JP4014571B2 - 印刷はんだ検査装置 - Google Patents
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Description
前記投光部は、2本の光を出射する光発生部(1)と、前記2本の光を異なった入射角で受けて、前記対象範囲方向に偏向させて、前記プリント基板の前記走査対象範囲を順次走査するN個の鏡面を有し、回転するポリゴンミラー(4)とを備え、
前記投光部は、該ポリゴンミラーの前記N個の各鏡面を回転する方向に2つの領域に分けて、前記2本の光をそれぞれ別個の前記領域に入射させることによって、該ポリンゴンミラーによって偏向された前記2本の光は交互に該ポリゴンミラーの1鏡面がその中心軸に対して占有する角度の半分の回転毎に順次に前記走査対象範囲を走査する構成を備えた。
前記投光部は、M本の光を出射する光発生部(1)と、前記M本の光を異なった入射角で受けて、前記対象範囲方向に偏向させて、前記プリント基板の前記走査対象範囲を順次走査するN個の鏡面を有し、回転するポリゴンミラー(4)とを備え、
前記投光部は、該ポリゴンミラーの前記N個の各鏡面を回転する方向にM個の領域に分けて、前記M本の光をそれぞれ別個の前記領域に入射させることによって、該ポリンゴンミラーによって偏向された前記M本の光は交互に該ポリゴンミラーの360度/[NM]の回転毎に順次に前記走査対象範囲を走査する構成を備えた。
図1は、本発明の構成(形態3の構成を含む)の機能を模式的に示す図である。図中の太い線は光路を示す線である。実際は、光はビームであるが、図1では、光路を理解するために単線で単純化して示している。
ここで、投光部3が2つのビームで同一のプリント基板10の形状を測定しようとしたとき、2つのビームの光学的特性の違いが測定値に表れるので、形状の良否判定に影響することが問題となる。図2は、その2つのビームAとBによって測定したデータの影響を、プリント基板10上のレジスト部分、はんだ部、マット部分等の識別にどのように影響するかをモデル的に表したものである。図2(a)と(b)は、ビームAとBのそれぞれで測定されたデータであり、いずれの横軸もそれぞれの受光部8で受けた受光量(パワー)を表し、縦軸が同一受光量における度数を示すものである。このデータは、例えば、はんだ箇所、レジスト箇所、パッド箇所の識別に利用できるデータである。
本形態2は、上記2つの光、例えばビームA及びビームBの光学的特性の差異を投光部3、特に光発生部1で無くそうというものである。特に、ここで対象とする光学的特性は、パワーと偏光である。図3に形態2の全体構成を示してあり、その内の形態2に特に関与する要部として、図1に対して、光発生部1に、ビームBをビームAと同じ偏光にするための偏光手段1dと、ビームAとBのパワーがプリント基板10の表面で同じになるよう調整するための可変手段1c(偏光機能も含む。)を備えている。これの詳細説明を図4を用いて行う。図5,図6は、その変形例である。
ビームB(P成分をλ/2波長板1dで変更したS成分):(1−q)×a/(1+r)
ここで、qは、λ/2波長板1dの損失である。
分岐手段1baの出力後のP成分をλ/2波長板1dを回転させてS成分のみに調整する。この調整は、λ/2波長板1dから反射されるP成分のパワーを測定して、その値が0になるように回転させることで行われる。
その後、λ/2波長板1cを回転させて比率rを可変して、プリント基板10の代わりにパワーメータを置いて、ビームAとBのパワーが同じになるように調整する。つまり、r=1−qになるように調整する。
上記したように、2つの光で走査したときに、それらの光学的特性の差異による影響で測定値にも差異がでる可能性がある。形態3では、投光部3は、図1のままで、2つの光の光学的特性の差異による影響を測定値側で補正しようとする技術を説明する。その構成は、図1における構成の中で、識別用ミラー9、走査光検出部107,補正部108は、波形再生部105(データ変換部105aを含む)によって、例えば、ビームAとビームBの光学的特性の差異による影響を受けた測定結果を補正する構成としている。
そこで、受光手段107aとしては、2つの受光面を有している。この2つの受光面として、ビームAのみの領域F1からのビームAを受光している受光検出部107aa(不図示)、ビームA,Bの領域F2からのビームA,Bを受光している受光検出部107ab(不図示)で構成される。この組み合わせは上記に限ることなく、領域F1、F2、F3の光の任意の二組を検出できればよい。
図7にその補正する回路例を示す。
例えば、ビームAの受光量がビームBの受光量に比べ小さい場合は、補正手段108は、上記タイミング信号がLレベルの時間帯において、データ変換部105aに対して、データ変換する前に、ビームAのときの電気信号の増幅器Lの利得をビームB側の電気信号の利得に比べ受光量の差に応じて増大させる。つまり、図7において、タイミング信号のLレベルによりスイッチB(L側)を介して補正利得可変値Aを基に抵抗Rを可変して利得をあげる。
データ変換部105aにおける上記データ変換時の2値化は一般に比較器で受光部8からの受光量の大きさに応じた電気信号としきい値と比較して行われる。しかしビームAとBの光学的特性、中でもパワーや偏光の違いにより、受光部8の受光量がビームAによる場合と、ビームBによる場合とで異なり、強いては、同じしきい値で2値化すると一方が2値化され、他方が2値化されない場合がでてくる。そのため、後の判定部106での判定結果によりミス判断がされかねない。そこで補正が必要になる。この補正の仕方は、図7で説明したオフセットと同じであり説明を省略する。なお、2値化の場合は、図7の増幅器Lが上記比較器として動作する。そして、抵抗Rが無限大にされ増幅器Lの利得は最大に設定される。
Claims (6)
- はんだが印刷されたプリント基板の所定の走査対象範囲に亘って光を出射して走査する投光部(3)と、前記プリント基板からの反射光を受光する受光部(8)とを有し、前記はんだの印刷状態を検査する印刷はんだ検査装置において、
