JPH1137660A - ローラハース型連続封着炉 - Google Patents
ローラハース型連続封着炉Info
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Abstract
でき、かつ、炉壁等からの塵埃によるガラス基板間の汚
染をなくすローラハース型連続封着炉を提供する。 【解決手段】 加熱帯I、均熱帯II、徐冷帯IIIおよび
冷却帯Vからなるローラハース型連続封着炉において、
前記加熱帯内にマッフル10を取り付け、該マッフルと
天井壁間および炉床間の各空間にラジアントチューブバ
ーナ13を配設し、かつ、前記マッフル内の両側壁側に
電熱ヒータ14を配設するとともに、前記均熱帯および
徐冷帯を内板16構造とし、かつ、前記徐冷帯の天井
部、炉床部および両側壁部に電熱ヒータ13を配設し
た。
Description
封着炉に関するものである。
ラズマディスプレイパネル(以下、PDPと言う)の製
造方法の一つとして、図7に示すように、表面ガラス基
板W1とチップ管P付き背面ガラス基板W2とをいずれか
一方の外縁部に軟質ガラス等からなる封着剤Sを塗布し
て重ね合わせ、クリップ等のクランプ治具Cにより一体
に固定してPDP組立体Wとし、このPDP組立体Wを
トレイTrに載置して連続封着炉に装入することにより
両ガラス基板を封着し、その後、チップ管Pから両ガラ
ス基板W1,W2間を所定真空にしたうえで放電ガスを封
入し、チップ管Pを封止切断することによりPDPとす
る方法がある。
特開平6−36688号公報に開示されているように、
PDP組立体Wの加熱を、炉天井部に設けた上部ヒータ
と炉床部に設けた下部ヒータとで行なう方式であるた
め、炉壁の放熱の影響によりPDP組立体Wの炉壁側の
温度が低くなり、両ガラス基板W1,W2の加熱が不均一
になるばかりか、封着剤Sの均一加熱ができず、良好な
封着処理ができないという問題があった。
雰囲気と接触するため、断熱材からの塵埃が雰囲気中に
混入し、その結果、PDP組立体Wの内部が汚染される
という問題を有する。さらに、被処理材として、表面ガ
ラス基板とチップ管付き背面ガラス基板とを前述同様封
着剤を介して重ね合わせクランプ治具で一体化して前記
封着炉で封着し、チップ管により内部を所定の真空とし
て、いわゆる真空二重断熱ガラスパネルとすることもで
きるが、この場合においても、同様の問題が生じる。し
たがって、本発明は、2枚のガラス基板を所定間隔で封
着剤により封着する場合において、封着剤を均一に加熱
して2枚のガラス基板を封止でき、しかもガラス基板間
が汚染されないローラハース型連続封着炉を提供するこ
とを目的とする。
成するために、加熱帯、均熱帯、徐冷帯および冷却帯か
らなるローラハース型連続封着炉において、前記加熱帯
内にマッフルを取り付け、該マッフルと天井壁間および
炉床間の各空間にラジアントチューブバーナを配設し、
かつ、前記マッフル内の両側壁側に電熱ヒータを配設す
るとともに、前記均熱帯と徐冷帯を内板構造とし、か
つ、前記徐冷帯の天井部、炉床部および両側壁部に電熱
ヒータを配設したものである。また、前記均熱帯および
徐冷帯の少なくとも炉床部にラジアントチューブバーナ
を配設し、このラジアントチューブバーナを炉立上げ時
のみに燃焼させるようにしたものである。
にしたがって説明する。本発明にかかるローラハース型
連続封着炉Tは、図1に示すように、加熱帯I、均熱帯
II、徐冷帯III、ターン部IV、冷却帯Vとからなり、前
記ターン部IVを除きハースローラ1が設けられている。
なお、2はハースローラ1を備えた装入部、3は同じく
ハースローラ1を備えた抽出部で、炉の装入,抽出端部
にはスロート部4,5が設けてある。
に、炉内に耐熱鋼製の上部マッフル10aと下部マッフ
ル10bが取り付けられ、この上・下部マッフル10
a,10bと下記する内板構造の側壁19とで加熱空間
が形成される。また、上記マッフル10aと天井壁(断
熱材)11間および下部マッフル10bと炉床(断熱
材)12間の各空間に所定間隔をもって複数のラジアン
トチューブバーナ13が配設され、かつ、マッフル10
内の両側壁側に電熱ヒータ14が配設されている。
ように、断熱材15の内面に耐熱鋼板からなる内板16
を取り付けた内板構造となっており、かつ、天井部1
7、炉床部18および両側壁部19に電熱ヒータ14を
有する。また、均熱帯IIと徐冷帯IIIの炉床部18に
は、所定間隔をもってラジアントチューブバーナ13が
配設され、炉立上げ時のみに燃焼させるようになってい
る。そして、前記内板16は、図6に示すように、断熱
材15の内面に、たとえばアルミ箔等の金属箔21を炉
殻10に設けたピン22にワッシャ23、ナット24に
より固定するとともに、金属箔21の炉内側に前記内板
16を前記金属箔21と同様、前記ピン22にワッシャ
23、ナット24により固定し、断熱材15からの塵埃
が炉内に侵入することを防止する。また、前記冷却帯V
は図5に示すように耐熱鋼にて製作され、水冷ジャケッ
ト25で水冷構造となっている。
に前述と同様の内板16をピン22、ワッシャ23、ナ
ット24で取り付け、天井部、炉床部、側壁部に加熱ヒ
ータ14を配設するとともに、昇降・回転可能なフォー
ク状の載置部27を有する回転機構26が設けられ、載
置部27をハースローラ1間に位置させて昇降・回転さ
せることにより処理材Wを反転移送するようになってい
