JP2005241336A - 印刷はんだ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 はんだが印刷されたプリント基板上の走査対象範囲に亘って、偏光器4により、ビームA及びビームBの2つの光を異なった所定の入射角で受けて、前記対象範囲方向に偏向させて光を出射して走査する。その際、ビームA及びビームBの偏光及びパワーを、分岐部1b、可変手段手段1cにより同じくなるよう調整可能な構成とした。
【選択図】 図3
Description
前記偏向器がほぼ360度/[2NM]回転するごとに、前記投光部と前記プリント基板とを前記走査の方向と直交する方向に相対的に移動させることによって副走査を行う副走査部(104)と、前記受光部が、前記偏向器による主走査及び副走査部による副走査のタイミングに応じて出力する受光量及び受光した位置に応じて出力する電気信号を基に、前記プリント基板上の印刷はんだの形状を再生する形状再生部(105)を備えた。
図1は、本発明の構成(形態3の構成を含む)の機能を模式的に示す図である。図中の太い線は光路を示す線である。実際は、光はビームであるが、図1では、光路を理解するために単線で単純化して示している。
ここで、投光部3が2つのビームで同一のプリント基板10の形状を測定しようとしたとき、2つのビームの光学的特性の違いが測定値に表れるので、形状の良否判定に影響することが問題となる。図2は、その2つのビームAとBによって測定したデータの影響を、プリント基板10上のレジスト部分、はんだ部、マット部分等の識別にどのように影響するかをモデル的に表したものである。図2(a)と(b)は、ビームAとBのそれぞれで測定されたデータであり、いずれの横軸もそれぞれの受光部8で受けた受光量(パワー)を表し、縦軸が同一受光量における度数を示すものである。このデータは、例えば、はんだ箇所、レジスト箇所、パッド箇所の識別に利用できるデータである。
本形態2は、上記2つの光、例えばビームA及びビームBの光学的特性の差異を投光部3、特に光発生部1で無くそうというものである。特に、ここで対象とする光学的特性は、パワーと偏光である。図3に形態2の全体構成を示してあり、その内の形態2に特に関与する要部として、図1に対して、光発生部1に、ビームBをビームAと同じ偏光にするための偏光手段1dと、ビームAとBのパワーがプリント基板10の表面で同じになるよう調整するための可変手段1c(偏光機能も含む。)を備えている。これの詳細説明を図4を用いて行う。図5,図6は、その変形例である。
ビームB(P成分をλ/2波長板1dで変更したS成分):(1−q)×a/(1+r)
ここで、qは、λ/2波長板1dの損失である。
分岐手段1baの出力後のP成分をλ/2波長板1dを回転させてS成分のみに調整する。この調整は、λ/2波長板1dから反射されるP成分のパワーを測定して、その値が0になるように回転させることで行われる。
その後、λ/2波長板1cを回転させて比率rを可変して、プリント基板10の代わりにパワーメータを置いて、ビームAとBのパワーが同じになるように調整する。つまり、r=1−qになるように調整する。
上記したように、2つの光で走査したときに、それらの光学的特性の差異による影響で測定値にも差異がでる可能性がある。形態3では、投光部3は、図1のままで、2つの光の光学的特性の差異による影響を測定値側で補正しようとする技術を説明する。その構成は、図1における構成の中で、識別用ミラー9、走査光検出部107,補正部108は、波形再生部105(データ変換部105aを含む)によって、例えば、ビームAとビームBの光学的特性の差異による影響を受けた測定結果を補正する構成としている。
そこで、受光手段107aとしては、2つの受光面を有している。この2つの受光面として、ビームAのみの領域F1からのビームAを受光している受光検出部107aa(不図示)、ビームA,Bの領域F2からのビームA,Bを受光している受光検出部107ab(不図示)で構成される。この組み合わせは上記に限ることなく、領域F1、F2、F3の光の任意の二組を検出できればよい。
図7にその補正する回路例を示す。
例えば、ビームAの受光量がビームBの受光量に比べ小さい場合は、補正手段108は、上記タイミング信号がLレベルの時間帯において、データ変換部105aに対して、データ変換する前に、ビームAのときの電気信号の増幅器Lの利得をビームB側の電気信号の利得に比べ受光量の差に応じて増大させる。つまり、図7において、タイミング信号のLレベルによりスイッチB(L側)を介して補正利得可変値Aを基に抵抗Rを可変して利得をあげる。
データ変換部105aにおける上記データ変換時の2値化は一般に比較器で受光部8からの受光量の大きさに応じた電気信号としきい値と比較して行われる。しかしビームAとBの光学的特性、中でもパワーや偏光の違いにより、受光部8の受光量がビームAによる場合と、ビームBによる場合とで異なり、強いては、同じしきい値で2値化すると一方が2値化され、他方が2値化されない場合がでてくる。そのため、後の判定部106での判定結果によりミス判断がされかねない。そこで補正が必要になる。この補正の仕方は、図7で説明したオフセットと同じであり説明を省略する。なお、2値化の場合は、図7の増幅器Lが上記比較器として動作する。そして、抵抗Rが無限大にされ増幅器Lの利得は最大に設定される。
Claims (8)
- はんだが印刷されたプリント基板の所定の走査対象範囲に亘って光を出射して走査する投光部(3)と、前記プリント基板からの反射光を受光する受光部(8)とを有し、前記はんだの印刷状態を検査する印刷はんだ検査装置において、
前記投光部は、M(複数)本の光を出射する光発生部(1)と、前記M本の光を異なった入射角で受けて、前記対象範囲方向に偏向させて、前記プリント基板の前記走査対象範囲のうちを順次走査する偏向器(4)とを備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。 - 前記偏向器は、その周囲に沿ってN(複数)角状に鏡面を有し回転によって前記走査を行うポリゴンミラーであって、前記光発生部からの複数の光を360度/[NM]づつ異なった入射角(β)で受けて、ほぼ360度/[2NM]の回転(β/2)毎に順次に前記走査対象範囲を走査することを特徴とする請求項1に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記偏向器がほぼ360度/[2NM]回転(β/2)するごとに、前記投光部と前記プリント基板とを前記走査の方向と直交する方向に相対的に移動させることによって副走査を行う副走査部(104)と、前記受光部が、前記偏光器による主走査及び副走査部による副走査のタイミングに応じて出力する受光量及び受光位置に応じて出力する電気信号を基に、前記プリント基板上の印刷はんだの形状を再生する形状再生部(105)を備えた請求項2に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記光発生部は、その出射するM本の光が、同一偏光方向であって、前記プリント基板の走査される面においてほぼ同一のパワーになるようにされていることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記M本の光は二つの光であって、前記光発生部は、光を出射する一つの光源(1a)と、該光源からの光をそれぞれ互いに直交する偏光方向からなる2つの分岐光に分岐する偏光分岐部(1b)と、2つの分岐光の一方を受けて他方と同じ偏光方向にする第1の偏光板(1d)と、前記光源と偏光分岐部との間に設けられ、前記第1の偏光板から出力される一方の分岐光と前記他方の分岐光のパワーが前記偏光器を経由して投光される前記プリント板の走査される面において、ほぼ同一となるよう調整するための第2の偏光板(1c)と備えた請求項1、2,3又は4に記載の印刷はんだ検査装置
