JPH08176649A - ローラハース炉用ローラ - Google Patents
ローラハース炉用ローラInfo
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- JPH08176649A JPH08176649A JP31631694A JP31631694A JPH08176649A JP H08176649 A JPH08176649 A JP H08176649A JP 31631694 A JP31631694 A JP 31631694A JP 31631694 A JP31631694 A JP 31631694A JP H08176649 A JPH08176649 A JP H08176649A
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- Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 被熱処理物の汚染を防止する。ローラの破損
を防止する。ローラを支持したり、駆動系に連結したり
する作業を簡単にする。 【構成】 金属製ローラ本体13の周囲に、複数のセラミ
ックスチューブ14を長さ方向に間隔をおくように嵌め被
せて固定し、このセラミックスチューブ14を被搬送体支
持部15とする。
を防止する。ローラを支持したり、駆動系に連結したり
する作業を簡単にする。 【構成】 金属製ローラ本体13の周囲に、複数のセラミ
ックスチューブ14を長さ方向に間隔をおくように嵌め被
せて固定し、このセラミックスチューブ14を被搬送体支
持部15とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、たとえばプラズマデ
ィスプレイ用ガラス基板の焼成等の清浄な環境下で被処
理物に熱処理を施すのに使用されるローラハース炉に用
いられるローラに関する。
ィスプレイ用ガラス基板の焼成等の清浄な環境下で被処
理物に熱処理を施すのに使用されるローラハース炉に用
いられるローラに関する。
【０００２】
【従来の技術】ローラハース炉においては、プラズマデ
ィスプレイ用ガラス基板等の被熱処理物は治具に積載さ
れ、被熱処理物と治具とよりなる被搬送体が炉内を搬送
されつつ被熱処理物に熱処理が施されるようになってい
る。
ィスプレイ用ガラス基板等の被熱処理物は治具に積載さ
れ、被熱処理物と治具とよりなる被搬送体が炉内を搬送
されつつ被熱処理物に熱処理が施されるようになってい
る。
【０００３】従来、ローラハース炉用ローラとしては、
ステンレス鋼等の金属からなるものが用いられていた。
しかしながら、このローラでは、ローラの表面に発生し
た酸化スケールが被搬送体の治具との摩擦によりローラ
から剥離して被熱処理物に付着したり、被搬送体の治具
との摩擦により金属粉等が発生して被熱処理物に付着し
たりし、これにより被熱処理物が汚染されるという問題
があった。
ステンレス鋼等の金属からなるものが用いられていた。
しかしながら、このローラでは、ローラの表面に発生し
た酸化スケールが被搬送体の治具との摩擦によりローラ
から剥離して被熱処理物に付着したり、被搬送体の治具
との摩擦により金属粉等が発生して被熱処理物に付着し
たりし、これにより被熱処理物が汚染されるという問題
があった。
【０００４】そこで、このような問題を解決するため
に、全体がセラミックスからなるローラハース炉用ロー
ラが考えられた。しかしながら、このローラでは、その
機械的耐衝撃性が不足するとともに、熱的耐衝撃性が不
足して熱膨張、熱収縮に起因する割れが発生するという
問題があった。しかも、ローラの支持や駆動系との連結
が困難であるという問題があった。
に、全体がセラミックスからなるローラハース炉用ロー
ラが考えられた。しかしながら、このローラでは、その
機械的耐衝撃性が不足するとともに、熱的耐衝撃性が不
足して熱膨張、熱収縮に起因する割れが発生するという
問題があった。しかも、ローラの支持や駆動系との連結
が困難であるという問題があった。
【０００５】この発明の目的は、上記問題を一挙に解決
したローラハース炉用ローラを提供することにある。
したローラハース炉用ローラを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明によるローラハ
ース炉用ローラは、金属製ローラ本体に、これよりも大
径の被搬送体支持部が長さ方向に間隔をおいて複数設け
られ、被搬送体支持部の少なくとも表面部がセラミック
スで覆われているものである。
ース炉用ローラは、金属製ローラ本体に、これよりも大
径の被搬送体支持部が長さ方向に間隔をおいて複数設け
られ、被搬送体支持部の少なくとも表面部がセラミック
スで覆われているものである。
【０００７】上記ローラハース炉用ローラにおいて、金
属製ローラ本体の表面にセラミックスコーティングが施
されているのがよい。
属製ローラ本体の表面にセラミックスコーティングが施
されているのがよい。
【０００８】また、上記ローラハース炉用ローラにおい
て、金属製ローラ本体の周囲に、複数のセラミックスチ
ューブが長さ方向に間隔をおくように嵌め被せられて固
定され、このセラミックスチューブが被搬送体支持部と
なっていることがある。
て、金属製ローラ本体の周囲に、複数のセラミックスチ
ューブが長さ方向に間隔をおくように嵌め被せられて固
定され、このセラミックスチューブが被搬送体支持部と
なっていることがある。
【０００９】
【作用】金属製ローラ本体に、これよりも大径の被搬送
体支持部が長さ方向に間隔をおいて複数設けられ、被搬
送体支持部の少なくとも表面部がセラミックスで覆われ
ていると、被搬送体は被搬送体支持部に支持され、ロー
ラ本体とは接触することがないので、ローラ本体からの
金属粉等の発生が防止される。しかも、金属製ローラ本
体に被搬送体支持部が設けられ、被搬送体支持部の少な
くとも表面部がセラミックスで覆われていると、全体が
セラミックスで形成されたものに比べて機械的耐衝撃性
および熱的耐衝撃性が向上する。また、ローラ本体の被
搬送体支持部が設けられていない部分を利用してローラ
を支持したり、駆動系に連結したりすることができる。
さらに、金属製ローラ本体に、これよりも大径の被搬送
体支持部が長さ方向に間隔をおいて複数設けられている
と、被搬送体は被搬送体支持部に支持されるので、被搬
送体とローラとの接触面積が小さくなる。
体支持部が長さ方向に間隔をおいて複数設けられ、被搬
送体支持部の少なくとも表面部がセラミックスで覆われ
ていると、被搬送体は被搬送体支持部に支持され、ロー
ラ本体とは接触することがないので、ローラ本体からの
金属粉等の発生が防止される。しかも、金属製ローラ本
体に被搬送体支持部が設けられ、被搬送体支持部の少な
くとも表面部がセラミックスで覆われていると、全体が
セラミックスで形成されたものに比べて機械的耐衝撃性
および熱的耐衝撃性が向上する。また、ローラ本体の被
搬送体支持部が設けられていない部分を利用してローラ
を支持したり、駆動系に連結したりすることができる。
さらに、金属製ローラ本体に、これよりも大径の被搬送
体支持部が長さ方向に間隔をおいて複数設けられている
と、被搬送体は被搬送体支持部に支持されるので、被搬
送体とローラとの接触面積が小さくなる。
【００１０】また、ローラハース炉用ローラにおいて、
金属製ローラ本体の表面にセラミックスコーティングが
施されていると、ローラ本体からの酸化スケールの発生
が防止される。ローラ本体の表面にセラミックスコーテ
ィングが施されていないと、ローラ本体の表面に酸化ス
ケールが発生し、これが何等かの理由によりローラ本体
から剥離して被搬送体の被熱処理物に付着するおそれが
ある。
金属製ローラ本体の表面にセラミックスコーティングが
施されていると、ローラ本体からの酸化スケールの発生
が防止される。ローラ本体の表面にセラミックスコーテ
ィングが施されていないと、ローラ本体の表面に酸化ス
ケールが発生し、これが何等かの理由によりローラ本体
から剥離して被搬送体の被熱処理物に付着するおそれが
ある。
【００１１】さらに、金属製ローラ本体の周囲に、複数
のセラミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように
嵌め被せられて固定され、このセラミックスチューブが
被搬送体支持部となっていると、ローラ本体の熱膨張、
熱収縮に起因するセラミックスチューブの割れが防止さ
れる。ローラ本体におけるローラを支持したり、駆動系
に連結したりするための両端部を除いた部分の全長にわ
たってセラミックスチューブが嵌め被せられて固定され
ていると、ローラ本体とセラミックスチューブとの熱膨
張率の差により、熱膨張、熱収縮に起因してセラミック
スチューブが割れるおそれがある。
のセラミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように
嵌め被せられて固定され、このセラミックスチューブが
被搬送体支持部となっていると、ローラ本体の熱膨張、
熱収縮に起因するセラミックスチューブの割れが防止さ
れる。ローラ本体におけるローラを支持したり、駆動系
に連結したりするための両端部を除いた部分の全長にわ
たってセラミックスチューブが嵌め被せられて固定され
ていると、ローラ本体とセラミックスチューブとの熱膨
張率の差により、熱膨張、熱収縮に起因してセラミック
スチューブが割れるおそれがある。
【００１２】
【実施例】以下、この発明の実施例を、図面を参照して
説明する。
説明する。
【００１３】図１および図２はこの発明によるローラを
用いたローラハース炉を示し、図３はローラを示す。な
お、以下の説明において、図１および図２の左右を左右
というものとし、図２の上側を前、これと反対側を後と
いうものとする。
用いたローラハース炉を示し、図３はローラを示す。な
お、以下の説明において、図１および図２の左右を左右
というものとし、図２の上側を前、これと反対側を後と
いうものとする。
【００１４】図１および図２において、ローラハース炉
(1) は、基台(2) 上に載置された炉殻(3) と、炉殻(3)
内に設けられたマッフル(4) と、マッフル(4) 内に設け
られた炉床(5) とを備えている。
(1) は、基台(2) 上に載置された炉殻(3) と、炉殻(3)
内に設けられたマッフル(4) と、マッフル(4) 内に設け
られた炉床(5) とを備えている。