る。また、前記均熱帯II、徐冷帯IIIおよび冷却帯Vの
各帯は炉長方向に複数の分割制御が可能なように温度制
御される。
前記PDP組立体Wは、封着炉T内で、図8に示すヒー
トカーブにしたがって加熱され、封着剤Sにより両ガラ
ス基板W1,W2が封着される。その後、炉外にてチップ
管Pを利用して両ガラス基板W1,W2間を排気し、放電
ガスを封入するとともにチップ管Pを切断しPDPとす
る。
P組立体の場合を示したが、前述のように、処理材Wと
しては真空二重断熱ガラスパネルを構成する2枚のガラ
ス板であってもよい。
a,10bを取付けて、この上・下部マッフルと側壁の
内板16とで加熱空間を形成したが、矩形筒の一体マッ
フルでもよく、また、均熱帯IIおよび徐冷帯IIIにラジ
アントチューブバーナ13を配設して、炉立上げ時にの
み燃焼させることで炉立上げ時間を短縮するようにした
が、ラジアントチューブバーナを配設することなく、帯
内に設ける発熱ヒータで対応するようにしてもよい。さ
らに、前記説明では、炉をU字状に設置したが、ターン
部IVを設けることなく直線上に設置してもよい。
ローラハース型連続封着炉によれば、加熱帯をマッフル
構造とし、マッフルと炉天井壁間と炉床間の空間にラジ
アントチューブバーナを配設し、かつ、マッフル内の両
側壁に電熱ヒータを配設したため、ラジアントチューブ
バーナからの熱は、マッフルを介して処理材に伝熱され
ることになり局部過熱あるいは加熱不足がなく、しかも
電熱ヒータがマッフル内の炉壁側に配設されているた
め、処理材が2枚のガラスを封着剤を介して一体化する
プラズマディスプレイパネル組立体あるいは2重断熱ガ
ラスパネル組立体にあってもガラス板は勿論、封着剤も
均一に加熱される。また、均熱帯と徐冷帯においても、
天井部、炉床部、側壁に電熱ヒータを配設して4面加熱
方式としたので前記パネル全体を均一に均熱、徐冷する
ことができ、パネルに歪みが生じず、かつ、封着剤も均
一に溶融して完全に2枚のガラスを封着することができ
る。さらに、加熱帯はマッフル構造で、均熱帯および徐
冷帯は内板構造としてあり、しかも、マッフル、内板内
に設置する加熱源は電熱ヒータであるから、断熱材から
の塵埃の炉内侵入による炉内雰囲気の汚染がないため、
PDP組立体の封着においては、後工程で放電ガスを封
入しても不純ガスの混在は極めて少なく、良好なPDP
とすることができる。
平面図。
部マッフル、11…天井壁、12…炉床、13…ラジア
ントチューブバーナ、14…電熱ヒータ、16…内板、
I…加熱帯、II…均熱帯、III…徐冷帯、V…冷却帯、
C…クランプ治具、P…チップ管、S…封着剤、T…封
着炉、W1,W2…ガラス基板、W…処理材。
Claims (2)
- 【請求項1】 加熱帯、均熱帯、徐冷帯および冷却帯か
らなるローラハース型連続封着炉において、前記加熱帯
内にマッフルを取り付け、該マッフルと天井壁間および
炉床間の各空間にラジアントチューブバーナを配設し、
かつ、前記マッフル内の両側壁側に電熱ヒータを配設す
るとともに、前記均熱帯と徐冷帯を内板構造とし、か
つ、前記徐冷帯の天井部、炉床部および両側壁部に電熱
ヒータを配設したことを特徴とするローラハース型連続
封着炉。 - 【請求項2】 前記均熱帯および徐冷帯の少なくとも炉
床部にラジアントチューブバーナを配設し、このラジア
ントチューブバーナを炉立上げ時のみに燃焼させる前記
請求項1に記載のローラハース型連続封着炉。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1439563A2 (en) * | 2003-01-16 | 2004-07-21 | Ngk Insulators, Ltd. | Heat treatment method and heat treatment furnace for plasma display panel substrate |
EP1511061A2 (en) * | 2003-08-25 | 2005-03-02 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited | Method and apparatus for manufacturing plasma display panel |
WO2005052479A1 (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルの多段焼成装置 |
US7625260B2 (en) | 2004-02-20 | 2009-12-01 | Chugai Ro Co., Ltd. | Method of sealing glass panel assembly and sealing process furnace |
JP2010025367A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Koyo Thermo System Kk | 移載装置および連続焼成炉 |
CN104154742A (zh) * | 2014-09-03 | 2014-11-19 | 江苏宇达环保科技股份有限公司 | 一种scr全自动温控辊棒电窑 |
CN110564947A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-13 | 宝钢工程技术集团有限公司 | 炉辊支撑装置 |
Families Citing this family (1)
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Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2720630C2 (de) * | 1977-05-07 | 1982-10-07 | Ludwig Riedhammer GmbH & Co KG, 8500 Nürnberg | In der Länge geneigter langgestreckter Sinterofen |
JPS56136919A (en) * | 1980-03-28 | 1981-10-26 | Yamazaki Denki Kogyo Kk | Method and apparatus for continuous heat treatment of metal |
US4406618A (en) * | 1980-12-19 | 1983-09-27 | Kawasaki Steel Corporation | Method of operating continuous heat treatment furnace for metal strip coils |
JPH0415485A (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-20 | Murata Mfg Co Ltd | 連続式焼成炉 |
JPH07102326A (ja) * | 1993-09-30 | 1995-04-18 | Daido Steel Co Ltd | 金属ストリップ用の連続焼鈍炉 |
JP2643086B2 (ja) * | 1994-03-31 | 1997-08-20 | 中外炉工業株式会社 | 金属粉末還元処理用ベルト式連続熱処理炉 |
JP3430653B2 (ja) * | 1994-08-16 | 2003-07-28 | 株式会社村田製作所 | ローラハース形熱処理炉 |
JP2961295B2 (ja) * | 1994-12-20 | 1999-10-12 | 光洋リンドバーグ株式会社 | ローラハース炉 |
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1439563A2 (en) * | 2003-01-16 | 2004-07-21 | Ngk Insulators, Ltd. | Heat treatment method and heat treatment furnace for plasma display panel substrate |
EP1439563A3 (en) * | 2003-01-16 | 2007-07-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Heat treatment method and heat treatment furnace for plasma display panel substrate |
EP1511061A2 (en) * | 2003-08-25 | 2005-03-02 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited | Method and apparatus for manufacturing plasma display panel |
EP1511061A3 (en) * | 2003-08-25 | 2007-09-05 | Fujitsu Hitachi Plasma Display Limited | Method and apparatus for manufacturing plasma display panel |
WO2005052479A1 (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルの多段焼成装置 |
JP2005156016A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの焼成装置 |
US7625260B2 (en) | 2004-02-20 | 2009-12-01 | Chugai Ro Co., Ltd. | Method of sealing glass panel assembly and sealing process furnace |
JP2010025367A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Koyo Thermo System Kk | 移載装置および連続焼成炉 |
CN104154742A (zh) * | 2014-09-03 | 2014-11-19 | 江苏宇达环保科技股份有限公司 | 一种scr全自动温控辊棒电窑 |
CN104154742B (zh) * | 2014-09-03 | 2016-04-13 | 江苏宇达环保科技股份有限公司 | 一种scr全自动温控辊棒电窑 |
CN110564947A (zh) * | 2019-10-12 | 2019-12-13 | 宝钢工程技术集团有限公司 | 炉辊支撑装置 |
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