- 前記M本の光は二つの光であって、前記光発生部は、光を出射する一つの光源(1a)と、該光源からの光を2つの分岐光に分岐する分岐部(1b)と、二つの分岐光の一方を受けて、他方と同じ偏光方向にして出力する第1の偏光板(1d)と、二つの分岐光の他方を受けて、前記分岐光の一方とともに前記偏光器を経由して投光される前記プリント板の走査される面において、前記2つの分岐光のパワーがほぼ同一となるように調整するための第3の偏光板(1f)と備えた請求項1、2、3又は4に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記受光部から出力される電気信号から印刷はんだの形状を再生する形状再生部(105)と、前記偏光器によりM本の光を順次投光されたときに、前記M本の光の特性の違いによる前記受光器による受光量への影響を、予め補正用データを投光する光に対応して記憶しておき、前記受光部から前記形状再生部へ入力される電気信号を当該投光された光の前記補正用データで補正させる補正部(109)とを備えた請求項1又は2に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記受光部から出力される電気信号を所定のしきい値で比較して2値化して、2値化したデータから印刷はんだの形状を再生する形状再生部(105)と、前記偏光器によりM本の光を順次投光されたときに、前記M本の光の特性の違いによる前記受光器による受光量への影響を、予め補正用データを投光する光に対応して記憶しておき、前記しきい値を当該投光された光の前記補正用データで補正させる補正部(108)とを備えた請求項1又は2に記載の印刷はんだ検査装置。
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---|---|---|---|---|
JP2007132812A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Japan Automat Mach Co Ltd | 電線端末部の芯線検査装置 |
JP2015509194A (ja) * | 2012-01-24 | 2015-03-26 | トムラ ソーティング エーエス | 物質を検出する装置、システムおよび方法 |
JP2019100753A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | アンリツ株式会社 | プリント基板検査装置及びプリント基板検査方法 |
JP2020046341A (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | パイオニア株式会社 | 投光装置、投受光装置及び測距装置 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9551569B2 (en) * | 2014-10-13 | 2017-01-24 | Hermes-Epitek Corporation | Apparatus and method for curvature and thin film stress measurement |
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Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57113355A (en) * | 1980-12-30 | 1982-07-14 | Fujitsu Ltd | Pattern detection |
JPS62232545A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-13 | Kobe Steel Ltd | 表面欠陥検出方法 |
JP3109840B2 (ja) * | 1990-12-28 | 2000-11-20 | キヤノン株式会社 | 面状態検査装置 |
JPH04279846A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-05 | Fujitsu Ltd | 光学式検査装置 |
JPH0921759A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-21 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 基板の異物検査装置 |
JP3441580B2 (ja) * | 1995-12-14 | 2003-09-02 | 富士通株式会社 | 読取装置 |
JP4343449B2 (ja) * | 2001-01-31 | 2009-10-14 | アンリツ株式会社 | 印刷半田検査装置及び方法 |
JP2003097924A (ja) * | 2001-09-21 | 2003-04-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 形状測定装置および測定方法 |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007132812A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Japan Automat Mach Co Ltd | 電線端末部の芯線検査装置 |
JP4699179B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-06-08 | 日本オートマチックマシン株式会社 | 電線端末部の芯線検査装置 |
JP2015509194A (ja) * | 2012-01-24 | 2015-03-26 | トムラ ソーティング エーエス | 物質を検出する装置、システムおよび方法 |
US9557265B2 (en) | 2012-01-24 | 2017-01-31 | Tomra Sotring As | Apparatus, system and method for detecting matter |
JP2019100753A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | アンリツ株式会社 | プリント基板検査装置及びプリント基板検査方法 |
JP2020046341A (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | パイオニア株式会社 | 投光装置、投受光装置及び測距装置 |
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