアニール処理を施してもCuの凝集が発生していなかった。
また、図5(a)〜(c)に示すPVD−Ti膜およびPVD−Seed−Cu膜9を大気曝露させずに連続して成膜した第1のサンプル14と、図7(a)〜(c)に示すPVD−Ta膜およびPVD−Seed−Cu膜106を大気曝露させずに連続して成膜した第3のサンプル102とを比較した。すると、図5(a)および(b)ならびに図7(a)および(b)に示すように、第1のサンプル14および第3のサンプル102ともに、約200℃まではアニール処理を施してもCuの凝集が発生しなかった。ところが、第1および第3の各サンプル14,102に約300℃でアニール処理を施すと、図5(c)に示すように第1のサンプル14ではCuの凝集が発生しないが、図7(c)に示すように第3のサンプル102ではCuの凝集108が発生していた。すなわち、PVD−Seed−Cu膜およびその下地層を大気曝露させずにPVD法により連続して成膜した場合でも、下地層の材質の違いにより、Cuの凝集の発生温度が異なることが分かった。この下地層の材質や成膜プロセスの差が、後述するシンター、SIV、あるいはEMに対するCu配線(Cu導電層)の信頼性(耐性)を調べるための各種試験における結果の差につながっていると考えられる。
さらに、図6(a)〜(c)から明らかなように、PVD−Ti膜上にPVD−Seed−Cu膜103を成膜する場合でも、PVD−Seed−Cu膜103を成膜する前にPVD−Ti膜を大気曝露すると、約200℃からCuの凝集が徐々に発生していた。この結果より、PVD−Ti膜の表層部に酸化物層が形成されると、PVD−Ti膜とPVD−Seed−Cu膜103との密着性は劣化(低下)することが分かった。ひいては、表層部に酸化物層が形成されたTi膜上にCu膜を成膜して形成した配線を有する半導体装置は、その信頼性が劣化することが予想される。
背景技術において記述した前記特許文献2には、Cu配線とCVD膜やALD膜との密着性の低さを改善するために、CVD膜やALD膜とシードCu膜との間にTi酸化層を設ける技術が開示されている。この技術は、前述した第2のサンプルと同様の方法によりバリアメタル膜およびシードCu膜を成膜するものである。具体的には、シードCu膜を成膜するのに先立って、CVD膜やALD膜の上にTi膜を成膜する。続けて、Ti膜を大気暴露することにより、Ti膜の表層部にTi酸化層を形成する。この後、Ti酸化層の上にシードCu膜を成膜する。これにより、CVD膜やALD膜からなるバリアメタル膜とシードCu膜との密着性を向上させて、Cu配線の信頼性、ひいては半導体装置の信頼性などの改善を図るものである。
ところが、本発明者らが行った本実験によれば、図6(a)〜(c)から明らかなように、Ti膜とシードCu膜との界面に大気開放による酸化層が存在すると、Cuの凝集を抑制することは殆ど不可能であった。すなわち、半導体装置の信頼性劣化の程度を改善することが極めて困難であることが分かった。
なお、図5〜図7においては、各PVD−Seed−Cu膜9,103,106に対するアニール温度を、約200℃および300℃に設定した場合の試験結果(データ)を載せている。一方、背景技術において説明したように、Cu配線となるPVD−Seed−Cu膜を成膜した後のアニール処理は、一般に350℃以上の高温で行われる。これに対し、前述したように、本実施形態に係る第1のサンプル14は、アニール処理の温度を約450℃まで上げてもCuの凝集が発生せず、約450℃の高温でもアニール処理が可能である。すなわち、第1のサンプル14は、約450℃の高温でもPVD−Seed−Cu膜の膜質を適正な状態に保持し得る耐性(信頼性)を有している。
また、以上説明した第1〜第3の各サンプル14,101,102において、各PVD−Seed−Cu膜9,103,106には、膜厚が約10nmからなるCuのべた膜を共通して用いた。これら各PVD−Seed−Cu膜9,103,106の約10nmという膜厚は、実際の半導体デバイスで使用することを目的として設定した値ではない。一般的に、Cuの凝集はCu膜が薄くなるに連れて起こり易くなる。したがって、Cuの凝集を加速させて各PVD−Seed−Cu膜9,103,106間のCuの凝集状態の比較を容易にするために、各PVD−Seed−Cu膜9,103,106をそれらの膜厚が約10nmの薄肉形状に成膜したものである。
このように、この第1の実験は、あくまでも各PVD−Seed−Cu膜9,103,106を薄膜に形成して、Cuが凝集し易くさせた状態(加速状態)での加速実験である。すなわち、様々な材質や成膜プロセスにより成膜された各種のバリアメタル膜上に設けられた各PVD−Seed−Cu膜9,103,106同士におけるCuの凝集状態を、容易に比較できるようにすることを目的としたものである。
第2に、図8および図9を参照しつつ、Cu導電層における電気的特性を調べた実験およびその結果について説明する。この実験は、Cu導電層に直接接触するTi膜の表層部に酸化物層を形成しなくても、Ti/Cu反応によるCu導電層の主要箇所における抵抗値上昇のおそれが殆どないことを検証するために行われた。具体的には、例えばCu導電層を形成する際のCMPによりCu導電層が設けられる層間絶縁膜に与えられたダメージを回復させるためのアニール処理の温度、すなわちシンター処理の温度を通常の約370℃から約400℃に上げて処理を行った。これにより、Ti膜とCu導電層との間で反応(Ti/Cu反応)を起こさせ、この反応がCu導電層の主要箇所における抵抗値にどのような影響を与えるかを見積もった。このシンター処理(シンター試験)を行うに際して、本発明者らは次に述べる第4および第5の2つのサンプルを用意した。
先ず、図示は省略するが、第4のサンプルは、前述したCu凝集試験で用いた第3のサンプル102と同様に、背景技術に係る半導体装置の製造方法により作成したものである。すなわち、層間絶縁膜に形成した凹部内に、先ず、下層バリアメタル膜としてのPVD−TaN膜を真空中で設けた。続けて、大気開放することなく、上層バリアメタル膜としてのPVD−Ta膜をPVD−TaN膜上に真空中で連続して積層して設けた。さらに、大気開放することなく、PVD−Ta膜上にシードCu膜をPVD法により真空中で連続して積層して設けた。このように、第4のサンプルは、大気曝露されずに連続して成膜されたPVD−TaN膜/PVD−Ta膜からなる2層構造のバリアメタル膜を有する。なお、PVD−TaN膜およびPVD−Ta膜は、それらの膜厚をともに約10nmに成膜された。この第4のサンプルは、本実施形態に係る第2の実施例である後述する第5のサンプルに対する、第3の比較例となる。
次に、第5のサンプルは、前述したCu凝集試験で用いた第1のサンプル14と同様に、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により作成したものである。すなわち、層間絶縁膜に形成した凹部内に、先ず、下層バリアメタル膜としてのPVD−Ti膜を真空中で設けた。続けて、大気開放することなく、中間バリアメタル膜としてのCVD−TiSiN膜をPVD−Ti膜上に真空中で連続して積層して設けた。続けて、大気開放することなく、上層バリアメタル膜としてのPVD−Ti膜をCVD−TiSiN膜上に真空中で連続して積層して設けた。さらに、大気開放することなく、PVD−Ti膜上にシードCu膜をPVD法により真空中で連続して積層して設けた。このように、第5のサンプルは、大気曝露されずに連続して成膜されたPVD−Ti膜/CVD−TiSiN膜/PVD−Ti膜からなる3層構造のバリアメタル膜を有する。なお、上層および下層の各PVD−Ti膜は、それらの膜厚をともに約6nmに成膜された。それとともに、CVD−TiSiN膜は、その膜厚を約3nmに成膜された。各PVD−Ti膜の膜厚を、約6nmと通常よりも厚肉に設定することにより、Ti/Cu反応を感度良く測定することができた。この第5のサンプルは、本実施形態に係る第2の実施例となる。
なお、以上説明した第4および第5の各サンプルにおいて、試験結果の比較を容易にするためにCu導電層の構造を共通化した。具体的には、第4および第5の各サンプルのCu導電層の構造を、図4(b)に示す半導体装置13と同様のデュアルダマシン構造とした。それとともに、Cu導電層12を下層Cu導電層3に電気的に接続して、2層配線構造とした。そして、Cu導電層12のうち、図4(b)中実線矢印W2で示すCu配線12aの幅を、約0.14μmに設定した。また、Cu配線12aの長さを約1.7mmに設定した。さらに、Cu導電層12のうち、図4(b)中実線矢印W3で示すCuヴィアプラグ12bの直径を、約0.14μmに設定した。
この試験では、前述した第4のサンプルに対して、約370℃で所定時間シンター処理を施した。この試験を(A)とする。また、前述した第5のサンプルに対しては、約370℃および約400℃の2通りの温度で所定時間シンター処理を施した。ここで、第5のサンプルに対して約370℃でシンター処理を施した試験を(B)とする。また、第5のサンプルに対して約400℃でシンター処理を施した試験を(C)とする。この約400℃という加熱温度は、Ti膜とCu導電層との間の反応を活性化させるための、いわゆる加速条件である。このように、第4および第5の各サンプルに約370℃または約400℃でシンター処理を施した後、それら各サンプルの配線部およびヴィアプラグにおける抵抗値を測定した。また、そのような処理を複数回行った。その結果を、図8および図9に示す。
図8に示すように、配線抵抗の最大値は(A)が最も高かった。それとともに、配線抵抗の測定値のばらつきも(A)が最も大きかった。これに対して、配線抵抗の最大値は(B)が最も低かった。それとともに、配線抵抗の測定値のばらつきも(B)が最も小さかった。(C)の配線抵抗の最大値および配線抵抗の測定値のばらつきは、ともに(A)と(B)との中間であった。
また、図9に示すように、ヴィアプラグ抵抗の最大値は(A)が最も高かった。しかし、(A)のヴィアプラグ抵抗の測定値のばらつきは、(B)と(C)との中間であった。これに対して、ヴィアプラグ抵抗の最大値は(C)が最も低かった。それとともに、ヴィアプラグ抵抗の測定値のばらつきも(C)が最も小さかった。また、(B)のヴィアプラグ抵抗の最大値は、(A)と(C)との中間であった。
このように、本実施形態によれば、Cu導電層およびバリアメタル膜に加熱処理を施す際の温度(熱履歴)を約400℃以下に設定することにより、配線部およびヴィアプラグにおける抵抗値を、従来に比較して十分低い値に抑えることができることが分かった。すなわち、PVD−Ti膜/CVD−TiSiN膜/PVD−Ti膜/シードCu膜を大気曝露せずに連続して成膜することにより、Cu導電層に直接接触するTi膜の表層部に酸化物層を形成することなくTi/Cu反応を抑制できる。この結果、Cu配線部やCuヴィアプラグなど、Cu導電層の主要箇所において、Ti/Cu反応に起因する抵抗値の上昇を殆ど無くすことができる。
第3に、図10を参照しつつ、Cu導電層におけるストレスによるボイドの発生(Stress Induced Voiding:SIV)に対する耐性(信頼性)を調べた実験およびその結果について説明する。このSIV試験を行うに際して、本発明者らは大別して次に述べる第6および第7の2つのサンプルを用意した。
先ず、図示は省略するが、第6のサンプルは、背景技術に係る半導体装置の製造方法により、前述したシンター試験で用いた第4のサンプルと殆ど同じ2層配線構造に作成されたものである。すなわち、第6のサンプルにおいては、PVD−TaN膜およびPVD−Ta膜の各バリアメタル膜を、大気開放することなく、それらの膜厚をともに約10nmに成膜した。また、図4(b)中実線矢印W3で示すCuヴィアプラグの直径を、約0.14μmに設定した。ただし、図4(b)中実線矢印W1で示す下層Cu配線の幅および図4(b)中実線矢印W2で示すCu配線の幅を、それぞれ約0.42μm、約1μm、約2μm、約5μm、約10μm、および約25μmの6つの異なる大きさに設定して組み合わせた。具体的には、図10に示すように、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2の組み合わせを変えることにより、(1)〜(7)までの7種類の第6のサンプルを用意した。これら7種類の第6のサンプルは、本実施形態に係る第3の実施例である後述する第7のサンプルに対する、第4の比較例となる。
次に、第7のサンプルは、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により、中間バリアメタル膜としてCVD−TiSiN膜を用いて、前述したシンター試験で用いた第5のサンプルと殆ど同じ2層配線構造に作成されたものである。例えば、Cuヴィアプラグ12bの直径W3を、約0.14μmに設定した。ただし、第7のサンプルにおいては、PVD−Ti膜、CVD−TiSiN膜、およびPVD−Ti膜を、大気開放することなく、それらの膜厚を全て約3nmに成膜した。また、前述した第6のサンプルと同様に、下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2を、それぞれ約0.42μm、約1μm、約2μm、約5μm、約10μm、および約25μmの6つの異なる大きさに設定して組み合わせた。具体的には、図10に示すように、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2の組み合わせを変えることにより、(8)〜(14)までの7種類の第7のサンプルを用意した。これら7種類の第7のサンプルは、本実施形態に係る第3の実施例となる。
