JP2007109539A - プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007109539A JP2007109539A JP2005300051A JP2005300051A JP2007109539A JP 2007109539 A JP2007109539 A JP 2007109539A JP 2005300051 A JP2005300051 A JP 2005300051A JP 2005300051 A JP2005300051 A JP 2005300051A JP 2007109539 A JP2007109539 A JP 2007109539A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- oxygen
- dielectric layer
- chamber
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Gas-Filled Discharge Tubes (AREA)
Abstract
【解決手段】表示電極と誘電体層が形成されたガラス基板の誘電体層上に保護膜を真空蒸着法によって形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、ガラス基板100(11)を予備加熱する予備加熱室31と、ガラス基板11に保護膜を形成する成膜室32と、予備加熱室31には酸素、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素のうちの少なくとも一つのガスを導入するガス導入口50と、ガス導入口50におけるガス導入量を制御するガス流量バルブ51とを備え、成膜室32には少なくとも酸素を導入するガス導入口45と、ガス導入口45における酸素導入量を制御するガス流量バルブ46とを備えている。
【選択図】図2
Description
本発明の保護膜の製造方法および保護膜の製造装置によって製造した保護膜は、PDPの誘電体層を保護する保護膜として有用である。そこで、まずこの保護膜が適用されるPDPについて説明する。
12 表示電極対
12a 走査電極
12b 維持電極
13 誘電体ガラス層
14 保護膜
16 背面ガラス基板
17 アドレス電極
18 下地誘電体層
19 隔壁
20 蛍光体層
21 放電空間
30 基板搬入室
31 予備加熱室
32 成膜室
33 基板冷却室
34 基板取出室
40 蒸着材料
41 蒸着ハース
42 電子銃
43,52 排気ポンプ
44 ガス分析装置
45,50 ガス導入口
46,51 流量バルブ
47 電子ビーム
48 シャッター
49 ビーム照射部
100 前面パネル
200 背面パネル
Claims (5)
- 基板上に表示電極を形成する電極形成ステップと、前記表示電極を覆って誘電体層を形成する誘電体層形成ステップと、前記誘電体層上に保護膜を形成する保護膜形成ステップとを備え、前記保護膜形成ステップが、前記誘電体層までが形成された前記基板を酸素、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素のうちの少なくとも一つのガス雰囲気中で加熱する予備加熱ステップと、少なくとも酸素を導入しながら前記誘電体層上に前記保護膜を真空蒸着法によって形成する成膜ステップとを含むことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記予備加熱ステップにおいて、前記誘電体層までが形成された前記基板を配置した容器内に酸素、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素のうちの少なくとも一つのガスを導入するとともに、前記ガスの流量を前記成膜ステップにおいて酸素を導入する際の酸素の流量の0.5倍〜1.5倍としたことを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 前記成膜ステップにおいて成膜雰囲気のガス成分を検出するガス分析ステップをさらに備え、前記ガス分析ステップのガス分析結果に基づいて前記予備加熱ステップにおいて前記容器内に導入するガス流量を制御することを特徴とする請求項1に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
- 表示電極と誘電体層が形成されたガラス基板の前記誘電体層上に保護膜を真空蒸着法によって形成するプラズマディスプレイパネルの製造装置であって、前記ガラス基板を予備加熱する予備加熱室と、前記ガラス基板に保護膜を形成する真空蒸着室と、前記予備加熱室には酸素、窒素、水素、水蒸気、二酸化炭素のうちの少なくとも一つのガスを導入する第1のガス導入手段と、前記第1のガス導入手段におけるガス導入量を制御する第1のガス導入量可変手段とを備え、前記真空蒸着室には少なくとも酸素ガスを導入する第2のガス導入手段と、前記第2のガス導入手段における酸素導入量を制御する第2のガス導入量可変手段とを備えたことを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造装置。
- 前記真空蒸着室において、前記真空蒸着室内のガス成分を分析するガス分析手段を備え、前記ガス分析手段のガス分析結果に基づいて、前記第1のガス導入量可変手段と前記第2のガス導入量可変手段のうちの少なくとも一つを制御することを特徴とする請求項4に記載のプラズマディスプレイパネルの製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005300051A JP4650201B2 (ja) | 2005-10-14 | 2005-10-14 | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005300051A JP4650201B2 (ja) | 2005-10-14 | 2005-10-14 | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007109539A true JP2007109539A (ja) | 2007-04-26 |
JP4650201B2 JP4650201B2 (ja) | 2011-03-16 |
Family
ID=38035246
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005300051A Expired - Fee Related JP4650201B2 (ja) | 2005-10-14 | 2005-10-14 | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4650201B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10106441A (ja) * | 1996-10-02 | 1998-04-24 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネル |
JP2001220669A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 酸化マグネシウム膜の製造方法 |
JP2002025435A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Mitsubishi Materials Corp | Fpd用保護膜の製造装置 |
JP2005050804A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 |
-
2005
- 2005-10-14 JP JP2005300051A patent/JP4650201B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10106441A (ja) * | 1996-10-02 | 1998-04-24 | Fujitsu Ltd | プラズマディスプレイパネル |
JP2001220669A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 酸化マグネシウム膜の製造方法 |
JP2002025435A (ja) * | 2000-07-12 | 2002-01-25 | Mitsubishi Materials Corp | Fpd用保護膜の製造装置 |
JP2005050804A (ja) * | 2003-07-15 | 2005-02-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4650201B2 (ja) | 2011-03-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100919443B1 (ko) | 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 및 그 제조장치 | |
WO2001075926A1 (fr) | Procede de fabrication d'un ecran a plasma | |
JP4961701B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
US8048476B2 (en) | Method of manufacturing plasma display panel | |
KR100868604B1 (ko) | 보호막 형성 방법 및 보호막 형성 장치 | |
JP2005050804A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 | |
JP5152249B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP4321593B2 (ja) | プラズマディスプレイパネル | |
JP4650201B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法およびその製造装置 | |
JP2002033052A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP2007317488A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネルの製造装置 | |
JPH11149865A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP2007317485A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法及びプラズマディスプレイパネルの製造装置 | |
JP4543797B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP2011165534A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP4697039B2 (ja) | プラズマディスプレイパネルとその製造方法、製造装置 | |
JP2010129254A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造装置 | |
JP2006032079A (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
WO2004090927A1 (ja) | プラズマディスプレイパネルの製造方法 | |
JP2002298740A (ja) | ガス放電パネルの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080922 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100615 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100730 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100824 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101116 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101129 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131224 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |