JP2004047193A - プラズマディスプレイパネル - Google Patents
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Abstract
【課題】プラズマディスプレイパネルに用いられる電極用保護膜について、耐スパッタ性を改良し、寿命を向上する。
【解決手段】表示電極が配線されている前面板とアドレス電極が配線されている背面板を有し、両基板の間隙に形成された微小な放電空間での放電により画像を表示するプラズマディスプレイパネルにおいて、電極保護膜が主成分として酸化マグネシウムを含有し、第二成分として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムの少なくとも1種以上を含有することを特徴とする保護膜を用いる。
【効果】保護膜の耐スパッタ性が向上し、長寿命化につながる。
【選択図】 図1
【解決手段】表示電極が配線されている前面板とアドレス電極が配線されている背面板を有し、両基板の間隙に形成された微小な放電空間での放電により画像を表示するプラズマディスプレイパネルにおいて、電極保護膜が主成分として酸化マグネシウムを含有し、第二成分として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムの少なくとも1種以上を含有することを特徴とする保護膜を用いる。
【効果】保護膜の耐スパッタ性が向上し、長寿命化につながる。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は表示デバイスとして用いられるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)に関するもので、特にPDPの電極用保護膜材料に関する。
【0002】
【従来の技術】
PDPは2枚のガラス基板の間隙に密閉された微小な放電空間を多数設けた表示デバイスである。たとえば、マトリックス表示方式のPDPでは、多数の電極が格子状に配列され、各電極の交差部の放電セルを選択的に発光させて画像を表示する。代表的な面放電型のAC型PDPでは前面板の表示電極は誘電体層で被覆され、さらに誘電体層上に保護膜が形成されている。ここで、誘電体層は電極への電圧印加により生じた電荷を蓄積するために設けられており、保護膜は放電ガス中のイオンの衝突による誘電体層の損傷を防ぐため、及び二次電子の放出により放電開始電圧を低減するために設けられている。従来、保護膜としては、蒸着などの薄膜法を用いて形成された厚さ数百nm程度の酸化マグネシウム膜が主に用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
AC型PDPにおける保護膜としては寿命の長いことが求められている。すなわち、PDPでは放電時に希ガスイオンにより保護膜がスパッタされる。
【0004】
保護膜がスパッタされ誘電体層が露出すると放電電圧の大幅な上昇が起こり、画像の表示に問題が生じる。またスパッタされた保護膜は一部対面の蛍光体層に付着し色特性の低下を引き起こすことがある。このように保護膜のスパッタによる損傷はPDPの寿命を左右する主原因の一つである。
【0005】
本発明は上記した従来技術の課題に対応するためになされたものであり、耐スパッタ性が高く長寿命のPDP電極用保護膜及びその保護膜を備えたPDPを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記課題を解決するためにPDP用保護膜として、主成分として酸化マグネシウムを含有し、第二成分として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムの少なくとも1種以上を含有するPDP電極用保護膜を用いることを特徴としている。
【0007】
従来、保護膜には主に酸化マグネシウムを主成分とする酸化物膜が用いられており、電子ビーム蒸着法等により厚さ数百nm程度の薄膜を形成していた。
【0008】
本発明者らは、保護膜の寿命に関連して放電時の希ガスイオンによる保護膜のスパッタ現象を詳細に調べ、酸化マグネシウムにある種の第二成分を添加すると耐スパッタ性が向上することを見出し本発明に至った。この耐スパッタ性の向上に効果のある添加物として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムを見出した。これら第二成分の添加量としては第二成分の含有量が重量で0.01% 以上5%未満の範囲が耐スパッタ性の向上効果が高く好ましい。添加量が0.01% 未満では添加による耐スパッタ性の改良が顕著でなく、一方5%を超えると放電特性が悪くなる等の悪影響がある。
【0009】
これら第二成分添加によるMgOの耐スパッタ性向上の原因は必ずしも明確でないが、MgO結晶格子のMgイオンをこれら第二成分の金属イオンが置換したり、Mgイオン欠陥を第二成分の金属イオンが埋めることによりMgOの結合力が強めたりしていることが考えられる。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の保護膜を適用したPDPについて、その一画素を構成する部分を表す拡大図である。
【0011】
