JP2005050803A - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの製造方法Info
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Abstract
【解決手段】金属酸化膜であるMgO膜による保護層8を形成する工程において、その際の成膜は、成膜室である蒸着室21内の真空度を1×10−1Pa〜1×10−2Paの範囲内とした状態で行うようにする。このことにより、保護層8の形成において、成膜レートや膜質は比較的良好となり、以上により、画像表示を良質に行うことができるプラズマディスプレイパネルを製造することが可能となる。
【選択図】図2
Description
2001 FPDテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル、2000年10月25日、p598−p600
20 成膜装置
21 蒸着室(成膜室)
22 基板投入室
23 基板取出室
24a,24b,24c 真空排気系
25 搬送手段
26a,26b,26c,26d 仕切壁
27a,27b 加熱ランプ
28a 蒸着源
28b ハース
28c 電子銃
28d 電子ビーム
28e 蒸気流
28f シャッタ
29a ガス導入手段
29b 真空度検出手段
Claims (5)
- プラズマディスプレイパネルの基板へ金属酸化膜を成膜する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、前記金属酸化膜の成膜に際し、成膜室の真空度が1×10−1Pa〜1×10−2Paの範囲であることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 真空度は、成膜室を排気しながら酸素ガスを導入して制御することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 真空度は、成膜室を排気しながら水、水素、一酸化炭素、二酸化炭素の中から選ばれる少なくとも一つのガスを導入して制御することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 真空度は、成膜室を排気しながら不活性ガスを導入して制御することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 真空度は、成膜室を排気しながら不活性ガスと二酸化炭素のうちの少なくとも一つのガスと酸素ガスとを導入して制御することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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