CN106018434B - 一种光学检测设备 - Google Patents

一种光学检测设备 Download PDF

Info

Publication number
CN106018434B
CN106018434B CN201610527253.3A CN201610527253A CN106018434B CN 106018434 B CN106018434 B CN 106018434B CN 201610527253 A CN201610527253 A CN 201610527253A CN 106018434 B CN106018434 B CN 106018434B
Authority
CN
China
Prior art keywords
light source
polariscope
mirror
source generator
detection apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610527253.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106018434A (zh
Inventor
张志军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Kangdai Intelligent Technology Co Ltd
Original Assignee
Camtek Inspection Technology Suzhou Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Camtek Inspection Technology Suzhou Co Ltd filed Critical Camtek Inspection Technology Suzhou Co Ltd
Priority to CN201610527253.3A priority Critical patent/CN106018434B/zh
Publication of CN106018434A publication Critical patent/CN106018434A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106018434B publication Critical patent/CN106018434B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects
    • G01N2021/95638Inspecting patterns on the surface of objects for PCB's

Abstract

本发明公开了一种光学检测设备,包括:光源处理组件以及依次设于所述光源处理组件上方的镜头组件和相机,其中,所述光源处理组件包括:三个用于产生、发射光纤光源的光源发生装置、三个偏光镜、两个反射镜、一反射增透镜以及PCB侦测区,三个光源发生装置产生光纤光源分别经过与其对应的偏光镜投射至与其对应的反光镜上,而后聚焦至所述PCB侦测区上的PCB上,最后反射光经镜头组件投射至所述相机中。本发明经偏光镜过滤的光线投射在待检PCB板上,使反射到侦测光学器件中的光具有统一偏振特征,从而过滤掉其他杂散光线对光学检测的影响,从而增强PCB板上的缺陷的显示效果,提高了检测效果。