PDPは図1に示されるように、前面板9と背面板4とが対向するように設けられている。背面板4には、一画素の表示のための三種類の蛍光体1R,1G,1Bが互いに隔壁2で隔てて備えられている。この三種類の蛍光体1R,1G,1Bにより、一つの画素を各色で表示できるように構成されている。
【0012】
また、背面板4には、Y軸方向に沿って配線されたアドレス電極3が設けられている。また、前面板9には表示電極7が前記アドレス電極と直交するようにX軸方向に沿って配線されている。また、表示電極7にはこれに沿うようにバス電極8が配線されている。表示電極7及びバス電極8は、誘電体層6で被覆されている。さらに誘電体層6の表面に保護膜5が設けられる。
【0013】
前面板9と背面板4との間には、放電ガスとして、所定の圧力の希ガスが封入される。そして、前記アドレス電極3,表示電極7,バス電極8に所定の電圧が印加されると、前記希ガスのプラズマ放電に伴う紫外線により蛍光体が発光し、前面板9より外部に可視光が放射され、当該画素による表示が行われる。
【0014】
PDPの放電時には励起された希ガスイオンが保護膜表面に衝突し、保護膜表面をスパッタしてしまう。経過時間とともにこの保護膜のスパッタ深さが進展していき、やがて誘電体層に至ると放電電圧が極端に増加して正常な画像表示が困難になる。この保護膜のスパッタ現象がPDPの寿命を支配する重要な因子である。
【0015】
本発明による耐スパッタ性の高い保護膜によれば保護膜寿命が向上し、その結果PDP寿命を向上できる。
【0016】
本発明におけるPDP用保護膜は成膜方法に特に限定されない。電子ビーム蒸着法,スパッタ法,イオンプレーティング法,CVD法等が使用できる。酸化マグネシウム膜に第二成分を含有させるために予め酸化マグネシウム原料に第二成分を所定の割合に混合した成膜原料を用いることも可能であるし、それぞれ別の蒸着源あるいはスパッタ源を用いても良い。また酸化マグネシウムの成膜時に第二成分をイオン化して打ち込む方法もある。
【0017】
本発明におけるPDPでは放電空間内にガス媒体が封入されている。このガス媒体には、通常希ガス元素の混合体が使用される。具体的には、ヘリウム,ネオン,アルゴン,キセノン,クリプトンの中から選ばれた1種以上のガスが用いられる。
【0018】
その封入圧力は特に限定されないが、400Torrから760Torrの間が望ましい。
【0019】
(実施例)
本実施例では電子ビーム蒸着法により本発明の保護膜を成膜した例を述べる。すなわち、本発明の保護膜5の成膜は、電子ビーム照射によって蒸発した膜原料が基板上に堆積する方式の真空成膜装置を用いて実施した。成膜原料には酸化マグネシウム粉に第二成分の酸化物粉を所定量混合し、直径5mm,長さ3mmのペレットに成型後800℃で焼成したものを用いた。成膜時には酸素ガスを2×10−2Paの圧力で真空装置内に供給して、酸化マグネシウムと第二成分からなる保護膜を形成した。成膜時の基板加熱設定温度は200℃、成膜速度は毎秒2nmとした。基板は30mmΦの石英であり、膜厚は700nmとした。
【0020】
第二成分として酸化ホウ素(実施例保護膜1),酸化アルミニウム(実施例保護膜2),酸化ケイ素(実施例保護膜3),酸化ランタン(実施例保護膜4),酸化イットリウム(実施例保護膜5),酸化セリウム(実施例保護膜6)を用い、第二成分の添加量を変化して膜を作製した。また、比較例として酸化マグネシウム粒のみを成膜原料に用いた保護膜も形成した。
【0021】
各種保護膜の寿命の指標となる耐スパッタ性評価を以下のように行った。
【0022】
すなわち真空チャンバー内に設置した各種の膜試料に、イオンガンによりArを加速電圧1kVの条件で10時間照射し、スパッタ量(深さ)を測定した。このイオンガンによるエッチング方法でプラズマディスプレイパネルの放電によるスパッタを模擬し、短時間で膜の耐スパッタ性の相対評価を行うことができる。
【0023】
本発明になる各種保護膜の耐スパッタ性の評価結果を表1に示す。表中の数字は10時間後の膜のスパッタ量をnm単位で示したものである。なお、比較例の酸化マグネシウム単独の膜でのスパッタ量は120nm/10hであった。
【0024】
表1からも明らかなように本発明になる第二成分として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムの少なくとも1種を添加した膜のスパッタ量は全て100nm以下であり、比較例の酸化マグネシウム単独の膜でのスパッタ量120nmに比較して顕著に小さくなっている。このことから本発明の保護膜は耐スパッタ性が大幅に向上することがわかる。したがって本発明の保護膜を用いたプラズマディスプレイパネルは寿命の向上が期待できる。
【0025】
【表1】
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による膜をAC型PDPの保護膜として用いることにより耐スパッタ性を向上する効果があり、保護膜寿命の向上が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】交流型PDPの一画素に対応する部分を表す図である。
【符号の説明】
1R…赤色蛍光体、1G…緑色蛍光体、1B…青色蛍光体、2…隔壁、3…アドレス電極、4…背面板、5…保護膜、6…誘電体層、7…表示電極、8…バス電極、9…前面板。
【発明の属する技術分野】
本発明は表示デバイスとして用いられるプラズマディスプレイパネル(以下、PDPと称する)に関するもので、特にPDPの電極用保護膜材料に関する。
【0002】
【従来の技術】
PDPは2枚のガラス基板の間隙に密閉された微小な放電空間を多数設けた表示デバイスである。たとえば、マトリックス表示方式のPDPでは、多数の電極が格子状に配列され、各電極の交差部の放電セルを選択的に発光させて画像を表示する。代表的な面放電型のAC型PDPでは前面板の表示電極は誘電体層で被覆され、さらに誘電体層上に保護膜が形成されている。ここで、誘電体層は電極への電圧印加により生じた電荷を蓄積するために設けられており、保護膜は放電ガス中のイオンの衝突による誘電体層の損傷を防ぐため、及び二次電子の放出により放電開始電圧を低減するために設けられている。従来、保護膜としては、蒸着などの薄膜法を用いて形成された厚さ数百nm程度の酸化マグネシウム膜が主に用いられている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
AC型PDPにおける保護膜としては寿命の長いことが求められている。すなわち、PDPでは放電時に希ガスイオンにより保護膜がスパッタされる。
【0004】
保護膜がスパッタされ誘電体層が露出すると放電電圧の大幅な上昇が起こり、画像の表示に問題が生じる。またスパッタされた保護膜は一部対面の蛍光体層に付着し色特性の低下を引き起こすことがある。このように保護膜のスパッタによる損傷はPDPの寿命を左右する主原因の一つである。
【0005】
本発明は上記した従来技術の課題に対応するためになされたものであり、耐スパッタ性が高く長寿命のPDP電極用保護膜及びその保護膜を備えたPDPを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明においては上記課題を解決するためにPDP用保護膜として、主成分として酸化マグネシウムを含有し、第二成分として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムの少なくとも1種以上を含有するPDP電極用保護膜を用いることを特徴としている。
【0007】
従来、保護膜には主に酸化マグネシウムを主成分とする酸化物膜が用いられており、電子ビーム蒸着法等により厚さ数百nm程度の薄膜を形成していた。
【0008】
本発明者らは、保護膜の寿命に関連して放電時の希ガスイオンによる保護膜のスパッタ現象を詳細に調べ、酸化マグネシウムにある種の第二成分を添加すると耐スパッタ性が向上することを見出し本発明に至った。この耐スパッタ性の向上に効果のある添加物として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムを見出した。これら第二成分の添加量としては第二成分の含有量が重量で0.01% 以上5%未満の範囲が耐スパッタ性の向上効果が高く好ましい。添加量が0.01% 未満では添加による耐スパッタ性の改良が顕著でなく、一方5%を超えると放電特性が悪くなる等の悪影響がある。
【0009】
これら第二成分添加によるMgOの耐スパッタ性向上の原因は必ずしも明確でないが、MgO結晶格子のMgイオンをこれら第二成分の金属イオンが置換したり、Mgイオン欠陥を第二成分の金属イオンが埋めることによりMgOの結合力が強めたりしていることが考えられる。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の保護膜を適用したPDPについて、その一画素を構成する部分を表す拡大図である。
【0011】
PDPは図1に示されるように、前面板9と背面板4とが対向するように設けられている。背面板4には、一画素の表示のための三種類の蛍光体1R,1G,1Bが互いに隔壁2で隔てて備えられている。この三種類の蛍光体1R,1G,1Bにより、一つの画素を各色で表示できるように構成されている。
【0012】
また、背面板4には、Y軸方向に沿って配線されたアドレス電極3が設けられている。また、前面板9には表示電極7が前記アドレス電極と直交するようにX軸方向に沿って配線されている。また、表示電極7にはこれに沿うようにバス電極8が配線されている。表示電極7及びバス電極8は、誘電体層6で被覆されている。さらに誘電体層6の表面に保護膜5が設けられる。
【0013】
前面板9と背面板4との間には、放電ガスとして、所定の圧力の希ガスが封入される。そして、前記アドレス電極3,表示電極7,バス電極8に所定の電圧が印加されると、前記希ガスのプラズマ放電に伴う紫外線により蛍光体が発光し、前面板9より外部に可視光が放射され、当該画素による表示が行われる。
【0014】
PDPの放電時には励起された希ガスイオンが保護膜表面に衝突し、保護膜表面をスパッタしてしまう。経過時間とともにこの保護膜のスパッタ深さが進展していき、やがて誘電体層に至ると放電電圧が極端に増加して正常な画像表示が困難になる。この保護膜のスパッタ現象がPDPの寿命を支配する重要な因子である。
【0015】
本発明による耐スパッタ性の高い保護膜によれば保護膜寿命が向上し、その結果PDP寿命を向上できる。
【0016】
