JP4543797B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
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Description
2001 FPDテクノロジー大全、株式会社電子ジャーナル、2000年10月25日、p598−p600
20 成膜装置
21 蒸着室(成膜室)
22 基板投入室
23 基板取出室
24a,24b,24c 真空排気系
25 搬送手段
26a,26b,26c,26d 仕切壁
27a,27b 加熱ランプ
28a 蒸着源
28b ハース
28c 電子銃
28d 電子ビーム
28e 蒸気流
28f シャッタ
29a ガス導入手段
29b 真空度検出手段
Claims (1)
- プラズマディスプレイパネルの基板へ金属酸化膜を成膜する工程を有するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
二酸化炭素ガスと、
酸素ガスと、
を各々、成膜室に導入するにあたり、
それぞれのガスの導入量を調整し排気と平衡させることで、
成膜室における真空度を1×10−1Pa〜1×10−2Paの範囲とすることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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JPH10106441A (ja) * | 1996-10-02 | 1998-04-24 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネル |
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JP2001226762A (ja) * | 2000-02-09 | 2001-08-21 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 酸化マグネシウム膜の製造方法 |
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