JP4650201B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 - Google Patents
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Description
本発明の保護膜の製造方法および保護膜の製造装置によって製造した保護膜は、PDPの誘電体層を保護する保護膜として有用である。そこで、まずこの保護膜が適用されるPDPについて説明する。
12 表示電極対
12a 走査電極
12b 維持電極
13 誘電体ガラス層
14 保護膜
16 背面ガラス基板
17 アドレス電極
18 下地誘電体層
19 隔壁
20 蛍光体層
21 放電空間
30 基板搬入室
31 予備加熱室
32 成膜室
33 基板冷却室
34 基板取出室
40 蒸着材料
41 蒸着ハース
42 電子銃
43,52 排気ポンプ
44 ガス分析装置
45,50 ガス導入口
46,51 流量バルブ
47 電子ビーム
48 シャッター
49 ビーム照射部
100 前面パネル
200 背面パネル
Claims (1)
- 基板上に表示電極を形成する電極形成ステップと、前記表示電極を覆って誘電体層を形成する誘電体層形成ステップと、前記誘電体層上に保護膜を形成する保護膜形成ステップとを備え、
前記保護膜形成ステップが、前記誘電体層までが形成された前記基板を酸素、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素のうちの少なくとも一つのガス雰囲気中で加熱する予備加熱ステップと、少なくとも酸素を導入しながら前記誘電体層上に前記保護膜を真空蒸着法によって形成する成膜ステップとを含み、
前記予備加熱ステップにおいて、前記誘電体層までが形成された前記基板を配置した容器内に酸素、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素のうちの少なくとも一つのガスを導入するとともに、
前記ガスの流量を、前記成膜ステップにおける酸素以外の総ガス圧が酸素分圧の0.5倍〜1.5倍となるように、制御することを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
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JP2001220669A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 酸化マグネシウム膜の製造方法 |
JP2002025435A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Mitsubishi Materials Corp | Fpd用保護膜の製造装置 |
JP2005050804A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 |
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JPH10106441A (ja) * | 1996-10-02 | 1998-04-24 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネル |
JP2001220669A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 酸化マグネシウム膜の製造方法 |
JP2002025435A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Mitsubishi Materials Corp | Fpd用保護膜の製造装置 |
JP2005050804A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 |
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