このSIV試験では、前述したように第6および第7の各サンプルのヴィアプラグの直径W3を約0.14μmに固定して、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を変化させて、ストレスによる不良発生率の傾向を調べた。この際、先ず、第6および第7の各サンプルを図示しない恒温槽内で約225℃の温度に約1000時間保持した。この後、それぞれ約0.42μm〜約25μmの範囲に設定された配線幅W1,W2からなる、下層Cu配線およびCu配線を組み合わせた評価パターンを測定した。ここで、(1)〜(7)までの7種類の第6のサンプルに対して行ったSIV試験を(D)とする。また、(8)〜(14)までの7種類の第7のサンプルに対して行ったSIV試験を(E)とする。これらのSIV試験(D)および(E)の試験結果を図10に示す。
一般的に、配線幅が広い程ストレスの掛かり方が大きくなるので、不良発生率が上昇することが知られている。また、図10に示すように(6)および(13)のサンプル、ならびに(7)および(14)サンプルでは、それら以外のサンプルと異なり、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を敢えて互いに異なる大きさに設定した。このような設定により、SIVによる不良は、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2のどちらに起因するものなのかを検証した。
図10に示すグラフから明らかなように、SIV試験(D)では、(5)の下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2がともに25μmのサンプルで不良発生率が増加している。これに対して、SIV試験(E)では、(12)の下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2がともに25μmのサンプルでも、その不良発生率は極めて低いことが分かった。また、SIV試験(D)では、(1)〜(7)までのサンプルのうち、(3)、(4)、および(7)のサンプルで不良発生率が殆ど0であった。これに対して、SIV試験(E)では、(8)〜(14)までのサンプルのうち、前述した(12)を除く全てのサンプルで不良発生率が殆ど0であった。この結果により、本実施形態によれば、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2のそれぞれの大きさに拘らず、抵抗上昇による不良発生率を従来に比べて大幅に低減できることが分かった。すなわち、本実施形態によれば、従来よりもSIV信頼性(SIV耐性)を大幅に向上させることができることが分かった。
また、SIV試験(D)では、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を敢えて互いに異なる大きさに設定した(6)および(7)のサンプルのうち、(7)のサンプルはその不良発生率が殆ど0であった。これに対して、SIV試験(E)では、同じく下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を敢えて互いに異なる大きさに設定した(13)および(14)のサンプルは、いずれもそれらの不良発生率が殆ど0であった。この結果により、SIVに起因する不良は、下層Cu配線の幅W1の大きさよりも、むしろCu配線の幅W2の大きさに起因することが分かった。さらに、本発明者らが行った追試験によれば、シードCu膜を成膜するのに先立ってこのシードCu膜と直接接触するバリアメタル膜を大気曝露すると、(1)〜(7)までの全ての第6のサンプル、および(8)〜(14)までの全ての第7のサンプルにおいて、不良発生率が大幅に上昇することが分かった。すなわち、シードCu膜を成膜するのに先立ってこのシードCu膜と直接接触するバリアメタル膜を大気曝露すると、バリアメタル膜の構造や膜質に拘らず、SIVによる不良発生率が大幅に上昇することが分かった。
第4に、前述した第3の試験と同様に、図11を参照しつつ、Cu導電層におけるSIVに対する耐性を調べた実験およびその結果について説明する。このSIV試験を行うに際して、本発明者らは大別して次に述べる第8および第9の2つのサンプルを用意した。
先ず、図示は省略するが、第8のサンプルは、背景技術に係る半導体装置の製造方法により、前述したSIV試験で用いた第6のサンプルと全く同じ2層配線構造に作成されたものである。すなわち、図11に示すように、この第8のサンプルにおいても、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を、それぞれ約0.42μm、約1μm、約2μm、約5μm、約10μm、および約25μmの6つの異なる大きさに設定して組み合わせた。すなわち、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を、それぞれ約0.42μm〜約25μmの範囲で変えて組み合わせることにより、前述した第6のサンプルと同じ設定からなる(15)〜(21)までの7種類の第8のサンプルを用意した。また、これら(15)〜(21)までの7種類の第8のサンプルにおいても、それぞれのCuヴィアプラグの直径W3を、前述した第6のサンプルと同じ約0.14μmに設定した。これら7種類の第8のサンプルは、本実施形態に係る第4の実施例である後述する第9のサンプルに対する、第5の比較例となる。
次に、第9のサンプルは、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により、中間バリアメタル膜としてALD−TaN膜を用いて、前述したSIV試験で用いた第7のサンプルと殆ど同じ2層配線構造に作成されたものである。すなわち、第9のサンプルにおいては、PVD−Ti膜、ALD−TaN膜、およびPVD−Ti膜を、大気開放することなく連続して成膜した。また、図11に示すように、この第9のサンプルにおいても、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を、それぞれ約0.42μm、約1μm、約2μm、約5μm、約10μm、および約25μmの6つの異なる大きさに設定して組み合わせた。すなわち、下層Cu配線の幅W1およびCu配線の幅W2を、それぞれ約0.42μm〜約25μmの範囲で変えて組み合わせることにより、前述した第7のサンプルと同じ設定からなる(22)〜(28)までの7種類の第9のサンプルを用意した。また、これら(22)〜(28)までの7種類の第9のサンプルにおいても、それぞれのCuヴィアプラグ12bの直径W3を、前述した第7のサンプルと同じ約0.14μmに設定した。ただし、第7のサンプルと異なり、この第9のサンプルにおいては、中間バリアメタル膜であるALD−TaN膜のみを、約1nmの膜厚で成膜した。これら7種類の第9のサンプルは、本実施形態に係る第4の実施例となる。
この第4のSIV試験は、前述した第3のSIV試験と略同じ設定で行われた。ただし、加熱時間は、第3のSIV試験の半分の約500時間に設定した。ここで、(15)〜(21)までの7種類の第8のサンプルに対して行ったSIV試験を(F)とする。また、(22)〜(28)までの7種類の第9のサンプルに対して行ったSIV試験を(G)とする。これらのSIV試験(F)および(G)の試験結果を図11に示す。
図11に示すグラフから明らかなように、中間バリアメタル膜にALD−TaN膜を用いた場合でも、前述したCVD−TiSiN膜を用いた場合と同様の効果を得ることができることが分かった。すなわち、中間バリアメタル膜にALD−TaN膜を用いた場合でも、従来よりもSIV信頼性を大幅に向上させることができる。さらに、本発明者らが行った追試験によれば、シードCu膜を成膜するのに先立ってこのシードCu膜と直接接触するバリアメタル膜を大気曝露すると、(15)〜(21)までの全ての第8のサンプル、および(22)〜(28)までの全ての第9のサンプルにおいて、不良発生率が大幅に上昇した。すなわち、シードCu膜を成膜するのに先立ってこのシードCu膜と直接接触するバリアメタル膜を大気曝露すると、バリアメタル膜の構造や膜質に拘らず、SIVによる不良発生率が大幅に上昇することが分かった。
このように、第3および第4のSIV試験の結果から、本実施形態によればSIV耐性を背景技術と同等以上に向上できることが明らかになった。
第5に、図12を参照しつつ、Cu導電層のエレクトロマイグレーション(Electro Migration:EM)に対する耐性を調べた実験およびその結果について説明する。このEM試験を行うに際して、本発明者らは次に述べる第10および第11の2つのサンプルを用意した。
先ず、図示は省略するが、第10のサンプルは、バリアメタル膜を背景技術に係る半導体装置の製造方法と同様の方法により形成したものである。他の部分は図4(b)に示す本実施形態に係る半導体装置13と同様である。この第10のサンプルは、本実施形態に係る第5の実施例である後述する第11のサンプルに対する、第6の比較例となる。次に、第11のサンプルは、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により製造されたものである。この第11のサンプルは、本実施形態に係る第5の実施例となる。これら第10のサンプルおよび第11のサンプルにおいて、それぞれのCu配線の幅W2およびCuヴィアプラグの直径W3を、ともに約0.15μmに設定した。
この第5のEM試験は、第10および第11の各サンプルの保持温度を約325℃に設定するとともに、第10および第11の各サンプルのCu配線に流す電流の電流密度を約2MA/cm2に設定した条件下で実施された。このような条件の下での、配線幅約0.15μmの評価パターンのEM試験の結果を、図12に示す。
図12に示すグラフから明らかなように、背景技術に係る第10のサンプルに比較して、本実施形態に係る第11のサンプルでは、EMによるTTF(Time To Failure)が約10倍以上に延びている。すなわち、本実施形態によれば、EM耐性(TTF)を背景技術に比べて一桁向上できることが分かった。また、本発明者らが行った研究によれば、この大幅なTTFの延びは、Cu膜と最上層のバリアメタル膜であるTi膜との密着性が向上された結果による効果であることが明らかになった。さらに、本発明者らが行った追試験によれば、シードCu膜を成膜するのに先立ってこのシードCu膜と直接接触するバリアメタル膜を大気曝露すると、第10および第11の両サンプルにおいて、図12に示すグラフが左側にシフトした。すなわち、シードCu膜を成膜するのに先立ってこのシードCu膜と直接接触するバリアメタル膜を大気曝露すると、バリアメタル膜の構造や膜質に拘らず、EMによるTTFが短くなることが分かった。
以上説明したように、この第1実施形態によれば、半導体基板1上の第n層目の層間絶縁膜2bに形成された導電層用凹部5内に、第1のバリアメタル膜(PVD−Ti膜)6、第2のバリアメタル膜(CVD−TiSiN膜)7、および第3のバリアメタル膜(PVD−Ti膜)8を、大気開放せずに連続して成膜して積層する。それとともに、第3のバリアメタル膜8上に、シードCu膜(PVD−Seed−Cu膜)9を大気開放せずに連続して設ける。この後、シードCu膜9上にCuめっき膜10をめっき成長させて凹部5を埋め込む。これにより、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8の3層構造からなるバリアメタル膜11によって覆われたデュアルダマシン構造のCu導電層12を、第n層目の層間絶縁膜2b内に形成する。
このような構成によれば、層間絶縁膜2bと下地の材質や種類に敏感なCVD−TiSiN膜7との間にPVD−Ti膜6が設けられているので、均質なCVD−TiSiN膜7を安定して成膜することができる。また、CVD−TiSiN膜7とCu導電層12(PVD−Seed−Cu膜9)との間にPVD−Ti膜8が設けられているので、Cu導電層12とバリアメタル膜11(PVD−Ti膜8)との密着性が向上されている。すなわち、Cu導電層12を覆って層間絶縁膜2b内に埋め込まれるバリアメタル膜11の膜質および成膜性、ならびにCu導電層12とバリアメタル膜11との密着性の改善を図ることができる。この結果、Cu導電層12の信頼性や電気的特性などを向上できる。それとともに、このようなCu導電層12を備えることにより信頼性や電気的特性などが向上された半導体装置13を効率良く、かつ、容易に製造することができる。これは、ALD法により成膜されたALD−TaN膜を中間バリアメタル膜として用いた、本実施形態の第4実施例に係る第9のサンプルにおいても同様である。