前記投光部は、2本の光を出射する光発生部(1)と、前記2本の光を異なった入射角で受けて、前記対象範囲方向に偏向させて、前記プリント基板の前記走査対象範囲を順次走査するN個の鏡面を有し、回転するポリゴンミラー(4)とを備え、
前記投光部は、該ポリゴンミラーの前記N個の各鏡面を回転する方向に2つの領域に分けて、前記2本の光をそれぞれ別個の前記領域に入射させ、該ポリンゴンミラーによって偏向された前記2本の光は交互に該ポリゴンミラーの1鏡面がその中心軸に対して占有する角度の半分の回転毎に順次に前記走査対象範囲を走査する構成を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。 - はんだが印刷されたプリント基板の所定の走査対象範囲に亘って光を出射して走査する投光部(3)と、前記プリント基板からの反射光を受光する受光部(8)とを有し、前記はんだの印刷状態を検査する印刷はんだ検査装置において、
前記投光部は、M本の光を出射する光発生部(1)と、前記M本の光を異なった入射角で受けて、前記対象範囲方向に偏向させて、前記プリント基板の前記走査対象範囲を順次走査するN個の鏡面を有し、回転するポリゴンミラー(4)とを備え、
前記投光部は、該ポリゴンミラーの前記N個の各鏡面を回転する方向にM個の領域に分けて、前記M本の光をそれぞれ別個の前記領域に入射させることによって、該ポリンゴンミラーによって偏向された前記M本の光は交互に該ポリゴンミラーの360度/[NM]の回転毎に順次に前記走査対象範囲を走査する構成を備えたことを特徴とする印刷はんだ検査装置。 - 前記ポリゴンミラーがほぼ360度/[NM]回転する毎に、前記投光部と前記プリント基板とを前記走査の方向と直交する方向に相対的に移動させることによって副走査を行う副走査部(104)と、前記受光部が、前記ポリゴンミラーによる主走査及び副走査部による副走査のタイミングに応じて出力する受光量及び受光位置に応じて出力する電気信号を基に、前記プリント基板上の印刷はんだの形状を再生する形状再生部(105)を備えた請求項2に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記光発生部は、その出射するM本の光が、同一偏光方向であって、前記プリント基板の走査される面においてほぼ同一のパワーになるようにされていることを特徴とする請求項2又は3に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記受光部から出力される電気信号から印刷はんだの形状を再生する形状再生部(105)と、M個の光の各照射位置の違いから走査されている光を検出してM本の光のいずれであるかを識別した信号を生成する走査光検出部(107)と、前記ポリゴンミラーによりM本の光を順次投光されたときに、前記M本の光の特性の違いによる前記受光部による受光量への影響を、予め補正用データを投光する光に対応して記憶しておき、前記受光部から前記形状再生部へ入力される前記電気信号の大きさを、前記走査光検出部からの前記識別した信号に対応する前記補正用データを読み出して補正させる補正部(108)とを備えた請求項2又は3に記載の印刷はんだ検査装置。
- 前記受光部から出力される電気信号を所定のしきい値で比較して2値化して、2値化したデータから印刷はんだの形状を再生する形状再生部(105)と、M個の光の各照射位置の違いから走査されている光を検出してM本の光のいずれであるかを識別した信号を生成する走査光検出部(107)と、前記ポリゴンミラーによりM本の光を順次投光されたときに、前記M本の光の特性の違いによる前記受光器による受光量への影響を、予め補正用データを投光する光に対応して記憶しておき、前記しきい値を、前記走査光検出部からの前記識別した信号に対応する前記補正用データを読み出して補正させる補正部(108)とを備えた請求項2又は3に記載の印刷はんだ検査装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004049336A JP4014571B2 (ja) | 2004-02-25 | 2004-02-25 | 印刷はんだ検査装置 |
TW094100962A TWI274866B (en) | 2004-02-25 | 2005-01-13 | Inspection device for printed solder |
CNB2005100095515A CN100462715C (zh) | 2004-02-25 | 2005-02-21 | 印刷焊锡检查装置 |
KR1020050014189A KR100632650B1 (ko) | 2004-02-25 | 2005-02-21 | 인쇄땜납 검사장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004049336A JP4014571B2 (ja) | 2004-02-25 | 2004-02-25 | 印刷はんだ検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005241336A JP2005241336A (ja) | 2005-09-08 |
JP4014571B2 true JP4014571B2 (ja) | 2007-11-28 |
Family
ID=35010799
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004049336A Expired - Fee Related JP4014571B2 (ja) | 2004-02-25 | 2004-02-25 | 印刷はんだ検査装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4014571B2 (ja) |
KR (1) | KR100632650B1 (ja) |
CN (1) | CN100462715C (ja) |