【００１５】炉殻(3) は、ヒータを内蔵した複数のブロ
ック(6) により形成されている。マッフル(4) は、炉殻
(3) の底壁(3a)上に左右方向に間隔をおいて立設された
耐熱ガラス製の左右両側板(4a)と、炉殻(3) の底壁(3a)
上に耐熱材(7) を介して載置された耐熱ガラス製の底板
(4b)と、左右両側板(4a)の上端部を貫通して炉殻(3)の
左右両側壁(3b)に固定されているセラミックスチューブ
(8) に支持された天板(4c)とよりなる。炉床(5) は、左
右方向に伸びる複数のローラ(9) が前後方向に並んで配
置されることにより構成されている。各ローラ(9) の左
右両端部は、マッフル(4) の左右両側板(4a)および炉殻
(3) の左右両側壁(3b)を貫通して外方に伸びており、そ
の両端に設けられた軸部(9a)が軸受(11)を介して基台
(2) 上に設けられた支持部材(12)に回転自在に支持され
ている。なお、図示は省略したが、すべてのローラ(9)
は、その一端部の軸部(9a)が公知の駆動系に連結されて
おり、駆動系により回転駆動されるようになっている。
ック(6) により形成されている。マッフル(4) は、炉殻
(3) の底壁(3a)上に左右方向に間隔をおいて立設された
耐熱ガラス製の左右両側板(4a)と、炉殻(3) の底壁(3a)
上に耐熱材(7) を介して載置された耐熱ガラス製の底板
(4b)と、左右両側板(4a)の上端部を貫通して炉殻(3)の
左右両側壁(3b)に固定されているセラミックスチューブ
(8) に支持された天板(4c)とよりなる。炉床(5) は、左
右方向に伸びる複数のローラ(9) が前後方向に並んで配
置されることにより構成されている。各ローラ(9) の左
右両端部は、マッフル(4) の左右両側板(4a)および炉殻
(3) の左右両側壁(3b)を貫通して外方に伸びており、そ
の両端に設けられた軸部(9a)が軸受(11)を介して基台
(2) 上に設けられた支持部材(12)に回転自在に支持され
ている。なお、図示は省略したが、すべてのローラ(9)
は、その一端部の軸部(9a)が公知の駆動系に連結されて
おり、駆動系により回転駆動されるようになっている。
【００１６】ローラ(9) は、外周面に酸化物系セラミッ
クスコーティングの施された金属製、たとえばステンレ
ス鋼製ローラ本体(13)と、ローラ本体(13)の周囲にその
長さ方向に間隔をおいて嵌め被せられて固定された複数
のセラミックスチューブ(14)とよりなる。セラミックス
チューブ(14)は、たとえばアルミナ、ムライト、石英等
により形成されている。図３に示すように、セラミック
スチューブ(14)は、ローラ本体(13)の周囲に嵌め被せら
れた後、セラミックスチューブ(14)の周壁を外側から貫
通した、たとえばステンレス鋼からなるねじ（図示略）
をローラ本体(13)に形成されたねじ穴（図示略）にねじ
嵌めることにより、ローラ本体(13)に固定されている。
このとき、ねじの頭部は、セラミックスチューブ(14)の
外周面に形成された凹所（図示略）内に収納されるよう
になっている。そして、セラミックスチューブ(14)によ
り、ローラ本体(13)よりも大径の被搬送体支持部(15)が
形成されている。隣接する２本のローラ(9) において
は、セラミックスチューブ(14)の左右方向の位置はずれ
ており、炉床(5) 全体としてセラミックスチューブ(14)
が千鳥配置状となるようになっている。
クスコーティングの施された金属製、たとえばステンレ
ス鋼製ローラ本体(13)と、ローラ本体(13)の周囲にその
長さ方向に間隔をおいて嵌め被せられて固定された複数
のセラミックスチューブ(14)とよりなる。セラミックス
チューブ(14)は、たとえばアルミナ、ムライト、石英等
により形成されている。図３に示すように、セラミック
スチューブ(14)は、ローラ本体(13)の周囲に嵌め被せら
れた後、セラミックスチューブ(14)の周壁を外側から貫
通した、たとえばステンレス鋼からなるねじ（図示略）
をローラ本体(13)に形成されたねじ穴（図示略）にねじ
嵌めることにより、ローラ本体(13)に固定されている。
このとき、ねじの頭部は、セラミックスチューブ(14)の
外周面に形成された凹所（図示略）内に収納されるよう
になっている。そして、セラミックスチューブ(14)によ
り、ローラ本体(13)よりも大径の被搬送体支持部(15)が
形成されている。隣接する２本のローラ(9) において
は、セラミックスチューブ(14)の左右方向の位置はずれ
ており、炉床(5) 全体としてセラミックスチューブ(14)
が千鳥配置状となるようになっている。
【００１７】上記のようなローラハース炉(1) におい
て、たとえば、プラズマディスプレイ用ガラス基板等の
被熱処理物(S) は、耐熱ガラスとアルミナ等のセラミッ
クスにより形成された治具(A) に多段状に複数載せら
れ、被熱処理物(S) と治具(A) とよりなる被搬送体(X)
がセラミックスチューブ(14)に支持された状態で炉床
(5)上を搬送され、被熱処理物(S) に熱処理が施され
る。
て、たとえば、プラズマディスプレイ用ガラス基板等の
被熱処理物(S) は、耐熱ガラスとアルミナ等のセラミッ