具体的には、Cu導電層12とバリアメタル膜11との密着性が向上されているので、Cu導電層12に対して高温の加熱処理を施しても、Cu導電層12や下層Cu配線3中のCu原子および空間(Vacancy)が下層Cu配線3やCu導電層12とバリアメタル膜11との界面に沿って移動するおそれが殆ど無い。すなわち、Cu導電層12や下層Cu配線3中に空乏(Void)が形成されて、Cu導電層12や下層Cu配線3の信頼性、品質、および電気的特性などが低下するおそれが殆ど無い。ひいては、Cu導電層12や下層Cu配線3中に空乏が形成されることに起因して、半導体装置13の信頼性、品質、性能、および歩留まりなどが低下するおそれが殆ど無い。
また、Cu導電層12(シードCu膜9)とバリアメタル膜11との密着性が向上されているので、シードCu膜9を設ける際に半導体基板1の温度を約25℃以上に保持しても、Cuの凝集は殆ど発生しない。したがって、シードCu膜9を設ける際に半導体基板1の温度を約25℃以上に保持して、Cuの表面拡散現象を利用して良質なシードCu膜を効率良く成膜することができる。これにより、シードCu膜9によるヴィアホール5bの内部の被覆率(カバレージ)を向上させることができるとともに、配線溝5aの開口部におけるシードCu膜9によるオーバーハング部の成長を殆ど無くすことができる。この結果、Cuめっき膜10をめっき成長させて導電層用凹部5(配線溝5a、ヴィアホール5b)を埋め込む際の障害を殆ど無くすことができる。
また、前述したように、Cu導電層12に対して高温の加熱処理を施しても、Cu導電層12中に空乏やCuの凝集が発生するおそれが殆ど無いので、形成後のCu導電層12に高温のアニール処理を施すことができる。これにより、Cu導電層12内の結晶粒成長を促進させて、ストレスマイグレーションやエレクトロマイグレーションなどの不良に対するCu導電層12の信頼性(耐性)を高めることができる。
また、本実施形態では、Cu導電層12(シードCu膜9)と、これに直接接触する上層バリアメタル膜である第3のバリアメタル膜(PVD−Ti膜)8との間に、大気開放による金属酸化物層が存在しない。したがって、金属酸化物層の存在に起因してCuの凝集が発生するおそれは殆ど無い。すなわち、金属酸化物層の存在に起因して半導体装置13の信頼性が劣化するおそれは殆ど無い。また、本実施形態のバリアメタル膜11は、上層および下層の各バリアメタル膜(PVD−Ti膜)6,8の間に、CVD−TiSiN膜からなる中間バリアメタル膜7を有している。これにより、一般にCuの拡散バリア性がCVD膜やALD膜に比べて劣るとされているTi膜のバリア性能を、補うことができる。すなわち、本実施形態のバリアメタル膜11は、バリアメタル膜をTiの単層膜で形成する場合に比べて、そのCuの拡散バリア性が高められている。
さらに、本実施形態において全ての熱処理工程を約400℃以下で実施する設定とした。これにより、Cu導電層12とPVD−Ti膜8との界面におけるTi−Cu合金化を抑制することができた。それとともに、Cu導電層12中のTi拡散に起因する、Cu配線12aおよびCuヴィアプラグ12bにおける抵抗値の上昇を抑制することができた。
(第2の実施の形態)
次に、本発明に係る第2実施形態を図13〜図15を参照しつつ説明する。図13〜図15は、それぞれ本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。なお、前述した第1実施形態と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
次に、本発明に係る第2実施形態を図13〜図15を参照しつつ説明する。図13〜図15は、それぞれ本実施形態に係る半導体装置の製造方法を示す工程断面図である。なお、前述した第1実施形態と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
本実施形態においては、Cu導電層を、Cu配線とCuヴィアプラグとが別体の、いわゆるシングルダマシン構造に形成する点が前述した第1実施形態と異なっている。その他は前述した第1実施形態と同様である。以下、簡潔に説明する。
先ず、図13(a)に示すように、第1実施形態と同様の方法により、下層Cu配線3の表面を露出するように、第n層目の第1の層間絶縁膜(第n層目の下層層間絶縁膜)21aをその厚さ方向に沿って貫通して、所定のパターンからなるヴィアホール22bを形成する。
次に、図13(b)に示すように、ヴィアホール22b内に、第1のバリアメタル膜(PVD−Ti膜)23、第2のバリアメタル膜(CVD−TiSiN膜)24、および第3のバリアメタル膜(PVD−Ti膜)25を、大気開放せずに連続して成膜して設ける。続けて、第3のバリアメタル膜25上に、図示しないシードCu膜を大気開放せずに連続して設ける。続けて、シードCu膜上に図示しないCuめっき膜をめっき成長させてヴィアホール22bを埋め込む。この後、第1〜第3の各バリアメタル膜23,24,25、およびCu膜にCMP処理を施す。これにより、第1〜第3の各バリアメタル膜23,24,25の3層構造からなるバリアメタル膜26によって覆われたCuヴィアプラグ27bを、第n層目の下層層間絶縁膜21a内に形成する。
次に、図14(a)に示すように、バリアメタル膜26およびCuヴィアプラグ27bが形成された第n層目の下層層間絶縁膜21a上に、第n層目の第2の層間絶縁膜(第n層目の上層層間絶縁膜)21bを設ける。続けて、バリアメタル膜26およびCuヴィアプラグ27bの表面を露出するように、第n層目の上層層間絶縁膜21bをその厚さ方向に沿って貫通して、所定のパターンからなる配線溝22aを形成する。
次に、図14(b)に示すように、配線溝22a内に、第1のバリアメタル膜(PVD−Ti膜)28、第2のバリアメタル膜(CVD−TiSiN膜)29、および第3のバリアメタル膜(PVD−Ti膜)30を、大気開放せずに連続して成膜して設ける。続けて、第3のバリアメタル膜30上に、図示しないシードCu膜を大気開放せずに連続して設ける。続けて、シードCu膜上に図示しないCuめっき膜をめっき成長させて配線溝22aを埋め込む。この後、第1〜第3の各バリアメタル膜28,29,30、およびCu膜にCMP処理を施す。これにより、第1〜第3の各バリアメタル膜28,29,30の3層構造からなるバリアメタル膜31によって覆われたCu配線27aを、第n層目の上層層間絶縁膜21b内に形成する。
これまでの工程により、第n層目の層間絶縁膜21内に、Cu配線27aとCuヴィアプラグ27bとが別体に形成されたシングルダマシン構造からなるCu導電層27が形成される。
次に、図15に示すように、バリアメタル膜31およびCu配線27aを覆って、第n層目の上層層間絶縁膜21bの表面上に第n+1層目の層間絶縁膜(上層絶縁膜)32を設ける。以後、予め決められている所定の工程を経て、図15に示す配線構造を有する所望の半導体装置33を得る。すなわち、Cu多層配線構造として、下層Cu配線3およびCuシングルダマシン配線27からなる2層のCu積層配線構造を有する本実施形態の半導体装置33を得る。
以上説明したように、この第2実施形態によれば、前述した第1実施形態と同様の効果を得ることができる。また、Cu配線27aとCuヴィアプラグ27bとの間に、PVD−Ti膜28、CVD−TiSiN膜29、およびPVD−Ti膜30の3層構造からなるバリアメタル膜31が設けられているので、Cu配線27aとCuヴィアプラグ27bとの間で背景技術において説明したような問題が生じるおそれは殆ど無い。
(第3の実施の形態)
次に、本発明に係る第3実施形態を図16〜図20を参照しつつ説明する。図16〜図20は、それぞれ本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。なお、前述した第1および第2実施形態と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
次に、本発明に係る第3実施形態を図16〜図20を参照しつつ説明する。図16〜図20は、それぞれ本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。なお、前述した第1および第2実施形態と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
本実施形態においては、前述した第1実施形態および第2実施形態の少なくとも一方に係る半導体装置の製造方法を適用されて製造された、多層配線構造を有する半導体装置およびダミー配線構造を有する半導体装置について、幾つかの具体例を挙げて説明する。
先ず、図16に示す半導体装置41は、第1実施形態に係る半導体装置の製造方法を適用されて製造されている。具体的には、先ず、半導体基板1の表面上に設けられた最下層(第1層目)の層間絶縁膜42a(42)に形成された凹部5を、第1実施形態と同様の方法により、第1のバリアメタル膜6、第2のバリアメタル膜7、第3のバリアメタル膜8、およびCu膜12で埋め込む。その後、凹部5内に埋め込まれた第1層目のCu膜12を覆って、上層絶縁膜としての第2層目の層間絶縁膜42b(42)を第1層目の層間絶縁膜42a上に設ける。続けて、この第2層目の層間絶縁膜42b内に第1層目のCu膜12の表面を露出して第2層目の凹部5を形成する。続けて、PVD法により、第1のバリアメタル膜6を第1層目のCu膜12に接触させて第2層目の凹部5内に設ける。続けて、CVD法およびALD法の少なくとも一方の方法により、第1のバリアメタル膜6上に第2のバリアメタル膜7を設ける。続けて、PVD法により、第2のバリアメタル膜7上に第3のバリアメタル膜8を設ける。これら第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8は、大気開放されることなく連続して成膜される。続けて、第2層目の第3のバリアメタル膜8上に、大気開放せずに上層Cu膜としての第2層目のCu膜12を設けて、第2層目の層間絶縁膜42b内の凹部5を埋め込む。
以後、このような処理を1回以上行う。これにより、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8の3層構造からなるバリアメタル膜11によって覆われているとともに、Cu配線12aとCuヴィアプラグ12bとが一体に形成されたデュアルダマシン構造からなるCu導電層12が、複数層に積層されて設けられた構造を有する半導体装置41を得る。各Cu導電層12は、バリアメタル膜11を介して互いに電気的に接続されている。それとともに、最下層のCu導電層12(Cuコンタクトプラグ12b)は、バリアメタル膜11を介して半導体基板1の表層部に形成されている下層導電層としての拡散層43に電気的に接続されている。
次に、図17に示す半導体装置51は、第2実施形態に係る半導体装置の製造方法を適用されて製造されている。すなわち、第1〜第3の各バリアメタル膜23,24,25の3層構造からなるバリアメタル膜26によって覆われたCuヴィアプラグ27bと、第1〜第3の各バリアメタル膜28,29,30の3層構造からなるバリアメタル膜31によって覆われたCu配線27aとが別体に形成されたシングルダマシン構造からなるCu導電層27が、複数層に積層されて設けられた構造を有している。各Cu導電層27は、バリアメタル膜26,31を介して互いに電気的に接続されている。それとともに、最下層のCu導電層27(Cuコンタクトプラグ27b)は、バリアメタル膜26,31を介して半導体基板1の表層部に形成されている拡散層43に電気的に接続されている。
次に、図18に示す半導体装置61は、第1実施形態および第2実施形態に係る半導体装置の製造方法を適用されて製造されている。すなわち、Cu導電層62がCu配線のみとして形成されている。それとともに、Cu導電層62が、単層膜から構成されて複数層に積層された各層間絶縁膜63内に設けられている。各層のCu導電層62は、第1〜第3の各バリアメタル膜28,29,30の3層構造からなるバリアメタル膜31により覆われている。
次に、図19に示す半導体装置71も、第1実施形態および第2実施形態に係る半導体装置の製造方法を適用されて製造されている。すなわち、最上層を除く各層のCu導電層72がCuヴィアプラグのみとして形成されている。それとともに、最上層のCu導電層73がCu配線73aとCuヴィアプラグ73bとが一体のデュアルダマシン構造に形成されている。各Cuヴィアプラグ72およびCu導電層73は、単層膜から構成されて複数層に積層された各層間絶縁膜74内に設けられている。各層のCuヴィアプラグ72は、第1〜第3の各バリアメタル膜23,24,25の3層構造からなるバリアメタル膜26により覆われている。また、最上層のCu導電層73は、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8の3層構造からなるバリアメタル膜11により覆われている。さらに、最下層のCuヴィアプラグ(Cuコンタクトプラグ)72は、バリアメタル膜26を介して半導体基板1の表層部に形成されている拡散層43に電気的に接続されている。