TW (1) | TWI274866B (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105864144A (zh) * | 2016-05-23 | 2016-08-17 | 重庆德盟液压机械有限公司 | 囊膜式压缸或气缸 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4699179B2 (ja) * | 2005-11-10 | 2011-06-08 | 日本オートマチックマシン株式会社 | 電線端末部の芯線検査装置 |
NO336441B1 (no) | 2012-01-24 | 2015-08-17 | Tomra Sorting As | Anordning, system og fremgangsmåte for optisk detektering av materie |
US9551569B2 (en) * | 2014-10-13 | 2017-01-24 | Hermes-Epitek Corporation | Apparatus and method for curvature and thin film stress measurement |
CN105093256B (zh) * | 2015-06-29 | 2017-12-01 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种射线检测基板及其制造方法和射线探测器 |
CN106018434B (zh) * | 2016-07-06 | 2018-12-28 | 康代影像科技(苏州)有限公司 | 一种光学检测设备 |
JP6306230B1 (ja) * | 2017-02-09 | 2018-04-04 | Ckd株式会社 | 半田印刷検査装置、半田印刷検査方法、及び、基板の製造方法 |
JP2019100753A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | アンリツ株式会社 | プリント基板検査装置及びプリント基板検査方法 |
JP2020046341A (ja) * | 2018-09-20 | 2020-03-26 | パイオニア株式会社 | 投光装置、投受光装置及び測距装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JPS57113355A (en) * | 1980-12-30 | 1982-07-14 | Fujitsu Ltd | Pattern detection |
JPS62232545A (ja) * | 1986-04-01 | 1987-10-13 | Kobe Steel Ltd | 表面欠陥検出方法 |
JP3109840B2 (ja) * | 1990-12-28 | 2000-11-20 | キヤノン株式会社 | 面状態検査装置 |
JPH04279846A (ja) * | 1991-03-08 | 1992-10-05 | Fujitsu Ltd | 光学式検査装置 |
JPH0921759A (ja) * | 1995-07-10 | 1997-01-21 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 基板の異物検査装置 |
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-
2004
- 2004-02-25 JP JP2004049336A patent/JP4014571B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-01-13 TW TW094100962A patent/TWI274866B/zh not_active IP Right Cessation
- 2005-02-21 CN CNB2005100095515A patent/CN100462715C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2005-02-21 KR KR1020050014189A patent/KR100632650B1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200529721A (en) | 2005-09-01 |
CN100462715C (zh) | 2009-02-18 |
CN1661362A (zh) | 2005-08-31 |
TWI274866B (en) | 2007-03-01 |
JP2005241336A (ja) | 2005-09-08 |
KR100632650B1 (ko) | 2006-10-12 |
KR20060043034A (ko) | 2006-05-15 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070207 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070306 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070911 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070911 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100921 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110921 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120921 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130921 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |