JP2004342606A - プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プラズマディスプレイパネルにおいて、誘電体ガラス層13上に形成される酸化マグネシウム(MgO)の保護膜14として、電気陰性度が1.4以上の元素を含む酸化物を添加した酸化マグネシウム(MgO)の保護膜14を形成することによって、保護膜14の不純ガス吸着を抑制し、放電維持電圧の安定化と、パネル輝度劣化の低減を図ることができる。
【選択図】図1
Description
11 前面ガラス基板
12 放電電極
13 誘電体ガラス層
14 保護膜
20 背面パネル
21 背面ガラス基板
22 アドレス電極
23 下地誘電体ガラス層
24 隔壁
25 蛍光体層
30 放電空間
40 プラズマCVD装置
41a,41b,62 アルゴン(Ar)ボンベ
42,43 気化器
44,63,82 酸素(O2)ボンベ
45 プラズマCVD装置本体
46,66,81 ヒータ部
47,67,87 ガラス基板
48,68 高周波電源
49,69,89 排気装置
50,64 電源
61 ターゲット
65 スパッタ装置本体
70 スパッタ装置
80 真空蒸着装置
85 真空蒸着装置本体
86 蒸発源
Claims (5)
- 第1の基板上に、第1の電極と、前記第1電極を覆って設けた誘電体ガラス層と、前記誘電体ガラス層上に設けられた電気陰性度が1.4以上の元素を含む酸化物が添加された酸化マグネシウム(MgO)よりなる保護膜とを備えた前面パネルと、第2の基板上に、少なくとも第2の電極と、隔壁と、蛍光体層とが配設された背面パネルとを有し、前記保護膜と前記蛍光体層とを対向させた状態で配置し、前記前面パネルと前記背面パネルとの間に隔壁で仕切られた放電空間を形成したプラズマディスプレイパネル。
- 酸化物がマイナスに帯電する酸化物であることを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 酸化物が、酸化チタン(TiO2)、酸化ジルコニウム(ZrO2)、酸化ゲルマニウム(GeO2)、酸化バナジウム(V2O5)、酸化ニオブ(Nb2O5)、酸化タンタル(Ta2O5)、酸化アンチモン(Sb2O5)、酸化クロム(Cr2O3)、酸化モリブデン(MoO3)、酸化タングステン(WO3)、酸化錫(SnO2)、酸化硼素(B2O3)、酸化珪素(SiO2)、酸化鉛(PbO)、酸化マンガン(MnO2)のいずれか1種以上であることを特徴とする請求項2に記載のプラズマディスプレイパネル。
- 少なくとも第1の基板に電極を形成する工程と、前記電極を覆って誘電体ガラス層を形成する工程と、前記誘電体ガラス層を覆って電気陰性度が1.4以上の元素を含む酸化物が添加された酸化マグネシウム(MgO)よりなる保護膜を形成する工程とを含み、前記保護膜を形成する工程が、プラズマCVD法、スパッタ法、真空蒸着法およびイオンプレーティングのうちのいずれかであることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 保護膜を形成する工程が、30Pa〜300Paの反応容器内で、マグネシウムの有機金属化合物と電気陰性度が1.4以上の元素を含む酸化物が含む金属の有機金属化合物とを、酸素(O2)およびアルゴン(Ar)を用いて反応させるプラズマCVD法であることを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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