本発明におけるPDP用保護膜は成膜方法に特に限定されない。電子ビーム蒸着法,スパッタ法,イオンプレーティング法,CVD法等が使用できる。酸化マグネシウム膜に第二成分を含有させるために予め酸化マグネシウム原料に第二成分を所定の割合に混合した成膜原料を用いることも可能であるし、それぞれ別の蒸着源あるいはスパッタ源を用いても良い。また酸化マグネシウムの成膜時に第二成分をイオン化して打ち込む方法もある。
【0017】
本発明におけるPDPでは放電空間内にガス媒体が封入されている。このガス媒体には、通常希ガス元素の混合体が使用される。具体的には、ヘリウム,ネオン,アルゴン,キセノン,クリプトンの中から選ばれた1種以上のガスが用いられる。
【0018】
その封入圧力は特に限定されないが、400Torrから760Torrの間が望ましい。
【0019】
(実施例)
本実施例では電子ビーム蒸着法により本発明の保護膜を成膜した例を述べる。すなわち、本発明の保護膜5の成膜は、電子ビーム照射によって蒸発した膜原料が基板上に堆積する方式の真空成膜装置を用いて実施した。成膜原料には酸化マグネシウム粉に第二成分の酸化物粉を所定量混合し、直径5mm,長さ3mmのペレットに成型後800℃で焼成したものを用いた。成膜時には酸素ガスを2×10−2Paの圧力で真空装置内に供給して、酸化マグネシウムと第二成分からなる保護膜を形成した。成膜時の基板加熱設定温度は200℃、成膜速度は毎秒2nmとした。基板は30mmΦの石英であり、膜厚は700nmとした。
【0020】
第二成分として酸化ホウ素(実施例保護膜1),酸化アルミニウム(実施例保護膜2),酸化ケイ素(実施例保護膜3),酸化ランタン(実施例保護膜4),酸化イットリウム(実施例保護膜5),酸化セリウム(実施例保護膜6)を用い、第二成分の添加量を変化して膜を作製した。また、比較例として酸化マグネシウム粒のみを成膜原料に用いた保護膜も形成した。
【0021】
各種保護膜の寿命の指標となる耐スパッタ性評価を以下のように行った。
【0022】
すなわち真空チャンバー内に設置した各種の膜試料に、イオンガンによりArを加速電圧1kVの条件で10時間照射し、スパッタ量(深さ)を測定した。このイオンガンによるエッチング方法でプラズマディスプレイパネルの放電によるスパッタを模擬し、短時間で膜の耐スパッタ性の相対評価を行うことができる。
【0023】
本発明になる各種保護膜の耐スパッタ性の評価結果を表1に示す。表中の数字は10時間後の膜のスパッタ量をnm単位で示したものである。なお、比較例の酸化マグネシウム単独の膜でのスパッタ量は120nm/10hであった。
【0024】
表1からも明らかなように本発明になる第二成分として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムの少なくとも1種を添加した膜のスパッタ量は全て100nm以下であり、比較例の酸化マグネシウム単独の膜でのスパッタ量120nmに比較して顕著に小さくなっている。このことから本発明の保護膜は耐スパッタ性が大幅に向上することがわかる。したがって本発明の保護膜を用いたプラズマディスプレイパネルは寿命の向上が期待できる。
【0025】
【表1】
【0026】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明による膜をAC型PDPの保護膜として用いることにより耐スパッタ性を向上する効果があり、保護膜寿命の向上が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】交流型PDPの一画素に対応する部分を表す図である。
【符号の説明】
1R…赤色蛍光体、1G…緑色蛍光体、1B…青色蛍光体、2…隔壁、3…アドレス電極、4…背面板、5…保護膜、6…誘電体層、7…表示電極、8…バス電極、9…前面板。
Claims (2)
- 表示電極が配線されている前面板と、アドレス電極が配線されている背面板とを有し、両基板の間隙に形成された微小な放電空間での放電により画像を表示するプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記前面板に設けられる誘電体層を覆う金属酸化物の保護膜を有し、
該保護膜は、主成分として酸化マグネシウムを含有していることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。 - 請求項1のプラズマディスプレイパネルにおいて、
前記保護膜は、第二成分として酸化ホウ素,酸化アルミニウム,酸化ケイ素,酸化ランタン,酸化イットリウム,酸化セリウムの少なくとも1種を含有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002200721A JP2004047193A (ja) | 2002-07-10 | 2002-07-10 | プラズマディスプレイパネル |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002200721A JP2004047193A (ja) | 2002-07-10 | 2002-07-10 | プラズマディスプレイパネル |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004047193A true JP2004047193A (ja) | 2004-02-12 |
Family
ID=31707462