そして、図20に示す半導体装置81は、第1実施形態に係る半導体装置の製造方法を適用されて製造されている。すなわち、図4(b)に示す第1実施形態に係る半導体装置13を製造する際に、第n層目のCu導電層12およびバリアメタル膜11を形成するのと並行して、Cu導電層12から所定の距離にCuダミー導電層(Cuダミー膜)82を設けたものである。このCuダミー導電層82は、ヴィアプラグを伴わない配線のみからなるCuダミー配線82として形成されている。このような構造からなるCuダミー導電層82は、Cu導電層12と略同じ工程により容易に形成し得る。ただし、Cuダミー導電層82は、Cu導電層12と異なり、実際に電流が流される実効配線として設けられる導電層ではない。Cuダミー導電層82は、CMP工程や層間絶縁膜2の熱収縮および熱膨張などによりCu導電層12に掛かるストレス(外力)を低減させるために設けられるものである。
Cu導電層12は、前述したように第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8の3層構造からなるバリアメタル膜11によって覆われている。したがって、Cu導電層12とバリアメタル膜11との密着性は高い。このため、Cu導電層12は、それ自体でもCu導電層12に掛かるストレスに対する耐性が高い。そのようなCu導電層12の周囲に、さらにCu導電層12と同様にバリアメタル膜11によって覆われたCuダミー導電層82を配置することにより、Cu導電層12のストレスに対する耐性を大幅に向上させることができる。
以上説明したように、この第3実施形態によれば、前述した第1および第2の各実施形態と同様の効果を得ることができる。また、半導体装置の仕様などに応じて、様々な構造や性能の半導体装置を提供することができる。
(第4の実施の形態)
次に、本発明に係る第4実施形態を図21〜図26を参照しつつ説明する。図21は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図22は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図23は、本実施形態に対する比較例としての背景技術の一態様に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図24は、バリアメタル膜としてPVD−Ti膜を用いた本実施形態に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせ、および背景技術に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせのSIV耐性の配線幅依存性をそれぞれグラフにして示す図である。図25は、本実施形態に係るCu配線内のTi濃度とTiの拡散の深さを異なるシンターアニールの温度ごとにそれぞれグラフにして示す図である。図26は、本実施形態に係るCu配線および背景技術に係るCu配線のシンター試験後の抵抗値をそれぞれグラフにして示す図である。なお、前述した第1〜第3の各実施形態と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
次に、本発明に係る第4実施形態を図21〜図26を参照しつつ説明する。図21は、本実施形態に係る半導体装置を示す断面図である。図22は、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図23は、本実施形態に対する比較例としての背景技術の一態様に係る半導体装置の製造方法により設けられたCuシード層の表面状態の温度依存性を示す写真である。図24は、バリアメタル膜としてPVD−Ti膜を用いた本実施形態に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせ、および背景技術に係るCu配線と下層Cu配線との組み合わせのSIV耐性の配線幅依存性をそれぞれグラフにして示す図である。図25は、本実施形態に係るCu配線内のTi濃度とTiの拡散の深さを異なるシンターアニールの温度ごとにそれぞれグラフにして示す図である。図26は、本実施形態に係るCu配線および背景技術に係るCu配線のシンター試験後の抵抗値をそれぞれグラフにして示す図である。なお、前述した第1〜第3の各実施形態と同一部分には同一符号を付して、その詳しい説明を省略する。
本実施形態においては、前述した第1〜第3の各実施形態において用いた第1および第3の各バリアメタル膜6,8のうち、少なくとも第3のバリアメタル膜8を実質的にTiからなる単層膜として形成する。それとともに、導電層用凹部5に埋め込まれた第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8、ならびに第1および第2の各Cu膜9,10からなるCu配線12に施すアニール処理を約420℃以下で行う。これにより、アニール処理によって第3のバリアメタル膜8からCu配線12中に拡散するTiの濃度を、約1.2 atomic %未満に抑える。これにより、Cu配線の抵抗値を上昇させること無く、熱ストレスによる空乏の発生(Stress induced voiding)や、エレクトロマイグレーション(Electro Migration)に対する耐性等のCu配線の電気的信頼性を向上させる。
先ず、図21を参照しつつ、本実施形態に係る半導体装置およびその製造方法について説明する。本実施形態の半導体装置の製造方法は、導電層用凹部5に埋め込まれた第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8、ならびに第1および第2の各Cu膜9,10からなるCu配線12に施すアニール処理の温度を除けば、前述した第1実施形態の半導体装置の製造方法と略同様である。
先ず、図21に示すように、第1実施形態と同様の方法により、下層Cu配線3の表面を露出するように、第n層目の層間絶縁膜2bをその厚さ方向に沿って貫通して、所定のパターンからなる配線溝5aおよびヴィアホール5bを一体に形成する。
次に、第n層目の層間絶縁膜2bの表面および下層Cu配線3の露出面を覆って、Tiの単層膜からなる第1のバリアメタル膜(下層バリアメタル層)6を導電層用凹部5内に設ける。このTi膜6は、PVD法(スパッタリング法)により、大気開放(大気曝露)されることなく約3nmの膜厚に成膜される。続けて、第1のバリアメタル膜(Ti膜)6の表面上に、窒化金属化合物であるTiSiNからなる第2のバリアメタル膜(中間バリアメタル層)7を設ける。このTiSiN膜7は、CVD法により、大気開放されることなくTi膜6に連続して約3nmの膜厚に成膜される。続けて、第2のバリアメタル膜(TiSiN膜)7の表面上に、Tiの単層膜からなる第3のバリアメタル膜(上層バリアメタル層)8を設ける。本実施形態では、Ti膜8は、PVD法(スパッタリング法)により、大気開放されることなくTiSiN膜7に連続して約15nmの膜厚に成膜される。
次に、第2のCu膜10を設けるためのシード層(下地層)となる第1のCu膜(Seed−Cu膜)9をPVD法(スパッタリング法)により第3のバリアメタル膜(Ti膜)8の表面上に設ける。本実施形態では、この第1のCu膜9は、大気開放されることなくTi膜8に連続して約60nmの膜厚に成膜される。続けて、Cu配線の主要部であるCu配線本体となる第2のCu膜10を、その下地層である第1のCu膜9をシード層(seed layer)として第1のCu膜(シードCu膜)9の表面上にめっき法により設ける。この第2のCu膜としてのCuめっき膜10は、第1実施形態と同様に、シードCu膜9と合わせた膜厚が約800nmになるまで、シードCu膜9に一体化されつつめっき成長される。これにより、配線溝5aおよびヴィアホール5bからなる導電層用凹部5の内側を、3層構造のバリアメタル膜11、ならびにシードCu膜9およびCuめっき膜10により埋め込む。導電層用凹部5の埋め込みが終了した後、層間絶縁膜2bおよび各膜6,7,8,9,10などに、加熱温度を約150℃、加熱時間を約60分間に設定してアニール処理を施す。
次に、導電層用凹部5の外側の不要な第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8、ならびにシードCu膜9およびCuめっき膜10をCMP処理により研磨して除去する。これにより、Cu配線12aとCuヴィアプラグ12bとが一体に形成されたCuデュアルダマシン配線12を、第1〜第3の各バリアメタル膜6,7,8の3層構造からなるバリアメタル膜11により覆って導電層用凹部5内に設ける。
次に、バリアメタル膜11およびCuデュアルダマシン配線12を覆って、第n層目の層間絶縁膜2bの表面上にCVD法により第n+1層目の層間絶縁膜(上層絶縁膜)2cを設ける。続けて、層間絶縁膜2b,2c、バリアメタル膜11、およびCuデュアルダマシン配線12などに、加熱温度を約370℃、加熱時間を約60分間に設定してシンターアニール処理を施す。以後、予め決められている所定の工程を経て、図21に示す配線構造を有する所望の半導体装置91を得る。すなわち、Cu多層配線構造として、下層Cu配線3およびCuデュアルダマシン配線12からなる2層のCu積層配線構造を有する本実施形態の半導体装置91を得る。
次に、図22〜図26を参照しつつ、前述した本実施形態に係る半導体装置の製造方法により製造された半導体装置91の信頼性、品質、および電気的特性等を調べるために、本発明者らが行った幾つかの実験およびその結果について説明する。
第1に、図22および図23を参照しつつ、シードCu膜におけるCuの凝集を調べた実験およびその結果について説明する。この実験は、バリアメタル膜とその表面上に設けられるシードCu膜(シードCu層)との密着性を調べるために行われた。具体的には、シードCu膜を成膜する前に、バリアメタル膜を大気開放した場合と、バリアメタル膜を大気開放しなかった場合とで、バリアメタル膜上のシードCu膜におけるCuの凝集状態を比較した。このCuの凝集試験を行うに際して、本発明者らは次に述べる第12および第13の2つのサンプル15,109を用意した。
先ず、図22(a)〜(c)に示す第12のサンプル15は、シードCu膜9までを、前述した本実施形態に係る半導体装置の製造方法と同様の方法により成膜したものである。具体的には、先ず、層間絶縁膜2に相当するSiO2膜のべた膜上に、第3のバリアメタル膜(Tiバリアメタル膜)8に相当するPVD−Ti膜8のべた膜をその膜厚が約10nmとなるまで真空中で設けた。続けて、PVD−シードCu膜(PVD−Seed−Cu膜)9のべた膜を、その膜厚が約10nmとなるまでPVD−Ti膜8上に真空中で連続して設けた。このように、第12のサンプル15は、大気曝露(大気開放)されずに連続して成膜されたPVD−Ti膜8およびPVD−Seed−Cu膜9の各べた膜が、SiO2膜のべた膜上に積層されて設けられた構造を有している。このような構造を、SiO2膜/PVD−Ti膜8/PVD−Seed−Cu膜9、と表記することとする。
なお、第1実施形態と同様に、「/」はその前後の膜を成膜する際に大気曝露が無いことを示すものである。また、図22(a)〜(c)に示す写真においては、前記構造のうち、PVD−Ti膜8およびPVD−Seed−Cu膜9のみが写っており、SiO2膜は写っていない。この第12のサンプル15は、本実施形態に係る第1の実施例となる。
次に、図23(a)〜(c)に示す第13のサンプル109は、前述した本実施形態に係る半導体装置の製造方法と異なり、PVD−Ti膜のべた膜8を成膜した後、その上にPVD−Seed−Cu膜9のべた膜を成膜する前に、PVD−Ti膜のべた膜8を大気開放したものである。具体的には、先ず、SiO2膜のべた膜上に、第3のバリアメタル膜(Tiバリアメタル膜)に相当するPVD−Ti膜8のべた膜をその膜厚が約10nmとなるまで真空中で設けた。続けて、PVD−Ti膜8のべた膜上にPVD−Seed−Cu膜110を成膜するのに先立って、PVD−Ti膜8のべた膜を大気曝露(大気開放)して、その表層部に酸化物層を形成した。この後、表層部に酸化物層が形成されたPVD−Ti膜8のべた膜上に、PVD−Seed−Cu膜110のべた膜をその膜厚が約10nmとなるまで真空中で設けた。すなわち、第13のサンプル109は、大気曝露されたPVD−Ti膜8のべた膜上にPVD−Seed−Cu膜110のべた膜が成膜されている点を除いては、第12のサンプル15と略同じ構造を有している。このような構造を、SiO2膜/PVD−Ti膜8//PVD−Seed−Cu膜110、と表記することとする。
なお、第1実施形態と同様に、「//」はその前後の膜を成膜する際に大気曝露が有ることを示すものである。また、図23(a)〜(c)に示す写真においては、前記構造のうち、PVD−Ti膜8およびPVD−Seed−Cu膜110のみが写っており、SiO2膜は写っていない。この第13のサンプル109は、本実施形態に係る第1の実施例である第12のサンプル15に対する第1の比較例となる。
この試験では、先ず、前述した第12および第13の各サンプル15,109を、約370℃および約450℃でそれぞれ約1時間ずつアニールした。この後、アニール処理された各サンプル15,109の各PVD−Seed−Cu膜9,110の表面をSEMで観察した。それとともに、アニール処理を施さなかった各サンプル15,109の各PVD−Seed−Cu膜9,110の表面をSEMで観察した。図22(a)〜(c)および図23(a)〜(c)には、それぞれアニール処理前、約370℃でのアニール処理後、および約450℃でのアニール処理後の、各サンプル15,109の表面をSEMで観察した結果を示す。