Description

一种光学检测设备
技术领域
本发明涉及光学检测设备,尤其涉及一种光学检测设备。
背景技术
自动光学检测是基于机器视觉的新型测试技术,可以用于PCB生产线上代替人工检测方法,对PCB的质量进行检测。尤其对超微小、分布细密的线路进行反复、高效、客观的检测,大大提高了产品质量和生产效率。基于AOI的PCB检测系统可以检测诸如突铜、缺口、短路、断路、残铜、针孔、漏线、漏钻孔、蚀刻过度、蚀刻不足、尺寸不符、孔破等进行检测。当前影响自动光学检测质量与效率的是:光源系统无法满足高亮度的要求;卤素灯亮度大但寿命短,使用维护费用大;LED光源亮度不够,造成检测系统扫描成像速度慢,效率低,难以满足PCB制程检测需求。然而,LED光源和卤素光源对PCB板的不同基材表面的缺陷和正常的非缺陷无法进行区分,因而无法准确地判定PCB板的合格与否。因而,一种能够准确判定PCB板是否合格的光学检测设备亟待出现。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明的目的在于一种光学检测设备,克服了现有技术的不足。
为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:
一种光学检测设备,包括:光源处理组件以及依次设于所述光源处理组件上方的镜头组件和相机,其中,所述光源处理组件包括:
三个用于产生、发射光纤光源的光源发生装置,其中光源发生装置一和光源发生装置二间隔相对设置,光源发生装置三设置位于光源发生装置一的上方;
三个偏光镜,其中偏光镜一和偏光镜二间隔设置、并位于所述光源发生装置一和光源发生装置二之间,所述偏光镜一和偏光镜二分别对应于所述光源发生装置一和光源发生装置二,所述偏光镜三设于所述光源发生装置三的内侧,并对应于所述光源发生装置三;
两个反射镜,其中所述反射镜一和反射镜二间隔设置、并分别设于所述偏光镜一和偏光镜二之间,所述反射镜一和反射镜二分别对应于所述偏光镜一和偏光镜二,且所述反射镜一和反射镜二相对于水平面倾斜设置;
一反射增透镜,所述反射增透镜设于所述偏光镜三的内侧,并对应于所述偏光镜三,所述反射增透镜相对于水平面倾斜设置;
位于所述光源发生装置一和光源发生装置二下方的PCB侦测区,所述PCB侦测区用于放置待检测的PCB板;
三个光源发生装置产生光纤光源分别经过与其对应的偏光镜投射至与其对应的反光镜上,而后聚焦至所述PCB侦测区上的PCB板上,最后反射光经镜头组件投射至所述相机中。
优选的,所述镜头组件包括镜头和至少位于所述镜头上方的解析镜。
进一步的,该光学检测设备还包括旋入旋出驱动装置,所述旋入旋出驱动装置用于驱动所述解析镜位于所述镜头的上方。
进一步的,该光学检测设备还包括360度旋转驱动装置,所述360度旋转驱动装置用于驱动所述解析镜旋转而使得到达所述相机的光纤达到适合的感光强度。
优选的,该光学检测设备还包括偏光镜控制装置,用于控制所述偏光镜切入至与之相对应的所述光源发生装置前。
优选的,所述相机为感光相机。
与现有技术相比,本发明提供的光学检测设备具有以下优点:
偏光镜控制装置使偏光镜切入到光钎光源前,三束光源经偏光镜后具有统一偏振特性,再投射至与其对应的反光镜上,而后聚焦至PCB侦测区上的PCB上,最后反射光经镜头组件投射至相机中,从而进行检测工作。经偏光镜过滤的光线投射在待检PCB板上,使反射到侦测光学器件中的光具有统一偏振特征,从而过滤掉其他杂散光线对光学检测的影响,进而增强PCB板上的缺陷的显示效果,提高了检测效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明结构特征和技术要点,下面结合附图和具体实施方式对本发明进行详细说明。
图1为本发明实施例所公开的光学检测设备的原理图;
图2为本发明实施例所公开的光源处理组件的结构示意图;
图3为本发明实施例所公开的镜头组件的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本实施例中的附图,对实施例中的技术方案进行具体、清楚、完整地描述。
参见图1-3所示,本发明实施例公开了一种光学检测设备,包括:光源处理组件1以及依次设于光源处理组件1上方的镜头组件2和相机3(可以采用感光相机),其中,光源处理组件1设置于一个光源盒内,其包括:
三个用于产生、发射光纤光源的光源发生装置,其中光源发生装置一11和光源发生装置二12间隔相对设置,光源发生装置三13设置位于光源发生装置一11的上方,
三个偏光镜,其中偏光镜一14和偏光镜二15间隔设置、并位于光源发生装置一11和光源发生装置二12之间,偏光镜一14和偏光镜二15分别对应于光源发生装置一11和光源发生装置二12,偏光镜三16设于光源发生装置三13的内侧,并对应于光源发生装置三13,
两个反射镜,其中反射镜一17和反射镜二18间隔设置、并分别设于偏光镜一14和偏光镜二15之间,反射镜一17和反射镜二18分别对应于偏光镜一14和偏光镜二15,且反射镜一17和反射镜二18相对于水平面倾斜设置;