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002200721A Pending JP2004047193A (ja) | 2002-07-10 | 2002-07-10 | プラズマディスプレイパネル |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2004047193A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004095496A1 (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
JP2006169636A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Samsung Sdi Co Ltd | 保護膜、該保護膜形成用の複合体、該保護膜の製造方法及び該保護膜を備えたプラズマディスプレイ装置 |
US7166961B2 (en) | 2002-10-10 | 2007-01-23 | Lg Electronics, Inc. | Protective film of plasma display panel and method of fabricating the same |
JP2007048734A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル |
JP2007287498A (ja) * | 2006-04-18 | 2007-11-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルおよびプラズマディスプレイパネル装置 |
JP2009140611A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Ulvac Japan Ltd | プラズマディスプレイパネル用保護膜及びプラズマディスプレイパネル |
-
2002
- 2002-07-10 JP JP2002200721A patent/JP2004047193A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7166961B2 (en) | 2002-10-10 | 2007-01-23 | Lg Electronics, Inc. | Protective film of plasma display panel and method of fabricating the same |
WO2004095496A1 (ja) * | 2003-04-22 | 2004-11-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | プラズマディスプレイパネルおよびその製造方法 |
US7439675B2 (en) | 2003-04-22 | 2008-10-21 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Plasma display panel having a magnesium oxide protective film and method for producing same |
JP2006169636A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Samsung Sdi Co Ltd | 保護膜、該保護膜形成用の複合体、該保護膜の製造方法及び該保護膜を備えたプラズマディスプレイ装置 |
EP1672667A3 (en) * | 2004-12-17 | 2006-08-30 | Samsung SDI Co., Ltd. | Plasma display panel including protective layer and method of forming the protective layer |
US7713639B2 (en) | 2004-12-17 | 2010-05-11 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Protective layer, composite for forming the protective layer, method of forming the protective layer, and plasma display panel including the protective layer |
JP2007048734A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネル |
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JP2009140611A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-25 | Ulvac Japan Ltd | プラズマディスプレイパネル用保護膜及びプラズマディスプレイパネル |
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