図22(a)〜(c)に示すように、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により作成された第12のサンプル15では、アニール処理前、約370℃でのアニール処理後、および約450℃でのアニール処理後の、いずれの状態においてもPVD−Seed−Cu膜9上にCuの凝集は殆ど観察されなかった。
また、図23(a)に示すように、PVD−Ti膜8が大気曝露された後にPVD−Seed−Cu膜110が成膜された第13のサンプル109では、アニール処理前はPVD−Seed−Cu膜110上にCuの凝集は殆ど観察されなかった。ところが、図23(b)に示すように、約370℃でのアニール処理後では、PVD−Seed−Cu膜110上に部分的にCuの凝集111が観察された。さらに、図23(c)に示すように、約450℃でのアニール処理後では、PVD−Seed−Cu膜110上に略全面的に散らばってCuの凝集111が観察された。
このようなCuの凝集試験の結果により、次に述べることが分かった。PVD−Ti膜8とPVD−Seed−Cu膜9とを大気曝露すること無く連続して成膜すると、図22(c)に示すように、PVD−Seed−Cu膜9に約450℃でアニール処理を施してもCuの凝集が発生しない。これに対して、大気曝露されたPVD−Ti膜8上にPVD−Seed−Cu膜110を成膜すると、PVD−Ti膜8とPVD−Seed−Cu膜110との界面(PVD−Ti膜8の表層部)に存在する酸化物層によりPVD−Ti膜8とPVD−Seed−Cu膜110との密着性が阻害され、それら各膜8,110間の密着性が劣化(低下)することが分かった。ひいては、表層部に酸化物層が形成されたTi膜上にCu膜を成膜して形成した配線を有する半導体装置は、その信頼性が劣化することが予想される。また、前述した本実施形態に係る半導体装置の製造方法により作成された第12のサンプル15は、アニール処理の温度を約450℃まで上げてもCuの凝集が発生せず、約450℃の高温でもアニール処理が可能である。すなわち、第12のサンプル15は、約450℃の高温でもPVD−Seed−Cu膜の膜質を適正な状態に保持し得る耐性(信頼性)を有している。
なお、この実験も、第1実施形態において説明したCuの凝集実験と同様に、あくまでも各PVD−Seed−Cu膜9,110を薄膜に形成して、Cuが凝集し易くさせた状態(加速状態)での加速実験である。すなわち、様々な材質や成膜プロセスにより成膜された各種のバリアメタル膜上に設けられた各PVD−Seed−Cu膜9,110同士におけるCuの凝集状態を、容易に比較できるようにすることを目的としたものである。ただし、本発明者らが行った追試験によれば、本実施形態および前述した第1〜第3の各実施形態に係る3層構造のバリアメタル膜11,26,31においても、前述した第12のサンプル15と同様の結果を得ることができることが分かった。
第2に、図24を参照しつつ、Cu導電層におけるストレスによるボイドの発生(Stress Induced Voiding:SIV)に対する耐性(信頼性)を調べた実験およびその結果について説明する。このSIV試験を行うに際して、本発明者らは大別して次に述べる第14および第15の2つのサンプルを用意した。
先ず、図示は省略するが、第14のサンプルは、背景技術に係る半導体装置の製造方法により作成されたものである。すなわち、第14のサンプルにおいては、PVD−Ta膜からなるバリアメタル膜を、大気開放することなく、その膜厚を約10nmに成膜した。また、図21中実線矢印W3で示すCuヴィアプラグ12bの直径を、約0.14μmに設定した。ただし、図21中実線矢印W1で示す下層Cu配線3の幅および図21中実線矢印W2で示すCu配線12aの幅を、それぞれ約0.42μm、約1μm、約2μm、約5μm、約10μm、および約25μmの6つの異なる大きさに設定して組み合わせた。具体的には、図24に示すように、下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2の組み合わせを変えることにより、(29)〜(35)までの7種類の第14のサンプルを用意した。これら7種類の第14のサンプルは、本実施形態に係る第2の実施例である後述する第15のサンプルに対する第2の比較例となる。
次に、第15のサンプルは、本実施形態に係る半導体装置の製造方法により、バリアメタル膜をPVD−Ti膜(第1のバリアメタル膜)/CVD−TiSiN膜(第2のバリアメタル膜)/PVD−Ti膜(第3のバリアメタル膜)からなる3層構造のバリアメタル膜として作成されたものである。そして、この第15のサンプルにおいては、第3のバリアメタル膜(上層バリアメタル膜)としてのPVD−Ti膜を、大気開放することなく、その膜厚を約10nmに成膜した。また、前述した第14のサンプルと同様に、この第15のサンプルにおいても、Cuヴィアプラグ12bの直径W3を、約0.14μmに設定するとともに、下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2を、それぞれ約0.42μm、約1μm、約2μm、約5μm、約10μm、および約25μmの6つの異なる大きさに設定して組み合わせた。具体的には、図24に示すように、下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2の組み合わせを変えることにより、(36)〜(42)までの7種類の第15のサンプルを用意した。これら7種類の第15のサンプルは、本実施形態に係る第2の実施例となる。
このSIV試験では、前述したように第14および第15の各サンプルのヴィアプラグの直径W3を約0.14μmに固定して、下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2を変化させて、ストレスによる不良発生率の傾向を調べた。この際、先ず、第14および第15の各サンプルを図示しない恒温槽内で約225℃の温度に約1000時間保持した。この後、それぞれ約0.42μm〜約25μmの範囲に設定された配線幅W1,W2からなる、下層Cu配線3およびCu配線12aを組み合わせた評価パターンを測定した。ここで、(29)〜(35)までの7種類の第14のサンプルに対して行ったSIV試験を(H)とする。また、(36)〜(42)までの7種類の第15のサンプルに対して行ったSIV試験を(I)とする。これらのSIV試験(H)および(I)の試験結果を図24に示す。
図24に示すグラフから明らかなように、SIV試験(H)では、(33)の下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2がともに25μmのサンプルで不良発生率が増加している。これに対して、SIV試験(I)では、(40)の下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2がともに25μmのサンプルでも、その不良発生率は極めて低いことが分かった。また、SIV試験(H)では、(29)〜(35)までのサンプルのうち、(34)のサンプルで不良発生率が殆ど0であった。これに対して、SIV試験(I)では、(36)〜(42)までのサンプルのうち、(36),(41),(42)の3つのサンプルで不良発生率が殆ど0であった。この結果により、本実施形態によれば、下層Cu配線3の幅W1およびCu配線12aの幅W2のそれぞれの大きさに拘らず、抵抗上昇による不良発生率を従来に比べて低減できることが分かった。すなわち、本実施形態によれば、SIV信頼性(SIV耐性)を従来技術に係る半導体装置と同等、もしくはそれ以上に向上させることができることが分かった。
第3に、図25および図26を参照しつつ、Cu配線中のTi濃度が配線抵抗に与える影響を調べた実験およびその結果について説明する。図示は省略するが、この実験を行うに際して、本発明者らは次に述べる第16〜第18の3つのサンプル(J),(K),(L)を用意した。これら第16〜第18の3つのサンプル(J),(K),(L)は、全て前述した本実施形態の半導体装置の製造方法により作成されたものである。具体的には、これら第16〜第18の3つのサンプル(J),(K),(L)は、前述した本実施形態の半導体装置91において、Cu配線12aの幅W2を約0.2μmに設定した評価パターンである。
先ず、第16のサンプル(J)は、前述した本実施形態の半導体装置の製造方法が含むシンターアニール工程において、約370℃の温度で約60分間のアニール処理が施されたものである。これにより、図25中破線のグラフで示すように、第16のサンプル(J)は、そのCu配線12aの表層部におけるTi濃度が約0.07 atomic %に設定されている。また、第17のサンプル(K)は、前述した本実施形態の半導体装置の製造方法が含むシンターアニール工程において、約420℃の温度で約60分間のアニール処理が施されたものである。これにより、図25中太い実線のグラフで示すように、第17のサンプル(K)は、そのCu配線12aの表層部におけるTi濃度が約0.9 atomic %に設定されている。そして、第18のサンプル(L)は、前述した本実施形態の半導体装置の製造方法が含むシンターアニール工程において、約450℃の温度で約60分間のアニール処理が施されたものである。これにより、図25中細い実線のグラフで示すように、第18のサンプル(L)は、そのCu配線12aの表層部におけるTi濃度が約1.2 atomic %に設定されている。なお、図25のグラフにおいて、横軸の深さ(a.u.)とは、本実施形態の半導体装置91に係る第16〜第18の3つのサンプル(J),(K),(L)が備えるCu配線12aの表面を0とし、そこから半導体基板1側に向けて測った深さである。
本発明者らは、これら第16〜第18の3つのサンプル(J),(K),(L)について、それぞれの配線抵抗(a.u.)を調べた。その結果を図26に示す。
図26に示すグラフから明らかなように、Cu配線12a中のTi濃度が約0.9 atomic %である第17のサンプル(K)の配線抵抗は、Cu配線12a中のTi濃度が約0.07 atomic %である第16のサンプル(J)の配線抵抗と比較して、殆ど変わらなかった。具体的には、これら第16および第17の両サンプル(J),(K)の配線抵抗は、ともに約1(a.u.)であり、適正な範囲内であった。これに対して、Cu配線12a中のTi濃度が約1.2 atomic %である第18のサンプル(L)の配線抵抗は、図26に示すグラフから明らかなように、第16および第17の両サンプル(J),(K)の配線抵抗の約2倍以上であった。具体的には、第18のサンプル(L)の配線抵抗は、約2.25(a.u.)であり、完全に規格外であった。
このように、Cu配線12a中のTi濃度を約1.2 atomic %未満に設定することにより、Cu配線12aの抵抗値の上昇を抑制して、適正な範囲内に設定できることが分かった。それとともに、Cu配線12a中のTi濃度を約1.2 atomic %未満に設定するためには、Cu配線12aおよびTiバリアメタル膜8に施すアニール処理の温度を約420℃以下に設定すればよいことが分かった。さらに、図示は省略するが、本発明者らが行った追試験によれば、Cu配線12a中のTi濃度を少なくとも約0.05 atomic %以上に設定することにより、Cu配線12aの電気的信頼性を向上させることができることも分かった。なお、本実験においては、Cu配線12a中のTi濃度をSIMS測定法により測定した。SIMS測定法によれば、TiとCuとの二次イオン強度比(Ti/Cu)が約0.5E−2以上約0.7E−1未満の範囲が、Cu配線12a中のTi濃度が約0.05 atomic %以上約1.2 atomic %未満の範囲に相当する。
また、図21に示す構造からなる本実施形態の半導体装置91においては、第1のバリアメタル膜(下層バリアメタル膜)であるTiバリアメタル膜6が下層Cu配線3の表面にも接している。このため、Cu配線12aを仕上げるシンターアニール工程において、下層Cu配線3の表層部にもTiバリアメタル膜6からTi原子が拡散する可能性がある。しかし、Tiバリアメタル膜6と下層Cu配線3との接触面積は、第3のバリアメタル膜(上層バリアメタル膜)であるTiバリアメタル膜8とCu配線12aとの接触面積に比べて十分に小さいため、Tiバリアメタル膜6から下層Cu配線3中に拡散するTi原子による下層Cu配線3の抵抗値の上昇等は、殆ど無視し得る。
以上説明したように、この第4実施形態によれば、前述した第1〜第3の各実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、本発明に係る半導体装置の製造方法は、前述した第1〜第4の各実施形態には制約されない。本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、それらの構成、あるいは製造工程などの一部を種々様々な設定に変更したり、あるいは各種設定を適宜、適当に組み合わせて用いたりして実施することができる。
