JP2961295B2

JP2961295B2 - ローラハース炉

Info

Publication number: JP2961295B2
Application number: JP31631694A
Authority: JP
Inventors: 光央海野; 巌穂森本
Original assignee: KOYO RINDOBAAGU KK
Current assignee: KOYO RINDOBAAGU KK
Priority date: 1994-12-20
Filing date: 1994-12-20
Publication date: 1999-10-12
Anticipated expiration: 2014-10-12
Also published as: JPH08176649A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、たとえばプラズマデ
ィスプレイ用ガラス基板の焼成等の清浄な環境下で被処
理物に熱処理を施すのに使用されるローラハース炉に関
する。

【０００２】

【従来の技術】ローラハース炉においては、プラズマデ
ィスプレイ用ガラス基板等の被熱処理物は治具に積載さ
れ、被熱処理物と治具とよりなる被搬送体が炉内を搬送
されつつ被熱処理物に熱処理が施されるようになってい
る。

【０００３】従来、ローラハース炉用ローラとしては、
ステンレス鋼等の金属からなるものが用いられていた。
しかしながら、このローラでは、ローラの表面に発生し
た酸化スケールが被搬送体の治具との摩擦によりローラ
から剥離して被熱処理物に付着したり、被搬送体の治具
との摩擦により金属粉等が発生して被熱処理物に付着し
たりし、これにより被熱処理物が汚染されるという問題
があった。

【０００４】そこで、このような問題を解決するため
に、全体がセラミックスからなるローラハース炉用ロー
ラが考えられた。しかしながら、このローラでは、その
機械的耐衝撃性が不足するとともに、熱的耐衝撃性が不
足して熱膨張、熱収縮に起因する割れが発生するという
問題があった。しかも、ローラの支持や駆動系との連結
が困難であるという問題があった。

【０００５】この発明の目的は、上記問題を一挙に解決
したローラハース炉を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この発明によるローラハ
ース炉は、複数のローラが並列状に配置されることによ
り構成された炉床を備えているローラハース炉であっ
て、各ローラが、金属製ローラ本体と、ローラ本体の長
さ方向に間隔をおいて複数設けられ、かつローラ本体よ
りも大径の被搬送体支持部とよりなり、各被搬送体支持
部の少なくとも表面部がセラミックスで覆われ、隣接す
る２本のローラにおける被搬送体支持部のローラ長さ方
向の位置がずれているものである。

【０００７】上記ローラハース炉において、全てのロー
ラの被搬送体支持部が、炉床全体として千鳥配置状とな
っていることが好ましい。

【０００８】上記ローラハース炉において、金属製ロー
ラ本体の表面にセラミックスコーティングが施されてい
るのがよい。

【０００９】また、上記ローラハース炉において、金属
製ローラ本体の周囲に、複数のセラミックスチューブが
長さ方向に間隔をおくように嵌め被せられて固定され、
このセラミックスチューブが被搬送体支持部となってい
ることがある。

【００１０】

【作用】各ローラが、金属製ローラ本体と、ローラ本体
の長さ方向に間隔をおいて複数設けられ、かつローラ本
体よりも大径の被搬送体支持部とよりなり、各被搬送体
支持部の少なくとも表面部がセラミックスで覆われ、隣
接する２本のローラにおける被搬送体支持部のローラ長
さ方向の位置がずれていると、被搬送体は被搬送体支持
部に支持され、ローラ本体とは接触することがないの
で、ローラ本体からの金属粉等の発生が防止される。し
かも、金属製ローラ本体に被搬送体支持部が設けられ、
被搬送体支持部の少なくとも表面部がセラミックスで覆
われていると、全体がセラミックスで形成されたものに
比べて機械的耐衝撃性および熱的耐衝撃性が向上する。
また、ローラ本体の被搬送体支持部が設けられていない
部分を利用してローラを支持したり、駆動系に連結した
りすることができる。さらに、金属製ローラ本体に、こ
れよりも大径の被搬送体支持部が長さ方向に間隔をおい
て複数設けられていると、被搬送体は被搬送体支持部に
支持されるので、被搬送体とローラとの接触面積が小さ
くなる。

