JP2005156016A - プラズマディスプレイパネルの焼成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板4の搬送を行いながら熱処理する焼成炉2内に、基板4を搬送する複数段の搬送手段6を設置し、上下方向に隣接する搬送手段6の間を断熱壁7で仕切り、この断熱壁7に加熱手段9を設けた。
【選択図】図3
Description
「2001 FPDテクノロジー大全」、株式会社電子ジャーナル刊、2000年10月25日、p672〜p675 p680〜p682
また、複数枚の基板を一度にまとめて熱処理することで、実質的な熱処理時間を短縮することが行われる場合があるが、その場合には、焼成装置が大型化してしまうため、工場スペースを増大する必要が生じる。
また、請求項4に記載の発明は、請求項1または2において、基板を搬送する複数段の搬送手段の下方位置に、リターンコンベアを配設したことを特徴とする。
図1は、3電極構造の面放電型のPDPの概略構成を示す断面斜視図である。
そして放電空間25には、放電ガスとして、ヘリウム,ネオン,アルゴン,キセノンのうち、少なくとも1種類の希ガスが封入されており、隔壁23によって仕切られ、アドレス電極21と走査電極16および維持電極17との交差部の放電空間25が放電セル26として動作し、アドレス電極11、表示電極16に周期的な電圧を印加することによって放電を発生させ、この放電による紫外線を蛍光体層14に照射し可視光に変換させることにより、画像表示を行う。
基板13を受入れる基板受入れ工程(S11)の後、基板13の上に表示電極16を形成する表示電極形成工程(S12)を行う。これは、透明電極14aおよび15aを形成する透明電極形成工程(S12−1)と、その後に行われるバス電極14bおよび15bを形成するバス電極形成工程(S12−2)とを有し、バス電極形成工程(S12−2)は、例えばAgなどの導電性ペーストをスクリーン印刷などで塗布する導電性ペースト塗布工程(S12−2−1)と、その後、塗布した導電性ペーストを焼成する導電性ペースト焼成工程(S12−2−2)とを有する。次に、表示電極形成工程(S12)により形成された表示電極16の上を覆うように誘電体層17を形成する誘電体層形成工程(S13)を行う。これは、鉛系のガラス材料(その組成は、例えば、酸化鉛[PbO]70重量%,酸化硼素[B2O3]15重量%,酸化硅素[SiO2]15重量%)を含むペーストをスクリーン印刷法で塗布するガラスペースト塗布工程(S13−1)と、その後、塗布したガラス材料を焼成するガラスペースト焼成工程(S13−2)とを有するものである。その後、誘電体層17の表面に真空蒸着法などで酸化マグネシウム(MgO)などの保護膜18を形成する保護膜形成工程(S14)を行う。以上により前面板12が製造される。
焼成炉2内には、PDP11の前面板12の基板13、もしくは背面板19の基板20である基板4を載置したセッター5を搬送する搬送手段として、例えばローラーコンベア6が、例えば4ライン設置されており、そして各ラインの間には断熱構造を有する断熱壁7が設けられ、この断熱壁7によって焼成炉2内を仕切ることで熱処理室8を構成している。また、断熱壁7の上下面、および焼成炉2内の天井面および床面には、加熱手段として例えば電気ヒータ9が設置されている。各電気ヒータ9は熱処理室8の大きさに応じて、幅方向102にいくつかに分割し、目的の温度分布が得られるようにこの電気ヒータ9が制御されていても良い。
また、キープ域2bでは、基板4とそれを載置するセッター5とを一定温度に保つのみで良いことから、電気ヒータ9は熱処理室8の一方の面のみに設置された構成となる場合がある。
各電気ヒータ9は、個別に発熱量の制御を行えるように構成したり、基板の搬送方向に設けられる温度ゾーンごとに少なくとも発熱量の制御を行えるように構成される。
さらに、上下方向に4段設けた熱処理室8の加熱域2a、キープ域2b、冷却域2cは、各段ごとに異ならせるように前記電気ヒータを温度調節し、例えば、一段目の熱処理室8を通過して焼成したものを、リターンコンベア3によって矢印101方向に搬送して、これを第2段目の熱処理室8に搬入するなどして各種の熱処理を実現できる。
2 焼成炉
3 リターンコンベア
4 基板
5 セッター
6 ローラーコンベア(搬送手段)
7 断熱壁
8 熱処理室
9 電気ヒータ(加熱手段)
Claims (4)
- 基板の搬送を行いながら前記基板を熱処理する焼成炉を有するプラズマディスプレイパネルの焼成装置であって、
前記焼成炉内には、基板を搬送する複数段の搬送手段を、上下方向に隣接する搬送手段の間を断熱壁で仕切って設けると共に、前記断熱壁に加熱手段を配設したプラズマディスプレイパネルの焼成装置。 - 前記加熱手段は、個別に発熱量の制御を行えるように構成するか、または基板の搬送方向に設けられる温度ゾーンごとに発熱量の制御を行えるように構成した
請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成装置。 - 加熱手段が、電気ヒータである請求項1または2に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成装置。
- 基板を搬送する複数段の搬送手段の下方位置に、リターンコンベアを配設した請求項1または請求項2に記載のプラズマディスプレイパネルの焼成装置。
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