例えば、第1および第3のバリアメタル膜として用いられるTi膜は、その膜厚を前述した第1実施形態および第2実施形態で挙げた大きさに限定されるものではない。Ti膜は、少なくとも約1nm以上の膜厚があれば、前述した第1〜第4の各実施形態と同様の構成を得ることができる。それとともに、第1および第3のバリアメタル膜は、Ti膜には限定されない。第1および第3のバリアメタル膜は、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む膜により形成すればよい。4−A族には、Ti,Zr,およびHfが属している。また、5−A族には、V,Nb,およびTaが属している。さらに、6−A族には、Cr,Mo,およびWが属している。したがって、第1および第3のバリアメタル膜は、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,およびWのうち少なくとも1つの金属元素を含む膜により形成すればよい。これらの金属元素を含む膜を第1および第3のバリアメタル膜として用いても、前述した第1〜第3の各実施形態と同様の構成を得ることができる。
また、第2のバリアメタル膜も、第1実施形態で用いたTiSiN膜やTaN膜には限定されない。第2のバリアメタル膜も、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む膜により形成すればよい。すなわち、第2のバリアメタル膜も、Ti,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,およびWのうち少なくとも1つの金属元素を含む膜により形成すればよい。具体的には、第2のバリアメタル膜として、例えばTiN、TiSiN、Ta、TaN、TaSiN、WN、およびWSiNのいずれか1つの材料からなる単層膜、もしくはこれら各単層膜を2層以上組み合わせた積層膜を用いることが好ましい。これらの膜を第2のバリアメタル膜として用いても、前述した第1〜第4の各実施形態と同様の構成を得ることができる。それとともに、第2のバリアメタル膜を成膜する方法は、CVD法およびALD法の少なくとも一方を用いればよい。なお、第2のバリアメタル膜として複数の金属膜を積層して設ける場合、それら各膜を全て同じ成膜方法により設ける必要はない。たとえば、各膜をCVD法およびALD法により交互に設けて積層しても構わない。
また、Cu導電層(第1のCu膜、第2のCu膜)は、必ずしも半導体基板上の全ての層間絶縁膜に設ける必要はない。各層間絶縁膜のうち、所定の層の層間絶縁膜内に設ければよい。また、Cu導電層は、全ての層間絶縁膜に同じ個数ずつ設ける必要はない。Cu導電層の個数は、各層間絶縁膜ごとに異なっていても構わない。また、Cu導電層は、全ての層間絶縁膜で同じ形状に形成する必要はない。Cu導電層の形状は、各層間絶縁膜ごとに異なっていても構わない。また、1層の層間絶縁膜内に複数個のCu導電層を設ける場合、各Cu導電層の形状は同一層間絶縁膜内で1個ずつ異なっていても構わない。すなわち、3層構造のバリアメタル膜により覆われるCu導電層を、所望される半導体装置の仕様などに応じて、配線のみの構造、ヴィアプラグ(コンタクトプラグ)のみの構造、さらに配線およびヴィアプラグ(コンタクトプラグ)からなる構造に作り分けて構わない。それとともに、それら各Cu導電層を、基板上の所定の層間絶縁膜内に所定の個数ずつ混在させて設けても構わない。あるいは、それら各Cu導電層を、各層間絶縁膜ごとに作り分けて設けても構わない。
また、Cu導電層を複数層に設ける場合、必ずしも全ての層のCu導電層を積層方向において電気的に接続する必要はない。所望される半導体装置の仕様などに応じて、各Cu導電層のうち所定のCu導電層同士を電気的に接続すればよい。
また、Cu導電層は、前述した第1〜第4の各実施形態のように、必ずしも背景技術に係る半導体装置の製造方法により形成された導電層の上方に設けられる必要はない。例えば、基板の表層部に形成された拡散層と基板上の所定の層に設けられた背景技術に係る導電層との間にCu導電層を設けても構わない。また、この場合、Cu導電層は、拡散層と背景技術に係る導電層との両方に電気的に接続される必要はない。Cu導電層は、拡散層および背景技術に係る導電層のいずれか一方に電気的に接続されても構わないし、あるいは拡散層および背景技術に係る導電層のいずれにも電気的に接続されなくても構わない。また、Cu導電層は、基板上の所定の層に設けられた背景技術に係る導電層を挟んで、その上方および下方の双方に設けても構わないのはもちろんである。さらに、Cu導電層が電気的に接続される背景技術に係る導電層は、Cuにより形成されていなくともよい。Cu導電層が電気的に接続される背景技術に係る導電層は、例えばAlにより形成されていても構わない。
また、Cu導電層は、必ずしも第1および第2の各実施形態のように、実際に配線として機能する実効配線として設ける必要はない。第3実施形態において図20を参照しつつ説明したように、Cu膜はその密着性、ひいてはストレスに対する耐性が高められているので、Cu導電層を実効配線とCuダミー導電層(Cuダミー配線)とに作り分けても構わない。また、例えば前述した第1および第2の各実施形態では、各層間絶縁膜2をSiO2膜により形成したが、各層間絶縁膜2を低比誘電率膜(Low-k膜)により形成しても構わない。この場合、一般的にLow-k膜はSiO2膜よりも強度が弱く、CMP処理等により受けるストレスに対する耐久性が低い。このような場合、Cu実効配線を形成するのと並行して、Low-k膜の所定の箇所にCuダミー導電層を設けるとよい。これにより、SiO2膜よりも脆弱なLow-k膜や、その内部に設けられるCu実効配線の劣化を抑制することができる。すなわち、半導体装置の品質、信頼性、および電気的特性などをより向上させることができる。
また、Cuダミー導電層の構造は、前述したCu導電層と同様に、図20に示すCuダミー配線には限定されない。例えば、Cuダミー導電層を、図4(b)に示すデュアルダマシン構造や、図15および図17に示すシングルダマシン構造、あるいは図19に示す配線を伴わないヴィアプラグ(コンタクトプラグ)のみからなる構造に形成しても構わない。また、Cuダミー導電層を設ける位置や個数なども、前述したCu導電層と同様に、所望される半導体装置の仕様などに応じて、所定の位置に所定の個数設ければよい。さらには、Cuダミー導電層のみを形成し、これを基板上に設けても構わない。
また、Cu膜を成膜する方法は、PVD法やめっき法に限られるものではなく、例えば第1のCu膜はCVD法やALD法により形成されてもよい。また、Cu膜を設けた後の加熱処理の際にCu膜のリフローを行ってもよく、このようなCu膜のリフローによってもCu膜の品質や信頼性、あるいは電気的特性等が劣化するおそれは殆どない。すなわち、Cu膜のリフローによっても、半導体装置の品質や信頼性、あるいは電気的特性等が劣化するおそれは殆どない。
さらに、前述した第1〜第4の各実施形態は、ロジックLSI(Logical Large Scale Integrated Circuit)、DRAM(Dynamic Random Access Memory)、SRAM(Static Random Access Memory)に代表されるメモリLSI、あるいはバイポーラ・トランジスタ(Bipolar Transistor)等の様々な半導体装置に容易に適用可能である。
1…半導体基板(基板)、2,2a,2b,2c,21,21a,21b,32,42,42a,63,74…層間絶縁膜(絶縁膜)、3…下層Cu配線(導電層)、5…導電層用凹部(凹部)、5a…配線溝(配線用凹部)、5b…ヴィアホール(プラグ用凹部)、6,23,28…PVD−Ti膜(第1のバリアメタル膜)、7,24,29…CVD−TiSiN膜(第2のバリアメタル膜)、8,25,30…PVD−Ti膜(第3のバリアメタル膜)、9…シードCu膜(Cu下地膜、第1のCu膜)、10…Cuめっき膜(第2のCu膜)、11,26,31…バリアメタル膜、12、27,62,72,73…Cu導電層(Cu膜、上層Cu膜)、12a,27a,73a…Cu配線(Cu膜)、12b,27b,73b…Cuヴィアプラグ(Cuコンタクトプラグ、Cu膜)、13,33,41,51,61,71,81,91…半導体装置、42b…層間絶縁膜(上層絶縁膜)、43…拡散層(導電層)、82…Cuダミー配線(Cuダミー導電層、Cu膜)
Claims (5)
- 基板上に設けられた少なくとも1層の絶縁膜に形成された凹部内に、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む第1のバリアメタル膜をPVD法により設け、
この第1のバリアメタル膜上に、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む第2のバリアメタル膜を、CVD法およびALD法の少なくとも一方の方法により大気開放せずに連続して設け、
この第2のバリアメタル膜上に、4−A族、5−A族、および6−A族のいずれかの族に属する少なくとも1つの金属元素を含む第3のバリアメタル膜をPVD法により大気開放せずに連続して設け、
この第3のバリアメタル膜上に、第1のCu膜を大気開放せずに連続して設け、
前記第1のCu膜に加熱処理を施す、
ことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記加熱処理を行う前に、前記第1のCu膜をシード層として第2のCu膜をめっき法により前記第1のCu膜上に成長させて、前記凹部を埋め込むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2のバリアメタル膜として、TiN、TiSiN、Ta、TaN、TaSiN、WN、およびWSiNのいずれか1つの材料からなる単層膜、もしくはこれら各単層膜を2層以上組み合わせた積層膜を設けるとともに、前記第1のバリアメタル膜および前記第3のバリアメタル膜として、実質的にTiからなる単層膜を設けることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のCu膜を基板温度25℃以上で形成することを特徴とする請求項1〜3のうちのいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
- 少なくとも1層の前記絶縁膜により前記基板の表層部および前記基板の上方の一方に設けられている少なくとも1層の導電層を覆うとともに、この導電層の表面を露出して前記絶縁膜に前記凹部を形成し、かつ、前記第1のバリアメタル膜を前記導電層の表面に接触させて前記凹部内に設けることを特徴とする請求項1〜4のうちのいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004381583A JP2005244178A (ja) | 2004-01-26 | 2004-12-28 | 半導体装置の製造方法 |
US11/041,362 US7399706B2 (en) | 2004-01-26 | 2005-01-25 | Manufacturing method of semiconductor device |
CNB2005100029250A CN100399541C (zh) | 2004-01-26 | 2005-01-26 | 半导体器件的制造方法 |
US12/216,584 US20080272494A1 (en) | 2004-01-26 | 2008-07-08 | Semiconductor device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004017340 | 2004-01-26 | ||
JP2004381583A JP2005244178A (ja) | 2004-01-26 | 2004-12-28 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005244178A true JP2005244178A (ja) | 2005-09-08 |
Family
ID=34863433
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004381583A Pending JP2005244178A (ja) | 2004-01-26 | 2004-12-28 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7399706B2 (ja) |
JP (1) | JP2005244178A (ja) |
CN (1) | CN100399541C (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007281485A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | 狭いトレンチ中でスーパー第2結晶粒の成長を発生させる方法 |
WO2007148760A1 (ja) | 2006-06-21 | 2007-12-27 | Tokyo Electron Limited | TaSiN膜の成膜方法 |
JP2009242825A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源を用いた金属材料の埋め込み方法 |
Families Citing this family (49)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7186648B1 (en) | 2001-03-13 | 2007-03-06 | Novellus Systems, Inc. | Barrier first method for single damascene trench applications |
US7781327B1 (en) | 2001-03-13 | 2010-08-24 | Novellus Systems, Inc. | Resputtering process for eliminating dielectric damage |
US8043484B1 (en) | 2001-03-13 | 2011-10-25 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatus for resputtering process that improves barrier coverage |
US6764940B1 (en) | 2001-03-13 | 2004-07-20 | Novellus Systems, Inc. | Method for depositing a diffusion barrier for copper interconnect applications |
US7842605B1 (en) | 2003-04-11 | 2010-11-30 | Novellus Systems, Inc. | Atomic layer profiling of diffusion barrier and metal seed layers |
US8298933B2 (en) | 2003-04-11 | 2012-10-30 | Novellus Systems, Inc. | Conformal films on semiconductor substrates |
CN1937175B (zh) * | 2005-09-20 | 2012-10-03 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 用于半导体器件的使用大气压的材料原子层沉积的方法 |
CN100444351C (zh) * | 2005-10-20 | 2008-12-17 | Bcd半导体制造有限公司 | 一种集成电路双极电路中接触孔的制造工艺 |
US7595556B2 (en) * | 2005-12-28 | 2009-09-29 | Dongbu Hitek Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
KR100770541B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-10-25 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
KR100720529B1 (ko) * | 2005-12-29 | 2007-05-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 소자의 금속배선 및 그의 형성방법 |
US7855147B1 (en) | 2006-06-22 | 2010-12-21 | Novellus Systems, Inc. | Methods and apparatus for engineering an interface between a diffusion barrier layer and a seed layer |
TW200814156A (en) * | 2006-07-21 | 2008-03-16 | Toshiba Kk | Method for manufacturing semiconductor device and semiconductor device |
US7510634B1 (en) | 2006-11-10 | 2009-03-31 | Novellus Systems, Inc. | Apparatus and methods for deposition and/or etch selectivity |
KR100790452B1 (ko) * | 2006-12-28 | 2008-01-03 | 주식회사 하이닉스반도체 | 다마신 공정을 이용한 반도체 소자의 다층 금속배선형성방법 |
US7682966B1 (en) | 2007-02-01 | 2010-03-23 | Novellus Systems, Inc. | Multistep method of depositing metal seed layers |
JP2008198703A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Nec Electronics Corp | 半導体装置の製造方法 |
US7880303B2 (en) * | 2007-02-13 | 2011-02-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Stacked contact with low aspect ratio |
JP5194549B2 (ja) * | 2007-04-27 | 2013-05-08 | 富士通セミコンダクター株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
US7897516B1 (en) | 2007-05-24 | 2011-03-01 | Novellus Systems, Inc. | Use of ultra-high magnetic fields in resputter and plasma etching |
US7922880B1 (en) | 2007-05-24 | 2011-04-12 | Novellus Systems, Inc. | Method and apparatus for increasing local plasma density in magnetically confined plasma |
DE102007035837A1 (de) * | 2007-07-31 | 2009-02-05 | Advanced Micro Devices, Inc., Sunnyvale | Halbleiterbauelement mit einer Kornorientierungsschicht |
KR20090013419A (ko) * | 2007-08-01 | 2009-02-05 | 삼성전자주식회사 | 상변화 기억 소자 및 그 형성 방법 |
TW200919593A (en) * | 2007-10-18 | 2009-05-01 | Asia Pacific Microsystems Inc | Elements and modules with micro caps and wafer level packaging method thereof |
US7727882B1 (en) | 2007-12-17 | 2010-06-01 | Novellus Systems, Inc. | Compositionally graded titanium nitride film for diffusion barrier applications |
US7843064B2 (en) * | 2007-12-21 | 2010-11-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Structure and process for the formation of TSVs |
KR100914982B1 (ko) * | 2008-01-02 | 2009-09-02 | 주식회사 하이닉스반도체 | 반도체 소자의 금속배선 및 그 형성방법 |
JP5424675B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2014-02-26 | キヤノン株式会社 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
US8017523B1 (en) | 2008-05-16 | 2011-09-13 | Novellus Systems, Inc. | Deposition of doped copper seed layers having improved reliability |
US8278152B2 (en) * | 2008-09-08 | 2012-10-02 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Bonding process for CMOS image sensor |
US7964502B2 (en) * | 2008-11-25 | 2011-06-21 | Freescale Semiconductor, Inc. | Multilayered through via |
JP5025679B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2012-09-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置 |
US9390909B2 (en) | 2013-11-07 | 2016-07-12 | Novellus Systems, Inc. | Soft landing nanolaminates for advanced patterning |
CN102437100A (zh) * | 2011-09-08 | 2012-05-02 | 上海华力微电子有限公司 | 一种使用双大马士革工艺同时形成铜接触孔和第一层金属的方法 |
KR101847628B1 (ko) * | 2011-09-28 | 2018-05-25 | 삼성전자주식회사 | 금속함유 도전 라인을 포함하는 반도체 소자 및 그 제조 방법 |
US8575022B2 (en) | 2011-11-28 | 2013-11-05 | International Business Machines Corporation | Top corner rounding of damascene wire for insulator crack suppression |
US8835305B2 (en) * | 2012-07-31 | 2014-09-16 | International Business Machines Corporation | Method of fabricating a profile control in interconnect structures |
US8765602B2 (en) | 2012-08-30 | 2014-07-01 | International Business Machines Corporation | Doping of copper wiring structures in back end of line processing |
US9865501B2 (en) * | 2013-03-06 | 2018-01-09 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for remote plasma treatment for reducing metal oxides on a metal seed layer |
US9418951B2 (en) * | 2014-05-15 | 2016-08-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Semiconductor structure with composite barrier layer under redistribution layer and manufacturing method thereof |
US9478438B2 (en) | 2014-08-20 | 2016-10-25 | Lam Research Corporation | Method and apparatus to deposit pure titanium thin film at low temperature using titanium tetraiodide precursor |
US9478411B2 (en) | 2014-08-20 | 2016-10-25 | Lam Research Corporation | Method to tune TiOx stoichiometry using atomic layer deposited Ti film to minimize contact resistance for TiOx/Ti based MIS contact scheme for CMOS |