一反射增透镜19,反射增透镜19设于偏光镜三16的内侧,并对应于偏光镜三16,反射增透镜19相对于水平面倾斜设置;
位于光源发生装置一11和光源发生装置二12下方的PCB侦测区6,PCB侦测区6用于放置待检测的PCB板;
三个光源发生装置产生光纤光源分别经过与其对应的偏光镜投射至与其对应的反光镜上,而后聚焦至PCB侦测区6上的PCB板上,最后反射光经镜头组件2投射至相机3中。
其中,镜头组件2包括镜头21和至少位于镜头21上方的解析镜22。
该光学检测设备还包括旋入旋出驱动装置4,旋入旋出驱动装置4用于驱动解析镜22位于镜头21的上方。
该光学检测设备还包括360度旋转驱动装置5,360度旋转驱动装置5用于驱动解析镜22旋转而使得到达相机3的光纤达到适合的感光强度。
该光学检测设备还包括偏光镜控制装置(图中未显示),用于控制偏光镜切入至与之相对应的光源发生装置前。
本发明的工作原理如下:
偏光镜控制装置使偏光镜切入到光钎光源前,三束光源经偏光镜后具有统一偏振特性,再投射至与其对应的反光镜上,而后聚焦至PCB侦测区6上的PCB板上,最后反射光经镜头组件2投射至相机3中。具体的,光源发生装置一11、光源发生装置二12、光源发生装置三13分别发射光纤光源分别经过偏光镜一14、偏光镜二15和偏光镜三16,再分别投射于反射镜一17、反射镜二18和反射增透镜19上,而后均聚焦于PCB板上,最后反射光经依次镜头和解析镜投射至感光相机中,从而进行检测工作。经偏光镜过滤的光线投射在待检PCB板上,使反射到侦测光学器件中的光具有统一偏振特征,从而过滤掉其他杂散光线对光学检测的影响,进而增强PCB板上的缺陷的显示效果,提高了检测效果。
上述具体实施方式,仅为说明本发明的技术构思和结构特征,目的在于让熟悉此项技术的相关人士能够据以实施,但以上所述内容并不限制本发明的保护范围,凡是依据本发明的精神实质所作的任何等效变化或修饰,均应落入本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种光学检测设备,包括:光源处理组件以及依次设于所述光源处理组件上方的镜头组件和相机,其特征在于:所述光源处理组件设置于一个光源盒内,包括三个用于产生、发射光纤光源的光源发生装置,分别为:光源发生装置一、光源发生装置二、光源发生装置三;其中,光源发生装置一和光源发生装置二间隔相对设置,光源发生装置三设置位于光源发生装置一的上方;
所述光源处理组件还包括偏光镜一、偏光镜二和偏光镜三,其中,偏光镜一和偏光镜二间隔设置,并位于所述光源发生装置一和光源发生装置二之间,所述偏光镜一和偏光镜二分别对应于所述光源发生装置一和光源发生装置二,所述偏光镜三设于所述光源发生装置三的内侧,并对应于所述光源发生装置三;
所述光源处理组件还包括反射镜一和反射镜二,所述反射镜一和反射镜二间隔设置,并分别设于所述偏光镜一和偏光镜二之间,所述反射镜一和反射镜二分别对应于所述偏光镜一和偏光镜二,且所述反射镜一和反射镜二相对于水平面倾斜设置;
所述光学检测设备还包括一反射增透镜和PCB侦测区,所述反射增透镜设于所述偏光镜三的内侧,并对应于所述偏光镜三,所述反射增透镜相对于水平面倾斜设置;
所述PCB侦测区位于光源发生装置一和光源发生装置二下方,PCB侦测区用于放置待检测的PCB板;三个光源发生装置产生光纤光源分别经过与其对应的偏光镜投射至与其对应的反光镜上,而后聚焦至PCB侦测区上的PCB板上,最后反射光经镜头组件投射至相机中。
2.根据权利要求1所述一种光学检测设备,其特征在于:所述镜头组件包括镜头和至少位于所述镜头上方的解析镜。
3.根据权利要求1所述一种光学检测设备,其特征在于:所述光学检测设备还包括偏光镜控制装置,用于控制所述偏光镜切入至与之相对应的所述光源发生装置前。
4.根据权利要求2所述的一种光学检测设备,其特征在于,所述光学检测设备还包括旋入旋出驱动装置,所述旋入旋出驱动装置用于驱动所述解析镜位于所述镜头的上方。
5.根据权利要求4所述的一种光学检测设备,其特征在于,所述光学检测设备还包括360度旋转驱动装置,所述360度旋转驱动装置用于驱动所述解析镜旋转而使得到达所述相机的光线 达到适合的感光强度。
6.根据权利要求1所述的一种光学检测设备,其特征在于,所述相机为感光相机。
CN201610527253.3A 2016-07-06 2016-07-06 一种光学检测设备 Active CN106018434B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610527253.3A CN106018434B (zh) 2016-07-06 2016-07-06 一种光学检测设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610527253.3A CN106018434B (zh) 2016-07-06 2016-07-06 一种光学检测设备