【００１１】また、ローラハース炉において、金属製ロ
ーラ本体の表面にセラミックスコーティングが施されて
いると、ローラ本体からの酸化スケールの発生が防止さ
れる。ローラ本体の表面にセラミックスコーティングが
施されていないと、ローラ本体の表面に酸化スケールが
発生し、これが何等かの理由によりローラ本体から剥離
して被搬送体の被熱処理物に付着するおそれがある。

【００１２】さらに、金属製ローラ本体の周囲に、複数
のセラミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように
嵌め被せられて固定され、このセラミックスチューブが
被搬送体支持部となっていると、ローラ本体の熱膨張、
熱収縮に起因するセラミックスチューブの割れが防止さ
れる。ローラ本体におけるローラを支持したり、駆動系
に連結したりするための両端部を除いた部分の全長にわ
たってセラミックスチューブが嵌め被せられて固定され
ていると、ローラ本体とセラミックスチューブとの熱膨
張率の差により、熱膨張、熱収縮に起因してセラミック
スチューブが割れるおそれがある。

【００１３】

【実施例】以下、この発明の実施例を、図面を参照して
説明する。

【００１４】図１および図２はこの発明によるローラハ
ース炉を示し、図３はローラを示す。なお、以下の説明
において、図１および図２の左右を左右というものと
し、図２の上側を前、これと反対側を後というものとす
る。

【００１５】図１および図２において、ローラハース炉
(1) は、基台(2) 上に載置された炉殻(3) と、炉殻(3)
内に設けられたマッフル(4) と、マッフル(4) 内に設け
られた炉床(5) とを備えている。

【００１６】炉殻(3) は、ヒータを内蔵した複数のブロ
ック(6) により形成されている。マッフル(4) は、炉殻
(3) の底壁(3a)上に左右方向に間隔をおいて立設された
耐熱ガラス製の左右両側板(4a)と、炉殻(3) の底壁(3a)
上に耐熱材(7) を介して載置された耐熱ガラス製の底板
(4b)と、左右両側板(4a)の上端部を貫通して炉殻(3)の
左右両側壁(3b)に固定されているセラミックスチューブ
(8) に支持された天板(4c)とよりなる。炉床(5) は、左
右方向に伸びる複数のローラ(9) が前後方向に並んで配
置されることにより構成されている。各ローラ(9) の左
右両端部は、マッフル(4) の左右両側板(4a)および炉殻
(3) の左右両側壁(3b)を貫通して外方に伸びており、そ
の両端に設けられた軸部(9a)が軸受(11)を介して基台
(2) 上に設けられた支持部材(12)に回転自在に支持され
ている。なお、図示は省略したが、すべてのローラ(9)
は、その一端部の軸部(9a)が公知の駆動系に連結されて
おり、駆動系により回転駆動されるようになっている。

【００１７】ローラ(9) は、外周面に酸化物系セラミッ
クスコーティングの施された金属製、たとえばステンレ
ス鋼製ローラ本体(13)と、ローラ本体(13)の周囲にその
長さ方向に間隔をおいて嵌め被せられて固定された複数
のセラミックスチューブ(14)とよりなる。セラミックス
チューブ(14)は、たとえばアルミナ、ムライト、石英等
により形成されている。図３に示すように、セラミック
スチューブ(14)は、ローラ本体(13)の周囲に嵌め被せら
れた後、セラミックスチューブ(14)の周壁を外側から貫
通した、たとえばステンレス鋼からなるねじ（図示略）
をローラ本体(13)に形成されたねじ穴（図示略）にねじ
嵌めることにより、ローラ本体(13)に固定されている。
このとき、ねじの頭部は、セラミックスチューブ(14)の
外周面に形成された凹所（図示略）内に収納されるよう
になっている。そして、セラミックスチューブ(14)によ
り、ローラ本体(13)よりも大径の被搬送体支持部(15)が
形成されている。隣接する２本のローラ(9) において
は、セラミックスチューブ(14)の左右方向の位置はずれ
ており、炉床(5) 全体としてセラミックスチューブ(14)
が千鳥配置状となるようになっている。