クスにより形成された治具(A) に多段状に複数載せら
れ、被熱処理物(S) と治具(A) とよりなる被搬送体(X)
がセラミックスチューブ(14)に支持された状態で炉床
(5)上を搬送され、被熱処理物(S) に熱処理が施され
る。
【００１８】上記実施例においては、ローラ本体(13)の
周囲にセラッミクスチューブ(14)を嵌め被せて固定する
ことにより被搬送体支持部(15)が形成されているが、こ
れに限るものではなく、たとえばローラ本体(13)の周囲
に、外周面にセラミックスコーティングが施された金属
チューブを嵌め被せて固定することにより被搬送体支持
部が形成されていてもよく、あるいはローラ本体(13)に
一体的に大径部を形成し、大径部の外周面にセラミック
スコーティングを施すことにより被搬送体支持部が形成
されていてもよい。
周囲にセラッミクスチューブ(14)を嵌め被せて固定する
ことにより被搬送体支持部(15)が形成されているが、こ
れに限るものではなく、たとえばローラ本体(13)の周囲
に、外周面にセラミックスコーティングが施された金属
チューブを嵌め被せて固定することにより被搬送体支持
部が形成されていてもよく、あるいはローラ本体(13)に
一体的に大径部を形成し、大径部の外周面にセラミック
スコーティングを施すことにより被搬送体支持部が形成
されていてもよい。
【００１９】但し、被搬送体支持部の表面にセラミック
スコーティングが施されている場合、被搬送体(X) との
接触摩擦により、コーティングが剥がれるおそれがある
ので、上記実施例のように、ローラ本体(13)にセラミッ
クスチューブ(14)が嵌め被せられて固定されていること
が好ましい。
スコーティングが施されている場合、被搬送体(X) との
接触摩擦により、コーティングが剥がれるおそれがある
ので、上記実施例のように、ローラ本体(13)にセラミッ
クスチューブ(14)が嵌め被せられて固定されていること
が好ましい。
【００２０】
【発明の効果】この発明のローラハース炉用ローラによ
れば、上述のように、ローラ本体から酸化スケールが発
生したとしても、これが被搬送体の被熱処理物に付着す
るのを防止できるとともに、ローラ本体からの金属粉等
の発生が防止されて金属粉等が被搬送体の被熱処理物に
付着するのが防止される。したがって、被熱処理物の汚
染を防止することができる。
れば、上述のように、ローラ本体から酸化スケールが発
生したとしても、これが被搬送体の被熱処理物に付着す
るのを防止できるとともに、ローラ本体からの金属粉等
の発生が防止されて金属粉等が被搬送体の被熱処理物に
付着するのが防止される。したがって、被熱処理物の汚
染を防止することができる。
【００２１】また、全体がセラミックスで形成されたも
のに比べて機械的耐衝撃性が向上するので、ローラの破
損を防止することができる。また、全体がセラミックス
で形成されたものに比べて熱的耐衝撃性が向上するの
で、熱膨張、熱収縮に起因する割れを防止することがで
きる。さらに、ローラ本体の被搬送体支持部が設けられ
ていない部分を利用してローラを支持したり、駆動系に
連結したりすることができるので、その作業が簡単にな
る。
のに比べて機械的耐衝撃性が向上するので、ローラの破
損を防止することができる。また、全体がセラミックス
で形成されたものに比べて熱的耐衝撃性が向上するの
で、熱膨張、熱収縮に起因する割れを防止することがで
きる。さらに、ローラ本体の被搬送体支持部が設けられ
ていない部分を利用してローラを支持したり、駆動系に
連結したりすることができるので、その作業が簡単にな
る。
【００２２】また、金属製ローラ本体の表面にセラミッ
クスコーティングが施されているので、ローラ本体から
の酸化スケールの発生が防止され、酸化スケールの被熱
処理物への付着が完全に防止される。
クスコーティングが施されているので、ローラ本体から
の酸化スケールの発生が防止され、酸化スケールの被熱
処理物への付着が完全に防止される。
【００２３】さらに、金属製ローラ本体の周囲に、複数
のセラミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように
嵌め被せられて固定され、このセラミックスチューブが
被搬送体支持部となっているので、ローラ本体の熱膨
張、熱収縮に起因するセラミックスチューブの割れが防
止される。
のセラミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように
嵌め被せられて固定され、このセラミックスチューブが
被搬送体支持部となっているので、ローラ本体の熱膨
張、熱収縮に起因するセラミックスチューブの割れが防
止される。
【図１】この発明によるローラを備えたローラハース炉
の横断面図である。
の横断面図である。
【図２】この発明によるローラを備えたローラハース炉
の部分水平断面図である。
の部分水平断面図である。
【図３】この発明によるローラの一部分を示す分解斜視
図である。
図である。
【符号の説明】 (1) ローラハース炉 (9) ローラ (13) ローラ本体 (14) セラミックスチューブ (15) 被搬送体支持部
Claims (3)
- 【請求項１】 金属製ローラ本体に、これよりも大径の
被搬送体支持部が長さ方向に間隔をおいて複数設けら
れ、被搬送体支持部の少なくとも表面部がセラミックス
で覆われているローラハース炉用ローラ。 - 【請求項２】 金属製ローラ本体の表面にセラミックス
コーティングが施されている請求項１記載のローラハー
ス炉用ローラ。 - 【請求項３】 金属製ローラ本体の周囲に、複数のセラ
ミックスチューブが長さ方向に間隔をおくように嵌め被
せられて固定され、このセラミックスチューブが被搬送
体支持部となっている請求項１記載のローラハース炉用
ローラ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31631694A JP2961295B2 (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | ローラハース炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31631694A JP2961295B2 (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | ローラハース炉 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08176649A true JPH08176649A (ja) | 1996-07-09 |
| JP2961295B2 JP2961295B2 (ja) | 1999-10-12 |
Family
ID=18075782
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31631694A Expired - Fee Related JP2961295B2 (ja) | 1994-12-20 | 1994-12-20 | ローラハース炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2961295B2 (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005513406A (ja) * | 2001-12-13 | 2005-05-12 | エニテクノロジー、ソシエタ、ペル、アチオニ | 光起電装置用ベーキングオーブン |
| KR100484562B1 (ko) * | 1997-07-17 | 2005-08-29 | 주가이로 고교 가부시키가이샤 | 롤러하스형연속글라스기판봉착로 |
| JP2009186051A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Ngk Insulators Ltd | 平板状部材の熱処理炉 |
| JP2009186052A (ja) * | 2008-02-04 | 2009-08-20 | Ngk Insulators Ltd | 平板状部材の熱処理炉 |
| JP2012097935A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Takasago Ind Co Ltd | ローラハースキルン、速度差補正方法、および速度差補正筒部材 |
| WO2013118537A1 (ja) * | 2012-02-08 | 2013-08-15 | 旭硝子株式会社 | 熱処理装置、及び熱処理方法 |
| JP2014070873A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-21 | Koyo Thermo System Kk | マッフル炉 |
| CN106440775A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 合肥恒力装备有限公司 | 一种应用于辊道炉的托辊组件及其安装方法 |
| JP2017067438A (ja) * | 2016-12-08 | 2017-04-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | マッフル炉 |
-
1994
- 1994-12-20 JP JP31631694A patent/JP2961295B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106440775A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 合肥恒力装备有限公司 | 一种应用于辊道炉的托辊组件及其安装方法 |
| JP2017067438A (ja) * | 2016-12-08 | 2017-04-06 | 光洋サーモシステム株式会社 | マッフル炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2961295B2 (ja) | 1999-10-12 |
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Legal Events
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