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106018434A CN106018434A (zh) 2016-10-12
CN106018434B true CN106018434B (zh) 2018-12-28

Family

ID=57106953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610527253.3A Active CN106018434B (zh) 2016-07-06 2016-07-06 一种光学检测设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106018434B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111122123A (zh) * 2019-11-26 2020-05-08 歌尔股份有限公司 一种tof模组解析力的检测装置及方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5208535A (en) * 1990-12-28 1993-05-04 Research Development Corporation Of Japan Mr position detecting device
CN1661362A (zh) * 2004-02-25 2005-08-31 安立株式会社 印刷焊锡检查装置
JP2007101521A (ja) * 2005-10-04 2007-04-19 Globallink Co Ltd 異方性導電フィルムの圧痕検査装置
CN103134805A (zh) * 2011-11-26 2013-06-05 西安中科麦特电子技术设备有限公司 一种自动光学检测仪的光学装置
JP2013108975A (ja) * 2011-11-22 2013-06-06 Dongwoo Fine-Chem Co Ltd 光学検査システム用振動ノイズ補正装置及び方法
CN103697422A (zh) * 2013-12-11 2014-04-02 江苏大学 一种同轴照明自动光学检测光源装置
CN104704346A (zh) * 2012-08-02 2015-06-10 维特公司 用于识别场景中的材料的方法和装置
CN205808960U (zh) * 2016-07-06 2016-12-14 康代影像科技(苏州)有限公司 一种光学检测设备

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5208535A (en) * 1990-12-28 1993-05-04 Research Development Corporation Of Japan Mr position detecting device
CN1661362A (zh) * 2004-02-25 2005-08-31 安立株式会社 印刷焊锡检查装置
JP2007101521A (ja) * 2005-10-04 2007-04-19 Globallink Co Ltd 異方性導電フィルムの圧痕検査装置
JP2013108975A (ja) * 2011-11-22 2013-06-06 Dongwoo Fine-Chem Co Ltd 光学検査システム用振動ノイズ補正装置及び方法
CN103134805A (zh) * 2011-11-26 2013-06-05 西安中科麦特电子技术设备有限公司 一种自动光学检测仪的光学装置
CN104704346A (zh) * 2012-08-02 2015-06-10 维特公司 用于识别场景中的材料的方法和装置
CN103697422A (zh) * 2013-12-11 2014-04-02 江苏大学 一种同轴照明自动光学检测光源装置
CN205808960U (zh) * 2016-07-06 2016-12-14 康代影像科技(苏州)有限公司 一种光学检测设备

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
PCB视觉检测系统中目标图像提取的研究;周党群 等;《电子测量与仪器学报》;20010930;第15卷(第3期);10-13 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN106018434A (zh) 2016-10-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2022179186A1 (zh) 频闪阶梯照明缺陷检测系统
KR100955486B1 (ko) 디스플레이 패널의 검사장치 및 검사방법
CN105259189A (zh) 玻璃的缺陷成像系统和方法
CN101393143B (zh) 基于显微视觉的光学测量和检测方法及其装置
CN103196554A (zh) 光源光强均一性测调系统及测调方法
CN103245670B (zh) 一种光学元件的缺陷检测装置及其缺陷检测方法
CN110044926A (zh) 一种透镜缺陷检测装置
KR20140012342A (ko) Led모듈 검사장치
CN102322593B (zh) 一种用于磁瓦的在线自动检测自适应光源装置及其控制方法
CN106018434B (zh) 一种光学检测设备
KR100863341B1 (ko) 중복 영상을 이용한 에프피디 기판 및 반도체 웨이퍼검사시스템
JP2004233342A (ja) 印刷回路板の光学検出装置及び検出方法
CN205808960U (zh) 一种光学检测设备
CN111324007B (zh) 掩膜板自动光学检测仪
CN103439812B (zh) 液晶玻璃基板45°角检查法
KR101969232B1 (ko) 측면 비전 장치
CN201314901Y (zh) 基于显微视觉的光学测量和检测的装置
KR100965409B1 (ko) 기판 검사 장치
CN211014053U (zh) 高精度自动化物体表面瑕疵影像撷取装置
JP2002303581A (ja) パネル検査装置及びパネル検査方法
CN102721703A (zh) 一种在线检测的照明装置与成像方法
CN111398289A (zh) 一种摄像组件及包括该组件的正反面飞检视觉检测装置
KR100863340B1 (ko) 컨베이어 설치용 이물 검사장치
CN109659249A (zh) 蚀刻终点监控装置及蚀刻终点监控方法
KR102563511B1 (ko) 카메라를 이용한 다면검사장치 및 검사방법

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CP03 Change of name, title or address

Address after: 215000 No.1 Kezhi Road, Suzhou Industrial Park, Jiangsu Province

Patentee after: Suzhou Kangdai Intelligent Technology Co., Ltd

Address before: Techrich Road Industrial Park in Suzhou city of Jiangsu Province, No. 1 215400

Patentee before: Kangdai Imaging Technology (Suzhou) Co., Ltd.