【００１８】上記のようなローラハース炉(1) におい
て、たとえば、プラズマディスプレイ用ガラス基板等の
被熱処理物(S) は、耐熱ガラスとアルミナ等のセラミッ
クスにより形成された治具(A) に多段状に複数載せら
れ、被熱処理物(S) と治具(A) とよりなる被搬送体(X)
がセラミックスチューブ(14)に支持された状態で炉床
(5)上を搬送され、被熱処理物(S) に熱処理が施され
る。

【００１９】上記実施例においては、ローラ本体(13)の
周囲にセラッミクスチューブ(14)を嵌め被せて固定する
ことにより被搬送体支持部(15)が形成されているが、こ
れに限るものではなく、たとえばローラ本体(13)の周囲
に、外周面にセラミックスコーティングが施された金属
チューブを嵌め被せて固定することにより被搬送体支持
部が形成されていてもよく、あるいはローラ本体(13)に
一体的に大径部を形成し、大径部の外周面にセラミック
スコーティングを施すことにより被搬送体支持部が形成
されていてもよい。

【００２０】但し、被搬送体支持部の表面にセラミック
スコーティングが施されている場合、被搬送体(X) との
接触摩擦により、コーティングが剥がれるおそれがある
ので、上記実施例のように、ローラ本体(13)にセラミッ
クスチューブ(14)が嵌め被せられて固定されていること
が好ましい。

【００２１】

【発明の効果】この発明のローラハース炉によれば、上
述のように、ローラ本体から酸化スケールが発生したと
しても、これが被搬送体の被熱処理物に付着するのを防
止できるとともに、ローラ本体からの金属粉等の発生が
防止されて金属粉等が被搬送体の被熱処理物に付着する
のが防止される。したがって、被熱処理物の汚染を防止
することができる。

【００２２】また、全体がセラミックスで形成されたも
のに比べて機械的耐衝撃性が向上するので、ローラの破
損を防止することができる。また、全体がセラミックス
で形成されたものに比べて熱的耐衝撃性が向上するの
で、熱膨張、熱収縮に起因する割れを防止することがで
きる。さらに、ローラ本体の被搬送体支持部が設けられ
ていない部分を利用してローラを支持したり、駆動系に
連結したりすることができるので、その作業が簡単にな
る。

【００２３】また、金属製ローラ本体の表面にセラミッ
クスコーティングが施されているので、ローラ本体から
の酸化スケールの発生が防止され、酸化スケールの被熱
処理物への付着が完全に防止される。

【００２４】さらに、金属製ローラ本体の周囲に、複数
のセラミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように
嵌め被せられて固定され、このセラミックスチューブが
被搬送体支持部となっているので、ローラ本体の熱膨
張、熱収縮に起因するセラミックスチューブの割れが防
止される。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明によるローラハース炉の横断面図であ
る。

【図２】この発明によるローラハース炉の部分水平断面
図である。

【図３】この発明によるローラハース炉に用いられるロ
ーラの一部分を示す分解斜視図である。

【符号の説明】

(1) ローラハース炉 (9) ローラ (13) ローラ本体 (14) セラミックスチューブ (15) 被搬送体支持部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献特開平１−255618（ＪＰ，Ａ) 実開昭59−117662（ＪＰ，Ｕ) 実公平５−48075（ＪＰ，Ｙ２) 実公昭62−34995（ＪＰ，Ｙ２) 実公昭63−20403（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) C21D 1/00 115 F27B 9/00 - 9/40

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のローラが並列状に配置されること
により構成された炉床を備えているローラハース炉であ
って、各ローラが、金属製ローラ本体と、ローラ本体の
長さ方向に間隔をおいて複数設けられ、かつローラ本体
よりも大径の被搬送体支持部とよりなり、各被搬送体支
持部の少なくとも表面部がセラミックスで覆われ、隣接
する２本のローラにおける被搬送体支持部のローラ長さ
方向の位置がずれているローラハース炉。
【請求項２】全てのローラの被搬送体支持部が、炉床
全体として千鳥配置状となっている請求項１記載のロー
ラハース炉。
【請求項３】金属製ローラ本体の表面にセラミックス
コーティングが施されている請求項１または２記載のロ
ーラハース炉。
【請求項４】金属製ローラ本体の周囲に、複数のセラ
ミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように嵌め被
せられて固定され、このセラミックスチューブが被搬送
体支持部となっている請求項１、２または３記載のロー
ラハース炉。