US10396012B2 (en) * | 2016-05-27 | 2019-08-27 | International Business Machines Corporation | Advanced through substrate via metallization in three dimensional semiconductor integration |
US10443146B2 (en) | 2017-03-30 | 2019-10-15 | Lam Research Corporation | Monitoring surface oxide on seed layers during electroplating |
US10679934B2 (en) * | 2017-12-01 | 2020-06-09 | International Business Machines Corporation | Capacitance reduction in sea of lines BEOL metallization |
KR102595293B1 (ko) * | 2018-02-12 | 2023-10-30 | 삼성전자주식회사 | 인쇄 회로 기판 및 이를 포함하는 반도체 패키지 |
JP7321730B2 (ja) * | 2019-03-14 | 2023-08-07 | キオクシア株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
TWI827809B (zh) * | 2019-04-04 | 2024-01-01 | 丹麥商卡普雷斯股份有限公司 | 測量測試樣本之電性的方法,以及多層測試樣本 |
JP2022141425A (ja) * | 2021-03-15 | 2022-09-29 | キオクシア株式会社 | 半導体製造方法および半導体装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0817920A (ja) | 1994-06-29 | 1996-01-19 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP3599199B2 (ja) | 1994-08-31 | 2004-12-08 | 富士通株式会社 | 多層配線を有する半導体装置の製造方法 |
US6069068A (en) | 1997-05-30 | 2000-05-30 | International Business Machines Corporation | Sub-quarter-micron copper interconnections with improved electromigration resistance and reduced defect sensitivity |
JP4307592B2 (ja) | 1998-07-07 | 2009-08-05 | Okiセミコンダクタ株式会社 | 半導体素子における配線形成方法 |
US6004188A (en) | 1998-09-10 | 1999-12-21 | Chartered Semiconductor Manufacturing Ltd. | Method for forming copper damascene structures by using a dual CMP barrier layer |
JP4074014B2 (ja) * | 1998-10-27 | 2008-04-09 | 株式会社東芝 | 半導体装置及びその製造方法 |
JP3974284B2 (ja) | 1999-03-18 | 2007-09-12 | 株式会社東芝 | 半導体装置の製造方法 |
US6420258B1 (en) | 1999-11-12 | 2002-07-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Selective growth of copper for advanced metallization |
JP3449960B2 (ja) | 2000-02-25 | 2003-09-22 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2001338925A (ja) | 2000-05-26 | 2001-12-07 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
US6498091B1 (en) * | 2000-11-01 | 2002-12-24 | Applied Materials, Inc. | Method of using a barrier sputter reactor to remove an underlying barrier layer |
JP2002343859A (ja) * | 2001-05-15 | 2002-11-29 | Mitsubishi Electric Corp | 配線間の接続構造及びその製造方法 |
TW518680B (en) * | 2001-06-13 | 2003-01-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Semiconductor device and method for fabricating the same |
US6936906B2 (en) * | 2001-09-26 | 2005-08-30 | Applied Materials, Inc. | Integration of barrier layer and seed layer |
US7049226B2 (en) * | 2001-09-26 | 2006-05-23 | Applied Materials, Inc. | Integration of ALD tantalum nitride for copper metallization |
WO2004064147A2 (en) * | 2003-01-07 | 2004-07-29 | Applied Materials, Inc. | Integration of ald/cvd barriers with porous low k materials |
WO2004113585A2 (en) * | 2003-06-18 | 2004-12-29 | Applied Materials, Inc. | Atomic layer deposition of barrier materials |
-
2004
- 2004-12-28 JP JP2004381583A patent/JP2005244178A/ja active Pending
-
2005
- 2005-01-25 US US11/041,362 patent/US7399706B2/en active Active
- 2005-01-26 CN CNB2005100029250A patent/CN100399541C/zh not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-07-08 US US12/216,584 patent/US20080272494A1/en not_active Abandoned
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007281485A (ja) * | 2006-04-10 | 2007-10-25 | Interuniv Micro Electronica Centrum Vzw | 狭いトレンチ中でスーパー第2結晶粒の成長を発生させる方法 |
WO2007148760A1 (ja) | 2006-06-21 | 2007-12-27 | Tokyo Electron Limited | TaSiN膜の成膜方法 |
JP2009242825A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源を用いた金属材料の埋め込み方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20080272494A1 (en) | 2008-11-06 |
CN100399541C (zh) | 2008-07-02 |
US7399706B2 (en) | 2008-07-15 |
US20050186793A1 (en) | 2005-08-25 |
CN1649125A (zh) | 2005-08-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2005244178A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP4591084B2 (ja) | 配線用銅合金、半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP3973467B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US9559058B2 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
US7514352B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device having an interconnect structure that increases in impurity concentration as width increases | |
JP2004040022A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
US9875966B1 (en) | Method and structure of forming low resistance interconnects | |
JP2006203197A (ja) | 1ないし5nmの厚さの金属キャップを用いる改良されたオンチップCu相互接続 | |
US6780769B2 (en) | Method of manufacturing structure for connecting interconnect lines including metal layer with thickness larger than thickness of metallic compound layer | |
JP2007250907A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2009026989A (ja) | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 | |
US20130252417A1 (en) | Thin film forming method | |
JP5309722B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2006303062A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006165115A (ja) | 半導体装置 | |
JP2000208517A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JPWO2002037558A1 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
CN110957261A (zh) | 一种半导体器件互连结构阻挡层的制备方法 | |
US20240006359A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device | |
US20240071928A1 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing semiconductor device | |
JP3939270B2 (ja) | 配線構造の形成方法 | |
JP2008147252A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP5412738B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2004274065A (ja) | ボイドのないビアの形成法 | |
JP2011249584A (ja) | 半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061010 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061017 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070306 |